JPS59147586A - 固体撮像素子の製造方法 - Google Patents
固体撮像素子の製造方法Info
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- JPS59147586A JPS59147586A JP58021489A JP2148983A JPS59147586A JP S59147586 A JPS59147586 A JP S59147586A JP 58021489 A JP58021489 A JP 58021489A JP 2148983 A JP2148983 A JP 2148983A JP S59147586 A JPS59147586 A JP S59147586A
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Links
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- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 10
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 abstract description 2
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 abstract 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02162—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
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- Power Engineering (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の利用分野）
本発明は、固体撮像素子の製造方法、特に素子構造とな
っている。図において、１１Ｉ′ｉ、Ｓ１素子、２はＡ
ｔ配線、３は保護膜、４はシアンフィルター５はイエロ
ーフィルタであるｏしかし従来のこのような構造では光
の利用率が悪く感度が低いとい上させた固体撮像素子を
得ることができるような固体撮像素子の製造方法を提供
することにある０素子上に凸部を設けるものであり、そ
の凸面の製固体撮像素子上への凸面の製造方法について
説明する。第２図（＆）、（ｂ）Ｆｉ、、本発明による
固体撮像素子上への凸面の製造方法を示す工程図である
。
っている。図において、１１Ｉ′ｉ、Ｓ１素子、２はＡ
ｔ配線、３は保護膜、４はシアンフィルター５はイエロ
ーフィルタであるｏしかし従来のこのような構造では光
の利用率が悪く感度が低いとい上させた固体撮像素子を
得ることができるような固体撮像素子の製造方法を提供
することにある０素子上に凸部を設けるものであり、そ
の凸面の製固体撮像素子上への凸面の製造方法について
説明する。第２図（＆）、（ｂ）Ｆｉ、、本発明による
固体撮像素子上への凸面の製造方法を示す工程図である
。
同図において、素子上に形成さｊたカラーフィルタの表
面上に熱可そ性の透明な樹脂（レジスト）を塗布し、露
光、現像して画素に対応し次パターン６ｆｅ作る第２図
（、）。
面上に熱可そ性の透明な樹脂（レジスト）を塗布し、露
光、現像して画素に対応し次パターン６ｆｅ作る第２図
（、）。
次に、このように形成した熱可そ性樹脂のパターン６を
加熱することにより、パターンダレをおこさせ素子上に
凸面を形成する第２図（ｂ）０又特定の画素（ホトダイ
オード）のみの感度を上げたけｎ、ば、その部分のみこ
のような加工を行なえばよい。本実施例により、ば、容
易に固体撮像素子上に凸面を作ることができ、光の利用
率を上げ感度を向上することができる。又、選択的に凸
面の製造が可能なので選択的に色感度を上げることが可
能子上に凸面を製造でき、感度を約２ｄＢ向上すること
ができる。又選択的に凸面の製造が可能なので選択的に
色感度を上げることが可能となる。
加熱することにより、パターンダレをおこさせ素子上に
凸面を形成する第２図（ｂ）０又特定の画素（ホトダイ
オード）のみの感度を上げたけｎ、ば、その部分のみこ
のような加工を行なえばよい。本実施例により、ば、容
易に固体撮像素子上に凸面を作ることができ、光の利用
率を上げ感度を向上することができる。又、選択的に凸
面の製造が可能なので選択的に色感度を上げることが可
能子上に凸面を製造でき、感度を約２ｄＢ向上すること
ができる。又選択的に凸面の製造が可能なので選択的に
色感度を上げることが可能となる。
第１図は従来のカラー固体撮像素子の断面図、第２図（
ａ） 、 （ｂ）は本発明による固体撮像素子の製造方
法の各工程における断面図である。 １・・・・Ｓｔ素子、２・−＠−Ａｔ配線、３争・・・
（ｌ［Ｅ、４・・Φφシアンフィルタ、５・１１φ・イ
エローフィルタ、６・―ｅ・熱可そ性樹脂パターン。 ３− 第１図 第２図
ａ） 、 （ｂ）は本発明による固体撮像素子の製造方
法の各工程における断面図である。 １・・・・Ｓｔ素子、２・−＠−Ａｔ配線、３争・・・
（ｌ［Ｅ、４・・Φφシアンフィルタ、５・１１φ・イ
エローフィルタ、６・―ｅ・熱可そ性樹脂パターン。 ３− 第１図 第２図
Claims (1)
- 固体撮像素子上又は素子上に形成されたカラーフィルタ
上に熱可そ性の透明な樹脂で画素に対応したパターンを
形成し、加熱することによってこのパターンをダレさせ
て凸面を作ることを特徴とする固体撮像素子の製造方法
０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58021489A JPS59147586A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | 固体撮像素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58021489A JPS59147586A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | 固体撮像素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59147586A true JPS59147586A (ja) | 1984-08-23 |
Family
ID=12056383
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58021489A Pending JPS59147586A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | 固体撮像素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59147586A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4694185A (en) * | 1986-04-18 | 1987-09-15 | Eastman Kodak Company | Light sensing devices with lenticular pixels |
| JPH01188189A (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体カラー撮像素子 |
| US5608577A (en) * | 1991-08-30 | 1997-03-04 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Optical mirror and optical device using the same |
| US7708914B2 (en) | 2004-02-27 | 2010-05-04 | Fujifilm Corporation | Method of and apparatus for producing micro lens and micro lens |
-
1983
- 1983-02-14 JP JP58021489A patent/JPS59147586A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4694185A (en) * | 1986-04-18 | 1987-09-15 | Eastman Kodak Company | Light sensing devices with lenticular pixels |
| JPH01188189A (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体カラー撮像素子 |
| US5608577A (en) * | 1991-08-30 | 1997-03-04 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Optical mirror and optical device using the same |
| US7708914B2 (en) | 2004-02-27 | 2010-05-04 | Fujifilm Corporation | Method of and apparatus for producing micro lens and micro lens |
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