DE19723388C1 - Modulare Piezoventilanordnung - Google Patents
Modulare PiezoventilanordnungInfo
- Publication number
- DE19723388C1 DE19723388C1 DE19723388A DE19723388A DE19723388C1 DE 19723388 C1 DE19723388 C1 DE 19723388C1 DE 19723388 A DE19723388 A DE 19723388A DE 19723388 A DE19723388 A DE 19723388A DE 19723388 C1 DE19723388 C1 DE 19723388C1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- gas
- channel
- piezo
- valve
- modular
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 57
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000029058 respiratory gaseous exchange Effects 0.000 description 2
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- -1 for example Chemical class 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052756 noble gas Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002835 noble gases Chemical class 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000036316 preload Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/004—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by piezoelectric means
- F16K31/005—Piezo-electric benders
- F16K31/006—Piezo-electric benders having a free end
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/87265—Dividing into parallel flow paths with recombining
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/87265—Dividing into parallel flow paths with recombining
- Y10T137/8741—With common operator
- Y10T137/87491—Mechanical movement between actuator and non-rotary valve
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/87265—Dividing into parallel flow paths with recombining
- Y10T137/87507—Electrical actuator
Description
Die Erfindung betrifft eine Piezoventilanordnung gemäß dem Oberbegriff von
Anspruch 1.
Derartige Ventilanordnungen werden insbesondere in der Medizintechnik für
Beatmungsgeräte oder auch für Gasmischer verwendet.
Aus der EP 0109 239 A1 geht eine gattungsgemäße piezoelektrische
Ventilanordnung hervor, mit welcher ein Gas- oder Flüssigkeitsstrom
eingestellt werden kann, wobei das piezoelektrische Element mit dem
Fluidstrom nicht in Berührung kommen soll. In einer Ausführungsform sind
mehrere derartige Ventilanordnungen in einer festen Konfiguration
dargestellt.
Aus der DE 41 11 890 A1 ist eine modulare Ventilanordnung
bekanntgeworden, die eine Anschlußplatte, mehrere Grundplatten und eine
Abschlußplatte aufweist. Dabei ist jede Grundplatte mit mehreren elektrisch
betätigbaren Einzelventilen bestückt, wobei mindestens eine erste
Grundplatte, die ein oder mehrere Stetigventile aufnimmt, mit zumindest
einer zweiten Grundplatte, die einen Druckluftanschluß und einen
Unterdrucksensor aufweist, regelungstechnisch verbunden ist.
Die DE 295 14 495 U1 beschreibt ein Piezoventil, bei dem ein Piezo
schwingelement auf einer Seite in einem zugehörigen Gehäuse fixiert ist und
auf der anderen Seite einen Dichtsitz verschließt bzw. freigibt.
Eine modulare Piezoventilanordnung mit den Merkmalen von
Patentanspruch 1 geht aus den genannten Veröffentlichungen nicht hervor.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Ventilanordnung
auf Basis piezoelektrischer Elemente bereitzustellen, die eine flexible
Anpassung für verschiedene Anwendungszwecke ermöglicht.
Die Lösung der Aufgabe erhält man mit den Merkmalen von Anspruch 1. Die
Unteransprüche geben vorteilhafte Ausgestaltungen des
Erfindungsgegenstandes nach Anspruch 1 an.
Ein wesentlicher Vorteil der Erfindung besteht im Gegensatz zum
veröffentlichten Stand der Technik darin, daß durch den leicht möglichen
Zusammenbau der modularen Ventilkomponenten je nach
Anwendungszweck sehr verschiedene Gasvolumenströme gesteuert werden
können. Die Funktion der Erfindung besteht darin, daß das zu dosierende
Gas durch einen separaten, verbundenen Druckgaskanal zu den einzelnen
Dosierstellen, d. h. Ventilelementen, geführt wird. Das Gas fließt
anschließend durch einen separaten Gasentsorgungskanal ab. Um ein
einzelnes Ventilelement zu öffnen, genügt ein kurzer Stromimpuls an das
zugeordnete Piezoschwingelement zur Auslenkung mit Freigabe des
zugehörigen Dosierkanals, so daß das Druckgas aus dem Druckgaskanal
entsprechend dem Vordruck und dem Querschnitt des Dosierkanals in den
Gasentsorgungskanal fließen kann. Ein Stromimpuls umgekehrter Polarität
veranlaßt das Piezoschwingelement zur Abdichtung des zugehörigen
Dosierkanals, wobei der Gasstrom unterbunden wird. Je nach Einsatz der
erfindungsgemäßen Anordnung können das oder die Piezoschwingelemente
mit einer leichten Vorspannung gegen die Dichtflächen der Dosierkanäle
eingebaut werden, die ausreicht, um diese bei gegebenem Gasvordruck
abzudichten, oder alternativ kann ein kontrollierter Gasabfluß durch einen
vorgegebenen Spalt zwischen Piezoschwingelement und Dosierkanal
erreicht werden. In der bevorzugten Verwendung der Erfindung für
Beatmungsgeräte wird der Druckgaskanal mit Druckluft alleine oder
gemischt mit weiteren Gasen, wie insbesondere Sauerstoff und/oder
Edelgasen, beaufschlagt. In diesem Fall wird der Gasentsorgungskanal mit
dem an den beatmeten Patienten zu liefernden Atemgas versorgt. Die mit
der erfindungsgemäßen modularen Ventilanordnung aufgebauten
Ventilbänke sind deutlich kleiner als die derzeit eingesetzten Ventilbänke mit
Magnetventilen, die mit zueinander binär gestuften Durchflußwerten
parallelgeschaltet sind und somit in binär gestuften digitalen Schritten die
Dosierung eines praktisch analogen Gasvolumenstromes auf einfache Weise
ermöglichen. Im Gegensatz zu dieser bekannten zeichnet sich die
erfindungsgemäße Lösung durch einen einfachen Aufbau der Ventile, den
geringen Energiebedarf und die geringe Baugröße aus. Die Mischung
verschiedener Gase in der Anordnung kann erfolgen, indem beispielsweise
von zwei verschiedenen Seiten der Druckgaskanal versorgt wird und an
einer definierten Stelle der Ventilanordnung der Druckgaskanal mit einer
Kugel oder einer geeigneten Dichtung zwischen zwei einzelnen
Ventilelementen verschlossen wird und alle Ventilelemente auf den
gemeinsamen Gasentsorgungskanal wirken. Da lediglich bei der
Umschaltung der Ventilelemente Energie benötigt wird, hat die Ansteuerung
der Piezoschwingelemente eine nur sehr geringe Leistungsaufnahme zur
Folge. Schließlich ist die erfindungsgemäße Anordnung auch sehr
kostengünstig und wegen der geringeren Teilezahl auch entsprechend
einfach zu montieren und zu warten.
Je nach Anwendung und Spezifikation kann ein einzelnes Ventilelement mit
einem oder auch mit mehreren Piezoschwingelementen ausgestattet sein.
Wenn zwei oder mehr Piezoschwingelemente pro Ventilelement vorgesehen
sind, sind diese vorzugsweise parallelgeschaltet und körperlich verbunden.
Im folgenden wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der
Zeichnung erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines einzelnen
Ventilelementes für eine modulare
Piezoventilanordnung,
Fig. 2 eine Schnittansicht der eingekreisten Einzelheit der
Fig. 1 und
Fig. 3 eine perspektivische Ansicht einer modularen
Piezoventilanordnung mit drei einzelnen
Ventilelementen nach Fig. 1.
In Fig. 1 ist ein Ventilelement für eine modulare Ventilanordnung gemäß
vorliegender Erfindung dargestellt. Die wesentlichen Bauteile sind ein
Gehäuse 1 als Grundkörper, das entweder als Kunststoff-Spritzgußteil oder
als Abschnitt eines Metall-Strangpreßprofils gefertigt ist. Es weist je einen
Druckgaskanal 2 sowie einen Gasentsorgungskanal 3 auf. Die Bohrungen 4
dienen zur mechanischen Anreihung, die Aussparung 5 zur Aufnahme von
elektrischen Kontaktierungsmitteln und zum Schutz des freien Endes des
Piezoschwingelementes 6. Vorzugsweise können spezielle Steckverbinder
für die Aufnahme der elektrischen Kontaktierungsmittel der Ventilelemente
vorgesehen werden, die ebenfalls modular in jede Aussparung 5 eines
Ventilelementes passen und beispielsweise durch Schnappeinrichtungen
lösbar befestigt werden können. Durch derartige Steckverbinder wird die
elektrische Verbindung zwischen den einzelnen Ventilelementen und von der
gemeinsamen zentralen Steuer- oder Meß- und Regeleinheit sichergestellt.
Von einer Seite ist ein Einschnitt 7 in dem Gehäuse 1 zur Aufnahme des
Piezoschwingelementes 6 so vorgesehen, daß das Piezoschwingelement 6
spielfrei in diesem Einschnitt 7 gehalten wird. Die Halterung im Einschnitt 7
wird vorzugsweise durch eine gasdichte Verklebung oder mit geeigneten
Dichtmitteln vorgenommen. Wie in Fig. 2 zu erkennen ist, liegt die Dichtung
8 aus einem aufgeklebten Elastomer, beispielsweise auf Butyl-Basis, mit O-Ring-
Kontur kraftfrei auf der Dichtfläche 9 auf. Die Dichtung 8 kann alternativ
entweder am freien Ende des Piezoschwingelementes 6 oder auf der
Dichtfläche 9 befestigt sein. Diese zweite Alternative ergibt geringere
bewegte Massen und somit kürzere Schaltzeiten und geringere Belastung
des Piezoschwingelementes 6. Durch Verwendung von Dichtmasse oder
Kleber zur Montage des Piezoschwingelementes 6 wird einerseits
Gasdichtigkeit gegenüber der Umgebung sowie Bündigkeit bezüglich der
Anreihfläche 10 des Gehäuses 1 des Ventilelementes erreicht. In die
Dichtfläche 9 mündet ein Dosierkanal 11, durch den Gas vom Druckgaskanal
2 zum Gasentsorgungskanal 3 strömen kann. Der exakte Gasdurchfluß wird
mit einer Dosierschraube 12 eingestellt, in welcher sich eine
Präzisionsbohrung, beispielsweise ein Uhrenstein, befindet. Damit der
Dosierkanal 11 und die Dosierschraube 12 fertigbar und montierbar sind,
kann eine nicht dargestellte Montagebohrung im unteren Teil des Gehäuses
1 in den Druckgaskanal 2 vorgesehen sein, welche nach erfolgter Montage
mit einer Verschlußkugel oder einem Dichtmaterial verschlossen wird. Um
eine erfindungsgemäße modulare Piezoventilanordnung, also eine
Ventilbank, aufzubauen, ist in Fig. 3 dargestellt, wie mehrere, nämlich
beispielsweise drei, einzelne Ventilelemente über ihre Bohrungen 4
beispielsweise auf Stehbolzen aufgefädelt werden können. Dabei entsteht
jeweils ein über die Breite der ganzen Ventilanordnung verlaufender
Druckgaskanal 2 und ein Gasentsorgungskanal 3. Vor das erste
Ventilelement ist eine Anschlußplatte 13 mit Druckgasanschluß 14 und
Gasentsorgungsanschluß 15 zur Verbindung mit dem Druckgaskanal 2 und
dem Gasentsorgungskanal 3 montiert. Hinter das letzte Ventilelement ist
eine Abschlußplatte 16 zum Verschluß der Längskanäle montiert. Da die
aufeinanderliegenden Anreihflächen 10 der einzelnen Ventilelemente
planparallel sind, genügt zur Dichtung die Verwendung von lösbaren
Dichtmassen, wie beispielsweise Hylomar, Silikon oder anderen geeigneten
Materialien. Je nach Anwendung kann auch an beiden Seiten eine gleiche
Abschlußplatte 16 vorgesehen werden und an einer Stelle zwischen zwei
einzelnen Ventilelementen ein Ver- und Entsorgungsmodul. Zur
Kontaktierung der Piezoschwingelemente 6 werden bei Verwendung eines
Gehäuses 1 aus Metall die beiden Außenelektroden der
Piezoschwingelemente praktischerweise direkt mit dem Gehäuse 1 und
dieses dann mit der Gerätemasse verbunden. Als Ansteuerleitung muß nun
pro Ventilelement jeweils nur die Mittelelektrode kontaktiert werden. Bei
Verwendung eines Gehäuses 1 aus Kunststoff müssen auch die beiden
Außenelektroden kontaktiert werden, vorzugsweise mit dem gleichen
Potential. Die Kontaktierung kann, wie dem Fachmann bekannt ist, entweder
durch Anlöten, durch Aufstecken mit Federclip oder durch spezielle
Steckverbinder erfolgen, die genau in die Aussparung 5 der Ventilelemente
passen.
In einer praktischen Anwendung bei einem typischen Vordruck im
Druckgaskanal 2 von etwa 2 bar (beziehungsweise 1 bis 3 bar) ergibt sich
durch überkritische Dosierung, also solange der absolute Hinterdruck im
Gasentsorgungskanal 3 nicht größer als die Hälfte des absoluten Vordruckes
im Druckgaskanal 2 ist, ein vom Hinterdruck des Ventilelements
unabhängiger Volumenstrom.
In einer aktuellen Anwendung in der Beatmung liegt der Volumenstrom der
Atemluft im Bereich von einigen Millilitern pro Minute bis zu 100 Litern pro
Minute, insbesondere zwischen etwa 0,03 Litern pro Minute und 60 Litern
pro Minute.
Bei binärer Stufung der einzelnen Ventilelemente sind hierfür pro Gasart 10
bis 12 Ventilelemente erforderlich.
Claims (5)
1. Modulare Piezoventilanordnung, dadurch gekennzeichnet, daß
zwischen einer Anschlußplatte (13) mit einem Druckgasanschluß (14)
und einem Gasentsorgungsanschluß (15) und einer Abschlußplatte
(16) mindestens ein einzelnes Ventilelement angeordnet ist, welches in
seinem Gehäuse (1) einen Druckgaskanal (2) und einen
Gasentsorgungskanal (3) aufweist, wobei die Gasströmungsrichtung in
jedem Ventilelement vom Druckgaskanal (2) über eine Dosierschraube
(12), einen Dosierkanal (11) und ein einseitig freischwingend
gehaltenes Piezoschwingelement (6) zum Gasentsorgungskanal (3)
erfolgt.
2. Modulare Piezoventilanordnung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß jedes einzelne Ventilelement ein oder mehrere
parallelgeschaltete, körperlich verbundene Piezoschwingelemente (6)
aufweist, deren eine Seite im Gehäuse (1) gasdicht eingeklebt ist und
deren entgegengesetzte Seite im elektrisch nicht angesteuerten
Ruhezustand entweder verschließend auf der Dichtfläche (9) ruht oder
eine definierte Öffnung bildet.
3. Modulare Piezoventilanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die ansonsten gleichen Ventilelemente durch die
jeweils zugehörige Dosierschraube (12) für unterschiedliche
Gasvolumenströme eingestellt sind und jedes Piezoschwingelement (6)
entsprechend dem eingestellten Gasvolumenstrom angesteuert wird.
4. Modulare Piezoventilanordnung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Anschlußplatte (13) als Abschlußplatte (16)
ausgebildet ist und daß zwischen mindestens zwei Ventilelementen
mindestens ein Ver- und Entsorgungsmodul vorgesehen ist für die
Zuführung verschiedener Gase zum Druckgaskanal (2) und zur
Abführung des Gasgemisches aus dem Gasentsorgungskanal (3).
5. Modulare Piezoventilanordnung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Abschlußplatte (16) als Anschlußplatte (13)
ausgebildet ist mit mindestens je einem Druckgasanschluß (14) und
einem Gasentsorgungsanschluß (15) und daß an einer Stelle der
Piezoventilanordnung der Druckgaskanal (2) mit einer Dichtung
zwischen zwei einzelnen Ventilelementen verschlossen ist und alle
Ventilelemente auf den gemeinsamen Gasentsorgungskanal (3) wirken.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19723388A DE19723388C1 (de) | 1997-06-04 | 1997-06-04 | Modulare Piezoventilanordnung |
SE9702998A SE512856C2 (sv) | 1997-06-04 | 1997-08-20 | Modulär piezoventilanordning |
US08/964,834 US5881767A (en) | 1997-06-04 | 1997-11-05 | Modular piezo valve arrangement |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19723388A DE19723388C1 (de) | 1997-06-04 | 1997-06-04 | Modulare Piezoventilanordnung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19723388C1 true DE19723388C1 (de) | 1998-07-02 |
Family
ID=7831365
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19723388A Expired - Fee Related DE19723388C1 (de) | 1997-06-04 | 1997-06-04 | Modulare Piezoventilanordnung |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5881767A (de) |
DE (1) | DE19723388C1 (de) |
SE (1) | SE512856C2 (de) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19840597A1 (de) * | 1998-09-05 | 2000-03-16 | Festo Ag & Co | Ventilanordnung mit mindestens einer aus mehreren elektrisch betätigbaren Ventilen bestehenden Ventileinheit |
DE19901253B4 (de) * | 1999-01-15 | 2006-02-23 | müller co-ax ag | Koaxialventil mit Strangpreßprofil als Gehäusekörper |
DE10028049B4 (de) * | 2000-06-06 | 2006-06-29 | Lindauer Dornier Gmbh | Düsenwebmaschine mit einem Schussfadeneintragssystem |
WO2009012838A1 (de) * | 2007-07-26 | 2009-01-29 | Festo Ag & Co. Kg | Piezoelektrische ventilbatterie |
DE102010035747A1 (de) | 2010-08-28 | 2012-03-01 | Festo Ag & Co. Kg | Ventileinheit |
WO2014079615A1 (de) * | 2012-11-20 | 2014-05-30 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum herstellen einer ventileinrichtung sowie entsprechende ventileinrichtung |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6836056B2 (en) | 2000-02-04 | 2004-12-28 | Viking Technologies, L.C. | Linear motor having piezo actuators |
AU2001243481A1 (en) | 2000-03-07 | 2001-09-17 | Viking Technologies, Inc. | Method and system for automatically tuning a stringed instrument |
US6548938B2 (en) * | 2000-04-18 | 2003-04-15 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus having a pair of opposing surfaces driven by a piezoelectric actuator |
US6717332B2 (en) | 2000-04-18 | 2004-04-06 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus having a support structure and actuator |
US6759790B1 (en) | 2001-01-29 | 2004-07-06 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus for moving folded-back arms having a pair of opposing surfaces in response to an electrical activation |
US6879087B2 (en) * | 2002-02-06 | 2005-04-12 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus for moving a pair of opposing surfaces in response to an electrical activation |
US7040349B2 (en) * | 2002-03-27 | 2006-05-09 | Viking Technologies, L.C. | Piezo-electric actuated multi-valve manifold |
WO2004001871A2 (en) * | 2002-06-21 | 2003-12-31 | Viking Technologies, L.C. | Uni-body piezoelectric motor |
US7021191B2 (en) * | 2003-01-24 | 2006-04-04 | Viking Technologies, L.C. | Accurate fluid operated cylinder positioning system |
JP2006522298A (ja) * | 2003-04-04 | 2006-09-28 | バイキング テクノロジィーズ エル.シー. | 圧電作動マルチバルブマニホールド |
JP4344164B2 (ja) * | 2003-04-18 | 2009-10-14 | 株式会社サタケ | 圧電式エアバルブおよび複合圧電式エアバルブ |
US8408237B2 (en) * | 2009-09-04 | 2013-04-02 | Automatic Switch Company | Modular spool valve |
DE102018004341A1 (de) * | 2018-05-31 | 2019-12-05 | Drägerwerk AG & Co. KGaA | Beatmungsgerät und Verfahren zum Betrieb eines Beatmungsgeräts |
US11079035B2 (en) | 2019-07-12 | 2021-08-03 | Pivotal Systems Corporation | Preloaded piezo actuator and gas valve employing the actuator |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0109239A1 (de) * | 1982-11-12 | 1984-05-23 | Kiwi Coders Corporation | Piezo-elektrisches Fluidsteuergerät |
DE4111890A1 (de) * | 1991-04-09 | 1992-10-15 | Mannesmann Ag | Ventilbatterie, insbesondere fuer gasfoermige medien |
DE29514495U1 (de) * | 1995-09-08 | 1995-11-02 | Buerkert Werke Gmbh & Co | Ventil mit piezoelektrischer Lamelle |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3062410A (en) * | 1960-05-23 | 1962-11-06 | John T Schwieger | Proportioning dispenser |
US3111139A (en) * | 1961-09-29 | 1963-11-19 | Beckett Harcum Co | Stack type valves |
US3295552A (en) * | 1962-06-25 | 1967-01-03 | Monsanto Co | Apparatus for combining spinning compositions |
US3194257A (en) * | 1963-10-30 | 1965-07-13 | Borg Warner | Stacked valve assembly |
US3382534A (en) * | 1965-08-19 | 1968-05-14 | Monsanto Co | Plate type fluid mixer |
US3614486A (en) * | 1969-11-10 | 1971-10-19 | Physics Int Co | Lever motion multiplier driven by electroexpansive material |
US3746041A (en) * | 1971-02-02 | 1973-07-17 | Process Systems | Fluid flow control system |
JPS5440709B2 (de) * | 1972-04-01 | 1979-12-05 | ||
US4020862A (en) * | 1973-12-15 | 1977-05-03 | Idra-Pressen G.M.B.H. | Apparatus for controlling the volume and pressure of a pressure medium in a die-casting machine |
DE2404062C3 (de) * | 1974-01-29 | 1978-04-20 | Draegerwerk Ag, 2400 Luebeck | Atemgaszuführungsregler, insbesondere für Höhenatemgeräte |
US4109680A (en) * | 1977-01-03 | 1978-08-29 | Lavender Ardis R | Plate type fluid distributing device |
US4340083A (en) * | 1978-11-30 | 1982-07-20 | Carleton Controls Corporation | Deflectable beam valve |
US4303097A (en) * | 1979-11-19 | 1981-12-01 | Powell Industries, Inc. | Digital fluid flow control apparatus |
JPS57136859U (de) * | 1981-02-18 | 1982-08-26 | ||
DE3130056C2 (de) * | 1981-07-30 | 1983-11-17 | Festo-Maschinenfabrik Gottlieb Stoll, 7300 Esslingen | Steuerventilanordnung für einen Druckmittel-Arbeitszylinder |
DE3215782C2 (de) * | 1982-04-28 | 1985-07-11 | Festo-Maschinenfabrik Gottlieb Stoll, 7300 Esslingen | Ventilbank |
US4558845A (en) * | 1982-09-22 | 1985-12-17 | Hunkapiller Michael W | Zero dead volume valve |
DE3432466C2 (de) * | 1984-09-04 | 1986-10-30 | Boge Gmbh, 5208 Eitorf | Drosselventil |
US4709858A (en) * | 1986-03-14 | 1987-12-01 | Robotic Vision System, Inc. | Digital flow control system |
GB8712951D0 (en) * | 1987-06-03 | 1987-07-08 | Rolls Royce Plc | Valve |
US4949757A (en) * | 1988-03-24 | 1990-08-21 | Steve Lashta | Hydraulic control system |
US4858636A (en) * | 1988-05-11 | 1989-08-22 | Adkins Donald E | Preset microscopic flow valve apparatus and method |
US5653259A (en) * | 1994-10-17 | 1997-08-05 | Applied Biosystems, Inc. | Valve block |
-
1997
- 1997-06-04 DE DE19723388A patent/DE19723388C1/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-08-20 SE SE9702998A patent/SE512856C2/sv not_active IP Right Cessation
- 1997-11-05 US US08/964,834 patent/US5881767A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0109239A1 (de) * | 1982-11-12 | 1984-05-23 | Kiwi Coders Corporation | Piezo-elektrisches Fluidsteuergerät |
DE4111890A1 (de) * | 1991-04-09 | 1992-10-15 | Mannesmann Ag | Ventilbatterie, insbesondere fuer gasfoermige medien |
DE29514495U1 (de) * | 1995-09-08 | 1995-11-02 | Buerkert Werke Gmbh & Co | Ventil mit piezoelektrischer Lamelle |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19840597A1 (de) * | 1998-09-05 | 2000-03-16 | Festo Ag & Co | Ventilanordnung mit mindestens einer aus mehreren elektrisch betätigbaren Ventilen bestehenden Ventileinheit |
DE19901253B4 (de) * | 1999-01-15 | 2006-02-23 | müller co-ax ag | Koaxialventil mit Strangpreßprofil als Gehäusekörper |
DE10028049B4 (de) * | 2000-06-06 | 2006-06-29 | Lindauer Dornier Gmbh | Düsenwebmaschine mit einem Schussfadeneintragssystem |
WO2009012838A1 (de) * | 2007-07-26 | 2009-01-29 | Festo Ag & Co. Kg | Piezoelektrische ventilbatterie |
DE102010035747A1 (de) | 2010-08-28 | 2012-03-01 | Festo Ag & Co. Kg | Ventileinheit |
DE102010035747B4 (de) * | 2010-08-28 | 2013-05-29 | Festo Ag & Co. Kg | Ventileinheit |
WO2014079615A1 (de) * | 2012-11-20 | 2014-05-30 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum herstellen einer ventileinrichtung sowie entsprechende ventileinrichtung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SE9702998D0 (sv) | 1997-08-20 |
SE512856C2 (sv) | 2000-05-22 |
US5881767A (en) | 1999-03-16 |
SE9702998L (sv) | 1999-01-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19723388C1 (de) | Modulare Piezoventilanordnung | |
DE3902738C2 (de) | Düsenklappenvorrichtung | |
DE2752938C2 (de) | Steuerventilanordnung für zahnärztliche Geräte | |
DE3608550A1 (de) | Piezo-elektrisch betaetigbares ventil | |
CH654754A5 (de) | Mischkammer. | |
EP0725175A2 (de) | Düsenbalken an einer Vorrichtung zur Erzeugung von Flüssigkeitsstrahlen | |
DE3513587A1 (de) | Spruehduese, insbesondere fuer spritzpistolen | |
EP1564464A1 (de) | Piezoventil | |
DE102006019997A1 (de) | Saug- und Saugabschalt-Verbundventil | |
DE3153394C2 (de) | ||
DE102005007242A1 (de) | Druckluft-Drosselvorrichtung und Pulversprühbeschichtungsvorrichtung | |
WO1999030037A1 (de) | Kältemittelverdichter mit verbessertem ventil | |
DE102010038583A1 (de) | Düsenanordnung zum Abgeben von flüssigem Material | |
EP0683931B1 (de) | Befehls- und/oder meldegerät | |
DE10228872B4 (de) | Regulierventil für einen Türschließer oder hydraulischen Drehflügelantrieb | |
EP1136126B1 (de) | Dosiervorrichtung für insbesondere zähflüssige Flüssigkeiten | |
DE10315460A1 (de) | Ventilanordnung für gasförmige und flüssige Medien | |
DE4026492A1 (de) | Vorrichtung mit pulsventil zur dosierbaren ausgabe von gasen | |
DE102007027961B3 (de) | Ventil | |
EP0016412B1 (de) | Druckluftbetätigtes Ventil | |
DE3907631A1 (de) | Volumenstrom-kontrollsystem fuer schmieranlagen | |
DE2255278B2 (de) | Steuerschieber mit einer durch eine schenkelfeder anpressbaren schieberplatte | |
EP0332100B1 (de) | Entlüftungsvorrichtung für eine Flüssigkeitspumpe | |
DE102022002479B3 (de) | Batteriegehäuse | |
DE10163916B4 (de) | Ventil |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8100 | Publication of the examined application without publication of unexamined application | ||
D1 | Grant (no unexamined application published) patent law 81 | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |