JPS59129661A - 研磨用プレ−ト - Google Patents
研磨用プレ−トInfo
- Publication number
- JPS59129661A JPS59129661A JP58002499A JP249983A JPS59129661A JP S59129661 A JPS59129661 A JP S59129661A JP 58002499 A JP58002499 A JP 58002499A JP 249983 A JP249983 A JP 249983A JP S59129661 A JPS59129661 A JP S59129661A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- plate
- thermal expansion
- grinding
- bonding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/11—Lapping tools
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、（σＩ磨出用ブレー１に関するものであり持
【こＪｉ” ｔｉ’ｌｉ ／！：接着して研磨するいわ
ゆる片面接着法に過ジる萌１￥用ブレー１−に関するも
のである。
【こＪｉ” ｔｉ’ｌｉ ／！：接着して研磨するいわ
ゆる片面接着法に過ジる萌１￥用ブレー１−に関するも
のである。
従来、片面接着法の研磨用プレーＦ・は、主として錆び
ないという理由で、スアンレス鋼が用いられＣいた。し
かしながら、例えば被研磨拐であるＧＧＧつエバーに比
し熱膨張係数が太さいという欠点かあった。すなわら、
一般に接石材としＣは熱軟１ヒｆ１の接盾剤を使用づ−
るので、接着口４の濯Ｉ反は１４０・〜２００ ’Ｃど
なるが、接着後の実際の研磨時には３０・〜５０°Ｃど
低くなり、この際、研磨プレー（・の伸ひかウェハーの
伸びより大きいためにウェハーの粘度が維持され；なく
なり、研磨後の加工精度が悲くなるという欠点があった
。また、接おりが弱いと研磨中にはがれる原因ともなっ
ていた。
ないという理由で、スアンレス鋼が用いられＣいた。し
かしながら、例えば被研磨拐であるＧＧＧつエバーに比
し熱膨張係数が太さいという欠点かあった。すなわら、
一般に接石材としＣは熱軟１ヒｆ１の接盾剤を使用づ−
るので、接着口４の濯Ｉ反は１４０・〜２００ ’Ｃど
なるが、接着後の実際の研磨時には３０・〜５０°Ｃど
低くなり、この際、研磨プレー（・の伸ひかウェハーの
伸びより大きいためにウェハーの粘度が維持され；なく
なり、研磨後の加工精度が悲くなるという欠点があった
。また、接おりが弱いと研磨中にはがれる原因ともなっ
ていた。
本発明は、上記従来技術の欠点をなくし加工精度の良い
ウェハーを提供することを目的どするものであり、前記
目的を達成するために、熱膨張係数の等しいプレートを
用いて接着し、研磨Ｊることを特徴とするものである。
ウェハーを提供することを目的どするものであり、前記
目的を達成するために、熱膨張係数の等しいプレートを
用いて接着し、研磨Ｊることを特徴とするものである。
ＧＧＧウエハーノ熱膨張係数ハ９．５ｘ １０−６／”
ＣテアＺ＞６’）ニ対し、スア’） Ｌ／ ス＋３１６
，５ｘ １０−６／ °Ｃ（Ｓ Ｕ Ｓ ３０４）であ
る。したがって温度差が１００°Ｃ１ウエハーが４″φ
（１００＋＋＋／′ｎｌ径）とすると、伸ひの差は７０
μｎ１と大きく、このためつｌバーは大きく反ってしま
う。これに対し本発明によれば、ωＩ磨出用プレー１−
材斜して、例えば、４２Ｎｉ−ＧＣｒ−Ｆｅを用いた場
合には、−この熱膨張係数は９．１・〜９．８ｘ１０
７℃であり、伸ひの差は最大でも４μｍとなり、このた
め接名時のプレートとウェハーの精度が維持されたまま
加工されるので、極めて精度の高いウェハーが１ｑられ
る。
ＣテアＺ＞６’）ニ対し、スア’） Ｌ／ ス＋３１６
，５ｘ １０−６／ °Ｃ（Ｓ Ｕ Ｓ ３０４）であ
る。したがって温度差が１００°Ｃ１ウエハーが４″φ
（１００＋＋＋／′ｎｌ径）とすると、伸ひの差は７０
μｎ１と大きく、このためつｌバーは大きく反ってしま
う。これに対し本発明によれば、ωＩ磨出用プレー１−
材斜して、例えば、４２Ｎｉ−ＧＣｒ−Ｆｅを用いた場
合には、−この熱膨張係数は９．１・〜９．８ｘ１０
７℃であり、伸ひの差は最大でも４μｍとなり、このた
め接名時のプレートとウェハーの精度が維持されたまま
加工されるので、極めて精度の高いウェハーが１ｑられ
る。
前記例は、被研磨拐斜としてＧＧＧウェハーを例にとり
、ブレー１〜材を４２Ｎ！ −（ｉ（：ｒ−Ｆｅどした
例を上げたが、伯の結晶あるいは（オ買の−しのを加工
覆る場合でも、熱膨張係数の等しい材質を接着プレー１
〜として採用することにより問題は解決される。
、ブレー１〜材を４２Ｎ！ −（ｉ（：ｒ−Ｆｅどした
例を上げたが、伯の結晶あるいは（オ買の−しのを加工
覆る場合でも、熱膨張係数の等しい材質を接着プレー１
〜として採用することにより問題は解決される。
以上詳述した如く、本発明のプレー１〜を採用づ゛るこ
とにより、接着プレー［・とウェハー間の伸びの差はな
くなり、ウェハーが反ることなく、Ｊ：た接着力１：）
維持されて剥離などもなくなり、高精度の加工ウェハー
が得られる利点がある。
とにより、接着プレー［・とウェハー間の伸びの差はな
くなり、ウェハーが反ることなく、Ｊ：た接着力１：）
維持されて剥離などもなくなり、高精度の加工ウェハー
が得られる利点がある。
Claims (1)
- 被ｒＩＩＩ ｌｊｔ拐ど同（９の熱膨張係数を右づるこ
とを特徴とする研磨用プレーＬ−０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58002499A JPS59129661A (ja) | 1983-01-11 | 1983-01-11 | 研磨用プレ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58002499A JPS59129661A (ja) | 1983-01-11 | 1983-01-11 | 研磨用プレ−ト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59129661A true JPS59129661A (ja) | 1984-07-26 |
Family
ID=11531048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58002499A Pending JPS59129661A (ja) | 1983-01-11 | 1983-01-11 | 研磨用プレ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59129661A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6192549U (ja) * | 1984-11-26 | 1986-06-16 | ||
| JPS61249268A (ja) * | 1985-04-26 | 1986-11-06 | Tohoku Metal Ind Ltd | ロツド両端面の高平行度加工法 |
-
1983
- 1983-01-11 JP JP58002499A patent/JPS59129661A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6192549U (ja) * | 1984-11-26 | 1986-06-16 | ||
| JPS61249268A (ja) * | 1985-04-26 | 1986-11-06 | Tohoku Metal Ind Ltd | ロツド両端面の高平行度加工法 |
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