JPS61224884A - 振動波モ−タ - Google Patents

振動波モ−タ

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JPS61224884A
JPS61224884A JP60065459A JP6545985A JPS61224884A JP S61224884 A JPS61224884 A JP S61224884A JP 60065459 A JP60065459 A JP 60065459A JP 6545985 A JP6545985 A JP 6545985A JP S61224884 A JPS61224884 A JP S61224884A
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JP
Japan
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vibration
wave motor
vibration wave
unit
electrostrictive element
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JP60065459A
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English (en)
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JPH06106026B2 (ja
Inventor
Takayuki Tsukimoto
貴之 月本
Takuo Okuno
奥野 卓夫
Ichiro Okumura
一郎 奥村
Kazuhiro Izukawa
和弘 伊豆川
Hiroyuki Seki
裕之 関
Hitoshi Mukojima
仁 向島
Naoya Kaneda
直也 金田
Akira Hiramatsu
平松 明
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/16Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
    • H02N2/163Motors with ring stator

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は進行性振動波により移動体を摩擦駆動する。振
動波モータの移動体の構造に関するものである。
〈従来技術〉 最近実用化されつつある、進行性振動波にょって駆動す
る振動波モータの実施例の概略図が第1゛図に示しであ
る。同図で、lは電歪素子で例えばPZT (チタン酸
ジルコン鉛)で、2は振動体で弾性物質からなり、電歪
素子1を接着しである。
振動体2は電歪素子1と共にステータ(不図示)側に保
持されている。3は移動体で振動体2に対し押圧接触さ
れていてローラを形成する。電歪素子lは複数個接着さ
れておりそのうちの一部の群に対し、他の群は振動波の
波長入の1/4波長分だけずれたピッチで配置される6
群内での各電歪素子は1/2波長のピッチで、相隣り合
うものの極性が逆になるように配置されている。
このような構成の振動波モータで一つの群電歪素子にV
、SinωTの交流電圧を印加し、もう一方の群の電歪
素子にvoCosωTの交流電圧を印加する。従って各
電歪素子は相隣り合うものどうし極性が逆向きで二つの
群どうし909位相のずれた交流電圧が印加されて振動
をする。この振動が伝えられて振動体2は電歪素子1の
配置ピッチに従って曲げ振動をする。振動体2が一つお
きの電歪素子の位置で出っ張ると、他の一つお。
きの電歪素子の位置が引っ込む、一方、前記の如く電歪
素子の一群は他の一群に対し、174波長ずれた位置に
あるため曲げ振動が進行する。交流電圧が印加されてい
る間、次々と振動が励起されて、進行性曲げ振動波とな
って振動体2を伝わってゆく。
このときの波の進行状態が第2図(a) (b) (c
) (d)に示しである。いま、進行性曲げ振動波が矢
示x1方向に進むとする。0を静止状態に於ける振動体
の中心面とすると振動状態では鎖線示の状態となり、こ
の中立面6は曲げによる応力が拮抗している。中立面6
と直交する断面71についてみると、これら二面の交線
5にでは応力がかからず上下振動しているだけである。
同時に断面71は交線51を中心として左右の振り子振
動している。断面72又は73についても同じように交
線52又は53を中心として左右の振り子振動する。
同図(a)に示す状態では断面7Iと振動体2の移動体
3側の表面との交線上の点P1は左右振動の右死点とな
っており上方向運動だけしている。この振り子振動は交
線5,652又は53が波の正側では(中心面Oの上側
にあるとき左方向(波の進行方向X、と逆方向)の応力
に加わり、波の負側(同じく下側にあるとき)右方向の
応力が加わる。即ち同図(a)に於て、交線5.と断面
72が前者のときの状態で、点P2は矢示方向の応力が
加わる。交線53と断面73が後者のときの状態で、点
P3は矢示方向の応力が加わる。
波が進行し、(b)に示すように波の正側に交線5Iが
くると点P1は左方向の運動をすると同時に上方向の運
動をする。(C)で点PIは上下振動の上死点で左方向
の運動だけする。(d)で点P、は左方向の運動と下方
向運動をする。さらに波が進行し、右方向と下方向の運
動、右方向と上方向の運動を経て(&)の状態に戻る。
この一連の運動を合成すると点PIは回転楕円運動をし
ておりその回転半径は、振動体2の中立面6から移動体
側表面までの長さをEとすると、Eの関数となる。一方
、移動体3は振動体2に加圧接触しており、同図(C)
に示すように、振動体2上の点P1の、回転楕円運動が
移動体3をx2方向に摩擦駆動する0点P2・P3及び
その他振動体2上の全ての点が点PIと同じように移動
体3を摩擦部4図に示すように接触部3b部を樹脂にし
て弾性をもたせ、振動体の面のうねりや進行波振幅値の
場所によるうねりに追従させるようにしていた。
しかし、このような構造ではフランジ部や樹脂部の弾性
によるバネと弾性体3a部を質量とした系の共振を起こ
し、騒音発生や出力低下の原因になっていた。
〈発明の目的〉 本発明はこのような事態に鑑みなされたもので、移動体
の構造を改良することにより、騒音がなく駆動効率の高
い振動波モーターを提供することを目的とするものであ
る。
(実施例〉 以下図面を用いて本発明を詳述する。
第5図は本発明の一実施例の移動体の断面図である。
第5図において第3図、率4図に示した要素と同じ機能
を有する要素については同じ符号を付し説明を省略する
。3clは防振ゴム、3eは金属などで構成される付加
質量である。
かかる実施例において接触部3Cに発生する共振を防止
できる原理を第6図のモデルを用いて説明する。
第6図においてmは質量部3eの質量、c、には防振ゴ
ム3dの減衰定数、弾性係数、Mは弾性体の質量を示し
ている・ ここで接触部3cに発生する共振を防止するためには次
の式を満足する質量部3eの質量m、防振ゴムの減衰定
数1弾性係数を選択すればよい。
とすると (Ω:固有振動数、  cc:臨海減衰定数、 ζ:減
衰比) 上記の式を満足する様に選択することによって接触部3
Cで起きた振動はすみやかに吸収されて振動が起きるこ
とを防止できる。
第7図は移動体下面にて動吸振を行った振動波モータの
断面図であるが、これも本発明中に含まれるかかる構成
にすれば振動波モータを薄くすることができる。また振
動波を利用した直線往復運動機構への適用も本発明中に
含まれるのは勿論である。
(発明の効果〉 以上の様に本発明に依れば振動波モータの振動体と摩擦
接触する移動体の共振による騒音や効率低下を防止する
ことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図は、振動波モータの主要部の概略図、第2図は振
動波モータの駆動原理を説明する図、第3図、第4図は
従来の移動体の縦断面図、第5図は本発明の一実施例の
振動波モータの断面図、第6図は本発明の力学的モデル
を示す図、第7図は本発明の他の実施例の振動波モータ
の断面図である。 1は電歪素子、2は振動体、3は移動体、3aは移動体
の構造体、3bは移動体接触部材、3cは移動体フラン
ジ部、3dは防振ゴム、3eは付加質量部。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1) 電歪素子に周波電圧を印加し、該電歪素子に接
    合した振動体に生ずる進行性振動波によって該移動体と
    接触する移動体を駆動する振動波モーターに於て、該移
    動体に発生する振動を吸収させるため防振材と、質量部
    を積層付加することを特徴とする振動波モータ。
  2. (2) 前記防振材はゴムから構成されていることを特
    徴とする特許請求の範囲第1項記載の振動波モータ。
JP60065459A 1985-03-29 1985-03-29 振動波モ−タ Expired - Lifetime JPH06106026B2 (ja)

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JPH06106026B2 JPH06106026B2 (ja) 1994-12-21

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02118493U (ja) * 1989-03-10 1990-09-21
US7514845B2 (en) 2005-05-26 2009-04-07 Nikon Corporation Vibrational actuator and method for driving vibrational actuator

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59148581A (ja) * 1983-02-10 1984-08-25 Sony Corp 弾性波モ−タ
JPS59188381A (ja) * 1983-04-06 1984-10-25 Shinsei Kogyo:Kk 超音波モータ
JPS6022479A (ja) * 1983-07-18 1985-02-04 Shinsei Kogyo:Kk 超音波モータ

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59148581A (ja) * 1983-02-10 1984-08-25 Sony Corp 弾性波モ−タ
JPS59188381A (ja) * 1983-04-06 1984-10-25 Shinsei Kogyo:Kk 超音波モータ
JPS6022479A (ja) * 1983-07-18 1985-02-04 Shinsei Kogyo:Kk 超音波モータ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02118493U (ja) * 1989-03-10 1990-09-21
US7514845B2 (en) 2005-05-26 2009-04-07 Nikon Corporation Vibrational actuator and method for driving vibrational actuator

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