JPS6113809A - 複数型圧電振動子 - Google Patents
複数型圧電振動子Info
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- JPS6113809A JPS6113809A JP13450284A JP13450284A JPS6113809A JP S6113809 A JPS6113809 A JP S6113809A JP 13450284 A JP13450284 A JP 13450284A JP 13450284 A JP13450284 A JP 13450284A JP S6113809 A JPS6113809 A JP S6113809A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02086—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02118—Means for compensation or elimination of undesirable effects of lateral leakage between adjacent resonators
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/56—Monolithic crystal filters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、圧電振動子に関し、特に振動特性が良好で圧
電振動子の小型化、複合化に適する複数型圧電振動子に
関する。
電振動子の小型化、複合化に適する複数型圧電振動子に
関する。
（従来技術）
電子機器など種々の分野で使用されている圧電振動子は
、時・計やコンピュータなどの小型化にともない、その
小型化が要求されてきている。
、時・計やコンピュータなどの小型化にともない、その
小型化が要求されてきている。
第８図ないし第１Ｏ図ぼ従来の圧電振動子を示す図で、
第８図は圧電振動子１の保持構造を示す一部切欠正面図
、第９図は圧電振動子１の斜視図、第１０図は圧電振動
子ｌを第９図に示すＡ−Ａ面で切断した断面図である。
第８図は圧電振動子１の保持構造を示す一部切欠正面図
、第９図は圧電振動子１の斜視図、第１０図は圧電振動
子ｌを第９図に示すＡ−Ａ面で切断した断面図である。
第８図ないし第１ ・０図において、圧電振動子１は
ＡＴカット等の水晶片２の両面に電極３ａ、３ｂを設け
ることにより形成されている。４ａ、４ｂは電極３ａ、
３ｂの一部より外方へ延びる端子部で、端子部４ａ。
ＡＴカット等の水晶片２の両面に電極３ａ、３ｂを設け
ることにより形成されている。４ａ、４ｂは電極３ａ、
３ｂの一部より外方へ延びる端子部で、端子部４ａ。
４ｂは互いに反対方向に延びている。なお、前記電極３
ａ、３ｂ及び端子部４ａ、４ｂは金、銀。
ａ、３ｂ及び端子部４ａ、４ｂは金、銀。
アルミニウムなどの金属を水晶片２の両面に蒸着するこ
とにより形成される。
とにより形成される。
そして、上記圧電振動子１は基台５に設けたワイヤーク
リップ６．６に挾持され、電極３ａ、３ｂは端子部４ａ
、４ｂ、ワイヤークリップ６．６を介して、外部導出ピ
ン７．７に電気的に接続されるものである。
リップ６．６に挾持され、電極３ａ、３ｂは端子部４ａ
、４ｂ、ワイヤークリップ６．６を介して、外部導出ピ
ン７．７に電気的に接続されるものである。
（従来技術の問題点）
しかしながら、以上の従来例にあっては、水晶片２自体
が振動をするため、圧電振動子１の保持によりその特性
は大きく左右され、一般に保持を施す場所は水晶片２の
振動の少ない場所を選択するが、圧電振動子１が小型化
されればされるほど圧電振動子１の電極３ａ、３ｂと端
子部４ａ、４ｂが近接し、該端子部４ａ、４ｂを保持す
るワイヤークリップ６．６によって圧電振動子の振動が
阻害されその振動特性の悪化を招く。
が振動をするため、圧電振動子１の保持によりその特性
は大きく左右され、一般に保持を施す場所は水晶片２の
振動の少ない場所を選択するが、圧電振動子１が小型化
されればされるほど圧電振動子１の電極３ａ、３ｂと端
子部４ａ、４ｂが近接し、該端子部４ａ、４ｂを保持す
るワイヤークリップ６．６によって圧電振動子の振動が
阻害されその振動特性の悪化を招く。
一方、同一圧電材料上に複数個の圧電振動部（即ち電極
）を形成する場合、その複数型圧電振動子を小型化する
には個々の圧電振動部を小型化することはもちろんであ
るが、各圧電振動部間の間隔を狭める必要がある。しか
しながら各圧電振動部をある程度以上近接させると各圧
電振動部間の振動の結合が生じ、各圧電振動部の持つ固
有振動周波数での発振ができなくなり、所望の複数型圧
電振動子が得られない。
）を形成する場合、その複数型圧電振動子を小型化する
には個々の圧電振動部を小型化することはもちろんであ
るが、各圧電振動部間の間隔を狭める必要がある。しか
しながら各圧電振動部をある程度以上近接させると各圧
電振動部間の振動の結合が生じ、各圧電振動部の持つ固
有振動周波数での発振ができなくなり、所望の複数型圧
電振動子が得られない。
（発明の目的）
本発明は、複数型圧電振動子を小型化しても圧電振動部
の振動が減衰せず、また、各圧電振動部間に振動の結合
が生じにくい複数型圧電振動子を提供することを目的と
する。
の振動が減衰せず、また、各圧電振動部間に振動の結合
が生じにくい複数型圧電振動子を提供することを目的と
する。
（発明の概要）
本願に係る第一の発明は、両面に電極を形成した圧電振
動部を同一の圧電板上に２箇所以上設けた複数型圧電振
動子において、該圧電板の少なくとも片面上であって各
圧電振動部間に圧電板の厚みの１１５００以上の深さの
凹部を設けたことを特徴とする複数型圧電振動子に係る
もので、また、第二の発明は、両面に電極を形成した圧
電振動部を同一の圧電板上に２箇所以上設けた複数型圧
電振動子において、該圧電板の少なくとも片面上であっ
て各圧電振動部間に圧電板の厚みの１１５００以上の深
さの凹部を設け、該圧電板の少なくとも片面上であって
各圧電振動部間にアース電極を設けたことを特徴とする
複数型圧電振動子に係るものである。
動部を同一の圧電板上に２箇所以上設けた複数型圧電振
動子において、該圧電板の少なくとも片面上であって各
圧電振動部間に圧電板の厚みの１１５００以上の深さの
凹部を設けたことを特徴とする複数型圧電振動子に係る
もので、また、第二の発明は、両面に電極を形成した圧
電振動部を同一の圧電板上に２箇所以上設けた複数型圧
電振動子において、該圧電板の少なくとも片面上であっ
て各圧電振動部間に圧電板の厚みの１１５００以上の深
さの凹部を設け、該圧電板の少なくとも片面上であって
各圧電振動部間にアース電極を設けたことを特徴とする
複数型圧電振動子に係るものである。
（実施例）
次に本発明の一実施例を、図面を用いて詳細に説明する
。
。
第１図は本発明を２つの圧電振動部を同一の圧電板上に
有する複数型圧電振動子に適用した実施例を示す斜視図
である。同図において、２つの圧電振動部は同一の形状
となっているので、右下の圧電振動部について説明する
と、１１は圧電振動部であり、該圧電振動部ｌｌの表裏
面には該圧電振動部１１を励振させるための電極１３ａ
、１３ｂ（１３ｂは図示せず）が被着されている。１５
は圧電振動部１１を囲むように形成された第１の凹部、
１６は該凹部の外周に形成された囲み部、１７は該囲み
部１６の外周に形成された第２の凹部である。囲み部１
６の表面であって同図の左下側には図に示すような電極
１３ａの端子部１４ａが被着されている。また、囲み部
１６の裏面であって同図の右上側には電極１３ｂの端子
部１４ｂ（図示せず）が被着されている。１８は圧電振
動部１１と囲み部１６を連結するサポート部であり、１
８ａは電極１３ａと端子部１４ａとを連結する電極引き
出し部である。該サポート部１８と電極引き出し部１８
ａは裏面の電極１３ｂと端子部１４ｂとを連結する部分
にも設けられている。
有する複数型圧電振動子に適用した実施例を示す斜視図
である。同図において、２つの圧電振動部は同一の形状
となっているので、右下の圧電振動部について説明する
と、１１は圧電振動部であり、該圧電振動部ｌｌの表裏
面には該圧電振動部１１を励振させるための電極１３ａ
、１３ｂ（１３ｂは図示せず）が被着されている。１５
は圧電振動部１１を囲むように形成された第１の凹部、
１６は該凹部の外周に形成された囲み部、１７は該囲み
部１６の外周に形成された第２の凹部である。囲み部１
６の表面であって同図の左下側には図に示すような電極
１３ａの端子部１４ａが被着されている。また、囲み部
１６の裏面であって同図の右上側には電極１３ｂの端子
部１４ｂ（図示せず）が被着されている。１８は圧電振
動部１１と囲み部１６を連結するサポート部であり、１
８ａは電極１３ａと端子部１４ａとを連結する電極引き
出し部である。該サポート部１８と電極引き出し部１８
ａは裏面の電極１３ｂと端子部１４ｂとを連結する部分
にも設けられている。
１９は両圧電振動部１１．１１のほぼ中央に設けられた
凸条である。そしてこれら圧電振動部１１、第１の凹部
１５．囲み部１６．第２の凹部１７、サポート部１８．
凸条１９は、同一のＡＴカットなどの水晶で一体に形成
されている。
凸条である。そしてこれら圧電振動部１１、第１の凹部
１５．囲み部１６．第２の凹部１７、サポート部１８．
凸条１９は、同一のＡＴカットなどの水晶で一体に形成
されている。
第２図は、本発明に係る複数型圧電振動子をエツチング
技術を用いて製造する方法を示す図である。−まず圧電
材料のウェファ−の両面上であって複数個の電極、端子
部、電極引き出し部となる部分に、金、銀、アルミニウ
ム等の金属を真空蒸着の方法またはスパッターなとの方
法により被着し、次に、該ウェファ−にフォトエッチン
ク技術を用いて複数個の第１の凹部、第２の凹部を形成
すると第２図に示すような多数の圧電振動部を有するウ
ェファ−が形成されるのである。そして、該ウェファ−
をダイシング等により２個からｎ個の所望の圧電振動部
間に分割すれば本発明に係る複数型圧電振動子が完成す
る（例えば、第２図に示すＡ−Ａ、Ｂ−Ｂ面で該ウェフ
ァ−を分割すれば、Ｃの部分が第１図に示す２側型圧電
振動子となる）。
技術を用いて製造する方法を示す図である。−まず圧電
材料のウェファ−の両面上であって複数個の電極、端子
部、電極引き出し部となる部分に、金、銀、アルミニウ
ム等の金属を真空蒸着の方法またはスパッターなとの方
法により被着し、次に、該ウェファ−にフォトエッチン
ク技術を用いて複数個の第１の凹部、第２の凹部を形成
すると第２図に示すような多数の圧電振動部を有するウ
ェファ−が形成されるのである。そして、該ウェファ−
をダイシング等により２個からｎ個の所望の圧電振動部
間に分割すれば本発明に係る複数型圧電振動子が完成す
る（例えば、第２図に示すＡ−Ａ、Ｂ−Ｂ面で該ウェフ
ァ−を分割すれば、Ｃの部分が第１図に示す２側型圧電
振動子となる）。
第３図は、第１図に示す複数型圧電振動子を保持器に保
持する構成を示す斜視図で、２０は金属等よりなる基台
、２１はコバールガラス等からなる絶縁体、２２は第１
図に示す複数型圧電振動子の端子部１４ａ、１４ｂに導
電性接着剤や軟金属（例えば半田）で接続固定せしめら
れる端子である。そして該基台２０の内側に４木の端子
２２を貫通せしめた後、該内側に溶融させた絶縁体２１
を埋め込ませ、その後、該絶縁体２１を固体化させれば
、該複数型圧電振動子が保持器に保持されるのである。
持する構成を示す斜視図で、２０は金属等よりなる基台
、２１はコバールガラス等からなる絶縁体、２２は第１
図に示す複数型圧電振動子の端子部１４ａ、１４ｂに導
電性接着剤や軟金属（例えば半田）で接続固定せしめら
れる端子である。そして該基台２０の内側に４木の端子
２２を貫通せしめた後、該内側に溶融させた絶縁体２１
を埋め込ませ、その後、該絶縁体２１を固体化させれば
、該複数型圧電振動子が保持器に保持されるのである。
そして、図示しないケースを、複数型圧電振動子の周辺
空間を密封するように基台２０の外周に圧入すれば本願
に係る複数型圧電振動子の保持は完成する。
空間を密封するように基台２０の外周に圧入すれば本願
に係る複数型圧電振動子の保持は完成する。
つぎに、この実施例の作用を、第４図に示すような凹部
を設けない複数型圧電振動子と比較して説明する。
を設けない複数型圧電振動子と比較して説明する。
第４図は、第１図に示す複数型圧電振動子と同一の厚み
大きさを有するが、第１図に示す複数型圧電振動子のよ
うに第１．第２の凹部を形成しない複数型圧電振動子を
示す斜視図である。第５図２は共振特性図で、このうち
実線で示すグラフは第４図に示す複数型圧電振動子の各
々を単独で励振した場合の共振特性を示すものであり、
一点鎖線で示すグラフは第４図に示す複数型圧電振動子
の両圧電振動部を並列共振させた場合の共振特性を示す
ものである。同図かられかるように、第４図に示す複数
型圧電振動子の両圧電振動部を並列共振させた場合は、
両圧電振動部の振動が互いに干渉、結合するため、同図
の実線で示す２つの単独の圧電振動子の共振状態と相違
し、各圧電振動部の持つ固有振動周波数での発振ができ
なくなる現象が生ずる。ここで、同図に示す単独の２つ
の圧電振動子の両共振周波数をｆｌ＋ｆ２、その時のレ
ベルをｖｌ、ｖ２、第４図に示す複数型圧電振動子の両
共振周波数をｆｌ’＋ｆ２ ′、その時のＬ／ ヘルを
Ｖｓ ’ 、Ｖ２ ’トシ、Δｖ＝ １ Ｖｌ−Ｖ□
′１、Δｆ＝ Ｉ ｆｌ−ｆｘ ’ Ｉとする。そ
して第４図に示す複数型圧電振動子と、凹部の深さをｄ
（＃Ｌｍ）としたときの第１図に示す複数型圧電振動子
とのΔＶ、Δｆとｄとの関係を第６図に示す。同図から
れかるように、凹部の深さｄ＝ｏのとき、即ち、第４図
に示す複数型圧電振動子のときに比べ、凹部の深さが深
くなればなるほどΔ■、Δｆは小さくなる。これは、凹
部を設ければ、複数型圧電振動子であっても、その複数
の圧電振動部間志が結合せず、通常の単独の圧電振動子
の並列共振とほぼ同一の共振特性、即ち、各圧電振動部
の持つ固有振動周波数での共振特性に近づくことを示す
。なお、第６図の実験においては圧電板の厚みは０ 、
１ （ｍｍ）とした。そして、凹部の深さｄは０．２（
ｐｍ）以上であればその効果を有することが第６図から
明らかである。即ち、凹部の深さは少なくとも圧電板の
厚みの１１５００以上であればその効果を生ずるのであ
る。
大きさを有するが、第１図に示す複数型圧電振動子のよ
うに第１．第２の凹部を形成しない複数型圧電振動子を
示す斜視図である。第５図２は共振特性図で、このうち
実線で示すグラフは第４図に示す複数型圧電振動子の各
々を単独で励振した場合の共振特性を示すものであり、
一点鎖線で示すグラフは第４図に示す複数型圧電振動子
の両圧電振動部を並列共振させた場合の共振特性を示す
ものである。同図かられかるように、第４図に示す複数
型圧電振動子の両圧電振動部を並列共振させた場合は、
両圧電振動部の振動が互いに干渉、結合するため、同図
の実線で示す２つの単独の圧電振動子の共振状態と相違
し、各圧電振動部の持つ固有振動周波数での発振ができ
なくなる現象が生ずる。ここで、同図に示す単独の２つ
の圧電振動子の両共振周波数をｆｌ＋ｆ２、その時のレ
ベルをｖｌ、ｖ２、第４図に示す複数型圧電振動子の両
共振周波数をｆｌ’＋ｆ２ ′、その時のＬ／ ヘルを
Ｖｓ ’ 、Ｖ２ ’トシ、Δｖ＝ １ Ｖｌ−Ｖ□
′１、Δｆ＝ Ｉ ｆｌ−ｆｘ ’ Ｉとする。そ
して第４図に示す複数型圧電振動子と、凹部の深さをｄ
（＃Ｌｍ）としたときの第１図に示す複数型圧電振動子
とのΔＶ、Δｆとｄとの関係を第６図に示す。同図から
れかるように、凹部の深さｄ＝ｏのとき、即ち、第４図
に示す複数型圧電振動子のときに比べ、凹部の深さが深
くなればなるほどΔ■、Δｆは小さくなる。これは、凹
部を設ければ、複数型圧電振動子であっても、その複数
の圧電振動部間志が結合せず、通常の単独の圧電振動子
の並列共振とほぼ同一の共振特性、即ち、各圧電振動部
の持つ固有振動周波数での共振特性に近づくことを示す
。なお、第６図の実験においては圧電板の厚みは０ 、
１ （ｍｍ）とした。そして、凹部の深さｄは０．２（
ｐｍ）以上であればその効果を有することが第６図から
明らかである。即ち、凹部の深さは少なくとも圧電板の
厚みの１１５００以上であればその効果を生ずるのであ
る。
なお、ΔＶ−１ｖ２−Ｖ２ ’ １．Ａｆ＝ ｌ ｆ２
−ｆ２′１としたときの実験結果も、この実験結果と略
々同様であった。
−ｆ２′１としたときの実験結果も、この実験結果と略
々同様であった。
なお、第１図に示す圧電振動子にあっては、凹部を圧電
振動子の回りに２重に設けたが、該凹部はいずれか一方
のみでもよく、また、突条１９はなくてもよい。即ち、
複数個の圧電振動部間を仕切る位置に少なくとも１つの
凹部を設ければ両圧電振動部の振動の結合が防止される
のである。
振動子の回りに２重に設けたが、該凹部はいずれか一方
のみでもよく、また、突条１９はなくてもよい。即ち、
複数個の圧電振動部間を仕切る位置に少なくとも１つの
凹部を設ければ両圧電振動部の振動の結合が防止される
のである。
ところで、上記したように、圧電振動部間の振動の結合
を防止するためには、各圧電振動部間を仕切る位置に少
なくとも１つの凹部を設ければよいが、特に上記実施例
に示すように、各圧電振動部を囲むような凹部（第１の
凹部のみでもよい）を設ければ、圧電振動部間外の水晶
片の部分にその振動が伝わりにくく、その振動が該圧電
振動部に封じ込められ、該圧電振動部の振動が減衰する
ことがない。また、上記実施例のように圧電振動部を囲
むような凹部の外側に端子部を設けこれを端子で保持す
れば、圧電振動部と端子との間の振動の伝導が少ないた
め、その端子の保持をワイヤークリップのような弾性の
あるものとする必要はなく、弾性の少ない端子をそのま
ま、または、これと同様の部材を用いることができ、こ
れによって圧電振動子を確実に保持できるため、たとえ
圧電振動子を小型化しても圧電振動子の周りを保護する
ケースに圧電振動子が衝突することはなく、該圧電振動
子を破損する恐れがない。
を防止するためには、各圧電振動部間を仕切る位置に少
なくとも１つの凹部を設ければよいが、特に上記実施例
に示すように、各圧電振動部を囲むような凹部（第１の
凹部のみでもよい）を設ければ、圧電振動部間外の水晶
片の部分にその振動が伝わりにくく、その振動が該圧電
振動部に封じ込められ、該圧電振動部の振動が減衰する
ことがない。また、上記実施例のように圧電振動部を囲
むような凹部の外側に端子部を設けこれを端子で保持す
れば、圧電振動部と端子との間の振動の伝導が少ないた
め、その端子の保持をワイヤークリップのような弾性の
あるものとする必要はなく、弾性の少ない端子をそのま
ま、または、これと同様の部材を用いることができ、こ
れによって圧電振動子を確実に保持できるため、たとえ
圧電振動子を小型化しても圧電振動子の周りを保護する
ケースに圧電振動子が衝突することはなく、該圧電振動
子を破損する恐れがない。
第７図は本発明の他の実施例を示す図で、第１図の複数
型圧電振動子と相違する点は、突条１９上にアース電極
３０を設けるとともに、該アース電極３０を基台２０に
アースするためのリード線３１を設けた点である。この
ように複数型圧電振動子を構成すれば、両圧電振動部の
機械的振動によって生しる電気分極をアースでき、両圧
電振動部の振動の結合をさらに防止できることとなる。
型圧電振動子と相違する点は、突条１９上にアース電極
３０を設けるとともに、該アース電極３０を基台２０に
アースするためのリード線３１を設けた点である。この
ように複数型圧電振動子を構成すれば、両圧電振動部の
機械的振動によって生しる電気分極をアースでき、両圧
電振動部の振動の結合をさらに防止できることとなる。
なお、該アース電極３０は突条１９上に設ける必要はな
く、各圧電振動部間を仕切る位置に設ければよいことは
いうまでもない。
く、各圧電振動部間を仕切る位置に設ければよいことは
いうまでもない。
以上、本発明を実施例に従って詳細に説明したが、本発
明に係る複数型圧電振動子は第１図、第７図−に限定さ
れるものではなく、圧電振動部の数を同一の圧電板上に
３個以上としてもよいことはいうまでもないばかりか、
圧電振動部、凹部の形状を円形、六角形等の他の形状と
してもよく、また、凹部の一部に窪み又は貫通穴を設け
てもよく、また、サポート部、電極引き出し部の形状又
は本数を変更してもよい。
明に係る複数型圧電振動子は第１図、第７図−に限定さ
れるものではなく、圧電振動部の数を同一の圧電板上に
３個以上としてもよいことはいうまでもないばかりか、
圧電振動部、凹部の形状を円形、六角形等の他の形状と
してもよく、また、凹部の一部に窪み又は貫通穴を設け
てもよく、また、サポート部、電極引き出し部の形状又
は本数を変更してもよい。
（発明の効果）
以上詳細に説明したように本発明を構成したので、〔１
〕同一・のウェファ−上に２個以上の圧電振動部を有す
る複数型圧電振動子を小型化しても各圧電振動部間に振
動の結合が生じにくい。
〕同一・のウェファ−上に２個以上の圧電振動部を有す
る複数型圧電振動子を小型化しても各圧電振動部間に振
動の結合が生じにくい。
〔２〕また、凹部を各圧電振動部を囲む部分に形成すれ
ば、」二記〔１〕の効果に加えて、圧電振動子の振動が
外部に洩れることがほとんどなくなり、このため該複数
型圧電振動子を小型化しても圧電振動部の振動が減衰せ
ず、このため実効抵抗か著しく減少するという効果を有
する。〔３〕また、第７図に示すように、圧電板の少な
くとも片面上であって各圧電振動部間にアース電極を設
ければ、各圧電振動部間の振動の結合の防止効果が、上
記〔１〕の効果以上のものとなる。
ば、」二記〔１〕の効果に加えて、圧電振動子の振動が
外部に洩れることがほとんどなくなり、このため該複数
型圧電振動子を小型化しても圧電振動部の振動が減衰せ
ず、このため実効抵抗か著しく減少するという効果を有
する。〔３〕また、第７図に示すように、圧電板の少な
くとも片面上であって各圧電振動部間にアース電極を設
ければ、各圧電振動部間の振動の結合の防止効果が、上
記〔１〕の効果以上のものとなる。
＠１図は本発明を２つの圧電振動部を有する複数型圧電
振動子に適用したものを示す斜視図、第２図は本発明に
係る複数型圧電振動子をエツチング技術を用いて製造す
る方法を示す図、第３図は第１図に示す複数型圧電振動
子を保持器に保持する構成を示す斜視図、第４図は凹部
を形成しない複数型圧電振動子を保持器に保持する構成
を示す斜視図、第５図は第４図に示す複数型圧電振動子
の並列接続したときの共振特性と２つの単独の圧電振動
部の共振特性とを示す共振特性図、第６図は単独の圧電
振動部の共撤周波数、レベルと、複数型圧電振動子の共
振周波数、レベルとの相違値Δｆ、Δ■と、凹部の深さ
ｄ （ｐｍ）との関係を示す図、第７図は本発明の他の
実施例に係る複数型圧電振動子を保持器に保持する構成
を示す斜視図、第８図ないし第１０図は従来の圧電振動
子を示す図で、第８図は圧電振動子１の保持構造を示す
一部切欠正面図、第９図は圧電振動子ｌの斜視図、第１
０図は圧電振動子１を第９図に示すＡ−Ａ面で切断した
断面図である。 １１・・圧電振動部 １３ａ・・電極１５・・第１の
凹部 １７・・第２の凹部３０・・アース電極 特許出願人 日本電波工業株式会社代 理 人
弁理士 辻 實（外１名）第７図 第２図 第 ３ 図 第４面
振動子に適用したものを示す斜視図、第２図は本発明に
係る複数型圧電振動子をエツチング技術を用いて製造す
る方法を示す図、第３図は第１図に示す複数型圧電振動
子を保持器に保持する構成を示す斜視図、第４図は凹部
を形成しない複数型圧電振動子を保持器に保持する構成
を示す斜視図、第５図は第４図に示す複数型圧電振動子
の並列接続したときの共振特性と２つの単独の圧電振動
部の共振特性とを示す共振特性図、第６図は単独の圧電
振動部の共撤周波数、レベルと、複数型圧電振動子の共
振周波数、レベルとの相違値Δｆ、Δ■と、凹部の深さ
ｄ （ｐｍ）との関係を示す図、第７図は本発明の他の
実施例に係る複数型圧電振動子を保持器に保持する構成
を示す斜視図、第８図ないし第１０図は従来の圧電振動
子を示す図で、第８図は圧電振動子１の保持構造を示す
一部切欠正面図、第９図は圧電振動子ｌの斜視図、第１
０図は圧電振動子１を第９図に示すＡ−Ａ面で切断した
断面図である。 １１・・圧電振動部 １３ａ・・電極１５・・第１の
凹部 １７・・第２の凹部３０・・アース電極 特許出願人 日本電波工業株式会社代 理 人
弁理士 辻 實（外１名）第７図 第２図 第 ３ 図 第４面
Claims (3)
- （１）両面に電極を形成した圧電振動部を同一の圧電板
上に２箇所以上設けた複数型圧電振動子において、該圧
電板の少なくとも片面上であって各圧電振動部間に圧電
板の厚みの１／５００以上の深さの凹部を設けたことを
特徴とする複数型圧電振動子。 - （２）凹部は各圧電振動部の外周を囲む位置に設けられ
たことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の複
数型圧電振動子。 - （３）両面に電極を形成した圧電振動部を同一の圧電板
上に２箇所以上設けた複数型圧電振動子において、該圧
電板の少なくとも片面上であって各圧電振動部間に圧電
板の厚みの１／５００以上の深さの凹部を設け、該圧電
板の少なくとも片面上であって各圧電振動部間にアース
電極を設けたことを特徴とする複数型圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13450284A JPS6113809A (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 複数型圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13450284A JPS6113809A (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 複数型圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6113809A true JPS6113809A (ja) | 1986-01-22 |
Family
ID=15129821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13450284A Pending JPS6113809A (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 複数型圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6113809A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0355911A (ja) * | 1989-07-24 | 1991-03-11 | Murata Mfg Co Ltd | 厚みすべり振動モードを利用した圧電トラップおよびその製造方法 |
| GR20050100595A (el) * | 2005-10-06 | 2007-05-23 | Νικολαος Σταθοπουλος | Διπλος κρυσταλλος υψηλων συχνοτητων θεμελιωδους συχνοτητας ταλαντωσης |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5016490A (ja) * | 1973-06-09 | 1975-02-21 | ||
| JPS533179A (en) * | 1976-06-30 | 1978-01-12 | Seiko Instr & Electronics Ltd | At cut crystal vibrator |
| JPS5327739B2 (ja) * | 1972-04-19 | 1978-08-10 | ||
| JPS5327740B2 (ja) * | 1972-09-27 | 1978-08-10 |
-
1984
- 1984-06-29 JP JP13450284A patent/JPS6113809A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5327739B2 (ja) * | 1972-04-19 | 1978-08-10 | ||
| JPS5327740B2 (ja) * | 1972-09-27 | 1978-08-10 | ||
| JPS5016490A (ja) * | 1973-06-09 | 1975-02-21 | ||
| JPS533179A (en) * | 1976-06-30 | 1978-01-12 | Seiko Instr & Electronics Ltd | At cut crystal vibrator |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0355911A (ja) * | 1989-07-24 | 1991-03-11 | Murata Mfg Co Ltd | 厚みすべり振動モードを利用した圧電トラップおよびその製造方法 |
| GR20050100595A (el) * | 2005-10-06 | 2007-05-23 | Νικολαος Σταθοπουλος | Διπλος κρυσταλλος υψηλων συχνοτητων θεμελιωδους συχνοτητας ταλαντωσης |
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