DE3738630C2 - Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung - Google Patents
Elektrohydraulische DruckwandlervorrichtungInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich allgemein auf eine elektrohydraulische
Druckwandlervorrichtung (Druckwandler) und insbesondere
auf einen Steuermotor mit einem hydraulischen Verstärker,
sowie auf ein Servoventil unter Verwendung solcher Bauteile.
Servoventile werden auf dem Gebiet der Hydraulik in großem
Umfang eingesetzt und dienen dazu, ein kleines elektrisches
Eingangssignal analog in ein hydraulisches Ausgangssignal
umzuwandeln. Servoventile sind häufig mehrstufig, und zwar
insbesondere zweistufig ausgebildet. So besteht ein zweistufiges
Wege-Servoventil im wesentlichen aus einer einen
elektrischen Steuermotor und einen hydraulischen Verstärker
umfassenden ersten Stufe (Vorsteuerstufe) sowie einer zweiten
oder Hauptstufe. Der elektrische Steuermotor ist häufig
als sogenannter Torque-Motor ausgebildet. Im einzelnen sei
auf Seiten 149 bis 153 des Buches "Der Hydraulik-Trainer"
von A. Schmitt hingewiesen, herausgegeben von G. L. Rexroth
GmbH, Lohr/Main, 1981.
Anstelle der verhältnismäßig teuren Torque-Motoren wurde
bereits vorgeschlagen, Bimorph-Piezoelemente als elektro
mechanische Wandler für Servoventile zu verwenden.
Bei diesen bekannten, ein Bimorph-Piezoelement verwendenden
Steuermotoren ist jedoch ähnlich wie bei der ebenfalls bekannten
Düsen-Prallplattenvorsteuerung nachteilig, daß nur
geringe Druckausbeute bis maximal 60% des Eingangsdrucks
möglich ist. Ferner fließt ständig ein große hydraulische
Verluste bewirkender Steuerölstrom. Darüber hinaus besteht
eine Rückwirkung des Steuerölstrahls auf das als Prallplatte
wirkende Piezoelement. Ein weiterer Nachteil besteht darin,
daß die Dynamik der nachfolgenden Stufe durch die bei diesem
bekannten Steuermotor zu verwendenden konstanten Düsen begrenzt
wird. Durch die Verwendung von Düsen ergibt sich
ferner die Gefahr einer Verschmutzung und somit eine unerwünschte
Schmutzempfindlichkeit. Weiterhin treten Probleme
durch die Kavitation im Steuerölstrahl auf.
Die GB 1 217 225 A zeigt eine elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung
gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Das
hier gezeigte Verstellelement führt an seiner unteren als
Stellfläche verwendeten Stirnseite eine Bewegung aus, die
auf einem Kreisbogen erfolgt. Da ein gewisses Spiel gegenüber
dem Gehäuse der Druckwand der Vorrichtung vorhanden
sein muß, ergibt sich bei der Bewegung der Steuerfläche auf
dem Kreisbogen unterschiedliches Spiel. Dieses hat wiederum
eine unterschiedliche Leckage, also unterschiedliche Verluste
zur Folge, was insbesondere auch eine geringere Verstärkung
bedeutet.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die
Nachteile des Standes der Technik zu überwinden. Insbesondere
hat sich die vorliegende Erfindung die Aufgabe gestellt,
die obengenannten Nachteile zu vermeiden, und zwar
in einfacher, kostengünstiger Weise. Speziell soll durch die
Erfindung ein elektrohydraulischer Druckwandler bzw. ein
Steuermotor vorgesehen werden, der eine Rückwirkung des
Steuerölstrahls auf das vorzugsweise in der Form eines
Piezoelements ausgebildete Steuerelement vermeidet. Dadurch
ergibt sich eine höhere Steuergenauigkeit.
Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung bei einer elektrohydraulischen
Druckwandlervorrichtung gemäß dem Oberbegriff
des Anspruchs 1 die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs
1 genannten Maßnahmen vor. Bevorzugte Ausgestaltungen
der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Weitere Einzelheiten ergeben sich
aus der Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der
Zeichnung; in der Zeichnung zeigt
Fig. 1 einen schematischen Schnitt durch einen bekannten
Steuermotor mit hydraulischem Verstärker zur Bildung
der Vorsteuerung eines Servoventils;
Fig. 2 einen Schnitt längs Linie 1-1 in Fig. 4 durch ein
erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen
elektrohydraulischen Druckwandlervorrichtung, insbesondere
eines Steuermotors mit hydraulischem
Verstärker;
Fig. 3 einen Teilschnitt längs Linie 3-3 in Fig. 4;
Fig. 4 einen Schnitt längs Linie 4-4 in Fig. 2;
Fig. 5 eine Teildraufsicht auf den in Fig. 2 nicht gezeigten
Deckel, der praktisch auf dem in Fig. 2 gezeigten
Rahmen liegt;
Fig. 6 eine Einzelheit F in Fig. 4;
Fig. 7 eine Ansicht gemäß Linie 7-7 in Fig. 6 auf die
stationäre Steuerfläche, wobei zusätzlich noch
gestrichelt die Kontur der beweglichen Steuerfläche
gemäß Fig. 6 schematisch eingetragen ist;
Fig. 8 das Schaltschema des anhand der Fig. 2-7
beschriebenen ersten Ausführungsbeispiels der
Erfindung;
Fig. 9 die dem Schaltschema gemäß Fig. 8 entsprechende
Realisierung, die mit Fig. 6 praktisch identisch ist,
wobei aber hier die der Fig. 8 entsprechenden vier
variablen Steuerkanten mit R1 bis R4 bezeichnet sind;
Fig. 10 schematisch ein zweites Ausführungsbeispiel der Er
findung in einer Darstellung ähnlich Fig. 9, wobei
hier wiederum - wie in Fig. 8 gezeigt - vier variable
Steuerkanten realisiert sind;
Fig. 11 ein allgemeines Schaltschema für eine Steuerung mit
zwei variablen Steuerkanten und zwei Festdrosseln;
Fig. 12 eine erste erfindungsgemäße Realisierung des Schalt
schemas der Fig. 11 in schematischer Darstellung;
Fig. 13 eine zweite Realisierung des Schaltschemas gemäß Fig.
11 in schematischer Darstellung;
Fig. 14 ein drittes mögliches Schaltschema ähnlich dem der
Fig. 11 unter Verwendung von zwei variablen Steuer
kanten und zwei Festdüsen;
Fig. 15 eine erste Realisierung des Schaltschemas gemäß Fig.
14;
Fig. 16 eine zweite Realisierung des Schaltschemas gemäß Fig.
14;
Fig. 17 eine schematische Darstellung der Form eines Steuer
elements sowie der Lage seiner Steuerfläche;
Fig. 18 eine weitere Darstellung eines Steuerelements sowie
der Lage seiner Steuerfläche;
Fig. 19 eine weitere Darstellung eines Steuerelements sowie
der Lage seiner Steuerfläche;
Fig. 20 eine schematische Darstellung der Lage der Steuer
flächen eines Steuerelements bezüglich der Bewegungs
richtung des Steuerelements beim Stand der Technik;
Fig. 21 schematisch ein Steuerelement sowie die erfindungs
gemäße Lage von dessen Steuerfläche bezüglich der
Bewegungsrichtung des Steuerelements.
Fig. 1 zeigt eine Vorsteuerstufe eines Servoventils gemäß dem
Stand der Technik. Die Vorsteuerung besteht im wesentlichen
aus einem Steuermotor sowie einem hydraulischen Verstärker.
Bei der Realisierung gemäß Fig. 1 ist ein Steuerelement in der
Form eines Bimorph-Piezoelements 1 in einem Rahmen 2 fest
eingespannt und bewegt sich (indem es sich biegt) beim Anlegen
einer elektrischen Spannung in Richtung des Pfeils X
(Bewegungsrichtung). Dadurch werden die Abstände a bzw. b
zwischen einer Düse 3 bzw. einer Düse 4 und dem Piezoelement
verändert, und infolgedessen werden auch die Abflußwiderstände
an den Düsen 3 und 4 verändert. Im Zusammenhang mit
den konstanten Düsen 5 und 6 ändern sich damit in bekannter
Weise die Drücke in den Steueranschlüssen A und B. Im übrigen
stehen in bekannter Weise die Düsen 5, 6 mit einer hydraulisches
Steueröl (Druckmedium) liefernden Pumpe 50 in Verbindung.
Mit dem Bezugszeichen 51 ist ein Tank bezeichnet.
Anhand der Fig. 2 bis 7 wird ein erstes Ausführungsbeispiel
einer erfindungsgemäßen elektrohydraulischen Druckwandlervorrichtung
als Vorsteuerung 52 eines Servoventils
beschrieben. Die Vorsteuerung 52 umfaßt dabei einen Steuer
motor 53 und einen hydraulischen Verstärker 54 (Fig. 4).
Die erfindungsgemäße Vorsteuerung 52 wird im folgenden unter
gleichzeitiger Bezugnahme auf die Fig. 2 bis 7 erläutert.
Zur Erleichterung des Überblicks sei zu Beginn erwähnt, daß
man in Fig. 4 den Grundaufbau der Vorsteuerstufe, kurz Vorsteuerung
52 erkennt. Man sieht in der Mitte ein Bimorph-
Piezoelement 7, welches im folgenden auch allgemein als ein
Verstell- oder Steuerelement bezeichnet wird. Dieses Piezoelement
7 ist in einem Rahmen 8 in der in Fig. 2 gezeigten
Weise eingespannt. Der Rahmen 8 wird beidseitig strömungsmitteldicht
durch zwei Deckel umschlossen, von denen der
eine mit 16 und der andere mit 55 bezeichnet ist. Rahmen 8
und Deckel 16, 55 bilden ein Gehäuse 32 der den Steuermotor
53 und den hydr. Verstärker umfassenden Vorsteuerstufe 52.
Den Deckel 55 muß man sich in Fig. 2 sozusagen unter der
Papierebene, den Deckel 16 dagegen auf der Papierebene natürlich
unter Zwischenlage des Rahmens 8 vorstellen. Der von
Rahmen 8 und Deckeln 16 und 55 gebildete Hohlraum 28 ist mit
dem Tank 51 verbunden wie dies schematisch
in Fig. 4 angedeutet ist.
Das Piezoelement 7 ist durch die Festlegschraube 56 an seinem
einen Ende zwischen den zwei Armen 57, 58 des Rahmens 8 fest
gelegt. Der Arm 57 bildet einen Einschnitt 59, so daß durch
eine Einstellschraube 9 in der dargestellten Weise die
Null-Lage des Piezoelements 7 in der X-Richtung eingestellt
werden kann. Dies geschieht unter Ausnutzung der Elastizität
der mit 29 und 30 bezeichneten Bereiche des Rahmens 8.
Das Piezoelement 7 besitzt eine im ganzen plattenförmige
Gestalt und ist an einem Ende wie erläutert eingespannt. Durch
seine plattenförmige Gestalt bildet das Piezoelement 7 im
Ausführungsbeispiel der Fig. 2 bis 7 zwei Breitseiten 60
und 61 sowie zwei seitliche Stirnseiten 62 und 63, und ferner
eine obere Seite (Oberseite) 64 und eine untere Seite
(Unterseite) 65.
Vergleicht man Fig. 2 mit dem Stand der Technik gemäß Fig. 1,
so ist zunächst zu bemerken, daß das dort gezeigte Piezo
element 1 ebenfalls von plattenförmiger Gestalt ist, wobei
dort die den Breitseiten 60 und 61 der Fig. 4 entsprechenden
Breitseiten sozusagen als Steuerflächen oder Steuerseiten
verwendet werden, denn sie arbeiten mit den Düsen 3 und 4 zur
Hervorrufung einer Steuerfunktion zusammen.
Gemäß der vorliegenden Erfindung ist nun vorgesehen, daß die
Steuerfunktion durch eine Stirnseite des Piezoelements 7
vorgesehen wird. Im dargestellten Ausführungsbeispiel wird die
seitliche Stirnseite 63 als ein Mittel verwendet, um eine
Steuerfunktion hervorzurufen, um so an den noch näher zu
erläuternden Steueranschlüssen A, B der Bewegung des
Piezoelements 7 entsprechende hydraulische Signale zu
erzeugen.
Die Mittel zur Hervorrufung einer Steuerfunktion weisen im
Piezoelement 7 eine nutenartige Vertiefung 10 auf, die in die
Stirnseite (Steuerfläche, Steuerseite) 63 vorzugsweise durch
Laserbearbeitung oder durch Ätzen eingearbeitet ist. Die
Vertiefung 10 (vgl. dazu auch Fig. 6) bildet Längs- oder
Seitenkanten 11 und 12, die in genauer Lage zueinander und zu
Längs- oder Seitenkanten 13 und 14 des Piezoelements 7
angeordnet sein müssen.
Es ist auch möglich, die Vertiefung 10 mit den Kanten 11 und
12 sowie den Seitenkanten 13 und 14 als gesondertes Element
auf das Steuerelement 7 aufzubringen.
Der Rahmen 8 mit dem eingespannten Steuerelement 7 wird durch
spanende Bearbeitung (bevorzugt durch Schleifen in Y-Richtung
oder Läppen) auf genaue Ebenheit der Fläche 15 (vgl. Fig. 4)
des Deckels 16 gebracht.
Die Mittel zur Hervorrufung einer Steuerfunktion weisen ferner
in einer Fläche (Steuerfläche) 23 im Deckel 16 zwei
Vertiefungen 17 und 18 auf. Die Vertiefungen 17 und 18
besitzen Seitenkanten 19, 20, 21 und 22, wie dies am besten in
den Fig. 6 und 7 zu erkennen ist. Die Seitenkanten 19 bis
22 stehen in fester Zuordnung zu den Seitenkanten 14, 12, 11
und 13 des Steuerelements 7.
Es sei an dieser Stelle bemerkt, daß die Steuerfläche 23 des
Deckels 16 durch Schleifen oder Läppen leicht hohl bearbeitet
wird, so daß zwischen dem Element 7 und dem Deckel 8 wenige
Mikrometer Spiel herrschen.
Der Vertiefung 25 wird Druckmittel, insbesondere Hydrauliköl,
von der Pumpe 50 über eine Leitung 66 und einen Kanal 24 im
Deckel 16 zugeführt. Da die Vertiefung 10 mit der Vertiefung
25 in Verbindung steht, gelangt der Zulaufdruck Pp in die
Vertiefung 10.
Die Vertiefungen 17 und 18 im Deckel 16 sind über Kanal 26
bzw. Kanal 27 mit dem Steueranschluß oder Verbraucher A bzw.
dem Steueranschluß oder Verbraucher B verbunden. Beispiels
weise handelt es sich bei den Verbrauchern A und B um die
beiden Räume benachbart zu entgegengesetzt liegenden Stirn
flächen eines Kolbens des die Hauptstufe eines Servoventils
bildenden Ventils.
Wie bereits einleitend angedeutet, wird bei nicht an das
Piezoelement 7 angelegter elektrischer Spannung durch Drehen
der Einstellschraube 9 unter Ausnutzung der Elastizität der
Bereiche 29 und 30 die Vertiefung 10 symmetrisch zu den
Vertiefungen 17, 18 eingestellt. Dieser Zustand ist in Fig. 6
dargestellt und wird in Fig. 7 verdeutlicht. Allerdings
sollten in Fig. 7 die gestrichelt gezeichneten Kanten 14, 12,
11 und 13 mit den entsprechenden Kanten 19, 20, 21 und 22
zusammenfallen. Lediglich zur Erhöhung der Übersichtlichkeit
wurden die gestrichelt angedeuteten Kanten 14, 12, 11 und 13
etwas versetzt gegenüber den zugehörigen Kanten angeordnet.
In Fig. 7 erkennt man, daß die beiden nutenförmigen
Vertiefungen 17 und 18 in Vertikal- oder Y-Richtung (vgl. Fig.
3) die gleiche Höhe H besitzen. Die Länge der nutenförmigen
Vertiefung 10 im Element 7 ist etwas größer als die Höhe H,
und zwar ragt die Vertiefung 10 beidseitig über die
Vertiefungen 17 und 18 hinaus.
Durch die erfindungsgemäße Anordnung sind die Strömungswider
stände über die Kanten 12/20 und 11/21 gleichgroß, und ferner
sind die Widerstände an 14/19 und 13/22 gleich. Dies hat zur
Folge, daß auch die Drücke in den Vertiefungen 17 und 18 in
der in den Fig. 6 und 7 gezeigten Stellung gleichgroß sind.
Wenn nun eine Spannung an das Piezoelement 7 angelegt wird, so
biegt dieses sich, wodurch eine Bewegung in X-Richtung
entsteht. Dadurch ändern sich gleichzeitig die vier
Widerstände 14/19, 12/20, 11/21 und 13/22, wodurch auch in
entsprechender Weise Drücke in den Vertiefungen 17 und 18 und
damit an den Steueranschlüssen A, B verändert werden, und zwar
proportional zu der an das Piezoelement 7 angelegten Spannung.
Anhand der Fig. 8 und 9 ist das Ausführungsbeispiel gemäß den
Fig. 2 bis 7 verallgemeinert dargestellt, wobei mit R1, R2,
R3 und R4 die Widerstände 12/20 bzw. 11/21 bzw. 14/19 und
13/22 bezeichnet sind. Durch die Verbindungslinien 69 bis 73
in Fig. 8 ist angedeutet, daß die Veränderung der Widerstände
R1 bis R4 gemeinsam erfolgt.
Durch die erfindungsgemäße Verwendung von vier veränderlichen
Widerständen R1 bis R4 wird die Druckausbeute größer 90%. Aus
dem gleichen Grund ist der konstante Steuerölstrom kleiner. Da
ferner das Element 7 in Z-Richtung wesentlich stabiler ist als
in X-Richtung, ist die hydraulische Rückwirkung klein, weil
hier die Belastung durch den Strömungsmitteldruck in
Z-Richtung wirkt. Da ferner beim Ausführungsbeispiel gemäß den
Fig. 2 bis 7 (und natürlich auch dem, was in den Fig. 8
und 9 gezeigt ist) keine konstanten Drosseln (Düsen) vorhanden
sind, ist der maximale Durchfluß des Druckmittels größer und
somit die Dynamik der darauffolgenden Stufen höher. Ferner
ergibt sich eine geringere Schmutzempfindlichkeit, keine
Strahlkavitation und ein einfacher mechanischer Aufbau mit
einfacher Bearbeitung.
Fig. 10 zeigt eine andere Realisierung der Schaltung gemäß
Fig. 8. Gemäß Fig. 10 sind in der Steuerfläche des
Piezoelements 7 zwei Vertiefungen 77, 78 vorgesehen, die in
geeigneter Weise mit den Steueranschlüssen A, B verbunden
sind, was hier einfach durch Pfeile angedeutet ist. Ferner
sind in der Steuerfläche 23 des Deckels 16 drei Vertiefungen
74, 75, 76 parallel zueinander verlaufend ausgebildet, von
denen die Vertiefungen 74 und 76 mit dem Tank verbunden sind,
wohingegen die Vertiefung 75 mit der Steuerölpumpe 50 in nicht
näher dargestellter Weise verbunden ist, was durch den Pfeil
Pp in Fig. 10 angedeutet ist. Die Widerstände R1 bis R4 werden
durch die entsprechend bezeichneten Kantenpaare gebildet. Die
Konstruktion gemäß Fig. 10 ist gegenüber dem Stand der Technik
vorteilhaft, benötigt aber höhere Bearbeitungskosten als die
Konstruktion gemäß Fig. 9.
Fig. 11 zeigt ein Schaltbild ähnlich dem der Fig. 8, wobei
aber hier durch zwei variable Steuerkanten zwei variable
hydraulische Widerstände 3 und 4 gebildet werden, und wobei
ferner zwei Festdrosseln die Widerstände R1 und R2 bilden. Mit
Pp ist wiederum der Druck der Steuerölpumpe 50 bezeichnet. A
und B bezeichnen die Steuerausgänge. Der Tank ist mit 51
bezeichnet.
Fig. 12 ist eine erste Realisierung der Schaltung gemäß Fig.
11. Im Piezoelement 7 sind hier keinerlei Vertiefungen
vorgesehen. Es werden lediglich die Steuerkanten 13 und 14
gebildet, die mit Steuerkanten 19 und 22, gebildet durch Ver
tiefungen 17 und 18, zur Bildung der Widerstände R3 und R4
zusammenarbeiten. Die Vertiefungen 17 und 18 sind in der
Steuerfläche 23 des Deckels 16 ausgebildet. Die Vertiefungen
17 und 18 stehen über eine mit R1 bezeichnete Drossel bzw.
eine mit R2 bezeichnete Drossel mit einer Leitung in
Verbindung, die zu einer Pumpe führt, die einen Steueröldruck
Pp liefert. Zwischen der Vertiefung 17 und der mit R1
bezeichneten Festdrossel ist der Steueranschluß A vorgesehen
und zwischen der Vertiefung 18 und der mit R2 bezeichneten
Festdrossel ist der Steueranschluß B vorgesehen. Die
Arbeitsweise der Vorrichtung gemäß Fig. 12 dürfte aufgrund der
Ausführungen zu Fig. 6 dem Fachmann klar sein.
Fig. 13 zeigt eine andere Realisierung der Schaltung gemäß
Fig. 11, die etwas aufwendiger ist als die Realisierung gemäß
Fig. 12. Bei Fig. 13 sind in der Steuerfläche oder Stirnseite
63 des Piezoelements 7 zwei Vertiefungen 79 und 80
ausgebildet, die mit Vertiefungen 81, 82 in der Steuerober
fläche 23 des Deckels 16 zusammenarbeiten, und zwar unter
Bildung der veränderbaren Widerstände R3 und R4. Die
Vertiefungen 81, 82 sind in nicht gezeigter Weise mit dem Tank
T verbunden. Im Deckel 16 sind Kanäle 83 und 84 ausgebildet,
die im Bereich der Vertiefungen 79 und 80 enden. Der Kanal 82
steht mit dem Steueranschluß A in Verbindung und der Kanal 84
steht mit dem Steueranschluß B in Verbindung. Ferner ist eine
Festdrossel R1 mit dem Kanal 83 und eine Festdrossel R2 mit
dem Kanal 84 verbunden. Andererseits stehen die Festdrosseln
R1 und R2 mit einer Hydraulikpumpe 50 in Verbindung, die einen
mit Pp bezeichneten Druck liefert. Wenn sich das Piezoelement
7 in seiner dargestellten Position befindet, wo die
Vertiefungen 79 und 80 symmetrisch zu den Vertiefungen 81 und
82 liegen, so ergeben sich wegen der gleichen Widerstände R3
und R4 und auch der gleichen Widerstände R1 und R2 die
gleichen Drücke an den Steuerauslässen A und B. Bei einer
Verschwenkung des allgemein als Steuerelement zu bezeichnenden
Piezoelements 7, in X-Richtung, werden R3 und R4 verändert,
was auch eine entsprechende Veränderung der Drücke an den
Steuerausgängen A und B zur Folge hat.
Fig. 14 zeigt eine weitere Schaltungsmöglichkeit mit zwei
variablen Steuerkanten, die die Widerstände R1 und R2 bilden
sowie zwei Festdrosseln, welche die Widerstände R3 und R4
bilden. Mit Pp ist wiederum der Druck des von einer Pumpe
kommenden Steueröls bezeichnet. A und P sind wiederum die
Steuerausgänge.
Anhand der Fig. 15 und 16 werden zwei Realisierungen der
Schaltungen gemäß Fig. 14 erläutert.
Fig. 15 zeigt, daß in der Stirnseite 63 des Piezoelements 7
zwei Vertiefungen 85, 86 ausgebildet sind, die in geeigneter,
nicht dargestellter Weise mit den Steueranschlüssen A und B in
Verbindung stehen, was durch die mit A und B bezeichneten
Pfeile angedeutet ist. Ferner steht die Vertiefung 85 über
einen Kanal 87 mit einer mit R3 bezeichneten Festdrossel in
Verbindung und die Vertiefung 86 steht über einen Kanal 88 mit
einer mit R4 bezeichneten Festdrossel in Verbindung. Der das
Piezoelement umgebende Hohlraum 28 ist, ähnlich wie in Fig. 4
gezeigt, mit einem Tank 51 verbunden.
Fig. 16 ist eine andere Realisierung der Schaltung gemäß
Fig. 14. Hier ist im Piezoelement 7 eine Vertiefung 89
ausgebildet, die mit einer Hydraulikpumpe zur Lieferung des
Druckmittels mit dem Druck Pp verbunden ist. Die Vertiefung 89
bildet mit ihren Längskanten zusammen mit den durch
Vertiefungen 90, 91 in der Steuerfläche 23 gebildeten
Längskanten die Widerstände R1 und R2, die bei der Bewegung
des Elements 7 veränderbar sind. Die Vertiefung 90 steht über
eine Leitung 92 im Deckel zum einen mit dem Steuerausgang A in
Verbindung und zum anderen ist die Leitung 92 über eine mit R3
bezeichnete Festdrossel mit dem Tank 51 verbunden. Die
Vertiefung 91 steht über eine Leitung 93 zum einen mit dem
Steuerausgang B in Verbindung und zum anderen über eine mit R4
bezeichnete Festdrossel mit dem Tank 51. Die Funktionsweise
der Vorrichtung gemäß Fig. 16 dürfte dem Fachmann klar sein
und wird deshalb hier nicht weiter beschrieben.
Die Fig. 17 bis 21 dienen zur allgemeinen Erläuterung der
Erfindung. Fig. 17 zeigt, schematisch ein Piezoelement 7, wie
es beispielsweise bei dem Ausführungsbeispiel gemäß den Fig. 2
bis 7 verwendet wird. Man erkennt die beiden Breitseiten 60
und 61 sowie die seitlichen Stirnseiten 62 und 63 sowie die
obere Seite (Oberseite) 64 und die untere Seite (Unterseite)
65. Eingespannt ist das Piezoelement 7 der Fig. 17 im Bereich
der Oberseite 64, was durch das Doppelkreuz angedeutet ist.
Ferner erkennt man, daß die seitliche Stirnseite 63 als
Steuerseite oder Steuerfläche wirkt, da dort die Vertiefung 10
zu erkennen ist. Der Pfeil X zeigt die Bewegungsrichtung des
Piezoelements 7 an.
Fig. 18 zeigt eine weniger bevorzugte Abwandlung des
Piezoelements 7 der Fig. 17, wobei wiederum die
Bewegungsrichtung durch den Pfeil X angedeutet ist. Die
Stirnseite 63 bildet wiederum die Steuerseite oder
Steuerfläche zur Realisierung der Steuerfunktion. Mit dem
Bezugszeichen 610 ist in Fig. 18 die der Breitseite 61
entsprechende Seite bezeichnet. Man erkennt, daß hier im
Gegensatz zum bevorzugten Ausführungsbeispiel gemäß den Fig.
2-7 das Widerstandsmoment des Piezoelements (Verstellelements)
7 in Richtung der Druckbeaufschlagung klein ist, was zur
druckabhängigen Durchbiegung und damit zu erhöhter Leckage
führt. Deshalb ist die Ausführungsform nach Fig. 18 nicht
bevorzugt, vielmehr soll gemäß der Erfindung das
Widerstandsmoment des Verstellelements 7 in Richtung der
Druckbeaufschlagung groß sein. Mit dem Doppelkreuz ist
wiederum der Einspannbereich für das Piezoelement 7
angedeutet.
Fig. 19 zeigt, daß es auch möglich ist, die Unterseite 65 des
Piezoelements 7 in Fig. 17 als Steuerfläche zu verwenden,
wobei diese Steuerfläche in Fig. 19 mit 650 bezeichnet ist.
Aus der Diskussion der Fig. 17 bis 19 erkennt man, daß sich
insbesondere dann der Vorteil einer fehlenden oder geringen
Rückwirkung der Steuerfläche auf die Bewegung des
Piezoelements 7 ergibt, wenn die Steuerfläche mehr oder
weniger parallel zur Bewegungsrichtung 94 verläuft.
Fig. 20 zeigt nochmals das beim Stand der Technik verwendete
Prinzip (vgl. dazu auch Fig. 1), wo die Breitseiten 60, 61 die
Steuerseiten oder Steuerflächen bilden, die bezüglich der
Bewegungsrichtung X im wesentlichen senkrecht verlaufen.
Demgegenüber zeigt Fig. 21 das Piezoelement 7 zusammen mit
seiner Bewegungsrichtung X, wobei durch den Pfeil 95
angedeutet ist, daß hier die Steuerfunktion, d. h. der Fluß
von Steueröl zwischen einer Steuerfläche oder Steuerseite 63
des Piezoelements 7 erfolgt, wobei die Steuerfläche 63 im
wesentlichen parallel zur Bewegungsrichtung X liegt.
Im bevorzugten Ausführungsbeispiel wurde ein Piezoelement 7
als Steuerelement beschrieben. Im Rahmen der Erfindung ist es
auch möglich, anstelle eines Piezoelements ganz allgemein ein
Steuerelement zu verwenden, welches durch andere Mittel zur
Bewegung gebracht wird, im übrigen aber die Steuerfunktion wie
das Piezoelement 7 realisiert. Beispielsweise könnte das
Steuerelement durch Magnetkräfte in Bewegung versetzt werden,
wobei die Magnetkräfte durch einen Elektromagneten erzeugt
werden, der seinerseits durch einen Steuerstrom erregt wird.
Zusammenfassend kann man sagen, daß die vorliegende Erfindung
die für die Vorsteuerstufe 52 erforderliche Steuerfunktion
durch bewegliche Steuermittel in der Form eines Steuerelements
7 und durch feststehende Steuermittel in der Form eines
gehäusefesten Bauteils beispielsweise des Deckels 16
realisiert. Eine Grunderkenntnis der vorliegenden Erfindung
besteht dabei darin, daß die beweglichen Steuermittel eine
damit bewegliche Steuerfläche aufweisen und daß diese
bewegliche Steuerfläche mit einer feststehenden Steuerfläche
vorzugsweise unter Bildung von Steuerkanten zusammenarbeitet.
Die Bewegungsrichtung X der beweglichen Steuerfläche erfolgt
dabei im wesentlichen parallel zur festen Steuerfläche.
Vorzugsweise werden die Steuerkanten sowohl in der beweglichen
Steuerfläche wie auch in der festen
Steuerfläche durch eine oder mehrere Steueröffnung(en)
gebildet. Zwei Steuerkanten werden auch durch die seitlichen
Begrenzungen des Steuerelements gebildet. Die beiden
Steuerflächen, die stationäre und die bewegliche verlaufen im
wesentlichen parallel zueinander und haben einen geringen
Abstand voneinander.
Claims (27)
1. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung unter
Verwendung eines mit in einem Gehäuseteil angeordneten
Steueröffnungen zusammenwirkenden Verstellelements (7),
dadurch gekennzeichnet, daß das Verstellelement (7)
plattenförmig ausgebildet ist, und daß die aus der
Verschwenkung des Verstellelements (7) resultierende
hydraulische Steuerfunktion von der in einer Ebene
verschwenkbaren Stirnseite (63) des Verstellelements
(7) ausgeführt wird.
2. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach Anspruch
1, dadurch gekennzeichnet, daß das Verstellelement
(7) als Piezoelement ausgeführt ist.
3. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach Anspruch
1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das
mechanische Widerstandsmoment des Verstell- bzw.
Piezoelementes (7) in Verstellrichtung klein, in
Richtung der Druckbeaufschlagung dagegen groß ist.
4. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach einem
der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß die in einer Ebene verschwenkbare Stirnseite (63)
des Verstellelements (7) eine mit diesem beweglichen
Steuerfläche (63) aufweist, die mit einer stationären
Steuerfläche (23) ausgebildet an einem Gehäuseteil beispielsweise
einem Deckel (16) zusammenwirkt und so die
Steuerfunktion hervorruft.
5. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach
Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die bewegliche Steuerfläche
(63) eine mit einer Druckmittelquelle (50) verbindbare
nutförmige Vertiefung (10) aufweist, die mit
in der stationären Steuerfläche (23) ausgebildeten Vertiefungen
(17, 18) in Wirkverbindung steht, welche
letztere mit Steueranschlußkanälen (26, 27) in einem Gehäuseteil
(16) in Verbindung stehen.
6. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die die Vertiefungen (10, 17, 18) aufweisenden
Steuerflächen (63, 23) des beweglichen Bauteils
(Steuerelement 7) und festen Bauteils (Gehäuse; Deckel
16) einen geringen einen Drosselspalt bildenden Abstand
aufweisen.
7. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach einem
oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß die bewegliche Steuerfläche (63)
Steuerkanten (z. B. 11, 12, 13, 14) bildet, die mit an
der stationären Steuerfläche (23) gebildeten Steuerkanten
(19, 20, 21, 22) zusammenwirken.
8. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach Anspruch
4, dadurch gekennzeichnet, daß die bewegliche
Steuerfläche (63) am Verstellelement in etwa parallel
zur Bewegungsrichtung (X) vorgesehen ist, so daß durch
die Steuerfunktion keine Kraftkomponente in oder entgegen
der Bewegungsrichtung (X) erzeugt werden kann, da
die Kraftkomponenten im wesentlichen senkrecht zur Bewegungsrichtung
(X) verlaufen.
9. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach einem
oder mehreren der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet,
daß nur eine bewegliche Steuerfläche (63) am Verstellelement
(7) und nur eine Steuerfläche (23) an einem benachbart
dazu angeordneten Gehäuseteil (16) vorgesehen
ist.
10. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach einem
oder mehreren der Ansprüche 4 bis 9, dadurch gekennzeichnet,
daß in den Steuerflächen (63, 23) vier bewegliche
Steuerkanten (11-14) und vier stationäre Steuerkanten
(19-22) vorgesehen sind, die vier variable hydraulische
Widerstände (R1-R4) bilden.
11. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach einem
oder mehreren der Ansprüche 4 bis 9, dadurch gekennzeichnet,
daß im Verstellelement (7) eine Vertiefung
(10) und in einem stationären Gehäuseteil (Deckel 16)
zwei Vertiefungen (17, 18) ausgebildet sind, um so vier
variable Widerstände (R1-R4) zu realisieren.
12. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach einem
oder mehreren der Ansprüche 4 bis 9, dadurch gekennzeichnet,
daß im Verstellelement (7) zwei Vertiefungen
(77, 78) ausgebildet sind, und daß in einem stationären
Gehäuseteil beispielsweise einem Deckel (16) drei
Vertiefungen (74, 75, 76) ausgebildet sind, um so vier
variable Widerstände zu bilden.
13. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach einem
oder mehreren der Ansprüche 4 und 6, dadurch gekennzeichnet,
daß durch die bewegliche Steuerfläche (63) und die
stationäre Steuerfläche (23) jeweils zwei Steuerkanten zur
Bildung von zwei variablen Widerständen (R3, R4) gebildet
werden, und daß ferner zwei Festdrosseln zur Bildung
der Widerstände (R1 und R2) vorgesehen sind (Fig. 11).
14. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach Anspruch
4, dadurch gekennzeichnet, daß das Verstellelement
(7) zwei Steuerkanten (13, 14) bildet, die mit
zwei Steuerkanten (19, 22) zur Bildung der Widerstände
(R3, R4) zusammenarbeiten, wobei die Steuerkanten
(19, 22) durch zwei Vertiefungen (17, 18) in der
stationären Steuerfläche (23) gebildet sind (Fig. 12).
15. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach Anspruch
4, dadurch gekennzeichnet, daß in der beweglichen Steuerfläche
(63) des Verstellelements (7) zwei Vertiefungen
(79, 80) ausgebildet sind, die mit zwei Vertiefungen
(81, 82) ausgebildet in der stationären Steuerfläche
(23) zusammenwirken, um zwei variable Widerstände (R3,
R4) zu bilden, wobei ferner zwei Festdrosseln (R1,
R2) vorgesehen sind (Fig. 13).
16. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach Anspruch
13, dadurch gekennzeichnet, daß zwei variable
mit dem Druck beaufschlagte Widerstände (R1 und
R2) vorgesehen sind, die über Festdrosseln (R3, R4) mit
Tank verbunden sind, wobei zwischen den Widerständen R1
und R2 der Steuerausgang A1 liegt, während zwischen den
Widerständen R2 und R4 ein weiterer Steuerausgang B
liegt (Fig. 14).
17. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach einem
oder mehreren der Ansprüche 4 bis 16, dadurch gekennzeichnet,
daß in der beweglichen Steuerfläche (63) des Verstellelements
(7) zwei Vertiefungen (85, 86) ausgebildet sind, die
jeweils über Festdrosseln (R3 und R4) mit Tank in Verbindung
stehen und zwei Steuerkanten bilden, die mit
den Steuerkanten einer in der feststehenden Steuerfläche
(23) ausgebildeten Vertiefung zusammenarbeiten
und zwei variable Widerstände (R1, R2) bilden (Fig. 15).
18. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach Anspruch
4, dadurch gekennzeichnet, daß in der beweglichen Steuerfläche
(63) des Steuerelements (7) eine Vertiefung (89)
ausgebildet ist, die zwei Steuerkanten definiert, welche
mit denjenigen beiden Steuerkanten zur Bildung von
Widerständen (R1 und R2) zusammenwirkt, die durch Vertiefungen
(90, 91) in der feststehenden Steueroberfläche
(23) gebildet sind, wobei die Vertiefung (90)
über eine Festdrossel (R3) mit Tank (51) in Verbindung
steht, während die Vertiefung (91) über eine Festdrossel
(R4) mit Tank (51) in Verbindung steht und die Steueranschlüsse
(A, B) mit der Vertiefung (90 bzw. 91) verbunden
sind.
19. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach einem
oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet
durch ein Gehäuse, welches durch einen eine
Steuerfläche bildenden Deckel (16) sowie eine entgegengesetzt
dazu angeordneten Deckel (55) gebildet ist,
und zwar derart, daß zwischen den beiden Deckeln (16
und 55) ein Rahmen (8) befestigt ist, in dem das Verstellelement
oder Steuerelement (7) mit seinem einen Ende
eingespannt ist.
20. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach Anspruch
19, dadurch gekennzeichnet, daß das im Rahmen
(8) eingespannte Steuerelement (7) hinsichtlich seiner
Null- oder Ausgangsposition mechanisch einstellbar ist.
21. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach Anspruch
20, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstellung
der Nullposition des Steuerelements (7) durch eine
Schraube (9) erfolgt, die unter Ausnutzung elastischer
Zonen (29, 30) des Rahmens (8) eine Einstellkraft auf
das Steuerelement (7) überträgt.
22. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach einem
oder mehreren der Ansprüche 19 bis 21, dadurch gekennzeichnet,
daß die bewegliche Steuerfläche (63) des
Steuerelements (7) parallel zu der im Deckel (16) ausgebildeten
Steuerfläche (23) bewegbar ist.
23. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach Anspruch
22, dadurch gekennzeichnet, daß in der beweglichen
Steuerfläche (63) eine Vertiefung (10) zur
Bildung der Steuerkanten (11-14) ausgebildet ist und
daß eine Hydraulikpumpe (50) mit der Vertiefung (10) in
Verbindung steht.
24. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach Anspruch
23, dadurch gekennzeichnet, daß die hydraulische
Pumpe (50) das Druckmittel an die Vertiefung (10) über
eine Vertiefung (25) im Steuerelement und einen Kanal
(24) im Gehäuse beispielsweise im Deckel (16) zuführt.
25. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach einem
oder mehreren der Ansprüche 18 bis 24, dadurch gekennzeichnet,
daß die Vertiefungen (17, 18) in der stationären
Steuerfläche (23) des Gehäuses, vorzugsweise des Deckels
(16) mit Kanälen (26, 27) im Deckel (16) verbunden
sind die zu den Steueranschlüssen (A, B) führen.
26. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach Anspruch
25, dadurch gekennzeichnet, daß die Vertiefungen
(10, 17, 18) im wesentlichen nutenförmig unter Bildung
von Längskanten vorgesehen sind.
27. Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung nach einem
oder mehreren der Ansprüche 23 bis 26, dadurch gekennzeichnet,
daß die Vertiefung (10) in Vertikalrichtung
beidseitig eine etwas größere Erstreckung besitzt als
die zugehörigen nutenförmigen Vertiefungen (17, 18) im
Deckel (16) (vgl. Fig. 5 und 7).
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---|---|---|---|
DE19873738630 DE3738630C2 (de) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung |
JP63287509A JPH01164802A (ja) | 1987-11-13 | 1988-11-14 | 板杖に形成された制御要素を使用した電気油圧式圧力制御装置および油圧増幅器を有する制御モータ装置 |
US07/270,548 US4959581A (en) | 1987-11-13 | 1988-11-14 | Servo valve having a piezoelectric element as a control motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19873738630 DE3738630C2 (de) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3738630A1 DE3738630A1 (de) | 1989-07-20 |
DE3738630C2 true DE3738630C2 (de) | 1995-06-08 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19873738630 Expired - Fee Related DE3738630C2 (de) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | Elektrohydraulische Druckwandlervorrichtung |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4959581A (de) |
JP (1) | JPH01164802A (de) |
DE (1) | DE3738630C2 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19547149A1 (de) * | 1995-12-16 | 1997-06-19 | Marco Systemanalyse Entw | Fluidisches Ventil |
Families Citing this family (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3935474A1 (de) * | 1989-06-22 | 1991-01-03 | Hoechst Ceram Tec Ag | Piezoelektrischer biegewandler und seine verwendung |
EP0504465A1 (de) * | 1991-03-21 | 1992-09-23 | MOOG GmbH | Fluidischer Wandler mit Piezo-Antrieb |
US5207737A (en) * | 1992-02-27 | 1993-05-04 | Landis & Gyr Powers, Inc. | Analog output electro-pneumatic transducer |
FR2689200B1 (fr) * | 1992-03-26 | 1995-05-24 | Chateaudun Hydraulique | Servovalve de régulation à commande directe. |
US5443089A (en) * | 1994-03-23 | 1995-08-22 | Moog Inc. | Hydraulic amplifiers with reduced leakage at null |
US6533366B1 (en) | 1996-05-29 | 2003-03-18 | Kelsey-Hayes Company | Vehicle hydraulic braking systems incorporating micro-machined technology |
US6019437A (en) * | 1996-05-29 | 2000-02-01 | Kelsey-Hayes Company | Vehicle hydraulic braking systems incorporating micro-machined technology |
DE19735466B4 (de) * | 1997-08-16 | 2007-06-28 | Fludicon Gmbh | Druckmittelmotor für elektrorheologische Flüssigkeiten |
US5960807A (en) | 1998-05-05 | 1999-10-05 | Reyman; Mark | Vibration and flow actuated valve shutoff system |
US7011378B2 (en) * | 1998-09-03 | 2006-03-14 | Ge Novasensor, Inc. | Proportional micromechanical valve |
US6523560B1 (en) | 1998-09-03 | 2003-02-25 | General Electric Corporation | Microvalve with pressure equalization |
ATE393319T1 (de) | 1998-09-03 | 2008-05-15 | Ge Novasensor Inc | Proportionale, mikromechanische vorrichtung |
US6540203B1 (en) | 1999-03-22 | 2003-04-01 | Kelsey-Hayes Company | Pilot operated microvalve device |
US6845962B1 (en) * | 2000-03-22 | 2005-01-25 | Kelsey-Hayes Company | Thermally actuated microvalve device |
US6694998B1 (en) | 2000-03-22 | 2004-02-24 | Kelsey-Hayes Company | Micromachined structure usable in pressure regulating microvalve and proportional microvalve |
US6494804B1 (en) | 2000-06-20 | 2002-12-17 | Kelsey-Hayes Company | Microvalve for electronically controlled transmission |
US6505811B1 (en) | 2000-06-27 | 2003-01-14 | Kelsey-Hayes Company | High-pressure fluid control valve assembly having a microvalve device attached to fluid distributing substrate |
US6581640B1 (en) | 2000-08-16 | 2003-06-24 | Kelsey-Hayes Company | Laminated manifold for microvalve |
US20070251586A1 (en) * | 2003-11-24 | 2007-11-01 | Fuller Edward N | Electro-pneumatic control valve with microvalve pilot |
KR20060109959A (ko) * | 2003-11-24 | 2006-10-23 | 알루미나 마이크로 엘엘씨 | 가변형 변위 압축기 제어용 마이크로밸브 장치 |
US8011388B2 (en) * | 2003-11-24 | 2011-09-06 | Microstaq, INC | Thermally actuated microvalve with multiple fluid ports |
KR20070012375A (ko) * | 2004-02-27 | 2007-01-25 | 알루미나 마이크로 엘엘씨 | 하이브리드 마이크로/매크로 평판 밸브 |
CN1942222B (zh) * | 2004-03-05 | 2011-08-31 | 麦克罗斯塔克公司 | 用于形成微阀的选择性接合 |
US7156365B2 (en) * | 2004-07-27 | 2007-01-02 | Kelsey-Hayes Company | Method of controlling microvalve actuator |
JP2008527244A (ja) * | 2005-01-14 | 2008-07-24 | アルーマナ、マイクロウ、エルエルシー | 可変容量型コンプレッサを制御するシステムおよび方法 |
WO2008076388A1 (en) | 2006-12-15 | 2008-06-26 | Microstaq, Inc. | Microvalve device |
CN101675280B (zh) | 2007-03-30 | 2013-05-15 | 盾安美斯泰克公司(美国) | 先导式微型滑阀 |
CN101668973B (zh) | 2007-03-31 | 2013-03-13 | 盾安美斯泰克公司(美国) | 先导式滑阀 |
JP2011530683A (ja) | 2008-08-09 | 2011-12-22 | マイクラスタック、インク | 改良型のマイクロバルブ・デバイス |
US8113482B2 (en) * | 2008-08-12 | 2012-02-14 | DunAn Microstaq | Microvalve device with improved fluid routing |
US8082952B2 (en) * | 2008-08-22 | 2011-12-27 | Hamilton Sundstrand Corporation | Piezoelectric bending element actuator for servo valve |
CN102308131B (zh) | 2008-12-06 | 2014-01-08 | 盾安美斯泰克有限公司 | 流体流动控制组件 |
WO2010117874A2 (en) | 2009-04-05 | 2010-10-14 | Microstaq, Inc. | Method and structure for optimizing heat exchanger performance |
WO2011022267A2 (en) | 2009-08-17 | 2011-02-24 | Microstaq, Inc. | Micromachined device and control method |
US9006844B2 (en) | 2010-01-28 | 2015-04-14 | Dunan Microstaq, Inc. | Process and structure for high temperature selective fusion bonding |
CN102812538B (zh) | 2010-01-28 | 2015-05-13 | 盾安美斯泰克股份有限公司 | 用以促进接合的重调节半导体表面的方法 |
US8996141B1 (en) | 2010-08-26 | 2015-03-31 | Dunan Microstaq, Inc. | Adaptive predictive functional controller |
ES2683001T3 (es) * | 2011-03-15 | 2018-09-24 | Moog Controls Limited | Mejoras en el accionamiento de la servoválvula |
US8925793B2 (en) | 2012-01-05 | 2015-01-06 | Dunan Microstaq, Inc. | Method for making a solder joint |
US9140613B2 (en) | 2012-03-16 | 2015-09-22 | Zhejiang Dunan Hetian Metal Co., Ltd. | Superheat sensor |
US9188375B2 (en) | 2013-12-04 | 2015-11-17 | Zhejiang Dunan Hetian Metal Co., Ltd. | Control element and check valve assembly |
EP3502486B1 (de) | 2017-12-22 | 2020-10-28 | Hamilton Sundstrand Corporation | Servoventil |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE911686C (de) * | 1942-09-10 | 1954-05-17 | Asea Ab | Kolbenventil oder -schieber mit Hilfssteuerung |
US3107630A (en) * | 1955-01-31 | 1963-10-22 | Textron Inc | Non-magnetic electro-hydraulic pump |
US3050034A (en) * | 1960-04-04 | 1962-08-21 | Ct Circuits Inc | Transducer-controlled servomechanism |
US3461910A (en) * | 1966-06-02 | 1969-08-19 | Gen Dynamics Corp | Hydroacoustic amplifier |
US3501099A (en) * | 1967-09-27 | 1970-03-17 | Physics Int Co | Electromechanical actuator having an active element of electroexpansive material |
US3524474A (en) * | 1967-10-12 | 1970-08-18 | Delta Hydraulics Co | Servo-valve with ceramic force motor |
US3542051A (en) * | 1967-12-29 | 1970-11-24 | Moog Inc | Free jet stream deflector servovalve |
GB1217225A (en) * | 1968-05-23 | 1970-12-31 | Automotive Prod Co Ltd | Improvements in or relating to electrically operated valves and fluid-flow directing devices |
DE1751543A1 (de) * | 1968-06-15 | 1970-08-27 | Kloeckner Humboldt Deutz Ag | Elektrisch steuerbares Einspritzventil |
US3584638A (en) * | 1969-06-13 | 1971-06-15 | Bell Aerospace Corp | Adjustable receiver port construction for jet pipe servovalve |
US3612103A (en) * | 1969-07-01 | 1971-10-12 | Moog Inc | Deflectable free jetstream-type two-stage servo valve |
DE2028442A1 (de) * | 1970-06-10 | 1971-12-16 | Daimler Benz Ag | Kraftstoffeinspritzventil fur Ver brennungsmotoren |
DE2333690C3 (de) * | 1973-07-03 | 1980-01-24 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Analoger elektrofluidischer Signalumformer |
DE2348308C3 (de) * | 1973-09-26 | 1978-12-07 | Messerschmitt-Boelkow-Blohm Gmbh, 8000 Muenchen | Elektrofluidischer Wandler |
DE2417450A1 (de) * | 1974-04-10 | 1975-10-23 | Nicolae L Dr Hamburger | Elektrohydraulischer signalumwandler mit umwandlung von stromwaermeunterschieden eines elektrischen steuerstromes in viskositaetsunterschiede einer arbeitsfluessigkeit |
US4011474A (en) * | 1974-10-03 | 1977-03-08 | Pz Technology, Inc. | Piezoelectric stack insulation |
DE2511752A1 (de) * | 1975-03-18 | 1976-10-07 | Ver Flugtechnische Werke | Signalwandlerstufe |
US4022166A (en) * | 1975-04-03 | 1977-05-10 | Teledyne Industries, Inc. | Piezoelectric fuel injector valve |
DE3048631A1 (de) * | 1980-12-23 | 1982-07-22 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Stellglied mit piezokeramischem koerper |
US4471256A (en) * | 1982-06-14 | 1984-09-11 | Nippon Soken, Inc. | Piezoelectric actuator, and valve apparatus having actuator |
AT380934B (de) * | 1983-01-13 | 1986-07-25 | Enfo Grundlagen Forschungs Ag | Elektrisch-pneumatischer signalwandler |
JPS61268558A (ja) * | 1985-05-22 | 1986-11-28 | Nippon Soken Inc | 車両用ブレ−キ装置のアンチスキツド・油圧モジユレ−タ |
DE3520554A1 (de) * | 1985-06-07 | 1986-12-11 | Bopp & Reuther Gmbh, 6800 Mannheim | Pneumatischer druckschalter zum steuern der druckluftkammer von mediumdurchstroemten armaturen |
FR2583115B1 (fr) * | 1985-06-10 | 1989-03-10 | Centre Techn Ind Mecanique | Transducteur electrofluidique du type buse/palette et servovalve hydraulique equipee d'un tel transducteur |
AT383656B (de) * | 1985-09-10 | 1987-08-10 | Vni I Pk I Promy Gidroprivodov | Elektrohydraulischer leistungsverstaerker |
JPS63207185A (ja) * | 1987-02-23 | 1988-08-26 | Toyota Motor Corp | 圧電アクチユエ−タ |
US4771204A (en) * | 1987-07-30 | 1988-09-13 | Kiwi Coders Corporation | Sealing method and means for fluid control device |
-
1987
- 1987-11-13 DE DE19873738630 patent/DE3738630C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1988
- 1988-11-14 JP JP63287509A patent/JPH01164802A/ja active Pending
- 1988-11-14 US US07/270,548 patent/US4959581A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19547149A1 (de) * | 1995-12-16 | 1997-06-19 | Marco Systemanalyse Entw | Fluidisches Ventil |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH01164802A (ja) | 1989-06-28 |
US4959581A (en) | 1990-09-25 |
DE3738630A1 (de) | 1989-07-20 |
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