JPS6264277A - 超音波モ−タ− - Google Patents
超音波モ−タ−Info
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- JPS6264277A JPS6264277A JP60202163A JP20216385A JPS6264277A JP S6264277 A JPS6264277 A JP S6264277A JP 60202163 A JP60202163 A JP 60202163A JP 20216385 A JP20216385 A JP 20216385A JP S6264277 A JPS6264277 A JP S6264277A
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- JP
- Japan
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- ultrasonic motor
- horns
- piezoelectric element
- rotor
- torsion
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Links
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 11
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101150033071 RPO7 gene Proteins 0.000 description 1
- AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N alumane Chemical group [AlH3] AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/103—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors by pressing one or more vibrators against the rotor
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/0045—Driving devices, e.g. vibrators using longitudinal or radial modes combined with torsion or shear modes
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野）
本発明は超音波振動を利用した超音波モーターに関する
。
。
（発明の背景）
この種の超音波モーターの試作例としては、１９８５年
８月１８日付けの朝日新聞に掲載されている。
８月１８日付けの朝日新聞に掲載されている。
この構造は第３図に示すように、円形の圧電素子１と圧
電素子２との間に銅板３を挟み込み、更にそれらをアル
ミの輸４と輪５との間に挟み込み、そしてアルミ製のね
しり結合子６がアルミの輪４の上に載せて不図示のボル
トで締めつけたものである。この駆動原理としては、圧
電素子１及び２が厚さ方向に縦振動を起こすと、この縦
振動がアルミの輸４を介してねしり結合子６に伝えられ
、ここでねじり振動に変換される。このねじり結合子６
には、アルミの輸４との当接面に該結合子６の直径方向
に広い溝が形成され、該結合子６が上下にたわみやすい
構造に成っている。このねじり振動により、ねじり結合
子６に圧接されていた口〜ター８が回動するという原理
である。
電素子２との間に銅板３を挟み込み、更にそれらをアル
ミの輸４と輪５との間に挟み込み、そしてアルミ製のね
しり結合子６がアルミの輪４の上に載せて不図示のボル
トで締めつけたものである。この駆動原理としては、圧
電素子１及び２が厚さ方向に縦振動を起こすと、この縦
振動がアルミの輸４を介してねしり結合子６に伝えられ
、ここでねじり振動に変換される。このねじり結合子６
には、アルミの輸４との当接面に該結合子６の直径方向
に広い溝が形成され、該結合子６が上下にたわみやすい
構造に成っている。このねじり振動により、ねじり結合
子６に圧接されていた口〜ター８が回動するという原理
である。
（発明の目的）
本発明は、軸の両方向から回転出力を取り出せる超音波
モーターを得ることを目的とする。
モーターを得ることを目的とする。
（発明の４既要）
本発明は、圧電素子の両側にそれぞれ当接して励振され
る２個のホーンと、該ホーンの縦振動をねじり振動に変
換する２個のねしり結合子とからなる超音波モーターに
より、該ねじり結合子から伝達される駆動力を受けて駆
動される２個のローグーのいずれからも回転出力を取り
出しうるようにしたことを技術的要点としている。
る２個のホーンと、該ホーンの縦振動をねじり振動に変
換する２個のねしり結合子とからなる超音波モーターに
より、該ねじり結合子から伝達される駆動力を受けて駆
動される２個のローグーのいずれからも回転出力を取り
出しうるようにしたことを技術的要点としている。
（実施例）
第１図及び第２図は本発明の実施例であり、第１図は超
音波モーターの斜視図、第２図は前記超音波モーターを
カメラのフィルム駆動に用いた場合の説明図である。
音波モーターの斜視図、第２図は前記超音波モーターを
カメラのフィルム駆動に用いた場合の説明図である。
第１図において、超音波モーターの構造は、共通電極板
１３を２枚の圧電素子１１．１２で挟み込み、この２枚
の圧電素子１１．１２をさらにその両側から２個のホー
ン１４．１５で挟み込み、それらを一体にする為にボル
ト２０をそれらの中心に通し、このボルト２０の両端に
切られたオネジ部２０ａ、２０ｂにねじり結合子１６．
１７を螺合してそれらを一体的に締めつけて構成してい
る。ここでは、図面が超音波モーターを分断した時の図
であるので、圧電素子及び共通電極板の描かれている所
にはボルト２０の軸が示されていなよう見えるが、実際
にはボルト２０の軸がホーン菖４からホーン１５まで通
っている。また、ねじり結合子１６．１７の端面ＩＥｉ
ｄ、１７ｄには、それぞれローター１８．１９がボルト
２１．２２により不図示の加圧部材とスラスト軸受とを
用いて加圧接触させられている。このねじり結合子１６
．１７は、ホーン１４．１５との接触面１６ｅ。
１３を２枚の圧電素子１１．１２で挟み込み、この２枚
の圧電素子１１．１２をさらにその両側から２個のホー
ン１４．１５で挟み込み、それらを一体にする為にボル
ト２０をそれらの中心に通し、このボルト２０の両端に
切られたオネジ部２０ａ、２０ｂにねじり結合子１６．
１７を螺合してそれらを一体的に締めつけて構成してい
る。ここでは、図面が超音波モーターを分断した時の図
であるので、圧電素子及び共通電極板の描かれている所
にはボルト２０の軸が示されていなよう見えるが、実際
にはボルト２０の軸がホーン菖４からホーン１５まで通
っている。また、ねじり結合子１６．１７の端面ＩＥｉ
ｄ、１７ｄには、それぞれローター１８．１９がボルト
２１．２２により不図示の加圧部材とスラスト軸受とを
用いて加圧接触させられている。このねじり結合子１６
．１７は、ホーン１４．１５との接触面１６ｅ。
１７ｅではその直径方向に幅広い溝部１６ａ、１７ａと
、この溝部１６ａ、１７ａを有する円柱部１６ｂ、１７
ｂと、ロータ１８．１９との接触面では前記溝部Ｉ６ａ
、１７ａの直径方向に対して一定角度ねじられて形成さ
れた凸部ｌｅｅ、１７Ｃとから構成されている。
、この溝部１６ａ、１７ａを有する円柱部１６ｂ、１７
ｂと、ロータ１８．１９との接触面では前記溝部Ｉ６ａ
、１７ａの直径方向に対して一定角度ねじられて形成さ
れた凸部ｌｅｅ、１７Ｃとから構成されている。
この超音波モーターの支持方法は、外部固定部にホーン
１４．１５の軸方向の振動変位が零もしくは零に近い点
、即ち振動節点を支持体を用いて支持すればよい。
１４．１５の軸方向の振動変位が零もしくは零に近い点
、即ち振動節点を支持体を用いて支持すればよい。
次に、この超音波モーターの動作原理について説明する
。２個の圧電素子１１．１２は共に電圧印加により厚み
方向に振動するように分極されていて（即ち、圧電素子
の一方の面は正極に、他方の面は負極になるように分極
）、共通電極板１３を挟んで第１図に示すように（＋）
及び（−）の符号を用いて示したような方向で配置しで
ある。
。２個の圧電素子１１．１２は共に電圧印加により厚み
方向に振動するように分極されていて（即ち、圧電素子
の一方の面は正極に、他方の面は負極になるように分極
）、共通電極板１３を挟んで第１図に示すように（＋）
及び（−）の符号を用いて示したような方向で配置しで
ある。
従って、共通電極板１３の電極及び圧電素子１１゜１２
のホーン１４．Ｉｓ側の電極に、超音波領域の周波数の
交流電圧を印加すると、圧電素子１璽。
のホーン１４．Ｉｓ側の電極に、超音波領域の周波数の
交流電圧を印加すると、圧電素子１璽。
１２が同時に厚み方向に伸縮し、ホーン１４，１５に縦
振動が起こる。このホーン１４．１５の縦振動がねしり
結合子１６．１７に伝達される。尚、ホーンの接触面１
４ａ、ｆ４ｂ、１５ａ、１５ｂ及びねしり結合子の接触
面１６８．１７ｅは、圧電素子１１．１２の縦振動によ
り生ずる数ミクロンの変位の振動を伝達する面であるの
で、その平面度、表面荒さ共に高精度で仕上げられてい
る。
振動が起こる。このホーン１４．１５の縦振動がねしり
結合子１６．１７に伝達される。尚、ホーンの接触面１
４ａ、ｆ４ｂ、１５ａ、１５ｂ及びねしり結合子の接触
面１６８．１７ｅは、圧電素子１１．１２の縦振動によ
り生ずる数ミクロンの変位の振動を伝達する面であるの
で、その平面度、表面荒さ共に高精度で仕上げられてい
る。
前述したようにねしり結合子ｔｅ、１７はその中心部が
ボルト２０によって締めつけられ且つ溝部１６２．１７
ａの直径方向に対して一定角度ねしられて凸部１６Ｃ，
１７Ｃが形成されているので、ねじり結合子音６．１７
はホーン１４．１５の縦振動をねじり振動に変換できる
。そして、そのねじり振動によって凸部１６ｃ、１７ｃ
の端面１６ｄ、１７ｄ上の点が楕円運動の軌跡を描くこ
とにより、端面１６ｄ、１７ｄに加圧接触されたロータ
ー１８及び１９が所定方向に回動される。
ボルト２０によって締めつけられ且つ溝部１６２．１７
ａの直径方向に対して一定角度ねしられて凸部１６Ｃ，
１７Ｃが形成されているので、ねじり結合子音６．１７
はホーン１４．１５の縦振動をねじり振動に変換できる
。そして、そのねじり振動によって凸部１６ｃ、１７ｃ
の端面１６ｄ、１７ｄ上の点が楕円運動の軌跡を描くこ
とにより、端面１６ｄ、１７ｄに加圧接触されたロータ
ー１８及び１９が所定方向に回動される。
尚、この回転方向は、ねじり結合子１６．１７の溝部１
６ａ、１７ａの径方向と凸部１６Ｃ１曹７Ｃの径方向と
の関係によって決定されるものであり、本実施例のよう
に各ねじり結合子ＩＧ、１７をそれぞれ第１図に示した
ように、溝部１６ａ。
６ａ、１７ａの径方向と凸部１６Ｃ１曹７Ｃの径方向と
の関係によって決定されるものであり、本実施例のよう
に各ねじり結合子ＩＧ、１７をそれぞれ第１図に示した
ように、溝部１６ａ。
１７ａの径方向を一敗させて凸部ｔＳＣと１７Ｃとの径
方向を交差するように構成するとローター１８がＡ方向
に、またローター１９がＢ方向に互いに逆方向の回転が
得られる。尚、２個のローターを共に同方向に回転する
ようにするためには、超音波モーターの組上がった状態
で前記溝部１６ａ、１７ａの径方向を同一方向に、且つ
前記凸部１６Ｃ，ｔ７ｃの径方向を同一方向に構成すれ
ばよいことは容易に分かる。
方向を交差するように構成するとローター１８がＡ方向
に、またローター１９がＢ方向に互いに逆方向の回転が
得られる。尚、２個のローターを共に同方向に回転する
ようにするためには、超音波モーターの組上がった状態
で前記溝部１６ａ、１７ａの径方向を同一方向に、且つ
前記凸部１６Ｃ，ｔ７ｃの径方向を同一方向に構成すれ
ばよいことは容易に分かる。
この種の超音波モーターの特徴は、効率が畜く、また低
回転・高トルク型である為、ＤＤ（直接駆動）用モータ
ーとしてカメラのフィルム巻上・巻戻しやロポ７）のア
ーム駆動等、低重量・小空間の要求されるものへの応用
が期待できる。
回転・高トルク型である為、ＤＤ（直接駆動）用モータ
ーとしてカメラのフィルム巻上・巻戻しやロポ７）のア
ーム駆動等、低重量・小空間の要求されるものへの応用
が期待できる。
第２図は本発明により超音波モーターをカメラのフィル
ム巻上げ・巻戻しに応用した場合の実施例である。この
カメラ３０の底部分には本発明による超音波モーター３
１が設けられている。超音波モーター３１が組上がった
状態でねじり結合子３２の溝部３２ａ及び凸部３２ｃは
、ねじり結合子１６の溝部ｌｅａ及び凸部１６Ｃのそれ
ぞれの径方向と同一方向となっている。その為に、ロー
ター３３と３４とは同方向に回転する。このローター３
３と３４からそれぞれ動力を伝達する動力伝達部材３５
と３６はクラッチ機構付の歯車であり、このクラッチ機
構により動力伝達部材と超音波モーターのローターとの
連結及び解除を行い、そして外部操作部材によりクラッ
チ機構は動力伝達部材３５と３６とのいずれか一方をそ
れぞれに対応するａ−ターに連結している。この動力伝
達部材３５と３６には、それぞれの同軸上にかさ歯車３
７と４０とが配置され、このかさ歯車３７と４０にはフ
ィルム巻上げ軸に固設されたかさ歯車３８とフィルム巻
戻し軸に固設されたかさ歯車４１とがそれぞれ噛み合っ
ている。
ム巻上げ・巻戻しに応用した場合の実施例である。この
カメラ３０の底部分には本発明による超音波モーター３
１が設けられている。超音波モーター３１が組上がった
状態でねじり結合子３２の溝部３２ａ及び凸部３２ｃは
、ねじり結合子１６の溝部ｌｅａ及び凸部１６Ｃのそれ
ぞれの径方向と同一方向となっている。その為に、ロー
ター３３と３４とは同方向に回転する。このローター３
３と３４からそれぞれ動力を伝達する動力伝達部材３５
と３６はクラッチ機構付の歯車であり、このクラッチ機
構により動力伝達部材と超音波モーターのローターとの
連結及び解除を行い、そして外部操作部材によりクラッ
チ機構は動力伝達部材３５と３６とのいずれか一方をそ
れぞれに対応するａ−ターに連結している。この動力伝
達部材３５と３６には、それぞれの同軸上にかさ歯車３
７と４０とが配置され、このかさ歯車３７と４０にはフ
ィルム巻上げ軸に固設されたかさ歯車３８とフィルム巻
戻し軸に固設されたかさ歯車４１とがそれぞれ噛み合っ
ている。
フィルムを巻き上げる場合には、動力伝達部材３５のク
ラッチ機構が働き（この時は動力伝達部材３６のクラ、
チ機構は解除となる）、この動力、・伝達部材３５とロ
ーター３３とが噛み合う。この時、動力伝達部材３５の
かさ歯車３７がフィルム巻上げ軸３９に設けられたかさ
歯車３８と噛み合っているので、フィルム巻上げ軸３９
が駆動されてフィルムが巻き上げられる。また、フィル
ムの巻戻しを行う場合は、カメラの巻戻し外部操作部材
（通称、Ｒボタン）の操作により、その外部操作部材に
連動して動力伝達部材３６のクラッチ機構が働き（この
時には動力伝達部材３５のクラッチ機構は解除となる）
、動力伝達部材３６とローター３４とが噛み合う。この
時、動力伝達部材３６のかさ歯車４０がフィルム巻戻し
軸に設けられたかさ歯車４１と噛み合っているので、フ
ィルム巻戻し軸４２が駆動されてフィルムが巻戻される
。尚、前述したように、クラッチ機構により一方のロー
ターが機能している時には他方のローターは空回転する
ことになるが、他方のローターには何ら負荷（トルク）
が掛かることのないように構成されているので、効率の
低下はほとんど生しない。更に、この超音波モーターで
は減速機構がいらない為に、駆動騒音の大幅な低減や小
空間、低重量 低コスト化が十分期待できる。
ラッチ機構が働き（この時は動力伝達部材３６のクラ、
チ機構は解除となる）、この動力、・伝達部材３５とロ
ーター３３とが噛み合う。この時、動力伝達部材３５の
かさ歯車３７がフィルム巻上げ軸３９に設けられたかさ
歯車３８と噛み合っているので、フィルム巻上げ軸３９
が駆動されてフィルムが巻き上げられる。また、フィル
ムの巻戻しを行う場合は、カメラの巻戻し外部操作部材
（通称、Ｒボタン）の操作により、その外部操作部材に
連動して動力伝達部材３６のクラッチ機構が働き（この
時には動力伝達部材３５のクラッチ機構は解除となる）
、動力伝達部材３６とローター３４とが噛み合う。この
時、動力伝達部材３６のかさ歯車４０がフィルム巻戻し
軸に設けられたかさ歯車４１と噛み合っているので、フ
ィルム巻戻し軸４２が駆動されてフィルムが巻戻される
。尚、前述したように、クラッチ機構により一方のロー
ターが機能している時には他方のローターは空回転する
ことになるが、他方のローターには何ら負荷（トルク）
が掛かることのないように構成されているので、効率の
低下はほとんど生しない。更に、この超音波モーターで
は減速機構がいらない為に、駆動騒音の大幅な低減や小
空間、低重量 低コスト化が十分期待できる。
（発明の効果）
以上のように本発明によれば、圧電素子の両側にそれぞ
れホーンと、ねじり結合子と、ローターとを配置したこ
とにより、超音波モーターの両方向から回転出力を取り
出すことが可能になった。
れホーンと、ねじり結合子と、ローターとを配置したこ
とにより、超音波モーターの両方向から回転出力を取り
出すことが可能になった。
その為に、超音波モーターの広い分野への応用が期待で
きる。
きる。
尚、実施例によれば、超音波モーターのねじり結合子の
溝部と凸部との径方向の関係を変えることにより回転方
向を決めることができるので、超音波モーターの制作上
で超音波モーターの２出力の回転方向を簡単に決めるこ
とができ、例えばカメラに使用した場合などフィルムの
自動巻上げ及び巻戻しに活用できる。
溝部と凸部との径方向の関係を変えることにより回転方
向を決めることができるので、超音波モーターの制作上
で超音波モーターの２出力の回転方向を簡単に決めるこ
とができ、例えばカメラに使用した場合などフィルムの
自動巻上げ及び巻戻しに活用できる。
第１図は本発明による超音波モーターの実施例の斜視図
、第２図は前記超音波モーターをカメラのフィルム巻上
げ・巻戻しに使用した場合の実施例の説明図である。 第３図は従来の超音波モーターの試作例の斜視図である
。 （主要部分の説明） １１．１２・・・圧電素子 １４．１５・・・ホーン １６．１７・・・ねじり結合子 １８．１９・・・ローター
、第２図は前記超音波モーターをカメラのフィルム巻上
げ・巻戻しに使用した場合の実施例の説明図である。 第３図は従来の超音波モーターの試作例の斜視図である
。 （主要部分の説明） １１．１２・・・圧電素子 １４．１５・・・ホーン １６．１７・・・ねじり結合子 １８．１９・・・ローター
Claims (1)
- 圧電素子と、該圧電素子を挟み込むように設けられた
２個のホーンと、該２個のホーンを挟み込むように設け
られた縦振動をねじり振動に変換する２個のねじり結合
子とからなる超音波モーターであって、該２個のねじり
結合子を挟み込むように設けられた２個のローターが設
けられ、該圧電素子の励振により、該２個のローターの
いずれからも回転出力が取り出しうるようになしたこと
を特徴とする超音波モーター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60202163A JP2507707B2 (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | 超音波モ−タ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60202163A JP2507707B2 (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | 超音波モ−タ− |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6123764A Division JP2703182B2 (ja) | 1994-06-06 | 1994-06-06 | 超音波モーター内蔵機器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6264277A true JPS6264277A (ja) | 1987-03-23 |
| JP2507707B2 JP2507707B2 (ja) | 1996-06-19 |
Family
ID=16453000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60202163A Expired - Lifetime JP2507707B2 (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | 超音波モ−タ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2507707B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63240380A (ja) * | 1987-03-26 | 1988-10-06 | Canon Inc | 振動発生器 |
| JPS63249478A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-17 | Fujitsu General Ltd | 超音波モ−タ |
| JPS63249481A (ja) * | 1987-04-04 | 1988-10-17 | Honda Denshi Kk | 超音波モ−タ |
| KR100824001B1 (ko) | 2006-05-08 | 2008-04-23 | 한국생산기술연구원 | 초음파 모터 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6062880A (ja) * | 1983-09-16 | 1985-04-11 | Hitachi Maxell Ltd | スパイラルモ−ド駆動の圧電モ−タ |
| JPS6154883A (ja) * | 1984-08-24 | 1986-03-19 | Hitachi Maxell Ltd | 両端面回転型圧電モ−タ |
-
1985
- 1985-09-12 JP JP60202163A patent/JP2507707B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6062880A (ja) * | 1983-09-16 | 1985-04-11 | Hitachi Maxell Ltd | スパイラルモ−ド駆動の圧電モ−タ |
| JPS6154883A (ja) * | 1984-08-24 | 1986-03-19 | Hitachi Maxell Ltd | 両端面回転型圧電モ−タ |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63240380A (ja) * | 1987-03-26 | 1988-10-06 | Canon Inc | 振動発生器 |
| JPS63249478A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-17 | Fujitsu General Ltd | 超音波モ−タ |
| JPH05953B2 (ja) * | 1987-03-31 | 1993-01-07 | Fujitsu General Ltd | |
| JPS63249481A (ja) * | 1987-04-04 | 1988-10-17 | Honda Denshi Kk | 超音波モ−タ |
| KR100824001B1 (ko) | 2006-05-08 | 2008-04-23 | 한국생산기술연구원 | 초음파 모터 |
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| Publication number | Publication date |
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| JP2507707B2 (ja) | 1996-06-19 |
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