JPS5911995B2 - 電気的情報記憶装置 - Google Patents

電気的情報記憶装置

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JPS5911995B2
JPS5911995B2 JP51058496A JP5849676A JPS5911995B2 JP S5911995 B2 JPS5911995 B2 JP S5911995B2 JP 51058496 A JP51058496 A JP 51058496A JP 5849676 A JP5849676 A JP 5849676A JP S5911995 B2 JPS5911995 B2 JP S5911995B2
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transistors
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電気的情報記憶装置に関係する。
この装置は機械的メモリの代りとなりうるものであり、
これらは例えば、コンピューターのメモリ、テレビジョ
ンのチューナ、及びタクシーのメーターに30使用出来
るものである。集積回路チップ上に作られた金属−酸化
物−シリコン(MOS)トランジスタを利用する電気的
情報記憶装置が知られている。
このトランジスタのソースとドレインはチップ基板上に
分離拡散し35た領域よりなる。pチャネルMOS集積
回路では、基準電位をチップ基板に加えて、チップ中の
どの点も基板に対して負であるような電圧に対するよ°
りーうにしておくのが一般的な使用方法である。
チツプ回路に対する外部接続は導電性の足によつて可能
となる。そして各足とチツプ基板の間に保護ダイオード
をつけておくのが普通である。このダイオードは回路を
過負荷から守る。関連した足の電圧が負電圧の動作範囲
の最高値を越えた時、或いはその足の電圧が基板に対し
て正電圧の関係となつた時、そのダイオードが導通する
ことによつて保護動作が行なわれる。この回路の欠点は
、チツプに加えられていた電源が切れる事故の際、記憶
していた情報が失なわれるということである。この欠点
を克服するために、チツプ中に金属一窒化物一酸化物−
シリコン(MNOS)トランジスタ含めることが知られ
ている。MNOSトランジスタは電源がない時でも、電
荷を貯えることが出来る。電源が回復した時、貯えてい
た電荷をレジスタや他の論理回路を所望の状態にセツト
するのに用いられる。一対の交叉接続されたMOSトラ
ンジスタと、各MOSトランジスタに対応するMNOS
トランジスタより成るラツチング回路が知られている。
情報ビツトが存在しているか否かは、どちらのMOSト
ランジスタが導通しているかによつて示される。書込み
パルスを適当なMNOSトランジスタのゲートに加える
ことによつて、情報をそのMNOSトランジスタの中で
電荷に転化出来る。中断のあと電源が回復した時には、
MNOSトランジスタのゲートに読出しパルスを加える
ことによつてMOSトランジスタを所望の状態にセツト
出来る。MNOSトランジスタに貯えられていた電荷は
、MNOSトランジスタのゲートに消去パルスを加える
ことによつて除くことができる。読出し、書込み及び消
去の三つの機能を行うためには、MNOSトランジスタ
のゲートに負電圧だけでなく正電圧も加える必要がある
。チツプに正電圧を供給する必要性は、保護ダイオード
が正電圧に応じて導通するという必要性と矛盾する。本
発明にしたがつて電気的記憶装置が提供されるが、この
装置は、(イ)基板を備え、金属一窒化物一酸化物−シ
リコン(MNOS)トランジスタかあるいは金属一酸化
物−シリコン(MOS)トランジスタおよびMNOSト
ランジスタのいずれかから成る複数のトランジスタを含
む電気回路を備え、前記基板に基準電位が加えられるよ
うに前記基板に対する基準接続を備え、前記基準電位に
関して一方の極性を有する電位を前記回路に与える導電
性の足を備え、そして前記足の各々と前記基板との間に
接続されから関連する足が前記一方の極性と反対の極性
の電位になつたとき導通する保護装置を各々の足に関連
して備える集積回路チツプと、および(ロ)前記基準電
位と前記一方の極性を有する電位とが選択的に加えられ
る第1と第2の入力端子と、前記第1と第2の入力端子
の間に接続された抵抗体とコンデンサとの直列回路と、
前記抵抗体とコンデンサとの接続点に設けられて前記入
力端子に加えられる電位に応じて前記一方の極性あるい
は前記反対の極性を有する出力電位を供給しかつMNO
Sトランジスタのゲート電極に接続されると共に前記基
板から絶縁される出力端子とを備え、前記MNOSトラ
ンジスタのゲート電極の電位を前記一方の極性の電位あ
るいは前記反対の極性の電位に制御する制御装置と、を
有する。
基板への基準接続は直接基板に接続した導電性の足によ
つてなされる。
種々の保護装置が本発明の記憶装置に用いられるが、好
適には保護装置はダイオードである。
前記集積回路チツプ上の電気回路は、第1と第2の入力
端子、1つの出力端子、入力端子の状態をトランジスタ
に加える装置、および入力端子の状態とトランジスタの
状態が同一であるが異なつているかを示す出力端子に有
することができる。集積回路チツプ上の電気回路また、
可変しきい値トランジスタを有することが出来る。この
トランジスタは各トランジスタのゲートとチヤネルの間
の容量を増加させるために、面積が増加されるチヤネル
領域をもつている。チヤネル領域の面積の増加は直流動
作の状態に必要な面積が増加するものと考えてよい。抵
抗体をチツプの一部分として設けるならば、その接続と
絶縁に対する要求とはチツプ構造を適当に設計すること
によつて満足させることができる。
しかしながら、抵抗体の抵抗値はこの方法で好適に設け
られる抵抗体に対しては高すぎることがある。すなわち
、利用可能なチツプの表面積がこの目的には不充分であ
るかもしれない。このような場合には、別個に設けられ
た抵抗体をチツプと組合せた複合形にしてもよい。制御
装置の出力端子をチツプの外部電圧源から絶縁するため
には、特別な装置が設けられなければならない。以下本
発明を例示的に添付図面を参照して説明する。
第1図において、集積回路チツプ端面は点線1で表され
ている。
導電性の足がこの端に沿つて並んでいて、チツプ中に作
られている回路とチツプの外の点の間の接続を行なうの
に用いられる。それらの足の1つp1は2で示した位置
でチツプの基板に接続している。基板の電位はチツプに
対する基準電位となる。
この電位はチツプの外部から導線3を介して与えられる
。この導線は4で示した場所で足p1に接続される。便
宜上、5で示したように接地電圧を基準電位にとる。チ
ツプ上には、金属一酸化物−シリコン(MOS)トラン
ジスタTl2,Tl3,T22,T23および金属一窒
化物一酸化物−シリコン(MNOS)トランジスタTl
l,T2lを有する既知のラツチング回路が設けられて
いる。
トランジスタTl3,T23はそのゲートとドレインが
交叉接続している。それらのソース電極はソース電圧母
線Vssに接続される。母線Ssはチツプの基板に接続
される。トランジスタTl2,T22はそれぞれドレイ
ン母線VDDとトランジスタTl3,T23との間の直
列抵抗体として働く。トランジスタTl2,T22のゲ
ートは、ある基準電圧電源に接続する。この電源はVD
Dとして図示する。MNOSトランジスタTll,T2
lはそれぞれトランジスタTl2,T22と並列に接続
する、MNOSトランジスタのゲートは共通に接続する
。前記ラツチング回路は既知の方法で動作する。論理的
「0」或いは「1」のどちらかが表示されているかによ
つて、トランジスタTl3,T23の一方或いは他方が
導通する。論理的条件は、MNOSトランジスタの共通
のゲートに書込みパルスを加えることによつてMNOS
トランジスタの一方に電荷として静的に記録される。貯
えられた電荷は、チツプの電源が切れる事故に際しても
、保持される。記憶された論理的条件は、MNOSトラ
ンジスタTll,T2lの共通のゲートに読出しパルス
を加えることによつて、トランジスタTl3,T23に
移すことが出来る。以下の記述では、トランジスタはす
べてp型導電性をもつているものと仮定し、極性に関す
るすべての記述はこの仮定に適合するものとする。
基板は接地電位であるので、チツプの回路を動作させる
電源は負の極性でなければならない。(n型のトランジ
スタの場合は、正の極性が必要となるであろう。)チツ
プの回路と、例えば電源のようなチツプの外部との間の
接続は、導電性の足によつて行なわれ、足の数はチツプ
上の回路の詳細によつてきまる。これらの足の典型的な
ものは、足P2であり、この足に導線6をとおして外部
電源から負電圧を加える。この導線は7に示したように
足に接続される。チツプ構造内で、足P2の電圧は、直
接に特定の点と結び、或いはスイツチや他の回路部分を
介してチツプ回路の要求に応じて配電される。そのよう
な配電線は、点線8によつて表される。このように給電
されるものには、ドレイン電圧母線V。D及び、トラン
ジスタTl3,T23のドレインDl3,d23がある
。ドレインDl3及びD23に現われる電圧はトランジ
スタTl3,T23を良く知られた方法で論理的「O」
から「1」の状態に切かえる。MOSトランジスタTl
2,Tl3,T22,T23は、足P2に高い正の電圧
が加えられた場合に損傷するだろうということは良く知
られている。この可能性を防ぐために、保護ダイオード
9を足P2と基板の間に接続する。高い正の電圧が足P
2のところに現れるような条件ならこのダイオードは導
通する。MNOSトランジスタTll,T22の動作に
は、その共通のゲートに読出し、書込み及び消去パルス
が加えられる。
書込みと消去は逆の繰作なので、逆の極性をもつたパル
スが用いられる。これらのパルスを発生させる制御装置
は抵抗体RとコンデンサC1を有し、これらは直列に接
続され第1と第2の入力端子Tl,t2の間に接続され
る。出力端子T3は抵抗体RとコンデンサC1の接続点
に位置する。抵抗体RとコンデンサC1の時定数は、M
NOSトランジスタTll,T2lの書込み時間と同じ
程度であつて、例えば10ミリ秒である。ここで示した
ように、抵抗体Rはチツプ構造の一部として設けること
ができる。コンデンサC1は又、特別の装置を設けるか
、或いはチツプの漂遊容量を利用して、チツプ構造の一
部として得られる。接地電圧は基板より得られる。負電
圧は、点線10で示したように、足P2からえられる。
どの端子においても、一方の電圧から他方の電圧への変
更は、普通のMOSトランジスタ(図示していない)に
よる適当なスイツチング動作によつて得られる。出力端
子すなわち端子T3は、導線11を介してMNOSトラ
ンジスタTll,T2lのゲートに接続される。便宜上
は、端子Tl,t2,t3としてはチツプ回路上の適当
な点をそれに当てれば良い。制御装置を動作させる3つ
の方法を第2図、第3図及び第4図を参照して以下に記
述する。
これらの図では接地電圧を太い線で示してある。正或い
は負の電圧は細い線で、それぞれ太い線の上下に示す。
非動作状態で端子に現れる電圧はカツコ内に示してある
。0は接地電圧、Nは負電圧を表わす。
3つの方法すべてにおいて、第1の入力端子t1におけ
る非動作時電圧は接地電圧であり、この電圧は抵抗体R
をとおして出力端子T3に伝達される。
第2図で示した方法では、第2の入力端子T2の非動作
時電圧は負であり、コンデンサC1が充電されている。
接地電圧のパルスが第2の入力端子T2に加えられると
、出力端子T3の電圧は、そのパルスの立上り端で急激
に上昇し、それからゆつくり接地電圧まで下る。パルス
の立下り端では急激に負電圧におちそれからゆつくり接
地電位にもどる。正の偏移は消去パルスEとして用いら
れ、負の偏移は書込みパルスWとして用いられる。第1
の端子t1に負電圧パルスが加わると、端子T3の電圧
は、そのパルスの継続期間中にゆつくりと負の値におち
る。そしてパルスが終ると除々に接地電圧にもどる。こ
れらの変化は読出しパルスRとして用いられる。第3図
の方法では、非動作時状態は第2図の方法と同じであり
、読出しパルスRは同じ形をしていて、同じ方法で作ら
れる。
しかしながら、消去及び書込みパルスE−Wは、第1の
入力端子t1に負電圧のパルスを、第2の入力端子T2
に接地電圧のパルスを同時に加えることによつて作られ
る。出力端子T3では電圧はパルスの立上り端で急激に
正の値に上り次いでパルスの継続期間中に負の値におち
る。パルスが終ると負電圧が急激に絶対値を増し次いで
ゆつくりと接地電圧にもどる。第2図の方法と比べると
書込みパルスWの電圧は増強し、これによつて、電源が
切れている時にMNOSトランジスタが情報を記憶して
おく時間が増す。第4図に示した方法では、両入力端子
は非動作状態では接地電圧にあり、コンデンサーC1は
充電していない。
負のパルスを相続けて両入力端子に加えると、消去パル
スと書込みパルスを生じ、同時に加えると読出しパルス
を生じる。更に詳細すれば、負電圧パルスを第2の入力
端子T2に加える時、出力端子は急激に負の値になり、
次にゆつくりと接地電圧にもどり、余分の書込みパルス
Wを作り出す。端子T2のパルスの終端は、第1の入力
端子t1の負パルスの始端と一致させる。その結果とし
て、出力端子T3での電圧は急激に正の値に上昇し、消
去パルスEをつくり出す。このパルスは余分な書込みパ
ルスWの効果を打消す。第2のパルスの継続期間中に出
力端子T3の電圧は正の値から負の値におちて書込みパ
ルスWを生じる。このパルスの効果は、引きつづいて打
消されることはない。第2のパルスが終ると、出力端子
T3の電圧はゆつくりと接地電圧まで上る。負のパルス
を同時に第1と第2の入力端子Tl,t2に加えること
によつて方形波読出しパルスRが生じる。この読出しパ
ルスは、第2図、第3図の方法による読出しパルスより
も継続時間が短かく、したがつて読出し時間を減少する
ことができる。抵抗体Rをチツプ上に設けることが困難
である場合は、装置を、抵抗体を別個に設けてチツプと
組合せ両方を一つの容器に納める複合型とすることがで
きる。この場合の構造を第5図に示す。チツプの端面1
の近くに二つの導電性の足P3,p4をつくる。チツプ
の外に、別個に設けた抵抗体Rがあつて、これらの足の
間に゛;はんだ付け或いは他の適当な技術によつて、接
続される。チツプ内では、足P3は第1の入力端子t1
に接続され、又保護ダイオード12にも接続して良い。
このダイオードは、足P2とダイオード9(第1図)と
の関係で説明したのと同じように働らく。前述のとおり
、コンデンサC1は第2の入力幽子T2と出力端子T3
の間に接続している。出力端子T3は足P4に接続され
る。出力端子T3に正電圧が保たれるためには足P4は
チツプ基板から絶縁されていて、保護ダイオードは設け
られていない。高圧電圧がたまたま外部電線からチツプ
に加わることのないようにするためには、抵抗体Rはチ
ツプと同一容器中に納められて、容器の外部と足P4の
間に接続がないようにする。このようにして容器の外の
外部電圧の攪乱が、足P4に高電圧を生じ得ないように
なつている。制御装置の動作は、制御装置とラツチング
回路を第6図に示したように変形することによつて更に
効果的にすることができる。
ドレイン電圧母線00に接続する代りに、MNOSトラ
ンジスタTll,T2lは、それぞれMOSトランジス
タTl4,T24を介して電源母線VTTに接続する。
トランジスタTl4,T24のゲートは共通になつてい
て導線14を通して制御装置のもう1つの出力端子T4
に接続される。出力端子T4は、コンデンサC1の第2
の入力端子T2と同一の場所に接続されている。MNO
SトランジスタTll,T2lのゲートとドレインはそ
れぞれコンデンサCll,C2lを介して接続されてい
る。電源母線TTの電圧は、入力端子Tl,t2に加え
られる最大電圧とチツプの漂遊容量に依存するより低い
値との間で限られた範囲内の値をもつ。この値は多くの
場合ドレイン電圧母線V。Oの電圧を越える。この変形
装置の目的は消去パルスの継続期間中にMNOSトラン
ジスタのドレイン接合を保護すること、書込みを必要と
しない時に、書込みが行なわれないようにすることであ
る。
すでに説明したように、消去パルスEは出力端子T3か
ら、例えばMNOSトランジスタTllのゲートへと入
る正電圧である。この変形装置によると、対応する負電
圧の減少が同時に端子T4からトランジスタTl4のゲ
ートに与へられ、トランジスタTl4は非導通になる。
この状態では、コンデン旬11は、MNOSトランジス
タTllのドレイン電圧をへらして、それによつて過大
な電圧がトランジスタTllのドレイン接合部に現れな
いようにすることである。更に、すでに説明したように
、書込みパルスWは出力端子T3からMNOSトランジ
スタTll,T2lのゲートに与えられる負電圧である
。書込みパルスの継続期間中に、第2の入力端子T2は
接地電圧にあり、これは端子T4ノと導線14を通して
、例えばMOSトランジスタTl4のゲートに送りこま
れる。
このトランジスタはそれによつて非導通になる。この状
態では、コンデンサーCllはトランジスタTl4のド
レイン電圧を母線。oの電圧よりも負にするのに有効で
あり、その結果必要とされる書込み抑制電圧は、電圧V
。Oによつてではなく、トランジスタTl4のドレイン
の負電圧偏移によつて定められ、そうでない場合よりも
電圧V。Oを低くできるという長所を生じる。第7図に
示した更に別の変形では、ラツチング装置に入る情報が
、既に記憶されている情報と同じであるかどうかを示す
指示信号が与えられる。
記録されるべき情報を表わす信号は、ドレインDl3,
d23(第1図)に直接加えられる代りに、第1と第2
の入力端子を経て、2つの入力MOSトランジスタTl
5,T25の一方のゲートに加わる。これらのトランジ
スタのソースはそれぞれトランジスタTl3,T23の
ドレインに接続されている。そのドレインは共通になつ
ていて、MOSストローポトランジスタT1のドレイン
に接続され次いでMOSスイツチングトランジスタT2
のゲートに接続される。これら両トランジスタのソース
は、ソース電圧母線VSSl即ちチツプ基板に接続され
る。ストローボパルスがトランジスタT1のゲートに与
えられる。トランジスタT2のドレインはMOSトラン
ジスタT3のソースに接続される。MOSトランジスタ
T3は、ゲートとドレインが両方共ドレイン電圧母糺。
oに接続されているので、抵抗体として動作する。所望
ならば他のMOSトランジスタをトランジスタT2と並
列に入れて一致ゲート回路を形成することもできる。こ
れらのトランジスタの1つがT4で示されている。これ
らトランジスタの各々は、トランジスタT2に関連して
記述したと同じように別のラツチング回路に接続される
ものである。このことは、トランジスタT4に関して導
線15で示す。トランジスタT1のベースに加えられる
ストローボパルスはこのトランジスタを導通させて、ト
ランジスタTl5,T25を動作可能にする。
トランジスタT1が非導通であり、そして記録されるべ
き情報がすでに記憶していた情報と同じであるならば、
例えばトランジスタTl5は、トランジスタTl3と直
列になつて導通し、トランジスタT2のゲートの電位は
低い値におちる。記録されるべき情報が記憶していたも
のと異なつているならば、トランジスタT2のゲートの
電位が高い値となる。トランジスタT4は他のラツチン
グ回路(図示していない)に関連して、同様に動作する
。両トランジスタT2,T4のゲートが低電圧であるな
らトランジスタT3のソースでの弁別電圧によつて一致
が示される。第6図に示した変形を実現する一つの方法
は、第8図に示したチツプ構造を用いることである。
このチツプはシリコン基板16と、三つのp型拡散部1
7,18,19とを有する。この基板は二酸化硅素の層
20で覆われており、これがMOS及びMNOSトラン
ジスタの両方に対して使用される。この層20の電荷を
貯えるのに用いられる領域は、この層20の他の部分と
比べて非常に薄くなつている。接点をつくる目的でその
まま残されている部分を除いて、チツプ表面は、窒化硅
素の層で覆われている。その一部分が21で示されてい
る。ゲート電極を次に、22,23で示したように、金
属蒸着によつて形成する。ゲート電極23は重なり部分
27を有していて、拡散部19の上に重なつている。普
通の製造過程がこのチツプを製造するのに用いられる。
第8図の装置で用いられる可変しきい値トランジスタは
、そのチヤネル領域の面積が各トランジスタのゲートと
チヤネルの間の容量を増すために増加することができる
。さて第6図の回路を参照すると、拡散部17,18は
それぞれMOSトランジスタTl4のドレインとソース
として働らく。
ゲート電極22の電圧がトランジスタTl4の動作を支
配する。拡散部18はまた、MNOSトランジスタTl
lのドレインとして働く。拡散部19はトランジスタT
llのソースとして働らく。ゲート電極23の電圧は酸
化物と窒化物の層20,21の界面に、良く知られた方
法で、電荷を誘導する。拡散部18,19の間では、酸
化物の層20の厚さは周辺24,25の比較的厚い値か
ら、中心部26の比較的薄い値へと変化されている。
厚さの値の変化は急激であつて、階段形状を形成してい
る。拡散部18,19の間にある基板16の部分は、コ
ンデンサCllとして働らく(第6図)。消去パルスの
継続期間中はトランジスタTllのゲート電極23は正
電圧になつていて、このコンデンサの有効部分は、重な
り部分27であつて、容量Cllは比較的低い値となつ
ている。書込みパルスの継続期間においては、トランジ
スタTllのゲート電極23は負電圧となつていて層2
0と21との界面に誘導された電荷が拡散部18,19
の間の基板16中に導電性逆転層を引きおこす。この状
態では、中心部分26と両周辺部分24,25は容量に
有効にきいて、容量Cllは比較的高い値をもつように
なる。
【図面の簡単な説明】
第1図は既知のラツチング回路を用いる本発明による記
憶装置を示す図であり、第2図、第3図、第4図は第1
図の装置を動作させる3つの異つた方法を示す波形図で
あり、第5図は本発明による複合型の装置を部分的に示
す図であり、第6図は第1図の装置の変更例を示す図で
あり、第7図は第1図の装置のさらに可能な変更例を示
す図であり、第8図は第6図に示した装置を実現するの
に有用な集積回路チツプの断面図である。 1・・・・・・集積回路チツプ端面、Tl2,T22,
Tl3,T23,Tl4,T24,Tl,T2,T3,
T4・・・・・・MOSトランジスタ、Tll,T2l
・・・・・・MNOSトランジスタ、p1〜P4・・・
・・・導電性足、R・・・・・・制御装置を構成する抵
抗体、C1・・・・・・制御装置を構成するコンデンサ
、Tl,t2・・・・・・制御装置の入力端子、T3,
t4・・・・・・制御装置の出力端子、9・・・・・・
保護装置を構成するダイオード。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 (イ)基板を備え、金属−窒化物−酸化物−シリコ
    ン(MNOS)トランジスタかあるいは金属−酸化物−
    シリコン(MOS)トランジスタおよびMNOSトラン
    ジスタのいずれかから成る複数のトランジスタを含む電
    気回路を備え、前記基板に基準電位が加えられるように
    前記基板に対する基準接続を備え、前記基準電位に関し
    て一方の極性を有する電位を前記回路に与える導電性の
    足を備え、そして前記足の各々と前記基板との間に接続
    されかつ関連する足が前記一方の極性と反対の極性の電
    位になつたとき導通する保護装置を各々の足に関連して
    備える集積回路チップと、(ロ)前記基準電位と前記一
    方の極性を有する電位とか選択的に加えられる第1と第
    2の入力端子と、前記第1と第2の入力端子の間に接続
    された抵抗体とコンデンサとの直列回路と、前記抵抗体
    とコンデンサとの接続点に設けられて前記入力端子に加
    えられる電位に応じて前記一方の極性あるいは前記反対
    の極性を有する出力電位を供給しかつMNOSトランジ
    スタのゲート電極に接続されると共に前記基板から絶縁
    される出力端子とを備え、前記MNOSトランジスタの
    ゲート電極の電位を前記一方の極性の電位あるいは前記
    反対の極性の電位に制御する制御装置と、を有する電気
    的情報記憶装置。 2 特許請求の範囲第1項記載の記憶装置であつて、基
    板への前記基準接続は基板に接続した導電性足によつて
    行なわれる記憶装置。 3 特許請求の範囲第1項あるいは第2項記載の記憶装
    置であつて、前記保護装置はダイオードである記憶装置
    。 4 特許請求の範囲第1項、第2項あるいは第3項に記
    載の記憶装置であつて前記抵抗体が前記集積回路アップ
    から別個に設けられている記憶装置。
JP51058496A 1975-05-20 1976-05-20 電気的情報記憶装置 Expired JPS5911995B2 (ja)

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DE2622307A1 (de) 1976-12-02
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