JPS59140980A - 圧電式流体制御装置 - Google Patents

圧電式流体制御装置

Info

Publication number
JPS59140980A
JPS59140980A JP58211120A JP21112083A JPS59140980A JP S59140980 A JPS59140980 A JP S59140980A JP 58211120 A JP58211120 A JP 58211120A JP 21112083 A JP21112083 A JP 21112083A JP S59140980 A JPS59140980 A JP S59140980A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fluid
drive mechanism
piezoelectric
valve
piezoelectric drive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP58211120A
Other languages
English (en)
Inventor
バ−トン・エル・シ−ガル
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kiwi Coders Corp
Original Assignee
Kiwi Coders Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kiwi Coders Corp filed Critical Kiwi Coders Corp
Publication of JPS59140980A publication Critical patent/JPS59140980A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/004—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by piezoelectric means
    • F16K31/005—Piezoelectric benders
    • F16K31/006—Piezoelectric benders having a free end
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
    • F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
    • F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/05—Heads having a valve
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/206—Flow affected by fluid contact, energy field or coanda effect [e.g., pure fluid device or system]
    • Y10T137/218—Means to regulate or vary operation of device
    • Y10T137/2202—By movable element
    • Y10T137/2213—Electrically-actuated element [e.g., electro-mechanical transducer]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
  • Flow Control (AREA)
  • Fluid-Pressure Circuits (AREA)
  • Valve Housings (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、流体制御装置、更に詳しく云えば、圧力下に
ある流体を迅速且つ正確に制御する装置に関するもので
ある。この流体は気体でも液体でもよい。
弁の駆動体として圧電素子を用いることは公知である。
米国特許第４．８４０．０８８号には、弁容器内に配さ
れ、片持ちはりとして取付けられ、その自由端が、電気
信号の印加に応じて、制御口を取囲む弁座に向ってまた
はこれより離れるように動くようにした短冊型の圧電素
子を有する弁が開示されている。
非減衰の弾性質量系に対して圧電ディスクまたけウェハ
ーの積層を用いることも公知である。米国特許第８．６
１４．４８６号には、高速、正確さおよび振動のないこ
とを要求される用途に対する駆動体として薄い圧電ディ
スクの積層を用いることが開示されている。
公知の装置では、圧電部材が流体と接触するので、流体
による化学的な侵蝕から保護するために一圧電素子およ
び電気接続部に保護被覆をしなければならない。
圧電素子を流体と接触しないように該圧電素子を弁室外
に置き、しかも流体の流量を制御する機能を有するよう
にした、圧電素子を有する流体制御装置または弁が得ら
れるならば有利であることは間違いない。この場合、構
造が簡単で、制作費が安く、更に流体の流量の迅速且つ
適確な制御という所期の目的に対して極めて有効でなく
てはならない。
本発明は次のようにすることによりこれを実現したもの
である。即ち、流体室全盲する弁体、流体室と連通１−
１圧力流体源に接続可能な入口と出口、この出口を経て
流体分与を制御する流体制御弁、弁体に設けられ、出口
と連通した少なくとも１つの弁座、弁体上に設けらち、
弁座と共働する密封部材、この密封部材と共働し、所望
のとおりに前記の出口との連通を開閉する抑圧部材を有
する、圧力流体の所望量を選択的に分与する流体制御装
置において、密封部材は、押圧部材と、液体から隔離さ
れて弁体に設けられ且つ直流電源に電気接続可能な圧電
駆動機構とによって自由に曲がることのできる変形可能
な部材として形成され、前記の圧電駆動機構は、抑圧部
材と係合する圧を部材を有し、圧電駆動機Ｓを選択的に
附勢または消勢することによって押圧部材を動かし、抑
圧部材または圧電駆動機構の何れかが、流体と接触する
ことなしに、前記の変形可能な部材を歪曲するようにし
たものである。
第１図および第２図は本発明の好適な実施例を示すもの
で、装置全体ｆ１０で示しである。この装置１０は、高
速動作と、残留運動のない正確さとを有する。この高速
動作と正確さを有する圧電駆動機構は、制御すべき流体
と接触することなしに装置１０を作動し、これにより、
圧電部材の機械的および化学的な間顯を回避する。流体
制御装置１０は、４角形のケース１２と、流体の入口１
４と、流体の出口１６と、電源接続部１８とを有する。
ケース１２内には、入口１４と出口１６とを連通する室
または通路２２ｆｔ有する４角形の弁体２０と、組立て
ブロック２６と、圧電駆動機構２８と、押圧部材８０と
、締着部材８２とがある。流体は、弁体２０と密封部材
である膜２４で形成される流体室２２に入れられ、この
ため抑圧部材８０と圧電駆動機構２８とは流体よｐ隔離
亦れる。弁体２０内の流体室２２は弁座２９を有するよ
うに配設される。この弁座２９は弁体２ｏの平面２１と
同一面である。
膜２４は強い弾性部材で、シュボン（Ｄｕｐｏｎｔ　）
社よりテフロン（ＴＥＦＬＯＮ　）と云う登録商標名で
市販されているようなポリマーで、或はその他の種種の
エラストマー″！、たはゴムで形成することができる。
膜２４の材料は、弾性（ｅｌａｓｔｉｃｉｔｙ　）およ
び反ばつ弾性（τｅｓｉｌｉｅｎｃｅ　）特性だけでな
しに、耐摩耗性および流体に対する化学的な適応性に基
いて選ばねばならない。膜２４の寸法は、一般に薄い壁
厚（例えば帆０１５インチ）を除いては、４角形の弁体
２０に対応して設けられる。膜２４は弁体２０の一般に
は平らな上面２１に取付けられ、弁座２９に対して垂直
な平面内で可動にそして弾性的に配設される。膜２４は
、取付けねじの孔の周囲を密封することによってガスケ
ットとして動く。膜２４は、押圧部材８０がこの膜２４
上に所定の力を及ばずことによって、弁座２，９におけ
るシールを形成する。
取付けねじ８６は組立てブロック２６、膜ハおよび弁体
２５を連結し、更に室の周囲を締付けるのに用いられる
。取付けねじ８６を通すために膜２４に孔８４が設けら
れる。弁体にはこれに対応して孔８８が設けられ、取付
けねじ８６が挿入される。取付けねじ８６は、必要なら
ば、制御すべき流体の化学的性質に応じて膜２４を交換
するのに役に立つ。
組立てブロック２６には取付けねじ８６を通す孔４０が
設けられる。取付けねじ４４を受けるために第２の孔４
２が設けられる。この取付けねじ４４は、締着部材８２
、圧電駆動機構２８、スペーサ５２および組立てブロッ
ク２６を連結するのに用いられる。押圧部材８０を弁体
２０の弁座２９と同心的な位＠に保持するように、第８
の孔４６が組立てブロック２６に設けられる。組立てブ
ロック２６の全体寸法は４角い弁体２０と略々同じであ
る。
圧電駆動機構２８は、弁体２０の全体寸法よりも小さな
全体寸法を有する短冊型として設けられる。この圧電駆
動機構２８は、第２図および第３′、図には、−緒に固
着された２個の同様な圧電部材即ちウェハー４８Ａ、４
−８Ｂとして示されている。
積層して固着された圧ＴＩ５部材４８Ａ、４１８Ｂの故
によって、駆動機構２８で発生される全体の力が決まる
。駆動機Ｐ＃２８により発生される全体の力は、積層さ
れた圧電部材４８Ａ、４８Ｂの数に比例する。
圧電部材４８Ａ、４８Ｂの数は、特定用途の動作の必要
条件を満たすように選ばれる。例えば、積層した２個の
同じ様な圧電部材４８Ａ、４８Ｂでは／８□インチの厚
さの駆動ｉ購を得ることができる。図には並列Ｇこ電気
接続されたものとして示したが、圧電部材４８Ａと４８
Ｂを直列に接続することもできる。
圧電駆動機溝２８の上面と下面に市、源接続部が設けら
れ、可変の直流電源５０に接続される。圧電駆動機構２
８は、スペーサ２５を介して、組立てブロック２６Ｇこ
片持ちはりとしてその一端を固定される。圧電駆動機構
２８の自由端は、印加電圧の極性とレベルに対する所定
の関係によって、押圧部材ａＯに向って動きまた該部材
から遠ざかる。この圧電駆動機＄２８の自由端の運動即
ち振れの大きさは、印加電圧のレベルが大きくなるとそ
れに応じて増加するので、印加電圧を変えることによシ
、装置１０をスロットル弁として使用することができる
。
第２図は常閉弁１０を示す。即ち、圧ｉ駆動機構２８は
、電源が消勢されている時、機械的に偏向され、抑圧部
材８０を膜２４に対し、膜２４を弁座２９に対して押］
−付ける。圧電駆動機、１ｌｉ２８は、電源が消勢され
ている時は膜２手と弁座２９とが係合してその間にシー
ルができるように配設される。電源５０を附勢すること
により、圧電駆動＠＆構２８は更に偏向され、抑圧部材
８０より離れ、このため室２２を経て流路ができる。
流量は、圧電駆動機＄２８に加えられる電圧レベルを変
えることによって、また電圧の印加時間を変えることに
よっても制御することができる。
第８図は、圧電駆動機構２８が、電源５０の附勢時に室
２′２を経て流路が得られるように配設された、常開弁
１０を示す。スペーサ５２は、第２図の常閉弁に使用さ
負るよりも余分に高くされる。
このため、圧電駆動機構２８の自由端の位置が高くなシ
、電源５０が消勢されている時には、流体は入口１４か
ら室２２を経、弁座２９を過ぎて出口１６に流れる。電
源５０を附勢すると、圧電駆動機＃４２８は偏向され、
抑圧部材３０に向けて動かされ、これにより、室２２を
経由する流れを絞る。印加電圧の所定のレベルで、圧電
駆動機構′２８の自由端が抑圧部材８０を膜に河して動
かし、膜２４が弁座２９に密封力を及ぼし、室２２を閉
じる。
スペーサの高さによって、常閉弁または常開弁に対し、
圧電駆動機９２８の偏向部分の運動方向を決める電源接
続部１８の極性を与えることができる。
第４図および第５図は本発明の別の実施例を示すもので
、これ等は、１つのケース１２内に複数の流体制御装置
をもつ。
第４図Ｖこおいて、１つの入口１４’と７つの出口１６
Ａ、１６Ｂ、１６（３，１６Ｄ、１６Ｅ、１６Ｆ−１１
６Ｇが設けられる。個々の別々の電源接続部１８′が７
つの流体制御装置に夫々設けられ、これにより、夫々の
別々の独立した動作が得られる。
第５図は、４つの流体制御装置を有する多重弁体の分解
透視図を示す。弁体２０′は、人、口１４′を４つの出
口１６Ａ、１６Ｂ、１６０．１６Ｄに連絡する流体室２
２′を有し、４つの弁座２９Ａ。
２９Ｂ、２９０，２９Ｄが得られるように配設される。
弁体２０′には取付けねじ８６′を受けるための孔８８
′が設けられる。膜２４′が弁体２０′の一般には平ら
な上面に取り付けられ、弁座２９Ａ。
２９Ｂ、２９０，２９Ｄに対して垂直な面内で弾性的に
動けるように配設される。この膜２４′には、弁体２０
′の孔８８′に対応して、取付けねじを通す孔８４′が
設けられる。
組立てブロック２６′には、膜２４′の孔８４′に対応
して、組立てブロック２６′と膜２４′と弁体２０′と
を連結する取付けねじ８６′を受ける孔４０′が設けら
れる。また組立てブロック２６′には、この組立てブロ
ック２６′を圧電駆動機構２８′およびスペーサ５２′
を介して締着部材！’１２’に連結する取付けねじ４４
′を受ける一対の孔４２′が設けられる。更に組立てフ
ロック２６′には、押圧部材８０Ａ、ＢＯＢ、８００．
ＳＯＤを保持するための孔４６Ａ、４６Ｂ、＋６０，４
６Ｄが設けられ、これ等の孔は、弁座２９Ａ、２９Ｂ、
２９０および２９Ｄに対して垂直な面内に配設される。
組立てブロック２６′の全体寸法は弁体２０′と略略同
じでよい。
圧電駆動機構２８′は、個々の制御装置に対して夫々設
けられた別々の電源接続部１８Ａ、１８Ｂ。
１８０．１８Ｄを有する４つの電気的に分離された駆動
体２８Ａ、２８Ｂ、ｚ８０，２８Ｄを含む。コノ圧電駆
動体２８Ａ、２．８Ｂ、２８０．２８ＤＵ図ＫＵ４つの
同様な圧電部材の積層４８Ａ、４８Ｂ、４８０．。
４８Ｄとして示されている。駆動子２８λ、２８Ｂ。
２８０．２８Ｄの自由端と抑圧部材ＢＯＡ、８０Ｂ。
８００．８０Ｄとの間隔を決め、第１図、第２図および
第８図の単一弁１０に対して既に説明したように全部が
常開または全部が常閉の弁を得るために、スペーサ５２
′が設けられる。
第４図と第５図に示した多重流体制御装置Ｆｉ、近接し
た別々の弁に対して、独立した高速の１１作と、残留運
動のない正確さとを与える。
この代りに、多重弁体が複数の出口に対応した複数の入
口を有するようにしてもよい。多数の入口を設けること
は、流体制御論理装置等に用いる場合に有用である。
本発明の流体制御装置は種々の用途に用いることができ
る。これ等の用途の中で特筆すれば、コンピュータ印刷
分野におけるインキ、染料その他の選択的な分与、また
例えば人体に挿入された、循環系統内の流体の流れを制
御するボン１よりの医薬の制御された分与等がそうであ
る。
押圧部材８０としては、弁座２９および膜２４と共働で
きる面をもつ球またはボールを図示したが、この部材は
、本発明の範囲内で別の形のものでもよいことは明らか
である。例えば、部材８０は、弁座および膜と共働する
面を有する円筒または押しつぶしたボールの形でもよい
。部材８０はこれ以外の有用な形を有してもよいことは
勿論である。表現上からだけ云えば、「多面体状部材」
という言葉が以上の本発明の目的に適した抑圧部材のあ
らゆる形を含む意味にとれるであろう。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の流体制御装置の一実施例の外観透視図
、 第２図は第１図のケースを取り除いた装置の拡大断面図
、 第８図は別の実施例の第２図と同様の拡大断面図、 第４図は更に別の実施例の外観透視図、第５図は第４図
の一部変形実施例の分解透視図である。 １４・・・入口　　　　　　１６・・・出口２０・・・
弁体　　　　　　　２２・・・流体室２４・・・膜　　
　　　　　　　２８・・・圧電駆動機構２９・・・弁座
　　　　　　　４８Ａ・・・圧電部材４８Ｂ・・・圧電
部材。 ＦＩＧ、　１

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、　流体室を有する弁体、流体室一連通し、圧力流体
    源に接続可能な入口と出口、この出口を経て流体分与を
    制御する流体制御弁、弁体に設けられ、出口と連通した
    少なくとも１つの弁座、弁体上に設けられ、弁座と共働
    する密封部材、この密封部材と共働し、所望のとおりに
    前記の出口との連通を開閉する押圧部材を有する、圧力
    流体の所望量を選択的に分与する流体制御装置において
    、密封部材は、抑圧部材（８０）と、液体から隔離され
    て弁体（２０）に設けられ且つ直流電源（５０）に電気
    接続可能な圧電駆動機構（ｚ８）とによって自由に曲が
    ることのできる変形可能な部材として形成され、前記の
    圧電駆動機構（８８）は、押圧部材（８０）と係合する
    圧電部材（４８１）を有し、圧電駆動機構を選択的に附
    勢または消勢することによって抑圧部材（８０）を動か
    し、抑圧部材（８０）または圧電駆動機構（２８）の何
    れかが、流体と接触することなしに、前記の変形可能な
    部材を歪曲するようにしたことを特徴とする圧電式流体
    制御装置。 λ　夫々流体室と連通している複数の別々の出口（１６
    Ａ、　１６Ｂ、　１６０．１６Ｄ）より成る出口と、圧
    電駆動機構（ｚ８）の附勢または消勢に応じて前記の別
    々の出口よシ流体を選択的に分与するために、変形可能
    な部材（２４）と共働する同様に複数の弁座、押圧部材
    （８ｏ）および圧電駆動機１ＩＩｔ（９８）を有する特
    許請求の範囲第１項記載の装置。 ＆　密封部材は膜より成シ、抑圧部材は、弁座と補足的
    な表面を有する物体よシ成る特許請求の範囲第１項また
    は第２項記載の装置。 表　密封部材は膜よシ成り、抑圧部材は、夫々弁座と補
    足的な表面を有する物体より成る特許請求の範囲第２項
    記載の装置。 五　各抑圧部材は多面体状の形を有する特許請求の範囲
    第１項から第４項の何れか１項記載の装置。 ６　各抑圧部材は球状の形を有する特許請求の範囲第１
    項から第４項の何れか１項記載の装置。 Ｉ　圧電駆動機構は、弁体に一端を固定された圧電ウェ
    ハーであシ、駆動体は、このウェハーの固定端と反対側
    に隣接している特許請求の範囲第１項から第６項の何れ
    が１項記載の装置。 ＆　弁体は、各弁座と整合して各抑圧薄利を支持する組
    立てブロックを有する特許請求の範囲第１項から第７項
    の何れか１項記載の装置。 ９、　歪曲可能な部材はエラストマ〜またはゴム材より
    形成された特許請求の範囲第１項から第８項の何れか１
    項記載の装置。
JP58211120A 1982-11-12 1983-11-11 圧電式流体制御装置 Pending JPS59140980A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/440,966 US4450375A (en) 1982-11-12 1982-11-12 Piezoelectric fluid control device
US440966 1995-05-15

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59140980A true JPS59140980A (ja) 1984-08-13

Family

ID=23750950

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58211120A Pending JPS59140980A (ja) 1982-11-12 1983-11-11 圧電式流体制御装置

Country Status (14)

Country Link
US (1) US4450375A (ja)
EP (1) EP0109239B1 (ja)
JP (1) JPS59140980A (ja)
KR (1) KR890000076B1 (ja)
AT (1) ATE26749T1 (ja)
AU (1) AU559913B2 (ja)
CA (1) CA1218640A (ja)
DE (1) DE3371113D1 (ja)
DK (1) DK516383A (ja)
GB (1) GB2131130B (ja)
HK (1) HK84686A (ja)
IE (1) IE54778B1 (ja)
IL (1) IL70200A (ja)
ZA (1) ZA838426B (ja)

Families Citing this family (93)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT380934B (de) * 1983-01-13 1986-07-25 Enfo Grundlagen Forschungs Ag Elektrisch-pneumatischer signalwandler
JPS6046636U (ja) * 1983-09-05 1985-04-02 オムロン株式会社 多極リレ−
JPS6116867A (ja) * 1984-05-29 1986-01-24 Yasuhiko Ogawa 櫛型の圧電駆動装置
US4575697A (en) * 1984-06-18 1986-03-11 Sperry Corporation Electrically controlled phase shifter
DE3428969A1 (de) * 1984-08-06 1986-02-13 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Steuervorrichtung zur luftklappenbetaetigung
US4620123A (en) * 1984-12-21 1986-10-28 General Electric Company Synchronously operable electrical current switching apparatus having multiple circuit switching capability and/or reduced contact resistance
AT382431B (de) * 1985-02-08 1987-02-25 Enfo Grundlagen Forschungs Ag Elektrisch-pneumatischer signalwandler
US4629926A (en) * 1985-10-21 1986-12-16 Kiwi Coders Corporation Mounting for piezoelectric bender of fluid control device
EP0243249A1 (fr) * 1986-04-18 1987-10-28 Maurice Carre Dispositif de distribution, notamment à usage médical, d'un produit suivant des quantités dosées prédéterminées
US4697118A (en) * 1986-08-15 1987-09-29 General Electric Company Piezoelectric switch
US4723131A (en) * 1986-09-12 1988-02-02 Diagraph Corporation Printhead for ink jet printing apparatus
GB8700203D0 (en) * 1987-01-07 1987-02-11 Domino Printing Sciences Plc Ink jet printing head
US4771204A (en) * 1987-07-30 1988-09-13 Kiwi Coders Corporation Sealing method and means for fluid control device
US4841256A (en) * 1987-10-20 1989-06-20 Pennwalt Corporation Piezoelectric phase locked loop circuit
US4933591A (en) * 1988-01-06 1990-06-12 Ford Aerospace Corporation Double saggital pull stroke amplifier
US4808874A (en) * 1988-01-06 1989-02-28 Ford Aerospace Corporation Double saggital stroke amplifier
DE3814150A1 (de) * 1988-04-27 1989-11-09 Draegerwerk Ag Ventilanordnung aus mikrostrukturierten komponenten
JPH02274550A (ja) * 1989-04-17 1990-11-08 Komori Corp 画像記録装置のヘッド制御方法
US5094594A (en) * 1990-04-23 1992-03-10 Genomyx, Incorporated Piezoelectric pumping device
US5126755A (en) * 1991-03-26 1992-06-30 Videojet Systems International, Inc. Print head assembly for ink jet printer
JPH05124186A (ja) * 1991-11-06 1993-05-21 Brother Ind Ltd 液滴噴射装置
US6394412B2 (en) 1993-04-02 2002-05-28 Netafim (A.C.S.) Ltd. Controlled valve
DE69431994T2 (de) * 1993-10-04 2003-10-30 Res Int Inc Mikro-bearbeitetes fluidbehandlungsvorrichtung mit filter und regelventiler
DE19648730C2 (de) * 1996-11-25 1998-11-19 Fraunhofer Ges Forschung Piezoelektrisch betätigtes Mikroventil
DE19735156C1 (de) * 1996-11-25 1999-04-29 Fraunhofer Ges Forschung Piezoelektrisch betätigtes Mikroventil
AU7690698A (en) * 1997-05-20 1998-12-11 Zymequest, Inc. Cell processing systems
DE19723388C1 (de) * 1997-06-04 1998-07-02 Draegerwerk Ag Modulare Piezoventilanordnung
JP3842870B2 (ja) * 1997-07-11 2006-11-08 Ｓｍｃ株式会社 開閉弁
US6082185A (en) * 1997-07-25 2000-07-04 Research International, Inc. Disposable fluidic circuit cards
US6200532B1 (en) 1998-11-20 2001-03-13 Akzo Nobel Nv Devices and method for performing blood coagulation assays by piezoelectric sensing
SE9904264D0 (sv) * 1999-11-25 1999-11-25 Markpoint Ab Ventilanordning
DK1207329T3 (da) * 2000-11-20 2003-04-22 Festo Ag & Co Piezoventil
DE20019705U1 (de) * 2000-11-20 2001-02-15 Festo Ag & Co Piezo-Biegewandlereinheit und damit ausgestattetes Piezoventil
ATE456160T1 (de) * 2001-07-03 2010-02-15 Face Internat Corp Selbstversorgendes schalterinitialisierungssystem
US20040003786A1 (en) * 2002-06-18 2004-01-08 Gatecliff George W. Piezoelectric valve actuation
US7338433B2 (en) 2002-08-13 2008-03-04 Allergan, Inc. Remotely adjustable gastric banding method
BR0306183A (pt) 2002-08-28 2004-10-19 Inamed Medical Products Corp Dispositivo de enfaixamento gástrico resistente à fadiga
IL152865A0 (en) * 2002-11-14 2003-06-24 Q Core Ltd Peristalic pump
US7475607B2 (en) * 2004-01-08 2009-01-13 Honeywell International Inc. Sensing apparatus with an integrated gasket on a beam component
KR101291439B1 (ko) * 2004-01-23 2013-07-31 알러간, 인코포레이티드 해제가능하게 고정할 수 있는 일체형의 조절가능한 위밴드
ATE323861T1 (de) * 2004-02-11 2006-05-15 Festo Ag & Co Piezoventil
DE102004010583B4 (de) * 2004-03-02 2006-01-12 Ab Skf Ölabscheider
EP1720710A1 (de) * 2004-03-03 2006-11-15 REA Elektronik GmbH Tintenstrahl-schreibkopf
ATE444045T1 (de) 2004-03-08 2009-10-15 Allergan Medical S A Verschlusssystem für röhrenförmige organe
DE102004017178A1 (de) * 2004-04-07 2005-11-03 Siemens Ag Vorrichtung und Verfahren zum Betätigen eines Ventils in einem mikromechanischen Gerät
WO2005110759A1 (de) * 2004-05-11 2005-11-24 Rea Elektronik Gmbh Tintenstrahl-schreibkopf
US8308457B2 (en) * 2004-11-24 2012-11-13 Q-Core Medical Ltd. Peristaltic infusion pump with locking mechanism
IL165365A0 (en) * 2004-11-24 2006-01-15 Q Core Ltd Finger-type peristaltic pump
US8251888B2 (en) * 2005-04-13 2012-08-28 Mitchell Steven Roslin Artificial gastric valve
US8043206B2 (en) 2006-01-04 2011-10-25 Allergan, Inc. Self-regulating gastric band with pressure data processing
IL179231A0 (en) * 2006-11-13 2007-03-08 Q Core Ltd A finger-type peristaltic pump comprising a ribbed anvil
US8535025B2 (en) 2006-11-13 2013-09-17 Q-Core Medical Ltd. Magnetically balanced finger-type peristaltic pump
IL179234A0 (en) * 2006-11-13 2007-03-08 Q Core Ltd An anti-free flow mechanism
WO2010042493A1 (en) 2008-10-06 2010-04-15 Allergan, Inc. Mechanical gastric band with cushions
US20100305397A1 (en) * 2008-10-06 2010-12-02 Allergan Medical Sarl Hydraulic-mechanical gastric band
US20100185049A1 (en) 2008-10-22 2010-07-22 Allergan, Inc. Dome and screw valves for remotely adjustable gastric banding systems
WO2010048280A1 (en) * 2008-10-22 2010-04-29 Allergan, Inc. Electrically activated valve for implantable fluid handling system
US8142400B2 (en) * 2009-12-22 2012-03-27 Q-Core Medical Ltd. Peristaltic pump with bi-directional pressure sensor
US8371832B2 (en) 2009-12-22 2013-02-12 Q-Core Medical Ltd. Peristaltic pump with linear flow control
US20110201874A1 (en) * 2010-02-12 2011-08-18 Allergan, Inc. Remotely adjustable gastric banding system
US8678993B2 (en) * 2010-02-12 2014-03-25 Apollo Endosurgery, Inc. Remotely adjustable gastric banding system
US8758221B2 (en) 2010-02-24 2014-06-24 Apollo Endosurgery, Inc. Source reservoir with potential energy for remotely adjustable gastric banding system
US8764624B2 (en) * 2010-02-25 2014-07-01 Apollo Endosurgery, Inc. Inductively powered remotely adjustable gastric banding system
US8840541B2 (en) * 2010-02-25 2014-09-23 Apollo Endosurgery, Inc. Pressure sensing gastric banding system
EP2558147A4 (en) 2010-04-12 2014-12-17 Q Core Medical Ltd AIR TRAP FOR AN INTRAVENOUS PUMP
US9028394B2 (en) 2010-04-29 2015-05-12 Apollo Endosurgery, Inc. Self-adjusting mechanical gastric band
US20110270024A1 (en) 2010-04-29 2011-11-03 Allergan, Inc. Self-adjusting gastric band having various compliant components
US9044298B2 (en) 2010-04-29 2015-06-02 Apollo Endosurgery, Inc. Self-adjusting gastric band
US9226840B2 (en) 2010-06-03 2016-01-05 Apollo Endosurgery, Inc. Magnetically coupled implantable pump system and method
US8517915B2 (en) 2010-06-10 2013-08-27 Allergan, Inc. Remotely adjustable gastric banding system
US9211207B2 (en) 2010-08-18 2015-12-15 Apollo Endosurgery, Inc. Power regulated implant
US8698373B2 (en) 2010-08-18 2014-04-15 Apollo Endosurgery, Inc. Pare piezo power with energy recovery
US20120059216A1 (en) 2010-09-07 2012-03-08 Allergan, Inc. Remotely adjustable gastric banding system
US9315030B2 (en) 2011-01-07 2016-04-19 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid container having plurality of chambers and valves
CN103282208B (zh) 2011-01-07 2015-05-20 惠普发展公司，有限责任合伙企业 具有多个腔室的流体容器
US8998393B2 (en) * 2011-01-07 2015-04-07 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Integrated multifunctional valve device
WO2012095829A2 (en) 2011-01-16 2012-07-19 Q-Core Medical Ltd. Methods, apparatus and systems for medical device communication, control and localization
EP2723438A4 (en) 2011-06-27 2015-07-29 Q Core Medical Ltd METHOD, CIRCUITS, DEVICES, PACKAGING AND SYSTEMS FOR IDENTIFYING THE CALIBRATION NEED FOR A MEDICAL INFUSION SYSTEM
US8876694B2 (en) 2011-12-07 2014-11-04 Apollo Endosurgery, Inc. Tube connector with a guiding tip
US8961394B2 (en) 2011-12-20 2015-02-24 Apollo Endosurgery, Inc. Self-sealing fluid joint for use with a gastric band
WO2014060845A1 (en) * 2012-09-12 2014-04-24 Funai Electric Co., Ltd. Maintenance valves for micro-fluid ejection heads
US9855110B2 (en) 2013-02-05 2018-01-02 Q-Core Medical Ltd. Methods, apparatus and systems for operating a medical device including an accelerometer
GB2516847A (en) * 2013-07-31 2015-02-11 Ingegneria Ceramica S R L An Improved Actuator For A Printhead
CN105782459A (zh) * 2014-12-19 2016-07-20 昆达电脑科技(昆山)有限公司 依湿度自动开关的阀
TWI599868B (zh) * 2016-09-05 2017-09-21 研能科技股份有限公司 流體控制裝置之製造方法
WO2019215668A1 (en) 2018-05-11 2019-11-14 Matthews International Corporation Micro-valves for use in jetting assemblies
US10994535B2 (en) 2018-05-11 2021-05-04 Matthews International Corporation Systems and methods for controlling operation of micro-valves for use in jetting assemblies
US11639057B2 (en) 2018-05-11 2023-05-02 Matthews International Corporation Methods of fabricating micro-valves and jetting assemblies including such micro-valves
CN116394655A (zh) 2018-05-11 2023-07-07 马修斯国际公司 用于密封喷射组件中使用的微型阀的系统和方法
BR112020022990A2 (pt) 2018-05-11 2021-02-02 Matthews International Corporation microválvula e conjunto de jateamento
GB2583059B (en) 2019-01-30 2024-01-31 Cn Bio Innovations Ltd A microvalve, and a multi-directional valve apparatus
ES2933693T3 (es) 2019-11-18 2023-02-13 Eitan Medical Ltd Prueba rápida para bomba médica
DE102020002351A1 (de) * 2020-04-19 2021-10-21 Exel Industries Sa Druckkopf mit mikropneumatischer Steuereinheit

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB853469A (en) * 1955-12-21 1960-11-09 Baird & Tatlock Ltd Improvements in or relating to valves for controlling fluid flow
GB901226A (en) * 1959-01-16 1962-07-18 Council Scient Ind Res Improvements in fluid flow controllers
GB963051A (en) * 1961-10-16 1964-07-08 Jose Marlet Barrera Improved valve for liquids
US3456669A (en) * 1966-10-20 1969-07-22 Fisher Governor Co Piezoelectric transducer
GB1270879A (en) * 1969-10-30 1972-04-19 Santon Ltd Electrically controlled valve
US3614486A (en) * 1969-11-10 1971-10-19 Physics Int Co Lever motion multiplier driven by electroexpansive material
DE2042066B2 (de) * 1970-08-25 1971-10-14 Mersch Fonderies Atel Membranventil
DE2226365A1 (de) * 1971-06-02 1972-12-14 British Oxygen Co Ltd Einlaßventil, insbesondere für Unterdruckbehälter
DE2426748C3 (de) * 1974-06-01 1979-10-11 Buerkert Gmbh, 7118 Ingelfingen Mehrwegemagnetventil für aggressive Medien
US4011474A (en) * 1974-10-03 1977-03-08 Pz Technology, Inc. Piezoelectric stack insulation
DE2527647C3 (de) * 1975-06-20 1981-06-25 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Mit Flüssigkeitströpfchen arbeitendes Schreibgerät
US4032929A (en) * 1975-10-28 1977-06-28 Xerox Corporation High density linear array ink jet assembly
US4099700A (en) * 1977-02-16 1978-07-11 Wen Young Flow control device for fluids flowing in a closed conduit
DE2752549A1 (de) * 1977-11-24 1979-06-07 Boehringer Mannheim Gmbh Ventil zur steuerung von stroemungsmedien
GB1593495A (en) * 1978-02-24 1981-07-15 Ti Domestic Appliances Ltd Thermally actuated gas flow control valve assemblies
US4340083A (en) * 1978-11-30 1982-07-20 Carleton Controls Corporation Deflectable beam valve
DE2918377A1 (de) * 1979-05-07 1980-11-20 Schenck Ag Carl Ventil fuer stroemende medien
US4318023A (en) * 1980-02-21 1982-03-02 Physics International Company Sagittally amplified piezoelectric actuator
JPS57136859U (ja) * 1981-02-18 1982-08-26

Also Published As

Publication number Publication date
IL70200A (en) 1987-11-30
DK516383D0 (da) 1983-11-11
US4450375A (en) 1984-05-22
ZA838426B (en) 1985-07-31
DE3371113D1 (en) 1987-05-27
GB2131130B (en) 1986-03-19
EP0109239B1 (en) 1987-04-22
IE832642L (en) 1984-05-12
DK516383A (da) 1984-05-13
CA1218640A (en) 1987-03-03
AU2117783A (en) 1984-05-17
ATE26749T1 (de) 1987-05-15
KR890000076B1 (ko) 1989-03-07
EP0109239A1 (en) 1984-05-23
IL70200A0 (en) 1984-02-29
GB8329539D0 (en) 1983-12-07
IE54778B1 (en) 1990-01-31
HK84686A (en) 1986-11-14
KR840006517A (ko) 1984-11-30
GB2131130A (en) 1984-06-13
AU559913B2 (en) 1987-03-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS59140980A (ja) 圧電式流体制御装置
KR100352781B1 (ko) 압전형 밸브
US7198250B2 (en) Piezoelectric actuator and pump using same
US5096643A (en) Method of manufacturing microvalves
EP1289658B1 (en) Valve for use in microfluidic structures
US6224728B1 (en) Valve for fluid control
WO1987002514A1 (en) Mounting for piezoelectric bender of fluid control device
US20090250021A1 (en) Fluid control systems employing compliant electroactive materials
US20070075286A1 (en) Piezoelectric valves drive
JP4673213B2 (ja) マイクロバルブユニット
US20070251589A1 (en) Valve mechanism and flow channel substrate
US6490960B1 (en) Muscle-emulating PC board actuator
US4560871A (en) Actuator for control valves and related systems
US6007046A (en) Fluid transport circuit and valve structure therefor
JPH07501124A (ja) 微小機械式配量装置用の微小機械式弁
US4771204A (en) Sealing method and means for fluid control device
JPH07158757A (ja) マイクロバルブ
JPH0313457B2 (ja)
JPS6342153B2 (ja)
CA2308470A1 (en) A valve arrangement
US11353140B2 (en) Two port mems silicon flow control valve
US20150252914A1 (en) Microvalve device and fluid flow control method
JPS62171570A (ja) 開閉弁
US6378990B2 (en) Nozzle arrangement for an ink jet printhead incorporating a linear spring mechanism
JPH0511641B2 (ja)