DE2918377A1 - Ventil fuer stroemende medien - Google Patents

Ventil fuer stroemende medien

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Andreas Ing Grad Pohl
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Carl Schenck AG
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    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/004Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by piezoelectric means
    • F16K31/007Piezoelectric stacks
    • F16K31/008Piezoelectric stacks for sliding valves

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
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  • Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)

Description

  • Ventil für strömende Medien Die Erfindung betrifft ein Ventil für strömende Medien mit einem Ventilgrundkörper mit Ourchflußkanälen und einem einen Durchflußquerschnitt für ein zu steuerndes Medium beeinflussenden Steuerteil.
  • Bei bekannten Ventilen, insbesondere bei solchen für hohe Einstell- oder Ansprechgeschwindigkeiten, z.B. bei servohydraulischen Ventilen, wird eine elektromagnetische Ansteuerung, gegebenenfalls mit Zwischenverstärkern verwendet. Solche Ventile sind jedoch nur bis zu bestimmten Frequenzen verwendbar und daher in ihrem Frequenzbereich nach oben begrenzt.
  • Auch ihr Regelverhalten ist nicht immer befriedigend, da bei höheren Frequenzen ein Amplitudenabfall und eine Phasenverschiebung zwischen Eingangs- und Ausgangssignal auftritt.
  • Eine elektromagnetische Anstewsung wird auch für andere Ventile, wie Proportionalventile und Schaltventile beliebiger Art vorgesehen.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Ventil für strömende Medien zu schaffen, das insbesondere für einen hohen Frequenzbereich verwendbar ist, ein genaues Regelverhalten aufweist und besonders feinfühlig einstellbar ist. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäR durch die in den Patentansprüchen angegebenen Merkmale gelöst, die auch vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung erfassen.
  • Nach der Erfindung werden piezoelektrische Elemente als Absperr- oder Betätigungselemente für Ventile für strömende Medien eingesetzt. Der piezoelektrische Effekt ist in der Technik bekannt. Wenn man bestimmte Kristalle durch mechanische Beanspruchung verformt, werden elektrische Ladungen auf ihnen erzeugt. Auch die Umkehrung des piezoelektrischen Effekts oder Piezoeffekts ist bekannt, d.h. die gleichen Materiaiien ändern unter dem Einfluß einer elektrischen Ladung ihre Abmessungen. Kristalle oder piezoelektrische Elemente, bei denen solche Erscheinungen auftreten, sind z.B. Duarzkristalle oder synthetisch hergestellte Keramikelemente (Metalloxyde).
  • Die Eigenfrequenz von Ventilen mit piezoelektrischen Elementen liegt um einige Zehnerpotenzen über der Eigenfrequenz von Ventilen bekannter Art und reicht in den Megahertz-Bereich.
  • Dadurch läßt sich ein genaues Regelverhalten besonders bei hohen Frsquenzen erzielen, ohne daß ein Amplitudenabfall td.h. eine Verringerung der Ventilöffnung) oder eine Phasenversfiebung (zwischen dem elektrischen Eingangssignal und z.B. dem VentildurchfluB) eintritt. Die sehr kleinen Verformungen bzw. Wege, die bei piezoelektrischen Elementen beim Anlagen einer Spannung auftreten, bringen es mit sich, daß mit solchen Elementen eine besonders genaue und feinfühlige Ventileinstellung und zwar sowohl bei statischem als auch bei dynamischem Betrieb möglich ist.
  • Das erfindungsgemäße Ventil kann für beliebige flüssige und gasförmige Medien, z.B. für die Steuerung von Durchflüssen oder Drücken verwendet werden und beispielsweise als Steuer-, Regel- oder Schaltventil eingesetzt werden. Durch mehrere, in geeigneter Weise zusammengeschaltete Ventile kann ein leckfrei arbeitendes Servoventil hergestellt werden.
  • Die Erfindung wird nachstehend mit Ausführungsbeispielen in den Zeichnungen schematisch dargestellt und näher erläutert.
  • Es zeigen: Fig. 1 und 2 ein Durchflußregelventil mit einem piezoelektrischen Absperrelement (Fig. 1 Längsschnitt, Fig. 2 Querschnitt) Fig. 3 a bis Beispiele für Ausführungsformen von Ventilen f mit piezoelektrischen Elementen Fig. 4 ein hydraulisches Servoventil mit einem piezoelektrischen Betätigungselement Fig. 5 Digitalventil mit piezoelektrischen Elementen Fig. 6 Mehrwegeventil mit piezoelektrischen Elementen Fig. 7 hyfraulischer Belastungszylinder mit angebauten piezoelektrischen Ventilen.
  • In Fig. 1 und 2 ist ein Ventil dargestellt, das einen Durchfluß sperrt, freigibt oder ändert. In einem Ventilgrundkörper 1 sind Druckmittelzuführungskanäle 2, 2' und Druckmittelabführungskanäle 3, 8 zum Verbraucht angeordnet. Der Grundkörper 1 kann hierbei, wie in der Zeichnung angedeutet, beispielsweise zweiteilig ausgeführt und durch 5chraubwrbindungen 4, 4' druckmitteldicht verbunden sein. In den Zuführungskanälen 2, 2' ist ein piezoelektrisches Element 5 angeordnet. Oieses Element ist als kurzer Zylinder ausgebildet, der an seinem Umfang im Grundkörper 1 geführt-ist (siehe Fig. 2).
  • Das piezoelektrische Element 5 hat im Ruhezustand in Achsrichtung die Länge 1. Hierbei kann es durch eine angelegte Spannung bereits vorgespannt sein. Durch die Spannung kann auch ein in den Zuführungskanälen 2, 2' auf das Element wirkender Druck kompensiert werden. Das Element liegt mit beiden Stirnflächen am Grundkörper 1 an und sperrt dabei den Durchfluß des Druckmittels Q, 4' von den Druckmittelzuführungskanälen 2, 2' zum Druckmittelabführungskanal 3 leckfrei ab.
  • Wird an das piezoelektrische Element 5 eine geeignete elektrische Spannung U angelegt, so verkürzt sich das Element in Achsrichtung, beispielsweise um den Betrag 1. Dadurch entstehen Spalte 6, 6'. Das Druckmittel 0, Q' kann jetzt über de Spalte 6, 6' sowie im Grundkörper 1 angeordnete Nuten 7 und Abführungskanäle 8 und 3 als Durchfluß Qv zum Verbraucher fließen. Die Durchflußrichtung kann auch umgekehrt werden so daß das Druckmittel bei 3 zufließen und bei 2 und 2' abfließen kann.
  • Die Kennlinie eines piezoelektrischen Elements, d.h. die Beziehung zwischen mechanischer Verformung bzw. mechanischer Spannung und elektrischer Spannung ist im allgemeinen nicht linear. Nichtlinearitäten und Hystereseerscheinungen können jedoch durch geeignste Kompensationseinrichtungen ausgeglichen werden.
  • Et dem beschriebenen Ventil kann sowoh-l der Durchfluß als auch der Druck in einem angeschlossenen Verbraucher gesteuert oder geregelt werden. Hierzu wird lediglich die an das piezoelektrische Element 5 angelegte Spannung U verändert. Da das piezoelektrische Element eine sehr hohe Eigenfrequenz hat, können Durchflüsse bzw. Drücke mit entsprechend hoher Frequenz gesteuert bzw. geregelt werden, ohne daß eine Durchflußänderung oder eine Phasenverschiebung zwischen Eingangssignal (der angelegten Spannung) und Ausgangssignal (z.B.
  • dem Ventildurchfluß) auftritt. Ein solches Ventil eignet sich daher z. a. besonders für hydraulische Regelkreise zur Nachbildung von hochfrequenten Schwingungen in Prüfeinrichtungen.
  • In den Figuren 3a bis 3f sind einige weitere Ausführungsformen von Ventilen mit möglichen Anordnungen von piezoelektrischen Elementen stark vereinfacht dargestellt. Der Ventilgrundkörper mit den Druckmittelkanälen ist jeweils mit 1 und das piezoelektrische Element mit 5 bezeichnet. Die Schließstellung des Ventils bzw. piezoelektrischen Elements ist voll, die Offnungsstellung gestrichelt gezeichnet. Die Pfeile geben die Durchflußrichtung an, wobei im allgemeinen auch eine Umkehrung möglich ist.
  • Das piezoelektrische Element 5 kann bei den in den Figuren 3 a bis e dargestellten Anordnungen z.B. zylinderförmig ausgebildet sein und einen runden Querschnitt aufweisen. Bei diesen Ausführungsformen wird praktisch nur eine Längenänderung, d.h. eine eindimensionale Änderung des Elements ausgenützt.
  • Bei den Ausführungsformen nach Fig. 3 a bis c, 3 e und 3 f wird das piezoelektrische Element an einer Stirnseite fest mit dem Ventilgrundkörper verbunden, bei der Ausführung nach Fig, 3 d ist das Element umfangseitig befestigt. Bei der Ausführung 3c ist das piezoelektrische Element in einer elastischen Hülse 12 druckmitteldicht aufgenommen.
  • Bei der Ausführung nach Fig. 3 e ist das piezoelektrische Element 5 mit einem Absperrelement 10 verbunden, das mit einem Ventilsitz im Ventilgrundkörper zusammenwwirkt. Bei allen übrigen Ausführungsformen wirkt das piezoelektrische Element selbst als Absperrelement. Die Stimfläche des Absperrelements kann hierbei aus einem für Ventile bzw. Abdichtungen geeigneten Material bestehen. Je nach Form des Absperrelements und des Ventilsitzes ergeben sich unterschiedliche Spaltformen bei Öffnungsstellung des Ventils, z.B. Flachspalte (Fig. 3 c), Ringspalte (Fig. 3 a, 3 d), usw.
  • Bei der Ausführungsform nach Fig. 3 f kann das piezoelektrische Element beispielsweise einen quadratischen Qurschnitt aufweisen dadurch können zwei- oder dreidimensionale Abmessungsänderungen des Elements zur Beeinflussung des Durchflußquerschnitts ausgenutzt werden.
  • In Fig. 4 ist ein hydraulisches Servoventil 20 zur Steurung eies hydraulischen Belastungszylinders 21 dargestellt. Solche Anordnungen von Servoventilen und hydraulischen Belastungszylindern sind bekannt. Der Steuerschieber 22 des Servoventils 20 weist jedoch als Betätigungselement nicht ein übliches elektromagnet-sch wirkendes Element, sondern ein piezoelektrisches Element 25 auf. Dieses Element ändert bei elektrischer Ansteuerung seine Länge und verschiebt damit den Steuerschieber 22 des Servoventiis 20 in axialer Richtung ts. Doppelpfeil). Dadurch wird die Druckmittelzufuhr und damit z.B. die Druckmittelmenge oder der Druck in den Zylinderkammern 23, 2.3' gesteuert bzw. geregelt. Durch die Betätigung des Servoventils über ein piezoelektrisches Element läßt sich eine höhere Eigenfrequenz als bei bisher bekannten Servoventilen erreichen.
  • Digitale Ventilanordnungen können dadurch hergestellt werden, daß mehrere Ventile nach den Figuren 1 bis 3 mit unterschiedlochen Nenndurchflüssen in einem Ventilblock zusammengefaßt werden. Eine mogliche Ausführungsform für ein Digitalventil zeigt Fig. 5. Bei diesem Ausführungsbeispiel sind 4 Ventile I bis IV für unterschiedlich große Durchflüsse in einem Grundkörper 11 zusammengefaßt. Die piezoelektrischen Elemente 5, die als flache Zylinder dargestellt sind und zum Beispiel einen kreisförmigen Ouerschnitt aufweisen können, wirken unmittelbar als Abperrelemente. Eine Stirnseite der piezoelektrischen Elemente 5 ist fest mit dem Grundkörper 11 verbunden, die andere Stirnseite wirkt mit den im Grundkörper angeordneten kegelförmigen Ventilsitzen (bei Ventil IV in der Figur mit 13 angedeutet) zusammen und sperrt die Ventilöffnung ab oder gibt sie frei. Bei freigegebener Ventilöffnung entstehen im dargestellten Beispiel Ringspalte, durch die das Druckmittel über Verbindungskanäle 14 zum Verbraucher fließen kann.
  • Die Schließstellung der Absperrelemente 5 ist voll, die Öffnungsstellung gestrichelt gezeichnet. Die Durchflußrichtung ist durch Pfeile angegeben. Sie ist auch hier umkehrbar.
  • Die Ventile I bis IV können einzeln oder in beliebigen Kombinationen geschaltet werden. Für die einzelnen Ventile kann beispielsweise eine geometrische Stufung der Durchflußquerschnitte vorgesehen werden. Auf diese Weise läßt sich mit einer entsprechenden elektrischen Schaltung bei digitalen Ventilen mit wenigen Ventileinheiten eine sehr feine Stufung der Durchflußmenge über einen weiten Arbeitsbereich erreichen.
  • Durch Zusammenschaltung mehrerer gleicher Einzelventile können Mehrwegeventile hergestellt werden. Ein einfaches Ausführungsbeispiel eines solchen Ventils ist in Fig. 6 dargestellt. In einem Grundkörper sind zwei Ventile V1 und V2 mit piezoelektrischen Elementen angeordnet. Die Ventile können z.B. entsprechend Fig. 3 a ausgeführt sein. Das Mehrwegeventil weist drei Anschlüsse A, B und P auf. Die Anschlüsse A und P können z.P. Verbraucheranschlüsse sein, der Anschluß P kann z.B. von einer Druckmittelpumpe kommen. Mit dem Ventil sind vier Schaltstellungen möglich: beide Ventile V1 und V2 offen oder geschlossen; nur Ventil V1 offen; nur Ventil V2 offen. In ähnlicher Weise können durch Kombination von Einzelventilen Wegeventile beliebiger Art mit den vrschiedensten Verbrauciranschlüssen hergestellt werden.
  • Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 7 bilden die Ventile V1 bis V4 ebenfalls ein Mehrwegeventil. Die Ventile mit piezoelektrischen Elementen sind unmittelbar am Verbraucher, im dargestellten Beispiel einem hydraulischen Belastungszylinder, angebaut. Sie wirken bei entspechender Schaltung wie ein hydraulisches Servoventil.
  • Das von einer Pumpe P kommende Druckmittel wird über die Ventile V1 oder V2 dem Zylinderraum A oder B des Belastungszylinders zugeführt und wirkt auf den Kolben K. Die Ventile V3 und V4 sperren die Rüddaufleitungen RA und RB ab bzw. geben sie frei. Über die Rüddaufleitungen RA, RB und R kann das Druckmittel in den Vorratsbehälter T zurückgeführt werden.
  • Wenn die dargestellte Anordnung als Servoventil arbeitet, werden im allgemeinen drei Schaltstellungen verwendet: Schaltstellung 1: alle Ventile geschlossen, Kolben K befindet sich in Ruhestellung, es tritt kein Leckfluß auf.
  • Schaltstellung 2: V1 und V4 geöffnet, Kolben K bewegt sich nach rechts Schaltstellung 3: V2 und V3 geöffnet, Kolben K bewegt sich nach links.
  • Die Einzelventile können hierbei je nach Ansteuerung unterschiedlich weit geöffnet werden, so daß - wie bei bekannten Servoventilen - jeweils beliebige Zwischenstellungen zwischen dem geschlossenen und dem vollständig geöffneten Zustand möglich sind. Da die Ventile unabhängig voneinander geschaltet werden können, ist es darüberhinaus möglich, den K.aftverlauf im Belastungszylinder zusätzlich zu beeinflussen. So kann z.B.
  • bei Stoßvorgängen das Auslaßventil (z.B. V4) bereits bei noch offenem Einlaßventil Cz.B. V1) geschlossen werden. Dadurch lassen sich hohe Verzögerungen bzw. ein besonders steilsr Kraftanstieg erzielen. Die im Belastungszylinder auftretenden Drücke können dabei erheblich über dem Systemdruck liegen.
  • Die Ventile V1 bis V4 können zusätzlich als Druckmeßelemente ausgebildet sein. Die elektrische Schaltung und Beaufschlagung der Ventile muß entsprechend ausgeführt und abgestimmt sein.
  • Auf diese Weise ist es möglich mit der dargestellten Ventilanordnung auch den Druck im Belastungszylinder bzw. die vom Kolben ausgeübte Kraft zu messen und gegebenenfalls zu steuern oder zu regeln. Die gleichzeitige Verwendung der piezoelektrischen Elemente als Absperr- und Druckmeßelement kann auch bei den meisten anderen Ausführungsbeispielen vorgesehen werden.
  • Le e r s e i t e

Claims (11)

  1. Ventil für strömende Medien Patentansprüche: P1 Ventil für strömende Medien mit einem Ventilgrundkörper mit Durchflußkanälen und einem einen Durchflußquerschnitt für ein zu steuerndes Medium beeinflussenden Steuerteil, dadurch gekennzeichnet, daß das Steuerteil ein piezoelektrisches Element (5, 25) enthält, das sich bei Anlegen einer Spannung verformt und das so ausgebildet und angeordnet ist, daß es bei elektrischer Ansteuerung den Durchflußquerschnitt des Ventils beeinflußt.
  2. 2. Ventil. nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,d3ß das piezoelektrische Element (5) als Absperrelement ausgebildet ist und unmittelbar den Durchflußquerschnitt des Ventils beeinflußt.
  3. 3. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das piezoelektrische Element (25) als Betätigungselement für ein Absperrelement (10) oder einen Ventilschieber (22) ausgebildet ist und mittelbar über das Absperrelement 610) oder den Ventilschieber (22) den Durchflußquerschnitt beeinflußt.
  4. 4. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das piezoelektrische Element (5, 25) als scheiben- oder zylinderförmiges Element ausgebildet ist, das sich bei elektrischer Ansteuerung im wesentlichen in Richtung der Scheiben- oder Zylinderachse verformt.
  5. 5. Ventil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß sich das piezoelektrische Element (5) bei elektrischer Ansteuerung mehrdimensional verformt.
  6. 6. Ventil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Ventile für unterschiedlich große Durchflüsse zusammengebaut sind und ein Digitalventil bilden.
  7. 7. Ventil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Ventile zusammengebaut und als Mehrwegeventil ausgebildet sind.
  8. 8. Ventil nach Anspruch 7, das als Mehrwegeventil ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Einzelventile unmittelbar an einem Verbraucher angebaut sind.
  9. 9. Ventil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Absperrelement als Druckmeßelement ausgebildet ist.
  10. 10. Ventil nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Absperrelement bzw. der Ventildurchfluß druckabhängig gesteuert wird.
  11. 11. Ventil nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Absperrelement zur Steuerung der Druckmittelzu- und abführung und zur Kraftmessung an einem Hydraulikzylinder verwendet wird
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Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3116687A1 (de) * 1981-04-28 1982-11-11 Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart "elektrisch gesteuertes stellglied"
EP0109239A1 (de) * 1982-11-12 1984-05-23 Kiwi Coders Corporation Piezo-elektrisches Fluidsteuergerät
US4501406A (en) * 1982-07-15 1985-02-26 Centro Ricerche Fiat S.P.A. Shut-off device for a fluid
DE3608550A1 (de) * 1986-03-14 1987-09-17 Festo Kg Piezo-elektrisch betaetigbares ventil
DE3723287A1 (de) * 1987-07-15 1989-01-26 Kuhnke Gmbh Kg H Elektrisch betaetigbares ventil
US4828220A (en) * 1986-09-18 1989-05-09 Aisin Seiki Kabushiki Kaisha Control valve device
EP0368148A1 (de) * 1988-11-07 1990-05-16 Gmbh Hydraulik-Ring Kolbenschieberventil
DE4103665A1 (de) * 1991-02-07 1992-08-13 Teves Gmbh Alfred Elektromagnetisch betaetigtes ventil mit magnetostriktivem aktor
DE4135822A1 (de) * 1991-02-14 1992-08-20 Rexroth Mannesmann Gmbh Piezogesteuerter duesenwiderstand fuer hydraulikgeraete, insbesondere fuer pilotaufgaben bei servoventilen
US5314118A (en) * 1991-02-14 1994-05-24 Mannesmann Rexroth Gmbh Piezoelectric controllable nozzle resistance for hydraulic apparatus
DE4412948A1 (de) * 1994-04-14 1995-10-19 Siemens Ag Elektrohydraulische Absperrvorrichtung
EP0884511A2 (de) * 1997-06-09 1998-12-16 Bürkert Werke GmbH & Co. Miniaturisierte Ventileinrichtung
WO1999061827A1 (en) * 1998-05-27 1999-12-02 Pbt (Ip) Limited Electrically controllable valve
DE102008063186A1 (de) * 2008-12-29 2010-07-01 Robert Bosch Gmbh Ventil und Verfahren zum Betätigen desselben

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3116687A1 (de) * 1981-04-28 1982-11-11 Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart "elektrisch gesteuertes stellglied"
US4501406A (en) * 1982-07-15 1985-02-26 Centro Ricerche Fiat S.P.A. Shut-off device for a fluid
EP0109239A1 (de) * 1982-11-12 1984-05-23 Kiwi Coders Corporation Piezo-elektrisches Fluidsteuergerät
DE3608550A1 (de) * 1986-03-14 1987-09-17 Festo Kg Piezo-elektrisch betaetigbares ventil
US4828220A (en) * 1986-09-18 1989-05-09 Aisin Seiki Kabushiki Kaisha Control valve device
DE3723287A1 (de) * 1987-07-15 1989-01-26 Kuhnke Gmbh Kg H Elektrisch betaetigbares ventil
EP0368148A1 (de) * 1988-11-07 1990-05-16 Gmbh Hydraulik-Ring Kolbenschieberventil
DE4103665A1 (de) * 1991-02-07 1992-08-13 Teves Gmbh Alfred Elektromagnetisch betaetigtes ventil mit magnetostriktivem aktor
DE4135822C2 (de) * 1991-02-14 1998-04-09 Rexroth Mannesmann Gmbh Vorrichtung zur Erzeugung eines hydraulischen Signals entsprechend einem elektrischen Signal
DE4135822A1 (de) * 1991-02-14 1992-08-20 Rexroth Mannesmann Gmbh Piezogesteuerter duesenwiderstand fuer hydraulikgeraete, insbesondere fuer pilotaufgaben bei servoventilen
US5314118A (en) * 1991-02-14 1994-05-24 Mannesmann Rexroth Gmbh Piezoelectric controllable nozzle resistance for hydraulic apparatus
DE4412948A1 (de) * 1994-04-14 1995-10-19 Siemens Ag Elektrohydraulische Absperrvorrichtung
DE4412948C2 (de) * 1994-04-14 1998-07-23 Siemens Ag Elektrohydraulische Absperrvorrichtung
US5857662A (en) * 1994-04-14 1999-01-12 Siemens Aktiengesellschaft Electrohydraulic stop device
EP0884511A2 (de) * 1997-06-09 1998-12-16 Bürkert Werke GmbH & Co. Miniaturisierte Ventileinrichtung
EP0884511A3 (de) * 1997-06-09 1999-04-07 Bürkert Werke GmbH & Co. Miniaturisierte Ventileinrichtung
US6076555A (en) * 1997-06-09 2000-06-20 Burkert Werke Gmbh & Co. Miniaturized valve mechanism
WO1999061827A1 (en) * 1998-05-27 1999-12-02 Pbt (Ip) Limited Electrically controllable valve
US6439539B1 (en) 1998-05-27 2002-08-27 Pbt (Ip) Ltd Electrically controllable valve
DE102008063186A1 (de) * 2008-12-29 2010-07-01 Robert Bosch Gmbh Ventil und Verfahren zum Betätigen desselben

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