JPS5885523A - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
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- JPS5885523A JPS5885523A JP18508181A JP18508181A JPS5885523A JP S5885523 A JPS5885523 A JP S5885523A JP 18508181 A JP18508181 A JP 18508181A JP 18508181 A JP18508181 A JP 18508181A JP S5885523 A JPS5885523 A JP S5885523A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/22—Diffusion of impurity materials, e.g. doping materials, electrode materials, into or out of a semiconductor body, or between semiconductor regions; Interactions between two or more impurities; Redistribution of impurities
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
このづＥ明り牛楠体験迫１ｈ−に牛賜伴ツエーハ會載し
”した文付台會炉芯管肖に収容してよ６ピウエーハに熱
処理ケ廊す装−にレーするもの１あるＯ 千擲体装櫨の製造において、牛導俳りエーノ・に拡敏、
版化、Ｃｖｐ（化学的気相成長）、不純物押し込与、シ
ンターリング等の加熱ケ伴なう檎々の処理會圃す場合、
−散に千４体りエーハケボートと称される支持台上に載
誼した状独でＵＦｌ熱炉の炉芯管内へ搬入して上記処理
會行なっている。この炉芯管およびボート線共に石英、
灰化グイ索、シリコン痔の耐熱性何科で形欧さｒている
か、ボートの炉芯官への搬入および処坤俵の楯出に除し
て肉１の接触部が麻ネＬして和１雇を兜生じ、この細紐
が牛坤体りエーノ・曲に封有して、このクエーハより敢
終的に分納して得られる牛導体紮−の不良の要因となる
同一かめる。
”した文付台會炉芯管肖に収容してよ６ピウエーハに熱
処理ケ廊す装−にレーするもの１あるＯ 千擲体装櫨の製造において、牛導俳りエーノ・に拡敏、
版化、Ｃｖｐ（化学的気相成長）、不純物押し込与、シ
ンターリング等の加熱ケ伴なう檎々の処理會圃す場合、
−散に千４体りエーハケボートと称される支持台上に載
誼した状独でＵＦｌ熱炉の炉芯管内へ搬入して上記処理
會行なっている。この炉芯管およびボート線共に石英、
灰化グイ索、シリコン痔の耐熱性何科で形欧さｒている
か、ボートの炉芯官への搬入および処坤俵の楯出に除し
て肉１の接触部が麻ネＬして和１雇を兜生じ、この細紐
が牛坤体りエーノ・曲に封有して、このクエーハより敢
終的に分納して得られる牛導体紮−の不良の要因となる
同一かめる。
例えは、不純物の拡敞工柚ｒ（おいては、ホードと相、
きねる文持ち上に９敞の午等俳りエーノ）會艇１「尤に
立て穴状愚でＮｖ列載１して炉芯１色内へｈＶ人するが
、この撮人時お工び迩敗処坤恢の黴１土１１侍にボート
の下部を炉芯を内振面に８ｉ鈑させめため、接沁；ち１
５１Ｎ力もしくは一力か踏杆して１１１塵を発生し、こ
の１１１塵が舞い上がって千編体りエーハ表向に封有し
易い。筐に１近牛てｈ転産化に対１１６ して一枚の牛
吻伴りエーハにＪニジ多くの菓子を組み込む必要からク
エーハ秘全大きくする傾向にあり、このために蛇虚如か
増大して上紀和１腺の発生も顕者とな９、その１脣がよ
り深刻化している。
きねる文持ち上に９敞の午等俳りエーノ）會艇１「尤に
立て穴状愚でＮｖ列載１して炉芯１色内へｈＶ人するが
、この撮人時お工び迩敗処坤恢の黴１土１１侍にボート
の下部を炉芯を内振面に８ｉ鈑させめため、接沁；ち１
５１Ｎ力もしくは一力か踏杆して１１１塵を発生し、こ
の１１１塵が舞い上がって千編体りエーハ表向に封有し
易い。筐に１近牛てｈ転産化に対１１６ して一枚の牛
吻伴りエーハにＪニジ多くの菓子を組み込む必要からク
エーハ秘全大きくする傾向にあり、このために蛇虚如か
増大して上紀和１腺の発生も顕者とな９、その１脣がよ
り深刻化している。
この兜明け、上絵し−ｆｃ従来の同一点會厨次すべく舵
慧仙究を夏ねて到達しｋものであり、午２＃Ｉ伴クエー
ハ會Ｔ４１ｆ、論する支持台の低曲向側部に矢％・都會
駁ける♂宍に、炉芯管側に上配矢条都に対応するレール
米７＃Ｉｈ欧け、矢条都君しくはレール条溝に気体噴射
口を敗りることにエリ、炉芯管への給田人時に支持台江
気値！ｌａ Ｎ＝Ｉによって浮上さセる＋ｌ１１Ｂとし
た千−イ率製造駅−に係るものである。
慧仙究を夏ねて到達しｋものであり、午２＃Ｉ伴クエー
ハ會Ｔ４１ｆ、論する支持台の低曲向側部に矢％・都會
駁ける♂宍に、炉芯管側に上配矢条都に対応するレール
米７＃Ｉｈ欧け、矢条都君しくはレール条溝に気体噴射
口を敗りることにエリ、炉芯管への給田人時に支持台江
気値！ｌａ Ｎ＝Ｉによって浮上さセる＋ｌ１１Ｂとし
た千−イ率製造駅−に係るものである。
以下、この発明を図面に基ついて収明する。
犯／因に不純物の折散工棉に商用しに仁のう６明の一タ
七九例の牛一体＆！！危県皺を帆陥的に示す。区；にお
いて、（１ｊは外部１１がヒータ（２）によって棹わハ
た石英製炉芯管１あり、（３１は多数の牛導体りエーハ
（４１（４ｊ・・・を里頂に立て′ｆＣ状態て′駿勤し
たボートである。
七九例の牛一体＆！！危県皺を帆陥的に示す。区；にお
いて、（１ｊは外部１１がヒータ（２）によって棹わハ
た石英製炉芯管１あり、（３１は多数の牛導体りエーハ
（４１（４ｊ・・・を里頂に立て′ｆＣ状態て′駿勤し
たボートである。
９１．２図で示すように、ボート（３）の底面（３ａ）
には長手方向に沿う同側部近傍に下方へ突用して長手方
向に連続する突宋都ｔ６１ ｔ５＋が形成さｔており、
谷突条都ｆ１５１ ＋５１０内部には室塞カス〜の不活
性気体を外部〃・ら尋人する気休−人勤１６＋ ＋６１
が収けられ、且つ兜３図でも示すエラに矢米都１ｆｉｌ
ｔｉｌｌのｍ ｔｉ （ｂａ）（ａａ）にＵＴｈ体線
人ｊｋ （６１ｔｂｌ ’ｅ通して尋人さｔまた気体（
７）全下回さに噴射する鳴豹日（８１＋８）°°“が朗
疋聞隔ヶ論いてυ８収さ４ている。−力・炉芯’＆ｔｌ
ｌの内ｆｉｔｓ（ｌＢ）の下＠Ｓ位１ｍ’ Ｋ ｉＪ、
、ボート（３１の突木柿ｉ５１ ｆｉｌ Ｆこそハぞ７
′１対同して艮十万同に連私ｒする凸形のレール米油（
９１ｔｉＩｌｌ ’に収りた軌遍台１Ｕｊ（ｌＯｊ力）
駁けらｔている。このレール釆陶ｉ９１ ＋９１は第、
２凶で示すように上記ボート（３）の矢米梱６（ｂ（（
５１より１１１Ｆ＋Ｕ広とな′てお゛り一’ｆ ｆＣ１
１Ｇ’ｔ ｉｍ ’ｃ３ （Ｉｔｌ・ｆｌＱ’ ｉＪ、
内相）が中空状となって気体排田路（ＩＩ ｉＩＩ會
情成すると共に、レール兼有！９１ ＋９１ ’、ｃ形
成する順Ｍ ｉｌｌ （９ａ、）（９ａ）に気体排出Ｑ
（＋１ （Ｉりに連通する透孔味０４−・・・ｆ長手
方向に所定間隔に箇いて配Ｗ〈されている。
には長手方向に沿う同側部近傍に下方へ突用して長手方
向に連続する突宋都ｔ６１ ｔ５＋が形成さｔており、
谷突条都ｆ１５１ ＋５１０内部には室塞カス〜の不活
性気体を外部〃・ら尋人する気休−人勤１６＋ ＋６１
が収けられ、且つ兜３図でも示すエラに矢米都１ｆｉｌ
ｔｉｌｌのｍ ｔｉ （ｂａ）（ａａ）にＵＴｈ体線
人ｊｋ （６１ｔｂｌ ’ｅ通して尋人さｔまた気体（
７）全下回さに噴射する鳴豹日（８１＋８）°°“が朗
疋聞隔ヶ論いてυ８収さ４ている。−力・炉芯’＆ｔｌ
ｌの内ｆｉｔｓ（ｌＢ）の下＠Ｓ位１ｍ’ Ｋ ｉＪ、
、ボート（３１の突木柿ｉ５１ ｆｉｌ Ｆこそハぞ７
′１対同して艮十万同に連私ｒする凸形のレール米油（
９１ｔｉＩｌｌ ’に収りた軌遍台１Ｕｊ（ｌＯｊ力）
駁けらｔている。このレール釆陶ｉ９１ ＋９１は第、
２凶で示すように上記ボート（３）の矢米梱６（ｂ（（
５１より１１１Ｆ＋Ｕ広とな′てお゛り一’ｆ ｆＣ１
１Ｇ’ｔ ｉｍ ’ｃ３ （Ｉｔｌ・ｆｌＱ’ ｉＪ、
内相）が中空状となって気体排田路（ＩＩ ｉＩＩ會
情成すると共に、レール兼有！９１ ＋９１ ’、ｃ形
成する順Ｍ ｉｌｌ （９ａ、）（９ａ）に気体排出Ｑ
（＋１ （Ｉりに連通する透孔味０４−・・・ｆ長手
方向に所定間隔に箇いて配Ｗ〈されている。
±１４．＃灰の午編体製命装勧に工って午沁仙りエーハ
１４１＋４！・・・に不純物拡散？行なう動台、萱ず炉
芯管（１）の軌迫台ｉ０１ ｌＯｊ Ｋ’連結した同様
レール条＠會自するタト籟Ｓ組通台ＱＪｊ上てボート（
３１に生培体りエーハ（４１［＋Ｂ−・・・を梧販し、
外わ１５柘只糸（図示略）よりボー） ｔ３＋の気体尋
人Ｔｈ （ｔｉｔ ＋６１へ屋累カス婚の不ｔｉ！５贅
気住を所飄圧力で一人して喰船ｒＪ（１１，・（８１・
・・工り賑田させ、ボートｆａｌｌ葡軌迫臼贈上で浮上
状態とする。−万、炉正、′耐（１７のも・Ｌ庵台００
、・（ｌｔｌｊの気体シト１Ａ鮪（ＩＪ （１１７ｋ外
鄭耕気糸（凶示陥）７１・らの吸引によって炉芯智ｉｌ
ｌ内亦囲気にヌ゛（して負圧としておく。次いで浮上状
ｈＫめるボー）ｉ３１’ｉ株作俸（１４１等で押して炉
芯管内部（１ａ）まで仔上私感の筐１移動させる。この
時、ホード（３１の突乗都１ｂ！ ｔｅｌは炉芯管ＩＩ
内のレール呆宿Ｆｉｌｌ ＋９１内に美人するが、気体
（７）の噴射によってボート（３１か浮上して摺接せず
、／Ｉ−さな刀て杉めてスムースにボート（３）の移切
刃・イ〕なわ力、従って摺接によるし耗て和１１ｉＡ力
・４託生することはなくなる。
１４１＋４！・・・に不純物拡散？行なう動台、萱ず炉
芯管（１）の軌迫台ｉ０１ ｌＯｊ Ｋ’連結した同様
レール条＠會自するタト籟Ｓ組通台ＱＪｊ上てボート（
３１に生培体りエーハ（４１［＋Ｂ−・・・を梧販し、
外わ１５柘只糸（図示略）よりボー） ｔ３＋の気体尋
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気住を所飄圧力で一人して喰船ｒＪ（１１，・（８１・
・・工り賑田させ、ボートｆａｌｌ葡軌迫臼贈上で浮上
状態とする。−万、炉正、′耐（１７のも・Ｌ庵台００
、・（ｌｔｌｊの気体シト１Ａ鮪（ＩＪ （１１７ｋ外
鄭耕気糸（凶示陥）７１・らの吸引によって炉芯智ｉｌ
ｌ内亦囲気にヌ゛（して負圧としておく。次いで浮上状
ｈＫめるボー）ｉ３１’ｉ株作俸（１４１等で押して炉
芯管内部（１ａ）まで仔上私感の筐１移動させる。この
時、ホード（３１の突乗都１ｂ！ ｔｅｌは炉芯管ＩＩ
内のレール呆宿Ｆｉｌｌ ＋９１内に美人するが、気体
（７）の噴射によってボート（３１か浮上して摺接せず
、／Ｉ−さな刀て杉めてスムースにボート（３）の移切
刃・イ〕なわ力、従って摺接によるし耗て和１１ｉＡ力
・４託生することはなくなる。
また、仮に炉芯管内Ｒ１♂（１−）やボート（３１に他
の要因りこよって和１展か付議してい次としても、噴射
される気体（７）は部層ｆ３ （Ｉｏｌの６孔Ｏ＊ ａ
Ｚ・・・を筋して気体耕用路（１す（Ｉりから外部へｈ
ｐ出されるｋめ、気体（７）か炉芯を内部（１ａ）の寄
凹気を乱ざず、ＭトしたＭ紐は気体（旬とす（にシ１出
さねて牛導体りエーハｆ４＋［４１・・・か汚指さｆｌ
ｆ Ｋ隣む。
の要因りこよって和１展か付議してい次としても、噴射
される気体（７）は部層ｆ３ （Ｉｏｌの６孔Ｏ＊ ａ
Ｚ・・・を筋して気体耕用路（１す（Ｉりから外部へｈ
ｐ出されるｋめ、気体（７）か炉芯を内部（１ａ）の寄
凹気を乱ざず、ＭトしたＭ紐は気体（旬とす（にシ１出
さねて牛導体りエーハｆ４＋［４１・・・か汚指さｆｌ
ｆ Ｋ隣む。
ボート（３）會炉芯賀内部（１ａ）の１夕１冗位置萱で
朴納させｆＣ按は、気伴蔓人昂（［ｉｌ ＋６１への店
気ならびに気４＋排出銘（＋１ （Ｉすからの吸気？停
止し、炉芯悩内部（ｌａ）ケボク系考の不純物ン百刊す
る丸材で１自侠して炉、しも（１１’？ｅ ’ａ ｂ１
状態とし、１ツ（瓦のＢ（・トＵ□１度て拡敢反沁會杓
なえはよい。この拡散処理の光了俊のボー）ｉ３ｉ（１
）搬出に際しては的述した址／Ａ時と同様にしてボート
ｆａｌｌ葡仔上さゼて引ぎ１」１せはよい。ボートｔａ
ｌｌおよび軌１１１υ、・の僧獣Ｈ科としてＶＪ石英、
次化りイ累、シリコン得の耐熱性に祐み不活性な何科が
使用される。
朴納させｆＣ按は、気伴蔓人昂（［ｉｌ ＋６１への店
気ならびに気４＋排出銘（＋１ （Ｉすからの吸気？停
止し、炉芯悩内部（ｌａ）ケボク系考の不純物ン百刊す
る丸材で１自侠して炉、しも（１１’？ｅ ’ａ ｂ１
状態とし、１ツ（瓦のＢ（・トＵ□１度て拡敢反沁會杓
なえはよい。この拡散処理の光了俊のボー）ｉ３ｉ（１
）搬出に際しては的述した址／Ａ時と同様にしてボート
ｆａｌｌ葡仔上さゼて引ぎ１」１せはよい。ボートｔａ
ｌｌおよび軌１１１υ、・の僧獣Ｈ科としてＶＪ石英、
次化りイ累、シリコン得の耐熱性に祐み不活性な何科が
使用される。
上紀実園例ではボート（３）の矢釆都（６）に噴射孔＋
８） ＋８１・・・７＃！７けた場合會示し／こが、レ
ール条溝（９）に噴射孔？設は矢釆れ１≦内に吸気を作
用させてね１１鎌を突条７Ｉｓ内ヶ利用してりを都に併
１月してもよい。
８） ＋８１・・・７＃！７けた場合會示し／こが、レ
ール条溝（９）に噴射孔？設は矢釆れ１≦内に吸気を作
用させてね１１鎌を突条７Ｉｓ内ヶ利用してりを都に併
１月してもよい。
１だ、上記医師例てはボー１− （Ｊの気体尋人路（６
）會矢乗都ｆｔ＋＋内に形成しているが、他の部分に敗
けてもよく、例えは中央部にル戚ｌ、た／不の尋人路、
Ｊ：９両側の矢兼都ｆｉｌ （５１の唄躬口＋１１ ＋
１１・・・へ導入気体を分１ジＴる工うに偏成してもよ
い。
）會矢乗都ｆｔ＋＋内に形成しているが、他の部分に敗
けてもよく、例えは中央部にル戚ｌ、た／不の尋人路、
Ｊ：９両側の矢兼都ｆｉｌ （５１の唄躬口＋１１ ＋
１１・・・へ導入気体を分１ジＴる工うに偏成してもよ
い。
更に唄豹孔（８）として多数の小孔の代わシにスリット
状Ｕ―孔にすることも口」詫である。
状Ｕ―孔にすることも口」詫である。
−万、軌追右（１０１は上１久−例の」；うに一体とす
る他、向側のレール条ｉＪＩ （９１ｉ９１全１賄えた
一体物で１１口にしてもよ（、更に炉芯管（１１口体ｔ
レール禾膚ｔ９＋ ！９１葡伺フるし状に加工しても差
し支えない。なお、気体排ａｉ路（１１１（Ｉｌｌは必
・ずしも必要ではないが、レール条ＴＪＩ４（９１近傍
やボート（３１社１１０ ｆｉｔｓに細路７５Ｉ＋−Ｊ
有している恐れがある場合により自効であり、完全無塵
化のためには敗けることが望ましい。
る他、向側のレール条ｉＪＩ （９１ｉ９１全１賄えた
一体物で１１口にしてもよ（、更に炉芯管（１１口体ｔ
レール禾膚ｔ９＋ ！９１葡伺フるし状に加工しても差
し支えない。なお、気体排ａｉ路（１１１（Ｉｌｌは必
・ずしも必要ではないが、レール条ＴＪＩ４（９１近傍
やボート（３１社１１０ ｆｉｔｓに細路７５Ｉ＋−Ｊ
有している恐れがある場合により自効であり、完全無塵
化のためには敗けることが望ましい。
なお、以上の説明は午導体製造工相中の不純物拡散工程
について述べているが、銀化、ｃｖＤ、不純物押し込み
、シンターリング等の他の他々の熟処坤を伴なう１稲に
おいてもこのりｅ明の午導体製造装ｗを通用すれば同様
の効果が笑される。
について述べているが、銀化、ｃｖＤ、不純物押し込み
、シンターリング等の他の他々の熟処坤を伴なう１稲に
おいてもこのりｅ明の午導体製造装ｗを通用すれば同様
の効果が笑される。
以上のようにこの発肋ｔコ、午榊体りエーハを載置した
支持臼を炉ｉＰｕ内に収容して上配午尋体りエーハに熱
処坤會−丁駁論において、土１支持台か低１ＩＩＩ側に
下方へ矢出して長手方向へ連続する矢米都′に刊し、上
配炉ｔＦｓ ’ｍの内部に収す時の支持台の上虻笑禾都
に対向するロｊヒレール米向か故けられ、突栄都〃・門
形レール米膚の一万が気体導入路を鮪え、且つ導入気体
を外全崗へ唄Ｍ’ｌする咳剃口かｃｄ収さね、上記レー
ル米溝上で上が支持台〃・気体噴射によって浮上ｕＪ能
に酵叡されているから、炉芯管に対して支持臼を搬入お
裏ひ振出する際に支持体音浮上させることが川船である
。従ってとの発り」によｉ′１げ、支持台と炉芯管との
陶の摺接による摩耗で細紐が優と生することがなく、午
導体りエーハに細塵が付着する恐ｔ″ｔが解消され、結
果として午尋体装勧の勧進における熱処理段階での歩留
まりならびに最終的に得らハる午尋体装論の品致勿大き
く同上させることがｉＪ能となる。
支持臼を炉ｉＰｕ内に収容して上配午尋体りエーハに熱
処坤會−丁駁論において、土１支持台か低１ＩＩＩ側に
下方へ矢出して長手方向へ連続する矢米都′に刊し、上
配炉ｔＦｓ ’ｍの内部に収す時の支持台の上虻笑禾都
に対向するロｊヒレール米向か故けられ、突栄都〃・門
形レール米膚の一万が気体導入路を鮪え、且つ導入気体
を外全崗へ唄Ｍ’ｌする咳剃口かｃｄ収さね、上記レー
ル米溝上で上が支持台〃・気体噴射によって浮上ｕＪ能
に酵叡されているから、炉芯管に対して支持臼を搬入お
裏ひ振出する際に支持体音浮上させることが川船である
。従ってとの発り」によｉ′１げ、支持台と炉芯管との
陶の摺接による摩耗で細紐が優と生することがなく、午
導体りエーハに細塵が付着する恐ｔ″ｔが解消され、結
果として午尋体装勧の勧進における熱処理段階での歩留
まりならびに最終的に得らハる午尋体装論の品致勿大き
く同上させることがｉＪ能となる。
第７図はこの発明の一久１例會模式的に示す部分断曲正
曲図、第、２図は第７図の■−■細の阪陥断曲図、兜３
図は第７図の内円Ａの拡大ｉｔｓ分切欠図である。 ［１１・・炉芯管、（１＆）・・炉芯管内部、（２）・
・ヒータ、（３）・・ボート（支持台）、（３ｍ）・・
底面、（４）・・午橋体りエーハ、（６）・・突条都、
（６）・・気体尋人路、（７）・・気体、（８１・・咳
創口、＋９１ ” ＠ ｖ −／Ｌ／条溝、（９１Ｌ）
” ＠ （［ｌｈ ｋ ｉｌｓ、（ＩＱ＋ ＊ ＠ ４
ＧＩＬ遍台（レール条俗の基’ｔ＋ ） 、ｉｎ＋・・
気体排田路、Ｏ′４・ｅｔｈ孔。 ｂ ′１ 図 ５２ 図 ４″ ｌ ／ζ ６６ −と
曲図、第、２図は第７図の■−■細の阪陥断曲図、兜３
図は第７図の内円Ａの拡大ｉｔｓ分切欠図である。 ［１１・・炉芯管、（１＆）・・炉芯管内部、（２）・
・ヒータ、（３）・・ボート（支持台）、（３ｍ）・・
底面、（４）・・午橋体りエーハ、（６）・・突条都、
（６）・・気体尋人路、（７）・・気体、（８１・・咳
創口、＋９１ ” ＠ ｖ −／Ｌ／条溝、（９１Ｌ）
” ＠ （［ｌｈ ｋ ｉｌｓ、（ＩＱ＋ ＊ ＠ ４
ＧＩＬ遍台（レール条俗の基’ｔ＋ ） 、ｉｎ＋・・
気体排田路、Ｏ′４・ｅｔｈ孔。 ｂ ′１ 図 ５２ 図 ４″ ｌ ／ζ ６６ −と
Claims (1)
- （１１牛導体りエーハｔ％Ｉ！Ｉ８協した支持台ｒ炉芯
管内に収容して上記牛導体りエーノ・に勲処蜘盆ｆｉ１
ｍ−ｊ装勤′において、上に支持台が低量側に下方へ矢
用して長手方向へ連続する矢大用５會刊し、上配炉芯官
の８押に収容時の支持台の上配矢鰍ち１＞に対［ｒＪＪ
する凸形レール大面か敗けられ、英米ｓｒｓ ｔ・凸形
レール条溝の一刀が気体尋人んを備え且つ港人気体會グ
ト空間へ噴射する喰躬口がｈ敗さｎ１上配レール釆溝上
で上配叉軸８カ・気０喰則によってか上ｔｉ）行とにｈ
ｆ敗されてなる午一体験這裳固。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18508181A JPS5885523A (ja) | 1981-11-17 | 1981-11-17 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18508181A JPS5885523A (ja) | 1981-11-17 | 1981-11-17 | 半導体製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5885523A true JPS5885523A (ja) | 1983-05-21 |
| JPH0151051B2 JPH0151051B2 (ja) | 1989-11-01 |
Family
ID=16164483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18508181A Granted JPS5885523A (ja) | 1981-11-17 | 1981-11-17 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5885523A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09320973A (ja) * | 1996-05-30 | 1997-12-12 | Nec Yamagata Ltd | ウェハ搬出入装置 |
| JP2012009641A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Koyo Thermo System Kk | 連続拡散処理装置 |
| JP2012009638A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Koyo Thermo System Kk | 連続拡散処理装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5242075A (en) * | 1975-09-29 | 1977-04-01 | Nippon Denso Co Ltd | Device for controlling gas atmosphere in semiconductor producing equip ment |
| JPS53129964A (en) * | 1977-04-20 | 1978-11-13 | Hitachi Ltd | Method and device for inserting and taking out of heat treatment jig |
| JPS5469384A (en) * | 1977-11-14 | 1979-06-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Electric furnace unit |
-
1981
- 1981-11-17 JP JP18508181A patent/JPS5885523A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5242075A (en) * | 1975-09-29 | 1977-04-01 | Nippon Denso Co Ltd | Device for controlling gas atmosphere in semiconductor producing equip ment |
| JPS53129964A (en) * | 1977-04-20 | 1978-11-13 | Hitachi Ltd | Method and device for inserting and taking out of heat treatment jig |
| JPS5469384A (en) * | 1977-11-14 | 1979-06-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Electric furnace unit |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09320973A (ja) * | 1996-05-30 | 1997-12-12 | Nec Yamagata Ltd | ウェハ搬出入装置 |
| JP2012009641A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Koyo Thermo System Kk | 連続拡散処理装置 |
| JP2012009638A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Koyo Thermo System Kk | 連続拡散処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0151051B2 (ja) | 1989-11-01 |
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