JPS5888171A - 高密度窒化珪素焼結体の製造方法 - Google Patents
高密度窒化珪素焼結体の製造方法Info
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- JPS5888171A JPS5888171A JP56185122A JP18512281A JPS5888171A JP S5888171 A JPS5888171 A JP S5888171A JP 56185122 A JP56185122 A JP 56185122A JP 18512281 A JP18512281 A JP 18512281A JP S5888171 A JPS5888171 A JP S5888171A
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- Japan
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- sintered body
- silicon nitride
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は高密度でかつ高強度の窒化珪素焼結体を製造す
る方法に関するものである。
る方法に関するものである。
近年、熱効率の向上、燃料の節約、低公害、軽址化を目
的として高温ガスタービンを始め、テイーゼルエンジン
、MID発電など高温で稼動する機器の開発が活発に行
なわれている。ところが、これら機器の開発は一途に高
温構造材料の開発にかかつており、これら高温材料の製
造が注目されているが、か\る高温下では従来の耐熱金
属では必ずしも満足な機械的強度を得るに至らず、又、
資源の乏しい耐熱金属材料の節約という観点から地上に
比較的豊富なSi、AI!、C,、Nなどを原料とする
セラミックスを高温構造材料として開発が進められつつ
ある。
的として高温ガスタービンを始め、テイーゼルエンジン
、MID発電など高温で稼動する機器の開発が活発に行
なわれている。ところが、これら機器の開発は一途に高
温構造材料の開発にかかつており、これら高温材料の製
造が注目されているが、か\る高温下では従来の耐熱金
属では必ずしも満足な機械的強度を得るに至らず、又、
資源の乏しい耐熱金属材料の節約という観点から地上に
比較的豊富なSi、AI!、C,、Nなどを原料とする
セラミックスを高温構造材料として開発が進められつつ
ある。
又、かかる高温構造材料の開発は高硬度部材としての工
具や耐食材料としての用途を目的としても同様にその重
要性が認識され、大きな関心が寄せられている。
具や耐食材料としての用途を目的としても同様にその重
要性が認識され、大きな関心が寄せられている。
とりわけ、これらセラミックス高温構造材料の中で高温
下で充分な強度を有し化学的に安定で熱衝撃にも強い材
料として窒化珪素(SigN4)は最も有望なものの一
つとして注目されている。
下で充分な強度を有し化学的に安定で熱衝撃にも強い材
料として窒化珪素(SigN4)は最も有望なものの一
つとして注目されている。
このSi8N4 は上述の如き優れた物理的特性を有す
るが、これはSi3N4 が珪素(Si) と窒素■
との強固な共有結合よりなる化合物であることによる。
るが、これはSi3N4 が珪素(Si) と窒素■
との強固な共有結合よりなる化合物であることによる。
このことは、反面において、518N4単独で高密度・
高強度の製品を製造することが極めて困難であることを
意味し、従ってこの分野における研究の殆んどは如何に
して高密度・高強度のSi8N4 の成形体を製造する
かに費やされており、しかもその殆んど全ては、S+s
N4 単独での焼結が困難なことから、焼結助剤を
添加して焼結する方法である。
高強度の製品を製造することが極めて困難であることを
意味し、従ってこの分野における研究の殆んどは如何に
して高密度・高強度のSi8N4 の成形体を製造する
かに費やされており、しかもその殆んど全ては、S+s
N4 単独での焼結が困難なことから、焼結助剤を
添加して焼結する方法である。
焼結助剤上しては、Y2O3、Al2O8、MgO1T
1o2、SiO2、ZrO2等が代表的な成分であり、
これら助剤はSi3N4粉末粒子の境界面でガラス質を
形成することによりSi 8N、粒子相互を結合する役
目を持つものであるが、5iBN4 自体は優れた耐
熱性及び高強度を有するにも拘らず、焼結助剤を用いた
焼結体にあっては、その耐熱限度及び強度は、焼結助剤
の性質に左右される七いう問題がある。
1o2、SiO2、ZrO2等が代表的な成分であり、
これら助剤はSi3N4粉末粒子の境界面でガラス質を
形成することによりSi 8N、粒子相互を結合する役
目を持つものであるが、5iBN4 自体は優れた耐
熱性及び高強度を有するにも拘らず、焼結助剤を用いた
焼結体にあっては、その耐熱限度及び強度は、焼結助剤
の性質に左右される七いう問題がある。
一方、焼結体の強度は一般にその密度に比例する傾向が
あることから、高密度焼結体の製造方法として、最近、
熱間静水圧プレス(以下HIPという)法により、高温
高圧の不活性ガスをS+aN4粉末を所定の形状にした
成形体あるいはこれを予備焼結した予備焼結体に作用さ
せて高密度化する方法が提案されている。
あることから、高密度焼結体の製造方法として、最近、
熱間静水圧プレス(以下HIPという)法により、高温
高圧の不活性ガスをS+aN4粉末を所定の形状にした
成形体あるいはこれを予備焼結した予備焼結体に作用さ
せて高密度化する方法が提案されている。
しかしながら、本発明者等がこのようにして得られた5
18N4 焼結体の相対密度と強度との相関量′係に
ついて研究を行ったところ、5iBN4 焼結体の相対
密度と強度とは必ずしも相関関係があるとけ云えないこ
とが判明した。そこで本発明者等は更に検討を重ね、予
備焼結体のβ型S rBN4 に着目して研究を゛行っ
た結果、予備焼結体のβ型5i8N4含有率と焼結体の
強度とに相関があることを知見し先に、これらの関係に
ついて特許出願を行なっている。(特願昭56−111
80号)。
18N4 焼結体の相対密度と強度との相関量′係に
ついて研究を行ったところ、5iBN4 焼結体の相対
密度と強度とは必ずしも相関関係があるとけ云えないこ
とが判明した。そこで本発明者等は更に検討を重ね、予
備焼結体のβ型S rBN4 に着目して研究を゛行っ
た結果、予備焼結体のβ型5i8N4含有率と焼結体の
強度とに相関があることを知見し先に、これらの関係に
ついて特許出願を行なっている。(特願昭56−111
80号)。
本発明者等は、更に研究を重ね、β型Si8N4 含
有率と焼結体強度との相関原因について調べたところ、
HIP処理前の予備焼結工程即ち熱処理工程におけるα
−β変態によって複雑にからみ合った柱状或いは針状晶
を形成し、HIP処理時におけるβ変態と緻密化によっ
て強固にからみ合った組織が形成される事が判明した。
有率と焼結体強度との相関原因について調べたところ、
HIP処理前の予備焼結工程即ち熱処理工程におけるα
−β変態によって複雑にからみ合った柱状或いは針状晶
を形成し、HIP処理時におけるβ変態と緻密化によっ
て強固にからみ合った組織が形成される事が判明した。
そこで、本発明者等はとのα−β変態を利用すれば、前
述の焼結助剤を用いることなくSi3N4の高強度焼結
体が得られるのではないかと考え、種々の実験を行なっ
た結果、前記予見に確信を持ち、本発明を完成するに至
った。
述の焼結助剤を用いることなくSi3N4の高強度焼結
体が得られるのではないかと考え、種々の実験を行なっ
た結果、前記予見に確信を持ち、本発明を完成するに至
った。
即ち、本発明は焼結助剤を用いることなく高密度・高強
度のSi3N4 焼結体を製造する方法を提供するも
ので、その特徴とするところは、α型S+BN4を45
重量%(以下同じ)含有す全Si8N4 粉末を所定形
状に圧粉成形し、この圧粉成形体を1600〜1800
°CのN2ガス雰囲気下で15分以上熱処理することに
よって、Si8N4 全量に対する割合で、前記α型S
iB N4の45%以上をβ型5i8N4に変態させ
て柱状晶或いは針状晶のからみ合った組織体となし、続
いてこれをHIP処理することにより高強度Si3N4
焼結体を製造する点にある。
度のSi3N4 焼結体を製造する方法を提供するも
ので、その特徴とするところは、α型S+BN4を45
重量%(以下同じ)含有す全Si8N4 粉末を所定形
状に圧粉成形し、この圧粉成形体を1600〜1800
°CのN2ガス雰囲気下で15分以上熱処理することに
よって、Si8N4 全量に対する割合で、前記α型S
iB N4の45%以上をβ型5i8N4に変態させ
て柱状晶或いは針状晶のからみ合った組織体となし、続
いてこれをHIP処理することにより高強度Si3N4
焼結体を製造する点にある。
以下本発明を更に詳細に説明する。
先つ本発明方法に用いるS 1BN4粉末の原料は金属
Si の窒化法′により得られるものの他、sio、
還元粉あるいは気相反応法、熱分解法により5iC14
や5i(NH)1から製造されたもの等が使用される。
Si の窒化法′により得られるものの他、sio、
還元粉あるいは気相反応法、熱分解法により5iC14
や5i(NH)1から製造されたもの等が使用される。
なお、Si8N4粉米中のα型5I8N4 の含有率
は後述する如く45%以上必要であり、多い程好ましい
と云える。
は後述する如く45%以上必要であり、多い程好ましい
と云える。
このSi3N4 粉末を予備成形する方法としては、射
出成形法、押出成形法、型プレス成形法、静水圧成形法
等の任意の成形法が採用できる。
出成形法、押出成形法、型プレス成形法、静水圧成形法
等の任意の成形法が採用できる。
次にこの成形体を熱処理することによりα型S+BN4
をβ型Si3N4 に変態させて柱状晶或いは針状
晶が複雑にからみ合った組織体を形成するが、α−β変
態の割合が少ないと充分な強度が得られないので、α−
β変態の割合は、全S 18N4量に対する割合で、α
型Si8N4 の45%以上をβ型に変態させる必要
がある。即ち、全Si3N4に対して45%以上が熱処
理工程でα−β変態を生じている様にする必要がある。
をβ型Si3N4 に変態させて柱状晶或いは針状
晶が複雑にからみ合った組織体を形成するが、α−β変
態の割合が少ないと充分な強度が得られないので、α−
β変態の割合は、全S 18N4量に対する割合で、α
型Si8N4 の45%以上をβ型に変態させる必要
がある。即ち、全Si3N4に対して45%以上が熱処
理工程でα−β変態を生じている様にする必要がある。
なおこの熱処理はSi8N4の分解を抑制するためN2
ガス雰囲気下で行なう必留があるが、次に熱処理条
件について図面によって説明する。添付図面は、97%
α型S Ill N4 (3%βSiB N4 )の原
料粉末をN2ガス雰囲気下で1600℃、1700°C
及び1750°Cの各温度で加熱したときのα型Si8
N4含有量の熱処理時間による変化を示したもので、同
図よりα−β変態の速度は温度が高い程速いことが分か
る。即ち1750℃の場合には約15分で47%かα→
β変態しているに対し、同−変態竜を得るのに1700
℃では約50分、1600℃では約80分装している。
ガス雰囲気下で行なう必留があるが、次に熱処理条
件について図面によって説明する。添付図面は、97%
α型S Ill N4 (3%βSiB N4 )の原
料粉末をN2ガス雰囲気下で1600℃、1700°C
及び1750°Cの各温度で加熱したときのα型Si8
N4含有量の熱処理時間による変化を示したもので、同
図よりα−β変態の速度は温度が高い程速いことが分か
る。即ち1750℃の場合には約15分で47%かα→
β変態しているに対し、同−変態竜を得るのに1700
℃では約50分、1600℃では約80分装している。
このことから、熱処理温度は高い方が熱処理時間が短か
くて済むことになり、好ましいと言えるが、温度が高過
ぎると、N2雰囲気下といえども、Si3N4の熱分解
が生じ、強度低下の原因となるので少くとも1800℃
以下とする必要がある。一方温度が低いと所定のα−β
変恵を得るのに長時間を要し、実用面で問題が生じるの
で、少くとも1600℃以上とする必要がある。従って
熱処理時間も同図より15分以上とする必要のあること
が分かる。
くて済むことになり、好ましいと言えるが、温度が高過
ぎると、N2雰囲気下といえども、Si3N4の熱分解
が生じ、強度低下の原因となるので少くとも1800℃
以下とする必要がある。一方温度が低いと所定のα−β
変恵を得るのに長時間を要し、実用面で問題が生じるの
で、少くとも1600℃以上とする必要がある。従って
熱処理時間も同図より15分以上とする必要のあること
が分かる。
次に上述の如く熱処理によって所定のα−β変態を生じ
させた成形体にHIP処理を施こして高密度焼結体とす
るわけであるが、熱処理により予備焼結された成形体の
密度は、熱処理温度、時間及び予備成形法の種類によっ
て異なっており、相対密度が低いものは、成形体中の気
孔が表面に連通した開孔となっているものがあるため、
そのままHIP処理したのでは閉孔部のみが消滅し、開
孔部がその捷ま残留することになるので、相対密度の低
い予備焼結体は5iXAI! 等の酸化物または窒化物
等を被覆して封孔処理を行いHIP処理に付すか或いは
ガラスカプセル等に封入してHIP処理することが必要
であ゛るが、本発明者等の研究によると、予備焼結体の
相対密度が92%以上の場合には焼結体中の気孔は、そ
の殆んどが表面に開口していない閉孔となっているから
、封孔処理することカく、そのままHIP処理に付すこ
とができる。勿論、相対密度が92%以上の予備焼結体
であっても、例えば圧媒ガスとしてMガスを用いる場合
におけるS iB N4の分解反応の防止等値の目的の
ために被覆処理を行ってHIP処理し得ることは云う迄
もない。
させた成形体にHIP処理を施こして高密度焼結体とす
るわけであるが、熱処理により予備焼結された成形体の
密度は、熱処理温度、時間及び予備成形法の種類によっ
て異なっており、相対密度が低いものは、成形体中の気
孔が表面に連通した開孔となっているものがあるため、
そのままHIP処理したのでは閉孔部のみが消滅し、開
孔部がその捷ま残留することになるので、相対密度の低
い予備焼結体は5iXAI! 等の酸化物または窒化物
等を被覆して封孔処理を行いHIP処理に付すか或いは
ガラスカプセル等に封入してHIP処理することが必要
であ゛るが、本発明者等の研究によると、予備焼結体の
相対密度が92%以上の場合には焼結体中の気孔は、そ
の殆んどが表面に開口していない閉孔となっているから
、封孔処理することカく、そのままHIP処理に付すこ
とができる。勿論、相対密度が92%以上の予備焼結体
であっても、例えば圧媒ガスとしてMガスを用いる場合
におけるS iB N4の分解反応の防止等値の目的の
ために被覆処理を行ってHIP処理し得ることは云う迄
もない。
HIP処理はArガス、N2ガス等の不活性ガス雰囲気
下で行われるが、カプセルを用いない場合には5rBN
40分解反応を防止して、高密度化しりることからして
N2ガス雰囲気下で行うことが好ましい。
下で行われるが、カプセルを用いない場合には5rBN
40分解反応を防止して、高密度化しりることからして
N2ガス雰囲気下で行うことが好ましい。
HIP温度としては、1600℃以上、好ましくは17
00〜2000°Cであり、前記熱処理温度より高いこ
とが望ましい。このHIP#fA度は当然Si8N4
の分解温度以下でなければならず、この分解温度もHI
P圧力の上昇と共に高くなるが、少くともそのHIP処
理処理圧力における分解温度よりも100°C低い1昔
度以下で行うことが好ましい。
00〜2000°Cであり、前記熱処理温度より高いこ
とが望ましい。このHIP#fA度は当然Si8N4
の分解温度以下でなければならず、この分解温度もHI
P圧力の上昇と共に高くなるが、少くともそのHIP処
理処理圧力における分解温度よりも100°C低い1昔
度以下で行うことが好ましい。
次にHIP圧力は、500気圧以上で行うのかよく、5
00気圧以下ではHIP処理に長時間を要すると共にS
i8N4 の分解反応量が時間に比例して大きくなるた
め焼結体の重量減少を招′くのみならず、高密度焼結体
卆達成し難くなる。従ってHIP圧力は少くとも500
気圧、好ましくは700気圧以上にすることが望ましい
。
00気圧以下ではHIP処理に長時間を要すると共にS
i8N4 の分解反応量が時間に比例して大きくなるた
め焼結体の重量減少を招′くのみならず、高密度焼結体
卆達成し難くなる。従ってHIP圧力は少くとも500
気圧、好ましくは700気圧以上にすることが望ましい
。
一方、HIPl:圧力は高ければ高い程、S iB N
4の分解反応が抑止され高密度化が達成され易いが、昇
圧に時間を要し、かつ、昇圧用のコンプレッサをはじめ
本体圧力容器などHIP処理装置が大型化するので実用
的でなくなる。従って実用的には2500気圧までの圧
力でHIP処理することが望ましい。
4の分解反応が抑止され高密度化が達成され易いが、昇
圧に時間を要し、かつ、昇圧用のコンプレッサをはじめ
本体圧力容器などHIP処理装置が大型化するので実用
的でなくなる。従って実用的には2500気圧までの圧
力でHIP処理することが望ましい。
またHIP処理時間は5分〜5間間の範囲で処理するこ
とが好ましい。
とが好ましい。
上記の如くしてHIP処理が施されたSi8N4 焼結
体は相対密度が95%以上の高密度焼結体となる。
体は相対密度が95%以上の高密度焼結体となる。
次に本発明の実施例について説明する。
(実施例)
第1表に示す如く、種々のα型Si3N4を有する原料
S iB N、−を用いて、1 ton/iの圧力で冷
間成形した圧粉成形体を、大気圧のN2気流中で種々の
熱処理条件で熱処理し、そのときのα−β変態量を測定
すると共に、熱処理して得られた予備焼結体をガラスカ
プセル内に装入し、脱気密封した後種々のHIP条件で
HIPして得られた焼結体の密度・強度及びβ型Si、
N4 量を測定したところ第1表の如き結果を得た。
S iB N、−を用いて、1 ton/iの圧力で冷
間成形した圧粉成形体を、大気圧のN2気流中で種々の
熱処理条件で熱処理し、そのときのα−β変態量を測定
すると共に、熱処理して得られた予備焼結体をガラスカ
プセル内に装入し、脱気密封した後種々のHIP条件で
HIPして得られた焼結体の密度・強度及びβ型Si、
N4 量を測定したところ第1表の如き結果を得た。
第1表から明らかな通り、熱処理によるβ型S IB
N4の増加量が45%以上の本発明実施例(No。
N4の増加量が45%以上の本発明実施例(No。
1〜6)と、それ以下の比較例(No、7〜12)とで
は、HIP処理後の焼結体の密度は殆んど同一であり、
またそのβ型S iB N’4は全て100%に達して
いるにも拘らず、本発明実施例のもののみが著しく高い
抗折強度を示している。これは、ひとえに熱処理時のβ
型5i8N4 の多撤生成により柱状晶或いは針状晶が
複雑にからみ合って、5i8N4粉末粒子相互間を強固
に結合せしめた結果によるものと考えられる。このこと
はNo、 6の本発明実施例によって得られた焼結体の
顕微鏡組織(3280倍)を示す参考写真1と、No、
8の比較例によって得られた焼結体の顕微鏡組織(3
280倍)を示す参考写真2とを対比すると明らかな様
に、本発明方法による焼結体の参考写真1では、柱状成
いは針状の結晶が複雑にからみ合って各結晶が相互に強
固に結合されているのに対し、比較例の参考写真では、
各βQ S IB N4が等軸晶を示し、結晶相互間の
結合が弱いことからも明らかである。
は、HIP処理後の焼結体の密度は殆んど同一であり、
またそのβ型S iB N’4は全て100%に達して
いるにも拘らず、本発明実施例のもののみが著しく高い
抗折強度を示している。これは、ひとえに熱処理時のβ
型5i8N4 の多撤生成により柱状晶或いは針状晶が
複雑にからみ合って、5i8N4粉末粒子相互間を強固
に結合せしめた結果によるものと考えられる。このこと
はNo、 6の本発明実施例によって得られた焼結体の
顕微鏡組織(3280倍)を示す参考写真1と、No、
8の比較例によって得られた焼結体の顕微鏡組織(3
280倍)を示す参考写真2とを対比すると明らかな様
に、本発明方法による焼結体の参考写真1では、柱状成
いは針状の結晶が複雑にからみ合って各結晶が相互に強
固に結合されているのに対し、比較例の参考写真では、
各βQ S IB N4が等軸晶を示し、結晶相互間の
結合が弱いことからも明らかである。
以上詳述した通り本発明方法によるとα9 Si、N4
を多量に含むS rBN4 を原料とし、これを所定形
状に成形した後、特定条件で熱処理することにより、一
定量以上のα−β転移を生せしめ、柱状或いは針状のβ
梨S+8N4 を発生させて粒子相互のからみ合いを強
固なものとし、続いてこれをHIP処理することにより
高密度焼結体となすと共にβ型S r B Naを生成
させて粒子相互のからみ合いをより一層強固なもの、と
じて焼結体の強度を著しく高めるものであり、特に従来
法では不可避的に使用していた焼結助剤を用いることな
く Si、’N4の焼結を可能にしたものであるから、
5iBN4 自体の有する卦j熱性並びに強度をそのま
ま発現させることを可能にした成果には顕著なものが認
められる。
を多量に含むS rBN4 を原料とし、これを所定形
状に成形した後、特定条件で熱処理することにより、一
定量以上のα−β転移を生せしめ、柱状或いは針状のβ
梨S+8N4 を発生させて粒子相互のからみ合いを強
固なものとし、続いてこれをHIP処理することにより
高密度焼結体となすと共にβ型S r B Naを生成
させて粒子相互のからみ合いをより一層強固なもの、と
じて焼結体の強度を著しく高めるものであり、特に従来
法では不可避的に使用していた焼結助剤を用いることな
く Si、’N4の焼結を可能にしたものであるから、
5iBN4 自体の有する卦j熱性並びに強度をそのま
ま発現させることを可能にした成果には顕著なものが認
められる。
図はα型si、N4量の熱処理条件による変化を示すグ
ラフである。
ラフである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■、α梨窒化珪素を45重縁形以上含有する窒化珪素粉
末を所定形状に成形し、該成形本を1600〜1800
℃の窒素ガス雰囲気下で15分以上熱処理して窒化珪素
粉末に対する割さで萌1犯α梨窒化珪素の45重量%以
上をβ型窒化珪素に変態させた後、該成形体を1600
°C以上、500気圧以りの条件で熱間静水圧プレス処
理することを特徴とする高密度窒化珪素・焼結体の製造
方法。 2、熱処理した成形体をガラスカプセル内Vで封入して
熱間静水圧プレス処理する特許請求の範囲第1項記載の
高密度窒化珪素焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56185122A JPS5888171A (ja) | 1981-11-17 | 1981-11-17 | 高密度窒化珪素焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56185122A JPS5888171A (ja) | 1981-11-17 | 1981-11-17 | 高密度窒化珪素焼結体の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5888171A true JPS5888171A (ja) | 1983-05-26 |
Family
ID=16165247
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56185122A Pending JPS5888171A (ja) | 1981-11-17 | 1981-11-17 | 高密度窒化珪素焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5888171A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6385050A (ja) * | 1986-09-27 | 1988-04-15 | 日産自動車株式会社 | 窒化珪素質焼結体の製造方法 |
JPS63235437A (ja) * | 1986-10-24 | 1988-09-30 | Ube Ind Ltd | β型窒化珪素ウイスカー成形体及びその製法 |
EP0334543A2 (en) * | 1988-03-23 | 1989-09-27 | Ngk Insulators, Ltd. | Method of producing high density silicon nitride sintered bodies |
US4886767A (en) * | 1986-11-21 | 1989-12-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Silicon nitride-ceramic and a manufacturing method therof |
JPH02311368A (ja) * | 1989-05-26 | 1990-12-26 | Ngk Insulators Ltd | Si↓3N↓4焼結体 |
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