JPS59136743A - 像担持体 - Google Patents

像担持体

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JPS59136743A
JPS59136743A JP1193383A JP1193383A JPS59136743A JP S59136743 A JPS59136743 A JP S59136743A JP 1193383 A JP1193383 A JP 1193383A JP 1193383 A JP1193383 A JP 1193383A JP S59136743 A JPS59136743 A JP S59136743A
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JP
Japan
Prior art keywords
barrier layer
amorphous silicon
layer
image carrier
conductive substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1193383A
Other languages
English (en)
Inventor
Mutsuki Yamazaki
六月 山崎
Hidekazu Kaga
英一 加賀
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Priority to US06/547,921 priority patent/US4641168A/en
Priority to DE3340568A priority patent/DE3340568C2/de
Publication of JPS59136743A publication Critical patent/JPS59136743A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G5/00Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
    • G03G5/02Charge-receiving layers
    • G03G5/04Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
    • G03G5/043Photoconductive layers characterised by having two or more layers or characterised by their composite structure
    • G03G5/0433Photoconductive layers characterised by having two or more layers or characterised by their composite structure all layers being inorganic

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Photoreceptors In Electrophotography (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、画像形成装置たとえば電子写真装置に使用
可能な像担持体たとえば電子写真感光体の技術分野に属
する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
一般に像担持体たとえば電子写真感光体は、光導電性を
有する一方、コロナ放電による感光体表面の電荷を一定
時間保持することができなければならない。つまり、電
子写真感光体は、その感光特性として、暗抵抗が101
4Ω傭程度であることを要する。しかし、光導電物質に
よっては、暗抵抗が低過ぎて、その光導電物質の単層の
みでは十分な感光特性が得られない。そこで、従来の電
子写真感光体は、導電性基体上に、比抵抗の高い層ある
いはル型若しくはp型の半導体物質よりなる層を形成し
、さらにその上に光導電性層を形成することにより、導
電性基体から感光層への電荷の流入を防止していた。ま
た、導電性基体からの電荷の流入を防止するために、導
電性基体上に、B(硼素)とC(炭素うとをドーピング
したアモルファスシリコン層と、Bf少量ドーピングし
たアモルファスシリコン層と、Cをドーピングしたアモ
ルファスシリコン層とをこの順に積層してなり、表面電
位として300Vの帯電能を有する電子写真感光体もあ
る。
しかしながら、前記いずれの電子写真感光体も、帯電後
15秒経過時の電位保持率は約60チ程度であり、導電
性基体からの電荷の流入防止は未だ完全であるとはいえ
ない。
〔発明の目的〕
この発明は、前記事情に鑑みてなされたものであり、導
電性基体からの電荷の流入を有効に防止して、帯電能お
よび電位保持率の向上した像担持体を提供することを目
的とするものである。
〔発明の概要〕
前記目的を達成するためのこの発明の概要は、導電性基
体上に、導電性基体からの電荷流入を防止する第1障壁
層と、第1障壁j悔よりも高抵抗の第2障壁層と、光導
電性層とをこの順に成層してなることを特徴とするもの
である。
〔発明の実施例〕
この発明に係る像担持体たとえば電子写真感光体は、第
1図に示すように、導電性基体2の表面に、第1障壁層
4と、第2障壁層6と、、光導電性層8と、表面被覆層
10とをこの順に成層してなり、感光層として四層構造
を有する。
導電性基体2は、導電性物質たとえばアルミニウムで、
平板状あるいはドラム状に形成して用いられる。
第1障壁層4は、導電性基体2から光導電性層8への電
荷の注入を防止する層であり、たとえば、高抵抗物質、
p型またはn型の半導体により形成することができる。
前記p型またはル型の半導体としては、たとえばアモル
ファスシリコン、アモルファスシリコンに第fJJB族
元素たとえばBおよび/または第■B族元累たとえばP
(リン)をドーピングし、価電子の制御を可能とするも
のが挙げられる。この第1障壁層の抵抗値は107Ωc
m程度である。
第2の障壁層6は、第1障壁層4の電荷注入防止機能を
補助するものであって、第1障壁層4よりも高抵抗値た
とえば1013Ω偏程度を有する。そして、第2障壁層
6として、たとえば、アモルファスシリコンに、C(炭
g> 、 N (窒素)およびO(酸素)よりなる群よ
り選択される1種または2種以上の原子をドーピングし
てなるものが挙げられる。前記原子のドーピング量は、
第2障壁層6を形成する際の原料ガス中の、前記原子含
有の分子を有するガス流量比と対応付けることができ、
たとえばCをドーピングする場合、 CH4ガス流量は
シリコン原子含有の分子たとえばSiH4ガス流量に対
し、10〜600%が好ましく、また、Nをドーピング
する場合、H3ガス流量はたとえばS*H+ガス流量に
対し、5〜200チが好ましい。なお、C−fドーピン
グする場合、Cf含有するガスとして・たとえばCH4
・C,H6・C2H4・C2H2等が挙げられ、Nfz
ドーピングする場合、Nを含有するガスとして、たとえ
ばNH3,N2. H2N−HN2(ヒドラジン)  
、 HN3. NH4N3等が挙げられ、また、Ot−
ドーピングする場合、 Ot−含有するガスとして、た
とえば02. N、0 、 No 、 NO2,N2O
4,CO2,Co 。
03等が挙げられる。
光導電性層8としては、公知の光導電性物質で形成する
ことができ、たとえばアモルファスシリコン、Bfドー
ピングしたアモルファスシリコンを用いることができる
表面被覆層10は、直流コロナ放電による電荷を保持す
るための表面層であり、たとえばC’zドーピングした
アモルファスシリコン、Nfドーピングしたアモルファ
スシリコン等で形成することができる。なお、表面被覆
層10は、この発明の目的に対し、必らずしも必須とい
うものではない。
以上構成の電子写真感光体は、たとえば、第2図に示す
電子写真感光体製造装置により製造することができる。
第2図に示すように、電子写真感光体製造装置は、基台
12上に反応容器としての真空チェンバ14を気密可能
に装着し、基台12に接続するパイプ16を介して排気
装置たとえばメカニカルブースタポンプ18およびロー
タリーポンプ20により真空チェンバ14内を電圧たと
えば1O−6Torr  にするように構成される。真
空チェンバ14内の基台12上には、ドラム保持装置2
2がギヤ24を介して駆動装置26により回転可能に立
設されている。前記ドラム保持装置22は、円筒形のド
ラム状導電性基体28を装着することができると共に、
ヒータ60を有して前記ドラム状導電性基体28を所定
温度たとえば150〜300℃に加熱することができる
ように構成される。前記ドラム保持装置22の周囲には
、ガス導入部32が前記ドラム保持装置22を囲繞する
ように配置される。ガス導入部62の、前記ドラム保持
装置22に保持されたドラム状導電性基体28の外周面
に対向する内周面は、複数個のガス噴出孔34を有する
と共に電圧の印加により放電を可能とする電極66を兼
ねている。ガス導入部62は、パイプを介して真空チェ
ンバ14外のバルブ68により真空チェンバ14内に導
び(ガスの流量が調節されるように構成されている。な
お、40で示すのは電源である。
次に、第2図に示す電子写真感光体製造装置を用いてこ
の発明に係る像担持体を製造する実験例を次に示す。
実施例 先ず、基台12より真空チェンバ14を開放して、ドラ
ム保持装置22の細径部にドラム状導電性基体28を装
着した後、基台12に真空チェンバ14を気密に装着す
る。次いで、ヒータ60により前記ドラム状4亀性基体
28 ’c 200〜250℃に加熱し、また、ロータ
リーポンプ20により真空チェンバ14内を約I CJ
”Torrに減圧する〇真空チェンバ14内の排気系を
、ロータリーポンプ20からメカニカルブースタポンプ
18に切り換えると同時にバルブ68を開いて、原料ガ
スを真空チェンバ14内に導び(。前記原料ガスは、ガ
ス導入部62内を通り、ガス噴出孔ろ4よりドラム状導
電性基体28に向って噴出する。噴出する混合ガスはメ
カニカノンブースタポンプ18により真空チェンバ14
外に排気される。
そこで、真空チェンバ14内の混合ガス圧が0.4To
τrになるようにバルブ38およびメカニカルブースタ
ポンプ18を調節すると共に、駆動装置26によりドラ
ム保持装置22を回転させる。
13.56MH2,20〜300Fの高周波電力を電極
36に印加すると共にドラム状導電性基体28を接地す
ることにより原料ガス中で放電を行なうと共に、第1表
に示“す組成および流量比、成膜時間をもって原料ガス
を供給することにより、ラジカルを有するプラズマを現
出し、前記ドラム状導電性基体28上に、第1表に示す
厚みの第1障壁層4、第2障壁層6、光導電性層8およ
び表面被覆層10を成層した。得られた電子写真感光体
の帯電能は、表面電位470Vであり、帯電後15秒経
過時の電位保持率は76%であった。
(以下余白) 実施例 第12図に示す電子写真感光体製造装置を用いて、第2
表に示す組成、流量比および成膜時間の原料ガスを用い
たほかは、実験例1と同様にして電子写真感光体を製造
した。
(以下余白) 得られた電子写真感光体の帯電能は、表面電位440v
であり、帯電後15秒経過時の電位保持率は72チであ
った。
〔発明の効果〕
この発明によると、像担持体の帯電能および電位保持率
を、従来のそれよりも著しく向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明に係る像担持体を示す断面図、第2図
は電子写真感光体を製造する一例である電子写真感光体
製造装置を示す説明図である。 2・・・導電性基板、 4・・・第1障壁層、  6・
・・第2障壁層、 8・・・光導電性層、 28・・・
像担持体(電子写真感光体)。 ・5.ノ゛ +、−I、/ 手続補正書 1.事件の表示 昭和58年特許顧第11933号 2、発明の名称 (新)光導電部側 (旧)像担持体 6、補正をする者 事件との関係 ’f:f許出願人 出願人 理 人 6、袖正により増加する発明の数  O入補正の対象 明細書の「発明の名称」、「特許請求の範囲」、「発明
の詳細な説明」および「図面の簡単な説明」の各欄8、
補正の内容 別l8−(す$′1び(′)のとおり  、べ1;1さ
、別紙(す (1、発明の名称の欄に記載の「像担持体」を「光導電
部材」に補正する。 (2、特許請求の範囲の欄の記載を別紙(2)のとおり
に補正する。 (3)明細書の第2ページ第17行に記載の「画像形成
装置たとえば」を削除する。 (4)明細書の第2ページ第18行に記載の「像担持体
たとえば」を削除する。 (5)明細書の第2ページ第19行に記載の「の技術分
野に属する。」を「に利用される光4電部材に関する。 」に補正する。 (6)明細書の第6ページ第1行に記載の「像担持体た
とえば」を削除する。 (7)明細書の第6ページ第2行に記載の「コロナ放電
による感光体」を「その」に補正する。 (8)明細書の第6ページ第4〜5行に記載の「感光特
性」を「感光体特性」に補正する。 (9)明細書の第6ページ第5行に記載の[暗抵抗が丁
の前に[暗中の比抵抗、すなわち、」を加入Tる。 (lO)明細書の第6ページ第7行に記載の「単層のみ
」と「では」との間に「からなる電子写真感光体」を加
入する。 (11)明細書の第6ページ第8行に記載の「感光特性
」を「感光体特性(遜荷保持能)Jに補正する。 (呻 明細書の第6ページ第11行に記載の「層」を「
障壁層」に補正−り−る。 (l■ 明細書の第6ページ第16行に記載の1″!た
」を「たとえば」に補正する。 04)明細書の第4ページ第8〜9行に記載の「像担持
体」を「光・4電部材」に補正する。 (15)明細書の第4ページ第16行に記載の「第1障
壁層よりも冒抵抗の」を削除1−る。 (16)明細書の第4ページ第14〜15行に記載の「
成層してなる」を「具備した」に補正する。 <17)  明細書の第4ページ第17行に記載の「像
担持体たとえば」を[光導電部材としての」に補正する
。 (ロ)明細書の第5ページ第1行に記載の「感光層」を
「感光体」に補正する。 σ9)明細書の第5ページ第10行に記載のまたとえば
B」と「およ」との間に「(ホウ素)」を挿入する。 に)明細書の第7ページ第6〜5行に記載の「Cをドー
ピングしたアモルファスシリコン、Nをドーピングした
アモルファスシリコン」を「非晶質炭化ケイ素、非晶質
窒化ケイ素」に補正する。 (21)明細書の第8ページ第17行、第14ページ第
5行、同ページ第9行、および同ページ第16行に記載
の「像担持体」を「光導′成部材」に補正する。 別紙(2、 特許請求の範囲を下記のように補正する。 記 (1)  導電性基体上に、導電性基体からの電荷流入
を防止する第1障壁層、第2障壁層および光導電性層を
この順に具備したことを特徴とする光導電部側。 子制御可能であることを特徴とする特許請求の範も も 第1項ないし第9項のいずれかに記載の光導電部ゼ1エ 267−

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)  導電性基体上に、導電性基体からの電荷流入
    を防止する第1障壁層、第2障壁層および光導電性層を
    この順に成層してなることを特徴とする像担持体。
  2. (2)前記第1障壁層は、ル型またはp型の半導体物質
    により形成されることを特徴とする特許請求の範囲第1
    項に記載の像担持体。
  3. (3)前記第1障壁層は、ル型またはP型の半導体物質
    に第fJIB族および第■B族に属する原子よりなる群
    より選択される1種または2種以上の原子をドーピング
    し、価電子制御可能とすることを特徴とする特許請求の
    範囲第1項に記載の像担持体。
  4. (4)前記第1障壁層は、アモルファスシリコンを主成
    分とすることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載
    の像担持体。
  5. (5)前記第2障壁層および光導電性層は、アモルファ
    スシリコンを主成分とすることを特徴とする特許請求の
    範囲第1項ないし第4項のいずれかに記載の像担持体。
  6. (6)前記第2障壁層は、C,NおよびOよりなる群よ
    り選択される1種または2種以上の原子をドーピングし
    てなることを特徴とする特許請求の範囲第1項ないし第
    5項のいずれかに記載の像担持体。 (力 前記表面被覆層は、C,NおよびOよりなる群よ
    り選択される1種または2種以上の原子をアモルファス
    シリコン中にドーピングしてなることを特徴とする特許
    請求の範囲第1項ないし第5項のいずれかに記載の像担
    持体。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60154257A (ja) * 1984-01-24 1985-08-13 Kyocera Corp 電子写真感光体
JPS61223848A (ja) * 1985-03-29 1986-10-04 Shindengen Electric Mfg Co Ltd 電子写真用感光体
JPS62258464A (ja) * 1986-04-08 1987-11-10 Canon Inc 光受容部材
JP2010002835A (ja) * 2008-06-23 2010-01-07 Kyocera Mita Corp 画像形成装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60154257A (ja) * 1984-01-24 1985-08-13 Kyocera Corp 電子写真感光体
JPH0514901B2 (ja) * 1984-01-24 1993-02-26 Kyosera Kk
JPS61223848A (ja) * 1985-03-29 1986-10-04 Shindengen Electric Mfg Co Ltd 電子写真用感光体
JPH0554953B2 (ja) * 1985-03-29 1993-08-13 Shindengen Electric Mfg
JPS62258464A (ja) * 1986-04-08 1987-11-10 Canon Inc 光受容部材
JP2010002835A (ja) * 2008-06-23 2010-01-07 Kyocera Mita Corp 画像形成装置

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