JPS59148482A - 固体撮像素子の製造方法 - Google Patents

固体撮像素子の製造方法

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JPS59148482A
JPS59148482A JP58021490A JP2149083A JPS59148482A JP S59148482 A JPS59148482 A JP S59148482A JP 58021490 A JP58021490 A JP 58021490A JP 2149083 A JP2149083 A JP 2149083A JP S59148482 A JPS59148482 A JP S59148482A
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JP
Japan
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solid
state image
image pickup
pickup element
image sensor
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JP58021490A
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JPH0544193B2 (ja
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Kiyoyuki Miyata
宮田　清之
Akiya Izumi
泉　章也
Tsunehisa Horiuchi
掘内　常久
Tatsuo Tanabe
田辺　達雄
Kazumi Kanesaka
金坂　和美
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02—Details
    • H01L31/0216—Coatings
    • H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
    • H01L31/02162—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、固体撮像素子の製造方法、特に素子従来のカ
ラー固体撮像素子は、第１図のような構造となっている
。図においＣ１１はＳｌ　素子、２はＡ／−配線、３は
保護膜、４はシアンフィルタ、５はイエローフィルタで
ある。（７かし従来のこのような構造であると、光の利
用率が悪く感度が低上さぜた固体撮像素子を得ることが
できるような固体撮像素子の製造方法を提供することに
ある。
〔発明の概徹〕
光の利用率をあげるために本発明は、固体撮像素子上に
凹凸面を設けるものであり、その凹凸面固体撮像素子上
への凸面の製造方法について説明する。第２図（ａ）　
、　（ｂ）は、本発明による固体撮像素子上への凸面の
製造方法を示す工程図である。
同図において、素子上に形成されたカラーフィルタ上に
透明な有機膜６をＪσ上層の保酪を膜として均一に塗布
する第２図（ａ）。次に画素（ホトダイオード）部を除
いた配線部のみを露光（例えばオーバー露光させる）、
現像しで、凸面を形成する第２図（ｂ）。又、特定の画
素（ホトダイオード）のみの感度を上げたければ、その
部分のみこのような加工を行なえばよい。本実施例によ
れば、容易に同体撮像素子上に凸面を作ることができ、
光の利用率を上げ感度を向上することができる。又、選
択的に凸面の製造が可能なので選択的に色感度をこのよ
りに本発明に、Ｃれは、容易に同坏熾１ｆ系子上に凸面
を製造でき、感度を約２ｄＢ向上することができる。又
、選択的に凸面の製造が可能なので、選択的に色感度を
−ヒけることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、従来のカラー固体掃作素子の断面図、第２図
区（ａ、）　、　（ｂ）は本発明による固一体撮像紫子
の製造方法の各工程における断面図である。 １・・・・Ｓｌ素子、２・・・・Ａｔ配糾、３・・・・
保腔膜、４・・・・シアンフィルタ、５・・・・イエロ
ーフィルタ、６・・・・有機膜。 代麩　　弁“１升　高　槁　明　′、・　゛へ゛パ−、
−ン 第１図 第２図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 固体撮像素子上、又は素子上に形成されたカラーフィル
    タ上ヒに、透明な有機膜を最上層の保護膜として均一に
    塗布し、両索部を除いた配線部のみを露光、覗、イ象し
    て凸面を作ることを特徴とする固体撮像素子の製造方法
    。
JP58021490A 1983-02-14 1983-02-14 固体撮像素子の製造方法 Granted JPS59148482A (ja)

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JPS59148482A true JPS59148482A (ja) 1984-08-25
JPH0544193B2 JPH0544193B2 (ja) 1993-07-05

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4694185A (en) * 1986-04-18 1987-09-15 Eastman Kodak Company Light sensing devices with lenticular pixels

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5374395A (en) * 1976-12-15 1978-07-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd Solid state pickup device
JPS5721819A (en) * 1980-07-15 1982-02-04 Fujitsu Ltd Forming method for pattern
JPS59122193A (ja) * 1982-12-28 1984-07-14 Nec Corp 固体撮像装置

Patent Citations (3)

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JPH0544193B2 (ja) 1993-07-05

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