JPS59128812A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
- Publication number
- JPS59128812A JPS59128812A JP378083A JP378083A JPS59128812A JP S59128812 A JPS59128812 A JP S59128812A JP 378083 A JP378083 A JP 378083A JP 378083 A JP378083 A JP 378083A JP S59128812 A JPS59128812 A JP S59128812A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric vibrator
- surrounding
- oscillator
- thickness
- support member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0595—Holders; Supports the holder support and resonator being formed in one body
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、圧電振動子に関し、特に振動特性が良好で小
型化に適する圧電振動子に関する。
型化に適する圧電振動子に関する。
電子機器など種々の分野で使用されている圧電振動子は
、時計やコンピュータなどの小型化にともない、その小
型化が要求されてきている。
、時計やコンピュータなどの小型化にともない、その小
型化が要求されてきている。
第１図ないし第３図は従来の圧電振動子を示す図である
。図において、ｌは圧電振動子で、圧電振動子１はＡＴ
カット等の水晶片２の両面に電極３ａ、３ｂを設けるこ
とにより形成されている。
。図において、ｌは圧電振動子で、圧電振動子１はＡＴ
カット等の水晶片２の両面に電極３ａ、３ｂを設けるこ
とにより形成されている。
４ａ、４ｂは電極３ａ、３ｂの一部より外方へ延びる端
子部で、端子部４ａ、４ｂは互いに反対方向に延びてい
る。なお、前記電極３ａ、３ｂ及び端子部４ａ、４ｂは
金、銀、アルミニウムなどの金属を水晶片２の両面に蒸
着することにより形成される。
子部で、端子部４ａ、４ｂは互いに反対方向に延びてい
る。なお、前記電極３ａ、３ｂ及び端子部４ａ、４ｂは
金、銀、アルミニウムなどの金属を水晶片２の両面に蒸
着することにより形成される。
そして、上記圧電振動子ｌは基台５に設けたワイヤーク
リップ６．６に挾持され、電極３ａ、３ｂは端子４ａ、
４ｂ、ワイヤークリップ６．６を介して、外部導出ピン
７．７に電気的に接続されるものである。
リップ６．６に挾持され、電極３ａ、３ｂは端子４ａ、
４ｂ、ワイヤークリップ６．６を介して、外部導出ピン
７．７に電気的に接続されるものである。
しかしながら、以上の従来例にあっては、〔１〕圧電振
動子の振動部具外の水晶片の部分も振動してしまうこと
となるばかりか、その振動がワイヤークリップ６．６を
通して外部に洩れることとなり、このため不要な振動エ
ネルギーが必要となり実効抵抗が増加することとなり、
また〔２〕外部の振動が圧電振動子の振動部にワイヤー
クリップ６．６を通じて伝わってしまうため、圧電振動
子の振動に不要振動が発生することとなり、さらにまた
、〔３〕圧電振動子の振動部具外の水晶片の部分が振動
することに伴い、振動部の振動を減衰させないためワイ
ヤークリップ６．６を弾性を有する材料にする必要があ
るが、圧電振動子が落下した場合など、圧電振動子に大
きな衝撃を与えると、第１図に図示していない圧電振動
子の周りを保護するケースに圧電振動子が衝突し、該圧
電振動子を破損してしまうこととなるなど種々の欠点を
有していた・。
動子の振動部具外の水晶片の部分も振動してしまうこと
となるばかりか、その振動がワイヤークリップ６．６を
通して外部に洩れることとなり、このため不要な振動エ
ネルギーが必要となり実効抵抗が増加することとなり、
また〔２〕外部の振動が圧電振動子の振動部にワイヤー
クリップ６．６を通じて伝わってしまうため、圧電振動
子の振動に不要振動が発生することとなり、さらにまた
、〔３〕圧電振動子の振動部具外の水晶片の部分が振動
することに伴い、振動部の振動を減衰させないためワイ
ヤークリップ６．６を弾性を有する材料にする必要があ
るが、圧電振動子が落下した場合など、圧電振動子に大
きな衝撃を与えると、第１図に図示していない圧電振動
子の周りを保護するケースに圧電振動子が衝突し、該圧
電振動子を破損してしまうこととなるなど種々の欠点を
有していた・。
以上の欠点は圧電振動子が小型化すればするほど圧電振
動子の振動部と圧電振動子を保持するワイヤークリップ
が近接するため顕著になってくる。
動子の振動部と圧電振動子を保持するワイヤークリップ
が近接するため顕著になってくる。
本発明の目的は以上のような欠点を解消する圧電振動子
を提供することにある。
を提供することにある。
次に本発明の一実施例を、図面を用いて詳細に説明する
。
。
第４図は本発明に係る圧電振動子の斜視図、第５図（ａ
）は第４図に示す圧電振動子をＢ−Ｂ面で切断した断面
図、第５図（ｂ）は第４図に示す圧電振動子をＣ−０面
で切断した断面図、第６図は第４図に示す圧電振動子の
保持方法を示した図である。第４図ないし第６図におい
て、１１は圧′市振動子であり、該圧電振動子１１の表
面には該圧電振動子１１を振動させるための電極１３ａ
、１３ｂがその両面に被着されている。ここで電極１３
ａ、１３ｂは金、銀、アルミニウム等の金属を真空蒸着
の方法またはスパッターなどの方法により該圧電振動子
１１の両面に被着されるのである。１８は圧電振動子１
１を囲むように形成された圧電振動子１１の囲み部材で
ある。囲み部材１８の表面には図４ニ示すような電極１
３ａ、１３ｂの端子部１４ａ、１４ｂが被着されている
。該端子部１’ ４ ａ、１４ｂの被着の方法は電極１
３ａ、１３ｂの圧電振動子１１への被着の方法と同じで
ある。１９は圧電振動子１１の厚みの中央と圧電振動子
の囲み部材１８の厚みの中央を連結するサポート部材で
ある。サポート部材１９を圧電振動子１１の厚みの中央
に設けたのは圧電振動子１１がその両表面で厚みすべり
振動をするため、振動の最も小さい部分がその厚みの中
央部だからである。サポート部材１９の部分に水晶を薄
く残して置くのは、この部分から完全に水晶を取り除い
た場合に比べ、〔１〕圧電振動子１１の囲み部材１８へ
の保持が確実となるため、圧電振動子を下記する基台１
５へ固定する場合など圧電振動子の組み立て作業におい
て圧電振動子を破損することがなく、また圧電振動子を
電子機器などに組み込んだ後においてもその製品の耐衝
製特性を良好なものとでき、〔２〕サポ一ト部材１９を
工・ンチングで形成する場合はこの部分のエツチング時
間が短かくなるため、圧電振動子の生産性が著しく向上
する、などの効果を有するからである。
）は第４図に示す圧電振動子をＢ−Ｂ面で切断した断面
図、第５図（ｂ）は第４図に示す圧電振動子をＣ−０面
で切断した断面図、第６図は第４図に示す圧電振動子の
保持方法を示した図である。第４図ないし第６図におい
て、１１は圧′市振動子であり、該圧電振動子１１の表
面には該圧電振動子１１を振動させるための電極１３ａ
、１３ｂがその両面に被着されている。ここで電極１３
ａ、１３ｂは金、銀、アルミニウム等の金属を真空蒸着
の方法またはスパッターなどの方法により該圧電振動子
１１の両面に被着されるのである。１８は圧電振動子１
１を囲むように形成された圧電振動子１１の囲み部材で
ある。囲み部材１８の表面には図４ニ示すような電極１
３ａ、１３ｂの端子部１４ａ、１４ｂが被着されている
。該端子部１’ ４ ａ、１４ｂの被着の方法は電極１
３ａ、１３ｂの圧電振動子１１への被着の方法と同じで
ある。１９は圧電振動子１１の厚みの中央と圧電振動子
の囲み部材１８の厚みの中央を連結するサポート部材で
ある。サポート部材１９を圧電振動子１１の厚みの中央
に設けたのは圧電振動子１１がその両表面で厚みすべり
振動をするため、振動の最も小さい部分がその厚みの中
央部だからである。サポート部材１９の部分に水晶を薄
く残して置くのは、この部分から完全に水晶を取り除い
た場合に比べ、〔１〕圧電振動子１１の囲み部材１８へ
の保持が確実となるため、圧電振動子を下記する基台１
５へ固定する場合など圧電振動子の組み立て作業におい
て圧電振動子を破損することがなく、また圧電振動子を
電子機器などに組み込んだ後においてもその製品の耐衝
製特性を良好なものとでき、〔２〕サポ一ト部材１９を
工・ンチングで形成する場合はこの部分のエツチング時
間が短かくなるため、圧電振動子の生産性が著しく向上
する、などの効果を有するからである。
２０は引き出し部材であり、サポート部材１９の一部に
形成される。この引き出し部材２０は第４図に示すよう
に圧電振動子１１の振動方向であるＸ軸（電気軸）方向
と垂直なＺ′軸方向に設けるのが好ましい。圧電振動子
１１と圧電振動子の囲み部材１８とサポート部材１９と
引き出し部材２０は同一のＡＴカットなどの水晶で一体
に形成されている。
形成される。この引き出し部材２０は第４図に示すよう
に圧電振動子１１の振動方向であるＸ軸（電気軸）方向
と垂直なＺ′軸方向に設けるのが好ましい。圧電振動子
１１と圧電振動子の囲み部材１８とサポート部材１９と
引き出し部材２０は同一のＡＴカットなどの水晶で一体
に形成されている。
引き出し部材２０を設けるのは、圧電振動子１１を囲み
部材１８に、より確実に保持するためであり、また電極
１３ａ、１３ｂと端子部１４ａ、１４ｂとを導通するた
めの引き出し電極部２０ａ、２０ｂを引き出し部材２ｏ
、２０Ｊ二に形成するためである。
部材１８に、より確実に保持するためであり、また電極
１３ａ、１３ｂと端子部１４ａ、１４ｂとを導通するた
めの引き出し電極部２０ａ、２０ｂを引き出し部材２ｏ
、２０Ｊ二に形成するためである。
なお引き出し電極部２０ａ、２０ｂは、電極１３ａ、１
３ｂを圧電振動子１１に被着したのと同様の方法で金、
銀、アルミニウムなどの薄膜を引き出し部材２０．２０
上に被着することにより形成される。
３ｂを圧電振動子１１に被着したのと同様の方法で金、
銀、アルミニウムなどの薄膜を引き出し部材２０．２０
上に被着することにより形成される。
尚、この引き出し部材２０．２０及び引き出し電極部２
０ａ、２０ｂは本実施例においてはサポート部材１９の
表裏面に各々−個所づつ形成されているが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、必要に応じて引き出し部
材２０．２０及び引き出し電極部２０ａ、２０ｂを数筒
所に設けてもよいことはいうまでもない。
０ａ、２０ｂは本実施例においてはサポート部材１９の
表裏面に各々−個所づつ形成されているが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、必要に応じて引き出し部
材２０．２０及び引き出し電極部２０ａ、２０ｂを数筒
所に設けてもよいことはいうまでもない。
また、本実施例においては圧電振動子１１と囲み部材１
８と引き出し部材２０の厚みは同一となっているが、該
王者の厚みが異なってもさしつかえない。
８と引き出し部材２０の厚みは同一となっているが、該
王者の厚みが異なってもさしつかえない。
１５は基台、１６．１６は外部導出ピンであり、外部導
出ピン１６．１６は電極の端子部１４ａ、１４ｂに導電
性接着材や半田などを用いて固着される。
出ピン１６．１６は電極の端子部１４ａ、１４ｂに導電
性接着材や半田などを用いて固着される。
以上のように圧電振動子を構成したので、〔１〕圧電振
動子の振動部具外の水晶片の部分にその振動が伝わりに
くく、また逆に〔２〕外部の振動が圧電振動子の囲み部
材に伝わったとしても該囲み部材の振動は圧電振動子に
までは伝わりにくく、さらにまた、〔３〕圧電振動子と
その囲み部材の間の振動の伝導が少ないため、その保持
をワイヤークリップのような弾性のあるものとする必要
はなく、弾性の少ない外部導出ピンをそのまま、または
、これと同様の部材を用いることができ、これによって
圧電振動子を確実に保持できることとなる。
動子の振動部具外の水晶片の部分にその振動が伝わりに
くく、また逆に〔２〕外部の振動が圧電振動子の囲み部
材に伝わったとしても該囲み部材の振動は圧電振動子に
までは伝わりにくく、さらにまた、〔３〕圧電振動子と
その囲み部材の間の振動の伝導が少ないため、その保持
をワイヤークリップのような弾性のあるものとする必要
はなく、弾性の少ない外部導出ピンをそのまま、または
、これと同様の部材を用いることができ、これによって
圧電振動子を確実に保持できることとなる。
第７図（ａ）は以上のように構成した圧電振動子と第１
図ないし第３図に示す従来の圧電振動子を同一の外形寸
法、電極寸法で作成した上で両者の実効抵抗を測定し比
較した実験値を示す図で、同図（ｂ）は同図（ａ）とは
圧電振動子の電極寸法を変えた上で（ａ）と同様に両者
の実効抵抗を測定し比較した実験値を示す図である。こ
こで縦軸は実効抵抗（オーム）、横軸は度数を示し、０
は従来の圧電振動子の実効抵抗を、×は本発明に係る圧
電振動子の実効抵抗を示す。
図ないし第３図に示す従来の圧電振動子を同一の外形寸
法、電極寸法で作成した上で両者の実効抵抗を測定し比
較した実験値を示す図で、同図（ｂ）は同図（ａ）とは
圧電振動子の電極寸法を変えた上で（ａ）と同様に両者
の実効抵抗を測定し比較した実験値を示す図である。こ
こで縦軸は実効抵抗（オーム）、横軸は度数を示し、０
は従来の圧電振動子の実効抵抗を、×は本発明に係る圧
電振動子の実効抵抗を示す。
これらの図かられかるように、本発明に係る圧電振動子
の実効抵抗は従来の圧電振動子の実効抵抗に比較し、そ
の平均値で約１７２以下となり、しかも実効抵抗の製品
バラツキも著しく少なくなっている。
の実効抵抗は従来の圧電振動子の実効抵抗に比較し、そ
の平均値で約１７２以下となり、しかも実効抵抗の製品
バラツキも著しく少なくなっている。
なお、本発明に係る圧電振動子に用いる水晶板は通常用
いられているエツチング技術により作成すればよい。
いられているエツチング技術により作成すればよい。
以上、本発明を実施例に従って詳細に説明したが、本発
明は第４図ないし第６図に限定されるものではなく、圧
電振動子、囲み部材の形状を円形、六角形等の他の形状
としてもよく、また、サポート部材の一部に窪み又は貫
通穴を設けてもよく、また、引き出し部材、引き出し゛
上極部の形状又は本数を変更してもよい。
明は第４図ないし第６図に限定されるものではなく、圧
電振動子、囲み部材の形状を円形、六角形等の他の形状
としてもよく、また、サポート部材の一部に窪み又は貫
通穴を設けてもよく、また、引き出し部材、引き出し゛
上極部の形状又は本数を変更してもよい。
以上詳細に説明したように、本発明は圧電振動子と、こ
れを囲む部材と、該両者の厚みの中央を連結するサポー
ト部材と、サポート部材の一部に形成された引き出し部
材からなり、サポート部材の厚みを圧電振動子及びこれ
を囲む部材及び引き出し部材よりも薄く形成し、圧電振
動子とこれを囲む部材とサポート部材と引き出し部材を
同一の材料で形成したので、〔ｌ〕圧電振動子の振動が
ワイヤークリップ６．６を通じて外部に洩れることがほ
とんどなくなり、このため実効抵抗が著しく減少すると
いう効果を有し、また、〔２〕外部の振動が圧電振動子
の振動部にほとんど伝わらないため、圧電振動子の振動
に不要振動がほとんど生じないという効果も有する。さ
らにまた、〔３〕圧電振動子の保持にワイヤークリップ
のような弾性のある材料を使用する必要はなく、圧電振
動子を確実に固定できる剛性率の高い材料を使用できる
ため、たとえ圧電振動子を小型化しても圧電振動子の周
りを保護するケースに圧電振動子が衝突することはなく
、該圧電振動子を破損する恐れがないという効果をも有
する。
れを囲む部材と、該両者の厚みの中央を連結するサポー
ト部材と、サポート部材の一部に形成された引き出し部
材からなり、サポート部材の厚みを圧電振動子及びこれ
を囲む部材及び引き出し部材よりも薄く形成し、圧電振
動子とこれを囲む部材とサポート部材と引き出し部材を
同一の材料で形成したので、〔ｌ〕圧電振動子の振動が
ワイヤークリップ６．６を通じて外部に洩れることがほ
とんどなくなり、このため実効抵抗が著しく減少すると
いう効果を有し、また、〔２〕外部の振動が圧電振動子
の振動部にほとんど伝わらないため、圧電振動子の振動
に不要振動がほとんど生じないという効果も有する。さ
らにまた、〔３〕圧電振動子の保持にワイヤークリップ
のような弾性のある材料を使用する必要はなく、圧電振
動子を確実に固定できる剛性率の高い材料を使用できる
ため、たとえ圧電振動子を小型化しても圧電振動子の周
りを保護するケースに圧電振動子が衝突することはなく
、該圧電振動子を破損する恐れがないという効果をも有
する。
第１図は従来の主型振動子の保持方法を示した図、第２
図は従来の圧電振動子の斜視図、第３図は第２図に示す
圧電振動子をＡ−Ａ面で切断した断面図である。第４図
は本発明に係る圧電振動子の斜視図、第５図（ａ）は第
４図に示す圧電振動子をＢ−Ｂ面で切断した断面図、第
５図（ｂ）は第４図に示す圧電振動子をＣ−Ｃ面で切断
した断面図、第６図は第４図に示す圧電振動子の保持方
法を示した図である。第７図（ａ）は本発明に係る圧電
振動子と従来の第１図に示した圧電振動子を同一の外形
寸法、電極寸法で作成した上で両者の実効抵抗を測定し
比較した実験値を示す図で、抗を測定し比較Ｂ″だ実験
値を示す図である。 １・圧電振動子 ２争水晶片 ３ａ・電極 ３ｂ・電極 ４ａΦ端子部 ４ｂ・端子部 ５・基台 ６・ワイヤークリップ７・外部
導出ピン １１・圧電振動子 １３ａ−電極 １３ｂ−電極 １４ａ番端子部 １４ｂ・端子部１５１１基台
１６會外部導出ピン１８・囲み部材
１９・サポート部材２０・引き出し部材 ２０ａ・引き出し電極部２０ｂ・引き出し電極部特許出
願人 日本電波工業株式会社代 理 人
弁理士 辻 實（外１名） 第１図 第３図 第４図 第５図（ａ） ）３５ 図 （ｂ） 第６図 ８ 第７図 （（１）
図は従来の圧電振動子の斜視図、第３図は第２図に示す
圧電振動子をＡ−Ａ面で切断した断面図である。第４図
は本発明に係る圧電振動子の斜視図、第５図（ａ）は第
４図に示す圧電振動子をＢ−Ｂ面で切断した断面図、第
５図（ｂ）は第４図に示す圧電振動子をＣ−Ｃ面で切断
した断面図、第６図は第４図に示す圧電振動子の保持方
法を示した図である。第７図（ａ）は本発明に係る圧電
振動子と従来の第１図に示した圧電振動子を同一の外形
寸法、電極寸法で作成した上で両者の実効抵抗を測定し
比較した実験値を示す図で、抗を測定し比較Ｂ″だ実験
値を示す図である。 １・圧電振動子 ２争水晶片 ３ａ・電極 ３ｂ・電極 ４ａΦ端子部 ４ｂ・端子部 ５・基台 ６・ワイヤークリップ７・外部
導出ピン １１・圧電振動子 １３ａ−電極 １３ｂ−電極 １４ａ番端子部 １４ｂ・端子部１５１１基台
１６會外部導出ピン１８・囲み部材
１９・サポート部材２０・引き出し部材 ２０ａ・引き出し電極部２０ｂ・引き出し電極部特許出
願人 日本電波工業株式会社代 理 人
弁理士 辻 實（外１名） 第１図 第３図 第４図 第５図（ａ） ）３５ 図 （ｂ） 第６図 ８ 第７図 （（１）
Claims (1)
- （１）圧電振動子と、これを囲む部材と、該両者の厚み
の中央を連結するサポート部材と、サポート部材の一部
に形成された引き出し部材からなり、サポート部材の厚
みを圧電振動子及びこれを囲む部材及び引き出し部材よ
りも薄く形成し、圧電振動子とこれを囲む部材とサポー
ト部材と引き出し部材を同一の材料で形成したことを特
徴とする圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP378083A JPS59128812A (ja) | 1983-01-13 | 1983-01-13 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP378083A JPS59128812A (ja) | 1983-01-13 | 1983-01-13 | 圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59128812A true JPS59128812A (ja) | 1984-07-25 |
| JPH0259646B2 JPH0259646B2 (ja) | 1990-12-13 |
Family
ID=11566696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP378083A Granted JPS59128812A (ja) | 1983-01-13 | 1983-01-13 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59128812A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018504793A (ja) * | 2015-12-22 | 2018-02-15 | 成都泰美克晶体技術有限公司Ｃｈｅｎｇｄｕ Ｔｉｍｅｍａｋｅｒ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｃｏ．， Ｌｔｄ | 円形のウェハ構造を有する水晶共振器及びその製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4827689A (ja) * | 1971-08-12 | 1973-04-12 | ||
| JPS5729085A (en) * | 1980-07-29 | 1982-02-16 | Ricoh Kk | Indication controlling method for crt display unit |
-
1983
- 1983-01-13 JP JP378083A patent/JPS59128812A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4827689A (ja) * | 1971-08-12 | 1973-04-12 | ||
| JPS5729085A (en) * | 1980-07-29 | 1982-02-16 | Ricoh Kk | Indication controlling method for crt display unit |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018504793A (ja) * | 2015-12-22 | 2018-02-15 | 成都泰美克晶体技術有限公司Ｃｈｅｎｇｄｕ Ｔｉｍｅｍａｋｅｒ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｃｏ．， Ｌｔｄ | 円形のウェハ構造を有する水晶共振器及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0259646B2 (ja) | 1990-12-13 |
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