JPS5880835A - 高融点金属シリサイドの形成方法 - Google Patents
高融点金属シリサイドの形成方法Info
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- JPS5880835A JPS5880835A JP17833881A JP17833881A JPS5880835A JP S5880835 A JPS5880835 A JP S5880835A JP 17833881 A JP17833881 A JP 17833881A JP 17833881 A JP17833881 A JP 17833881A JP S5880835 A JPS5880835 A JP S5880835A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
- H01L21/283—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current
- H01L21/285—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current from a gas or vapour, e.g. condensation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
この発明は高融点金属7リサイドの形成方法6二関する
。
。
半導体装置の被細化、高速化の要求が高まり、その配線
材料やゲート電極材料し高融点金属シリサイド(以降M
−81と略称する)の応用が検討されている。半導体装
置1用いられるM−al l”l一対しては、低い抵抗
値で69、かつ薄膜自体のストレスが低いことが要求さ
れている。
材料やゲート電極材料し高融点金属シリサイド(以降M
−81と略称する)の応用が検討されている。半導体装
置1用いられるM−al l”l一対しては、低い抵抗
値で69、かつ薄膜自体のストレスが低いことが要求さ
れている。
従来、半導体装置ζ二用いられるM−8l薄膜は、シリ
コン基板上またはシリコン基板上の酸化シリコン膜上幅
=真空蒸着またはスパッタリングにより形成されていた
。しかし、膜上の如く形成されたM−8i薄膜は膜自体
のストレスが大きく、半導体装置の製造工程で、この罠
が形成される下地との間(二しばしば剥れを生ずるとい
う重大な欠点があった。
コン基板上またはシリコン基板上の酸化シリコン膜上幅
=真空蒸着またはスパッタリングにより形成されていた
。しかし、膜上の如く形成されたM−8i薄膜は膜自体
のストレスが大きく、半導体装置の製造工程で、この罠
が形成される下地との間(二しばしば剥れを生ずるとい
う重大な欠点があった。
この発明は膜上の従来の欠点を改良するためのM−8i
薄襖の形成方法を提供する。
薄襖の形成方法を提供する。
この発明の方法は、気密容器−二その容器内の雰囲気を
検出するガス分析装置を設けておき、蒸着またはスパッ
タリングを開始した初期にはシャッタを閉じ、ガス分析
装置が検出するガス圧が所定値纏二達したときシャッタ
を開き半導体基板(二対しM−8t膜被着を施すもので
参る。
検出するガス分析装置を設けておき、蒸着またはスパッ
タリングを開始した初期にはシャッタを閉じ、ガス分析
装置が検出するガス圧が所定値纏二達したときシャッタ
を開き半導体基板(二対しM−8t膜被着を施すもので
参る。
以下シー1実施例(二つき詳細に説明する。M−8tが
一例のモリブデンシリサイドMo Si 2を真空中で
スパッタリングC二より形成する場合、il1図仁示す
装置を用いる。図において、(1)は気密容器で真空ポ
ンプ(2)に接続され容器内は真空1二される。(,3
)はMo S i2ターゲット、(4)は基板支持台(
5)に支持されたシリコン基板でその間ζニシャッタ(
6)が設けられている。また、気密容器内の残留ガスを
検出分析する残留ガス分析器(7)、例えばオージェ電
子分光分析装置が接続されている。
一例のモリブデンシリサイドMo Si 2を真空中で
スパッタリングC二より形成する場合、il1図仁示す
装置を用いる。図において、(1)は気密容器で真空ポ
ンプ(2)に接続され容器内は真空1二される。(,3
)はMo S i2ターゲット、(4)は基板支持台(
5)に支持されたシリコン基板でその間ζニシャッタ(
6)が設けられている。また、気密容器内の残留ガスを
検出分析する残留ガス分析器(7)、例えばオージェ電
子分光分析装置が接続されている。
膜上の装置(二より次のようにスパッタリングが行なわ
れる。基板支持台(5)(二表面感=鹸化シリコン膜が
形成されたシリコン基板(4)をセットし、Mo5iz
ターゲツト(3)と対向させる0次に気密容器(1)内
を真空艦ニしたのち、アルゴンガスな3xlO)−ル程
度導入する。なお、(8)はガス導入口である。次にシ
ャッタ(6)を閉じてMo3ixターゲツトとシリコン
基板(二電圧を印加しスパッタリングをはじめる。
れる。基板支持台(5)(二表面感=鹸化シリコン膜が
形成されたシリコン基板(4)をセットし、Mo5iz
ターゲツト(3)と対向させる0次に気密容器(1)内
を真空艦ニしたのち、アルゴンガスな3xlO)−ル程
度導入する。なお、(8)はガス導入口である。次にシ
ャッタ(6)を閉じてMo3ixターゲツトとシリコン
基板(二電圧を印加しスパッタリングをはじめる。
この後、残留ガス分析器でターゲット表面から放出され
たガスを調べて、窒素、炭素、酸素、および水であるこ
とが判明した。また、上述のガスの成分のスペクトル信
号はスパッタリング開始後ある時間(1実施例の装置で
は約4分間)経過すればほぼノイズレベルまで低減する
ことが判明した。
たガスを調べて、窒素、炭素、酸素、および水であるこ
とが判明した。また、上述のガスの成分のスペクトル信
号はスパッタリング開始後ある時間(1実施例の装置で
は約4分間)経過すればほぼノイズレベルまで低減する
ことが判明した。
そこで1実施例はスパッタリングを開始して約4分間経
過したときシャッタを開き、シリコン基板鴫二対するス
パッタリングζ:移J) Mo8i*薄膜を堆積させる
ものである。そして所望量のスパッタリング堆積量に達
すれば停止する。
過したときシャッタを開き、シリコン基板鴫二対するス
パッタリングζ:移J) Mo8i*薄膜を堆積させる
ものである。そして所望量のスパッタリング堆積量に達
すれば停止する。
膜上の形成方法によるMoSi2薄膜のストレスを測定
した値を第2図に従来のものと比較して示す。
した値を第2図に従来のものと比較して示す。
すなわち、この発@(二よるものがx印、従来のものが
Q印で、縦軸の示すストレス値で約Hに低減をみている
。これはSi図(=よって示されるよう(二、Mo S
ix腹の膜厚方向に窒累量を示す信号強度のA−1炭素
量を示す信号強度OB、[1を従来の窒素適を示すに絨
、従来の炭素量を示すy線を夫々対応して比較すること
感=よって確認できる。上記オージェ電子分光分析の結
果からして本発明ζ二かかるMoSix膜は不純愉元掌
をほとんど貴んでいないといえる。すなわち、Mari
t膜自体のストレスを低減させる要因であること、が確
−されたこと(二なる。また、その後の半導体装置の製
造工程、例えば熱酸化、蝕刻工程等ζ二おいても安定で
あり、かつ半導体装置6二要求される条件を充分満たし
ている。
Q印で、縦軸の示すストレス値で約Hに低減をみている
。これはSi図(=よって示されるよう(二、Mo S
ix腹の膜厚方向に窒累量を示す信号強度のA−1炭素
量を示す信号強度OB、[1を従来の窒素適を示すに絨
、従来の炭素量を示すy線を夫々対応して比較すること
感=よって確認できる。上記オージェ電子分光分析の結
果からして本発明ζ二かかるMoSix膜は不純愉元掌
をほとんど貴んでいないといえる。すなわち、Mari
t膜自体のストレスを低減させる要因であること、が確
−されたこと(二なる。また、その後の半導体装置の製
造工程、例えば熱酸化、蝕刻工程等ζ二おいても安定で
あり、かつ半導体装置6二要求される条件を充分満たし
ている。
第1図は1実施例のスパッタリング装置の断面図、第2
図はMo5it &のストレスを示す線図、第3図はM
o S it層膜中不純物元素の含有量を示す分光分析
結果の線図である。 1 真空容器 3 1vloSi2ターゲツト5 シ
リコン基板支持台 6 シャッタ 7 残留ガス分析装置(オージェ電子分光分析
器ン 代理人 ・弁理士 井 上 −男 faI図 昭和 年 月 日 6゜ 特許庁長官島田番樹殿 1、 事件の表示 昭和56年特許願第1783:18号 2、発明の名称 ^融点金属シリチイドの形成方法 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 (307)東京芝浦電気株式会社 4、代理人 〒144 東京都大田区H田4丁目41番11号 第−津野田ビル、。 弁上特許事務所内 補正の対象 明細−の発明の詳細な説明の欄 補正の内容 明細書の第3頁第9行目から第10行目にかかる「オー
ジェ電子分光分析装置」をr4m極型質量分析器など」
に補正する。 以上 ば 133−
図はMo5it &のストレスを示す線図、第3図はM
o S it層膜中不純物元素の含有量を示す分光分析
結果の線図である。 1 真空容器 3 1vloSi2ターゲツト5 シ
リコン基板支持台 6 シャッタ 7 残留ガス分析装置(オージェ電子分光分析
器ン 代理人 ・弁理士 井 上 −男 faI図 昭和 年 月 日 6゜ 特許庁長官島田番樹殿 1、 事件の表示 昭和56年特許願第1783:18号 2、発明の名称 ^融点金属シリチイドの形成方法 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 (307)東京芝浦電気株式会社 4、代理人 〒144 東京都大田区H田4丁目41番11号 第−津野田ビル、。 弁上特許事務所内 補正の対象 明細−の発明の詳細な説明の欄 補正の内容 明細書の第3頁第9行目から第10行目にかかる「オー
ジェ電子分光分析装置」をr4m極型質量分析器など」
に補正する。 以上 ば 133−
Claims (1)
- 気密容器内にシャッタを介して高融点金属シリサイドの
ターゲットと半導体基板とを対向させて ・真空雰囲気
とし、蒸着またはスパッタリングを施す高融点金属シリ
サイドの薄膜を形成する方法において、気密容器(=そ
の容器内の雰囲気を検出するガス分析装置を設けておき
、蒸着またはスパッタリングを開始した初期懺;はシャ
ッタを閉じ、ガス分析装置が検出するガス圧力が所定値
(−達したときシャッタを開き半導体基板(二対し高融
点金属シリサイド膜被着を施す高融点金属シリサイドの
形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17833881A JPS5880835A (ja) | 1981-11-09 | 1981-11-09 | 高融点金属シリサイドの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17833881A JPS5880835A (ja) | 1981-11-09 | 1981-11-09 | 高融点金属シリサイドの形成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5880835A true JPS5880835A (ja) | 1983-05-16 |
Family
ID=16046738
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17833881A Pending JPS5880835A (ja) | 1981-11-09 | 1981-11-09 | 高融点金属シリサイドの形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5880835A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6176664A (ja) * | 1984-09-05 | 1986-04-19 | Hitachi Metals Ltd | スパツタリング装置用タ−ゲツト及びその製造方法 |
-
1981
- 1981-11-09 JP JP17833881A patent/JPS5880835A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6176664A (ja) * | 1984-09-05 | 1986-04-19 | Hitachi Metals Ltd | スパツタリング装置用タ−ゲツト及びその製造方法 |
JPH0360914B2 (ja) * | 1984-09-05 | 1991-09-18 | Hitachi Metals Ltd |
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