DE4135822C2 - Vorrichtung zur Erzeugung eines hydraulischen Signals entsprechend einem elektrischen Signal - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Erzeugung eines hydraulischen Signals entsprechend einem elektrischen Signal. Diese Vorrichtung ist insbesondere in einem zwei- oder mehrstufigen Servoventil verwendbar.

Aus der DE-PS 17 76 142 ist eine Vorrichtung zum Einstellen der Lage eines mechanischen Elements mittels eines elektroexpansiven Moduls bekannt. Als Beispiel für einen elektroexpansiven Stoff wird ein piezoelektrischer Stoff erwähnt. Der Modul weist eine Abschlußfläche auf, welche eine mit Flüssigkeit gefüllte Kammer begrenzt. Diese Kammer steht mit einer ersten Schieberventilkammer in Verbindung, in der ein erster Schieberventilkörper verschiebbar angeordnet ist. Dieser erste Schieberventilkörper kann durch Anlegen unterschiedlicher Spannungen an den elektroexpansiven Modul aus einer Mittellage in die eine oder andere Richtung verschoben werden. Zum Einstellen der Lage des erwähnten mechanischen Elements ist ferner ein zweiter Schieber­ ventilkörper in einer zweiten Schieberventilkammer vorgesehen, die mit der ersten Schieberventilkammer in Verbindung steht. Die zuerst erwähnte mit Flüssigkeit gefüllte Kammer ist flüssigkeitsdicht ausgebildet und der erste Schieberventil­ körper wird von einer Feder entgegen dem Druck in der Kammer in seiner Mittellage gehalten, um sodann je nach eingenommener Lage Flüssigkeitsein- bzw. Auslässe zur zweiten Schieberven­ tilkammer vorzusehen oder zu blockieren, um die gewünschte Bewegung des mechanischen Elements zu bewirken.

Die GB-PS 1 217 225 beschreibt eine Strömungsmittelsteuervor­ richtung, bei dem Strömungsmittel in eine Kammer durch einen Einlaß eintritt und diese Kammer durch einen Auslaß verläßt. Benachbart zum Einlaß und/oder Auslaß ist ein Prallelement vorgesehen, welches einen Spalt bildet und so auf das Strömungsmittel einwirkt. Dieses Prallelement ist an einer piezoelektrischen Einheit angeordnet, die ihrerseits durch elektrische Signale ansteuerbar ist.

Die DE-OS 24 17 450 beschreibt einen elektrohydraulischen Signalumwandler, bei dem Stromwärmeunterschiede eines elektrischen Steuerstroms in Viskositätsunterschiede einer Arbeitsflüssigkeit umgewandelt werden. Dieser bekannte elektrohydraulische Signalumwandler kann als Vorsteuerstufe für Proportional und/oder Servoventile zum Aufbau einer vollen Brücke und einem Freistrahlverstärker mit Drucksteuerung geschaltet sein. Die Viskositätsunterschiede werden durch die Peltier-Wärme eines Peltier-Elements erzeugt.

Die DE-OS 25 11 752 zeigt eine Signalwandlersture für elek­ trisch ansteuerbare Ventile, in der Piezo-Kristallkörper in einer strömungsabhängigen Steuervorrichtung so eingesetzt wer­ den, daß diese bei ihrer Ansteuerung ein Drucksignal für ein Stellorgan der Ventilstufe erzeugen.

Die DE-OS 29 18 377 zeigt ein Ventil für strömende Medien, bei dem piezo-elektrische Elemente unmittelbar an einem hydrauli­ schen Belastungszylinder angebaut sind. Sie wirken bei ent­ sprechender Schaltung wie ein hydraulisches Servoventil. Die Ventile können kreuzweise geöffnet werden, so daß sich ein Kolben im Belastungszylinder in unterschiedlichen Richtungen bewegen läßt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, praktisch die erste Stufe eines verbesserten mehrstufigen, insbesondere zweistufi­ gen Servoventils vorzusehen.

Üblicherweise besteht diese erste Stufe bei Servoventilen aus einem sogenannten Steuermotor und einem hydraulischen Verstär­ ker. Vergleiche dazu Seite 150 des Buches "Der Hydrauliktrai­ ner", herausgegeben von Mannesmann Rexroth, 1981. Diese erste Stufe wandelt ein an den Steuermotor angelegtes elektrisches Steuersignal in ein hydraulisches Steuersignal um, welches die zweite Stufe betätigt.

Zur Erreichung dieses Ziels sieht die Erfindung eine Vorrich­ tung zur Erzeugung eines hydraulischen Signals entsprechend einem elektrischem Signal, insbesondere als erste Stufe eines zwei- oder mehrstufigen Servoventils vor, wobei die in den An­ sprüchen 1 und 4 genannten Maßnahmen vorgesehen sind.

Bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den jeweiligen Unteransprüchen.

Gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung wird ein piezo­ gesteuerter Düsenwiderstand für Hydraulikgeräte vorgesehen. Der piezogesteuerte Düsenwider­ stand ist ein kompaktes, in sich abgeschlossenes und justiertes Element, welches als eine vorgeprüfte Einheit zu betrachten ist. Es sind keine mechanisch bewegten Bauelemente vorhanden, die Reibung und Verschleiß erzeugen könnten. Die erfindungsgemäßen, vorzugsweise in der Form von Einzelelemen­ ten ausgebildeten, Düsenwiderstände lassen eine gute Service­ möglichkeit zu. Die hohe Steifigkeit der in den Düsenwider­ ständen verwendeten Piezotranslatoren gewährt eine hohe Nullstabilität.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung werden die erfindungsgemäßen Düsenwiderstände für Pilotaufgaben bei Servoventilen eingesetzt. Da die Resonanzfrequenz der Piezotranslatoren, bzw. Piezoscheiben im Kleinsignalbereich bei ca. 10 kHz liegt und diese verzögerungsfrei auf die Hydraulik übertragen wird, kann eine hohe Regelgüte in Verbindung mit einer Lageregelung des Steuerkolbens oder des Piezostellweges erreicht werden. Die angesprochene Lagerück­ führung eliminiert die physikalische bedingte Hysterese der Piezoscheiben je nach elektrischer Regelkreisverstärkung.

Durch Anlegen einer polarisierten Spannung an das Piezoelement expandiert dieses proportional zu dieser angelegten Spannung. Dadurch wird in dem das Piezoelement enthaltenden Düsenwider­ stand der Austrittsquerschnitt aus der Düse beendet, daß heißt der Düsenwiderstand wird vergrößert oder verkleinert.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung wird wegen der sehr großen Piezostellkraft und der sonst eintretenden Düsenbeschädigung die Steuerspannung für das Piezoelement elektrisch derart begrenzt, daß keine mechanische Berührung zwischen dem Piezoelement bzw. einer von diesen getragenen Prallplatte und der im Düsenwiderstand vorhandenen Düse erfolgt.

Vorzugsweise wird als Steuersignal eine hochstabilisierte Spannungsquelle verwendet, um so das extrem hohe Auflösungsver­ mögen des Piezotranslators ausnutzen zu können. Zusätzlich ist die Spannung durch eine Zehnerdiode auf die maximal zulässige Spannung aus Sicherheitsgründen begrenzt. Diese Spannungs­ quelle verstärkt das Regelsignal über einen Spannungsverstär­ ker auf die für das Piezoelement erforderliche Spannung.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird der piezo­ gesteuerte Düsenwiderstand für Pilotaufgaben bei Servoventilen verwendet. Der Steuerkolben eines Servoventils wird über­ wiegend mit delta P und delta Q in die Regelposition gebracht und dort positioniert. Erfindungsgemäß wird dies dadurch erreicht, daß man zwei Widerstandselemente mit vorgesteuerter Festdüse und hydraulischem Mittenabgriff vorsieht und diese Anordnung doppelt ausführt, um so die Auslenkung eines Steuerkolbens mit beidseitiger Druckbeaufschlagung vorzusehen. Dabei müssen zur richtigen Funktion immer zwei Düsenwider­ stände gleichzeitig analog angesteuert werden. Welches Düsenwiderstandspaar erforderlich ist, ergibt sich über eine Schaltlogik aus der Polarität der Regelabweichung der Steuerkolbenstellung. Bei Regelabweichung "Null" ist kein Widerstandselement angesteuert. Die gleichzeitige Ansteuerung der Eingangsdüse auf der einen Systemseite und gleichzeitig der Ablaufdüse auf der anderen Systemseite bewirken die gleichen Pilotausgangsdaten, wie das bekannte Düsen-Prallplattensystem.

Durch die obengenannte Kombination von Widerstandselementen kann eine höhere elektrische Verstärkung angewendet werden, da die hydraulische Verstärkung reduziert ist.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung ist es möglich, die Piezoelemente oder Piezostapel vorzuspannen, damit ein Hub in Plus und Minusrichtung getätigt werden kann und die hydrau­ lische Leistung nochmals vergrößert wird. Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung ist es nämlich möglich, zwei Widerstands­ elemente in Reihe mit hydraulischen Mittenabgriff zu schalten und dies in doppelter Ausführung vorzusehen.

Je nach Anwendungsfall wird die eine oder die andere der obengenannten Kombinationen von Widerstandselementen eingesetzt.

Weitere Vorteile, Ziele und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnung; In der Zeichnung zeigt:

Fig. 1 einen Längsschnitt durch einen erfindungsgemäßen regelbaren Düsenwiderstand;

Fig. 2 einen ersten Anwendungsfall des Düsenwiderstands gemäß Fig. 1;

Fig. 3 einen zweiten Anwendungsfall des Düsenwiderstands gemäß Fig. 1;

Fig. 4 einen dritten Anwendungsfall des Düsenwiderstands gemäß Fig. 1;

Fig. 5 einen vierten Anwendungsfall des erfindungsgemäßen Düsenwiderstands der Fig. 1;

Fig. 6 die Verwendung eines erfindungsgemäßen Düsenwiderstandes in einer Vorrichtung zur Erzeugung eines hydraulischen Signals entsprechend einem elektrischen Signal als erste Stufe eines zweitstufigen Servoventils;

Fig. 7 eine schematische Darstellung der Vorrichtung gemäß Fig. 6;

Fig. 8 ein anderes Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung zur Erzeugung eines hydraulischen Signals entsprechend einem elektrischen Signal in der Form einer ersten Stufe eines zweitstufigen Servoventils.

Fig. 9 das Schaltbild eines Regelkreises.

In Fig. 1 ist ein erfindungsgemäßer piezogesteuerter Düsenwiderstand 1 dargestellt. Der Düsenwiderstand 1 weist ein, in der Form einer Büchse ausgebildetes, rotations­ symmetrisches Gehäuse 2 auf, welches außen Nuten zur Aufnahme von Dichtungen 3 besitzt und innen mit einer Bohrung 4 ausgestattet ist. Mit dem Bezugszeichen 5 ist ein Piezoelement bezeichnet, welches in der Praxis aus einem Stapel mehrerer Piezoscheiben besteht und das insgesamt auch als ein Piezotranslator bezeichnet werden kann. Das Piezoelement 5 ist mittels einer elastischen Dicht- und Befestigungsmasse 6 am Boden der Bohrung 4 befestigt. An seinem oberen Ende trägt das Piezoelement 5 eine Prallplatte 8, während im Boden des Gehäuses 2 eine druckdichte Kabeldurchführung 9 für eine Anschlußleitung 61 dargestellt ist, auf der ein elektrisches Signal 28 eingespeist werden kann.

Benachbart zur Prallplatte 8 endend sitzt wie das Piezoelement 5 rotationssymmetrisch zur Längsachse 7 des Düsenwiderstandes 1 ausgebildet ein Düsenkörper 11 formschlüssig fest in der Bohrung 4. Der Düsenkörper 11 bildet einen Hohlraum 20, der durch einen Stopfen 12 an seinem einen Ende verschlossen ist, am gegenüberliegenden Ende aber eine Axialbohrung 15 mit dem Durchmesser D benachbart zur Prallplatte 8 endend aufweist.

Ferner sind mehrere mit 13 bezeichnete Radialbohrungen vorgesehen, die den Hohlraum 20 über die Axialbohrungen 14, sowie zusätzlich im Gehäuse 2 ausgebildete Radialbohrungen 13 nach außen verbinden. In einem weiteren Bauteil, in dem die Büchse 2 sitzt, ist ein durch den Pfeil 18 schematisch angedeuteter Zulauf sowie ein Ablauf 19 für das Druckmittel vorgesehen, wobei der Ablauf 19 über Radialbohrungen 17 mit einem Raum 21 in Verbindung steht, der zwischen Düsenkörper 11 und Piezoelement 5 gebildet ist.

Der Abstand zwischen der Oberseite der Prallplatte 8 und der Unterseite der Axialbohrung 15 ist mit X₀ bezeichnet. Dieser Abstand X₀ kann in seiner Größe durch die Ansteuerung des Piezoelements 5 mittels des elektrischen Signals 28 verändert werden. Der durch das Piezoelement hervorgerufene Hub kann in der Größenordnung von 25 Mikrometer liegen, wobei die Prallplatte 8 vorzugsweise aus Hartmetall oder Rubin besteht und auf Keramik befestigt ist.

Der Düsenwiderstand 1, gemäß Fig. 1 ist ein kompaktes, in sich abgeschlossenes, vorzugsweise bereits justiertes Element, welches für verschiedene Aufgaben einsetzbar ist.

Als erstes kann der Düsenwiderstand 1 für sich alleine verwendet werden und erzeugt dann je nach Erregung des Piezoelements 5 einen mehr oder weniger großen hydraulischen Widerstand.

Fig. 2 zeigt eine Verwendungsmöglichkeit des Düsenwiderstandes 1 zusammen mit einer Festdüse 75. Der Druckabfall zwischen P und A ist mit AT und der zwischen P und T mit PT bezeichnet.

Fig. 3 zeigt zwei Düsenwiderstände 1 in Reihe mit einem hydraulischen Mittelabgriff. Die Druckabfälle sind entsprechend Fig. 2 wiederum mit AT und PT bezeichnet.

Fig. 4 zeigt eine Anordnung aber in doppelter Ausführung wie sie vorzugsweise auch zur Auslenkung eines Steuerkolbens mit beidseitiger Druckbeaufschlagung bei dem Servoventil verwendet werden kann. Auf diesen Fall wird weiter unten unter Bezugnahme auf Fig. 8 eingegangen.

Fig. 5 zeigt eine Anordnung ähnlich Fig. 3, wobei aber hier wiederum eine doppelte Ausführung dargestellt ist, die im einzelnen weiter unten unter Bezugnahme auf die Fig. 6 und 7 zusammen mit der Auslenkung eines Steuerkolbens beschrieben wird.

Fig. 6 zeigt ein zweitstufiges Servoventil 30 bestehend aus einer ersten Stufe 31 und einer zweiten Stufe 32. Das Steuerventil 30 kann, wie in Fig. 9 gezeigt, Teil eines bekannten Regelkreises sein und beispielsweise eine Hydraulikzylinder 37 betätigen. In diesem Zusammenhang sei bemerkt, daß Fig. 6 einen Weggeber 36 an der zweiten Stufe 32 angreifend zeigt. Dieser Weggeber 36 könnte aber auch wie in dem Regelkreis der Fig. 9 gezeigt am Zylinder 37 angreifen.

Das Servoventil 30 wird durch ein elektrisches Signal 28 betätigt und bewirkt die Verstellung eines Stellkolbens 35, der in einem bei 34 angedeuteten Gehäuse hin und her bewegbar angeordnet ist. Die Anschlüsse der zweiten Stufe 32 sind mit P, A, T und B bezeichnet, wobei der Zylinder 37 naturgemäß zwischen A und B liegt.

Es sei nunmehr auf die erfindungsgemäße Ausbildung der ersten Stufe des Servoventils 30 eingegangen.

Eingangsseitig wird die erste Stufe 31 von dem elektrischen Signal 28 beaufschlagt und ausgangsseitig wird von der ersten Stufe 31 ein schematisch durch den Pfeil 29 angedeutetes Hydrauliksignal geliefert, welches praktisch an den Anschlüs­ sen A_st und B_st auftritt und mit entsprechenden Steuerräumen des den Steuerkolben 35 aufweisenden Steuerventils verbunden ist. Der Pumpenanschluß P und der Tankanschluß T des Steuer­ ventils stehen in geeigneter Weise mit den entsprechenden Anschlüssen P und T der ersten Stufe 31 in Verbindung, und zwar über entsprechende Kanäle 50 bzw. 60. Dabei ist ein Filter 51 vorgesehen.

Vier Düsenwiderstände 41, 42, 43 und 44 sind in der gezeigten Weise verbunden. Im einzelnen ist der Düsenwiderstand 41 mit seinem Zulauf 18 über eine Leitung 47 mit dem Zulauf 18 des Düsenwiderstands 44 verbunden. Der Ablauf 19 des Düsenwider­ stands 41 liegt über einer Leitung 58 und einer Leitung 48 am Anschluß AST, und über die Leitung 58 und einer Leitung 49 am Zulauf 18 des Düsenwiderstandes 42. Der Düsenwiderstand 42 liegt mit seinem Ablauf 19 über Leitung 57 und 52 am Tankan­ schluß T und andererseits über die Leitung 57 und einer Leitung 53 am Ablauf 19 des Düsenwiderstands 43. Der Düsen­ widerstand 43 steht mit seinem Zulauf 18 über eine Leitung 56 und eine Leitung 54 mit dem Anschluß BST in Verbindung und andererseits über die Leitung 56 und einer Leitung 55 mit dem Ablauf 19 des Düsenwiderstands 44. Aus Fig. 7 erkennt man, daß die Düsenwiderstände 41 bis 44 praktisch eine Brücke bilden.

Die Ansteuerung der Düsenwiderstände 41, 42, 43 und 44 erfolgt durch eine Ansteuerschaltung 40, an die das elektrische Eingangs- oder Steuersignal 28 angelegt ist. Die Ansteuer­ schaltung 40 weist eine erste Steuerung 68 und eine zweite Steuerung 69 auf. Die erste Steuerung 68 steht über Leitung 61 und 63 mit dem Piezoelement des Düsenwiderstands 41 und über Leitung 61 und 62 mit dem Piezoelement des Düsenwiderstands 43 in Verbindung. Andererseits steht die zweite Steuerung 69 über Leitung 64 und Leitung 65 mit dem Widerstandselement 44 und über Leitung 64 und Leitung 66 mit dem Düsenwiderstand 42 in Verbindung. Die beiden Steuerungen 68 und 69 stehen mit einer weiteren Schaltung 70 in Verbindung, in die in nicht näher gezeigter Weise das elektrische Signal 28 eingespeist wird. Neben dem elektrischen Signal 28 können noch andere Steuer­ signale in die Ansteuerschaltung 40 eingespeist werden, beispielsweise um die Steuerungen 68 und 69 zu betätigen.

Üblicherweise werden für ein bestimmtes Servoventil zwei der Düsenwiderstände 41 und 43 bzw. 42 und 44 durch eine bestimmte Erregung auf der Leitung 61 auf einen bestimmten Wert eingestellt. Dagegen werden die entsprechenden anderen Düsen­ widerstände 42, 44 über Leitung 64 abhängig vom elektrischen Steuersignal 29 angesteuert, um so eine entsprechende Veränderung des hydraulischen Ausgangssignals 29 vorzusehen.

Fig. 8 zeigt für einen anderen konkreten Ausführungsfall den Ersatz von zwei Düsenwiderständen gemäß Fig. 6 durch zwei Festdüsen 80, 81. Im übrigen ist die in Fig. 8 nicht näher gezeigte Steuerschaltung ähnlich wie bei Fig. 6 ausgebildet.

Fig. 9 veranschaulicht einen üblichen Regelkreis und deutet an, wie das erfindungsgemäße Servoventil gemäß Fig. 6 oder 8 in diesen Regelkreis eingebaut sein kann.

Claims (7)

1. Vorrichtung zur Erzeugung eines hydraulischen Steuer­ signals entsprechend einem elektrischen Steuersignal, wobei die Vorrichtung folgendes aufweist:
eine Brückenschaltung, die ein erstes und zweites Paar von parallel geschalteten Zweigen umfaßt, die verbunden sind, um zwei Paare von diagonalen Punkten zu bilden,
wobei eines der Paare von Punkten zum Liefern des hydraulischen Steuersignals an eine Folgestufe dient,
wobei von dem anderen Paar von Punkten ein Punkt mit einem Versorgungsanschluß (P) und der andere Punkt mit einem Rücklaufanschluß (T) verbunden ist, wobei sich die zwei Paare von Zweigen zwischen einem Versorgungsanschluß (P) und einem Rücklaufanschluß (T) erstrecken, und
wobei sich die zwei Paare von Zweigen zwischen den Pumpenanschlüssen erstrecken und folgendes aufweisen:
in dem ersten Paar von Zweigen eine erste Serienschal­ tung eines durch ein Piezoelement (5) gesteuerten Düsenwiderstands (1; 41) mit einer Festdüse (80),
und in dem zweiten Paar von Zweigen eine zweite Serien­ schaltung eines durch ein Piezoelement (5) gesteuerten Düsenwiderstands (1; 43) mit einer Festdüse (81).

2. Vorrichtung nach Anspruch 2, wobei die Brückenschaltung eine erste Stufe eines zweistufigen Servoventils bil­ det, wobei die Brückenschaltung das hydraulische Steuersignal liefert, das zu einer zweiten Stufe des zweistufigen Servoventils geliefert wird.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei jeder der Düsenwiderstände in der Lage ist, ein hydraulisches Steuersignal zu liefern und zwar gemäß einem elek­ trischen Steuersignal, wobei jeder Düsenwiderstand folgendes aufweist:
ein Gehäuse (2),
piezoelektrische Mittel (5) zum Steuern der Bewegung einer Prallplatte (8) basierend auf der Erregung des elektrischen Steuersignals,
einen Düsenkörper (11), der fest innerhalb des Gehäuses angebracht ist, so daß eine Bohrung (15), die sich durch den Körper erstreckt, ein Ende benachbart zu der Prallplatte (8) besitzt,
eine zweite Kammer (10) innerhalb des Gehäuses (2), die in der Lage ist, mit einem Pumpenanschluß (P) verbunden zu werden und mit der Bohrung (15) in Verbindung steht,
eine erste Kammer (21), die von der zweiten Kammer (20) getrennt ist, aber auch mit der Bohrung (15) in Verbin­ dung steht,
Auslaßmittel (17), die in Verbindung mit der ersten Kammer (21) stehen, und wobei ein Abstand X₀ zwischen dem Ende der Bohrung (15), das in der Kammer (21) endet, und der Oberfläche der Prall­ platte (8) variiert wird, wenn das elektrische Steuer­ signal an die piezoelektrischen Mittel (5) angelegt wird und zwar gemäß der Größe des elektrischen Steuer­ signals, so daß eine entsprechende Veränderung des hy­ draulischen Steuersignals (19) bewirkt wird.

4. Vorrichtung zur Erzeugung eines hydraulischen Steuer­ signals entsprechend einem elektrischen Steuersignals, wobei die Vorrichtung folgendes aufweist:
eine Brückenschaltung, die ein erstes und zweites Paar von parallel geschalteten Zweigen umfaßt, die verbunden sind, um zwei Paare von diagonalen Punkten zu bilden,
wobei eines der Paare von Punkten zum Liefern des hydraulischen Steuersignals an eine Folgestufe dient,
wobei von dem anderen Paar von Punkten ein Punkt mit einem Versorgungsanschluß (P) und der andere Punkt mit einem Rücklaufanschluß (T) verbunden ist, wobei sich die zwei Paare von Zweigen zwischen einem Versorgungsanschluß (P) und einem Rücklaufanschluß (T) erstrecken, und
wobei sich die zwei Paare von Zweigen zwischen den Pumpenanschlüssen erstrecken und folgendes aufweisen:
in dem ersten Paar von Zweigen eine erste Serienschal­ tung von zwei durch Piezoelemente (5) gesteuerten Düsenwiderstanden (1; 41, 42) und
in dem zweiten Paar von Zweigen eine zweite Serien­ schaltung von zwei durch Piezoelemente (5) gesteuerten Düsenwiderstanden (1; 43, 44).

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, wobei die Brückenschaltung eine erste Stufe eines zweistufigen Servoventils bil­ det, wobei die Brückenschaltung das hydraulische Steu­ ersignal liefert, das an eine zweite Stufe des zweistu­ figen Servoventils geliefert wird.

6. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, wobei die zwei dia­ gonal angeordneten Düsenwiderstände (41, 43) durch das elektrische Steuersignal gesteuert werden und die zwei anderen auch diagonal angeordneten Düsenwiderstände (42, 44) so gesteuert werden, daß sie einen vorbestimm­ ten Hydraulikwiderstand einnehmen.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, wobei jeder der Düsenwiderstände in der Lage ist, ein hydrau­ lisches Steuersignal zu liefern und zwar gemäß einem elektrischen Steuersignal, wobei jeder Düsenwiderstand folgendes aufweist:
ein Gehäuse (2),
piezoelektrische Mittel zum Steuern der Bewegung einer Prallplatte (8) basierend auf der Erregung des elektri­ schen Signals,
einen Düsenkörper (11), der fest innerhalb des Gehäuses angebracht ist, so daß eine Bohrung (15), die sich durch den Körper erstreckt, ein Ende benachbart zu der Prallplatte (8) besitzt,
eine zweite Kammer (10) innerhalb des Gehäuses (2), die in der Lage ist, mit einem Pumpenanschluß (P) verbunden zu werden und mit der Bohrung (15) in Verbindung steht,
eine erste Kammer (21), die von der zweiten Kammer (20) getrennt ist, aber auch mit der Bohrung (15) in Verbin­ dung steht,
Auslaßmittel (17), die in Verbindung mit der ersten Kammer (21) stehen, und wobei ein Abstand X₀ zwischen dem Ende der Bohrung (15), das in der Kammer (21) endet, und der Oberfläche der Prall­ platte (8) variiert wird, wenn das elektrische Steuer­ signal an die Piezoelektrischen Mittel angelegt wird und zwar gemäß der Größe des elektrischen Steuersig­ nals, so daß eine entsprechende Veränderung des hydrau­ lischen Steuersignals (19) bewirkt wird.