JPS5878176A - 印写装置 - Google Patents
印写装置Info
- Publication number
- JPS5878176A JPS5878176A JP56176715A JP17671581A JPS5878176A JP S5878176 A JPS5878176 A JP S5878176A JP 56176715 A JP56176715 A JP 56176715A JP 17671581 A JP17671581 A JP 17671581A JP S5878176 A JPS5878176 A JP S5878176A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- period
- liquid crystal
- printing
- temperature
- turned
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G15/00—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern
- G03G15/04—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern for exposing, i.e. imagewise exposure by optically projecting the original image on a photoconductive recording material
- G03G15/04036—Details of illuminating systems, e.g. lamps, reflectors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Control Or Security For Electrophotography (AREA)
- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
- Combination Of More Than One Step In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は液晶光書込ユニットを用いた印写装置において
、安定な光書込みを行うための光書込ユニットのシーケ
ースに関するものである０液晶光書込ユニツトについて
は、特許５５−１４１１０Ｌ８５にその詳細が述べであ
るが、実際に印写装置に組み込んで使用する際には、い
くつかの注意が必要となる０ 印写装置に光書込ユニットを組み込む場合、電子写真プ
ロセスにおいては湿度対策面から装置内温度を室温より
も５〜１０℃高めであるＯ従うて室温が使用Ｓｔ＊範囲
の上限である５５℃の場合、装置内温度は４０〜４５℃
となる０従って使用する液晶パネルは４５℃においても
動作しなければならず、また液晶の温度特性を考慮した
場合±５℃以内ＩＫコントロールしなければならない。
、安定な光書込みを行うための光書込ユニットのシーケ
ースに関するものである０液晶光書込ユニツトについて
は、特許５５−１４１１０Ｌ８５にその詳細が述べであ
るが、実際に印写装置に組み込んで使用する際には、い
くつかの注意が必要となる０ 印写装置に光書込ユニットを組み込む場合、電子写真プ
ロセスにおいては湿度対策面から装置内温度を室温より
も５〜１０℃高めであるＯ従うて室温が使用Ｓｔ＊範囲
の上限である５５℃の場合、装置内温度は４０〜４５℃
となる０従って使用する液晶パネルは４５℃においても
動作しなければならず、また液晶の温度特性を考慮した
場合±５℃以内ＩＫコントロールしなければならない。
一方、印写装置の使用条件を考慮した場合、熱定着器を
用いた電子写真プロセスの場合ウオームアツプ時間は通
常２分程度であるので、２分以内に液１パネルを設定温
度まで立ち上げなければならない。
用いた電子写真プロセスの場合ウオームアツプ時間は通
常２分程度であるので、２分以内に液１パネルを設定温
度まで立ち上げなければならない。
またけい光ラングは発光効率が高く、低電力で動作し、
発熱量も少い理ｉ！ｉｋ近い光源であるが、反面第１図
に示す如く周囲温度によりその発光輝度が大ぎく影醤を
受ける０１は周囲温度が４０℃の時、２は５０Ｃ５は２
０℃の時である。これは輝度が管壁温度に対して一義的
に決まっているからであり、５０〜５０Ｃの範囲に最適
な温度が存在する。第１図の例のけい光ランプの場合、
管壁温度４０Ｃが輝度最大の条件であるが、そのため周
囲温度が４０Ｃの時、点灯開始直後は最大輝度が得られ
ているが、自己発熱により管壁温度が上昇し、その結果
輝度が低下している。従って叶い光ランプも、印写装置
のシステムの始動開始と同時に１素速く設定温度に立ち
上げなければならないＯ 第２．５図に本発明に使用した光書込ユニットを示した
。第２図は断面図、第５図は横断間である。両側にお互
いに偏光面が直交するよ５に偏光板が取付けられた液晶
パネル１１と、工０化された液墨駆動回路１５が実装さ
れたバスボード１６は共に支持体２５に取り付けてあり
、液晶パネル１１の停号電極へはつしキシプル基板１７
を通して結線しである。けい光ランプ１２は、内＠５方
を断熱材２１で囲み、残りの一方を液晶パネル１１で囲
んで形成されたエリナの中におさめられている。この中
に常にプロア５２により風を流し、風の出入口に配置し
た温度センサ２４で風の温度を検出し、ヒーター５５に
フイニドバツンをかけ、加熱もしくは冷却することによ
り中の温度をコントロールしている。この時にプロア５
２で十分な風量をとることにより、−叶い光ランプ管壁
と液晶パネルの温度をコントロールできる。また第４図
の如く、透過率の高いガラス板５０でふたをして、光書
込ユニット全体に風で流しても同様の効果は得られる。
発熱量も少い理ｉ！ｉｋ近い光源であるが、反面第１図
に示す如く周囲温度によりその発光輝度が大ぎく影醤を
受ける０１は周囲温度が４０℃の時、２は５０Ｃ５は２
０℃の時である。これは輝度が管壁温度に対して一義的
に決まっているからであり、５０〜５０Ｃの範囲に最適
な温度が存在する。第１図の例のけい光ランプの場合、
管壁温度４０Ｃが輝度最大の条件であるが、そのため周
囲温度が４０Ｃの時、点灯開始直後は最大輝度が得られ
ているが、自己発熱により管壁温度が上昇し、その結果
輝度が低下している。従って叶い光ランプも、印写装置
のシステムの始動開始と同時に１素速く設定温度に立ち
上げなければならないＯ 第２．５図に本発明に使用した光書込ユニットを示した
。第２図は断面図、第５図は横断間である。両側にお互
いに偏光面が直交するよ５に偏光板が取付けられた液晶
パネル１１と、工０化された液墨駆動回路１５が実装さ
れたバスボード１６は共に支持体２５に取り付けてあり
、液晶パネル１１の停号電極へはつしキシプル基板１７
を通して結線しである。けい光ランプ１２は、内＠５方
を断熱材２１で囲み、残りの一方を液晶パネル１１で囲
んで形成されたエリナの中におさめられている。この中
に常にプロア５２により風を流し、風の出入口に配置し
た温度センサ２４で風の温度を検出し、ヒーター５５に
フイニドバツンをかけ、加熱もしくは冷却することによ
り中の温度をコントロールしている。この時にプロア５
２で十分な風量をとることにより、−叶い光ランプ管壁
と液晶パネルの温度をコントロールできる。また第４図
の如く、透過率の高いガラス板５０でふたをして、光書
込ユニット全体に風で流しても同様の効果は得られる。
風の出入口にはホコリの侵入を防ぐ７イルター２５を設
けである。また、輝度センサ２６が設けられているが、
その位置は２７ 、２８゜のいずれの位置でも良く、２
７の場合は液晶パネル１１の光応答変化を含めた光量変
化、２８の場合はさらに結像レンズ１４を通った光、つ
まり光書へユニット、トータルの光量便化をピックアッ
プすることになる。
けである。また、輝度センサ２６が設けられているが、
その位置は２７ 、２８゜のいずれの位置でも良く、２
７の場合は液晶パネル１１の光応答変化を含めた光量変
化、２８の場合はさらに結像レンズ１４を通った光、つ
まり光書へユニット、トータルの光量便化をピックアッ
プすることになる。
次に第５図に制御系の概念図を示す０叶い光管及び液晶
パネルの温度制御は、温度センｔ２４−Ｑランプハウス
内の温度を検出し、温度コントローラ４４からヒーター
電源４５へフィードバックをかけ約４０℃にコントロー
ルをしている。ヒーターには最大約７０Ｗ程度のパワー
が必要なため、ヒーター電源にはＡＣ！１００７を用い
、従ってスイッチング素子にはトライアックを使用して
、また１００Ｖのスイッチング時に生じる。ノイズ発生
を避けるため、ゼロボルトスイッチングを用いた時間比
例制御を行った。温１コントロールは時間比例制御で行
い、特に急速な温度の立上がりが要求されることから、
設定温度近傍まではフルパワーがかかり、設定温度の±
５Ｃ以内で比例制御がかかるような方式とした。
パネルの温度制御は、温度センｔ２４−Ｑランプハウス
内の温度を検出し、温度コントローラ４４からヒーター
電源４５へフィードバックをかけ約４０℃にコントロー
ルをしている。ヒーターには最大約７０Ｗ程度のパワー
が必要なため、ヒーター電源にはＡＣ！１００７を用い
、従ってスイッチング素子にはトライアックを使用して
、また１００Ｖのスイッチング時に生じる。ノイズ発生
を避けるため、ゼロボルトスイッチングを用いた時間比
例制御を行った。温１コントロールは時間比例制御で行
い、特に急速な温度の立上がりが要求されることから、
設定温度近傍まではフルパワーがかかり、設定温度の±
５Ｃ以内で比例制御がかかるような方式とした。
輝度コントロールについては光センサ２６で光量を検出
し、輝度コントローラ４２で高周波ドライバ４１ヘフイ
ードバツクをかけコントロールしたＯ 以上の制御系により０℃の停止状態から約１〜２分′！
ｊＡ度で設定温度まで立ち上げることができ、連続運転
時ではランプハウス内で±５Ｃ１以内に温度をコントロ
ールすることができた。
し、輝度コントローラ４２で高周波ドライバ４１ヘフイ
ードバツクをかけコントロールしたＯ 以上の制御系により０℃の停止状態から約１〜２分′！
ｊＡ度で設定温度まで立ち上げることができ、連続運転
時ではランプハウス内で±５Ｃ１以内に温度をコントロ
ールすることができた。
第４＆Ｊに印写する際の、特に光書へユニットの動作シ
ーケンスの概念図を示す。停止期間７０からメイン電源
５１が入れられると、同時に電源を含む温度コントロー
ラ５２、核高周波ドライバーのフィラメント電源５５及
び輝度コントローラ５４、ロジック用の＃第１の電源５
５、プロア等のその他の電源５８が投入され、液晶パネ
ル温度６１及び叶い光ランプ管壁温度６２が急速に立ち
上がり、該第１の期間７１内に設定温度に到達する。印
写システム全体の７オ一ムアンプ期間７２後、待期状態
である該第２の期間７５となり、この間液晶パネル、け
い光ランプ管壁温度は設定温度に保持される０ 次に印写指令５９が入ると液晶駆動用の該第２の電源５
６と、叶い光ランプの点灯回路５７が入り、該第５の期
間７４の短い時間−およそ１秒以内−にけい光ランプ輝
度６５が設定輝度まで立ち上がる。輝度コントローラの
電源はすでに入っているが、実際に動作するのは叶い光
ランプが点灯した時である０またこの間に液晶ノ（ネル
に対して該リフレッシュ操作を行う。このリフレッシュ
操作により液晶パネルの光応答の立上がり特性が改善で
きた。この該第５の期間の儂、該第４の期間７５で印写
６０を行うＯ印写終了後は該第２の電源５６と点灯回路
５７が切られ再び仲期伏ｌＩ（該第２の期間）７５とな
るＯ連続印写の場合は前もって印写枚数がわかっており
、印写指令５９が入ると、＃第２の電源５６と点灯回路
５７が入り、該第５の期間７４内にけい光ランプ輝度６
５が設定輝度まで立ら上がり、印写期間７６に入る０こ
の時には複数回のすべての印写６０が終了してはじめて
該第２の電源５６と点灯回路５７が切られ再度待期状態
７５へと入る。最後にメイン電源５１を切るとすべてこ
の電源が切られ動作を停止７７する。
ーケンスの概念図を示す。停止期間７０からメイン電源
５１が入れられると、同時に電源を含む温度コントロー
ラ５２、核高周波ドライバーのフィラメント電源５５及
び輝度コントローラ５４、ロジック用の＃第１の電源５
５、プロア等のその他の電源５８が投入され、液晶パネ
ル温度６１及び叶い光ランプ管壁温度６２が急速に立ち
上がり、該第１の期間７１内に設定温度に到達する。印
写システム全体の７オ一ムアンプ期間７２後、待期状態
である該第２の期間７５となり、この間液晶パネル、け
い光ランプ管壁温度は設定温度に保持される０ 次に印写指令５９が入ると液晶駆動用の該第２の電源５
６と、叶い光ランプの点灯回路５７が入り、該第５の期
間７４の短い時間−およそ１秒以内−にけい光ランプ輝
度６５が設定輝度まで立ち上がる。輝度コントローラの
電源はすでに入っているが、実際に動作するのは叶い光
ランプが点灯した時である０またこの間に液晶ノ（ネル
に対して該リフレッシュ操作を行う。このリフレッシュ
操作により液晶パネルの光応答の立上がり特性が改善で
きた。この該第５の期間の儂、該第４の期間７５で印写
６０を行うＯ印写終了後は該第２の電源５６と点灯回路
５７が切られ再び仲期伏ｌＩ（該第２の期間）７５とな
るＯ連続印写の場合は前もって印写枚数がわかっており
、印写指令５９が入ると、＃第２の電源５６と点灯回路
５７が入り、該第５の期間７４内にけい光ランプ輝度６
５が設定輝度まで立ら上がり、印写期間７６に入る０こ
の時には複数回のすべての印写６０が終了してはじめて
該第２の電源５６と点灯回路５７が切られ再度待期状態
７５へと入る。最後にメイン電源５１を切るとすべてこ
の電源が切られ動作を停止７７する。
前述した如く叶い元ランプ輝度の管壁温度停存性が大き
いため、温度コントロールを行なわなかった当初は点灯
直後の輝度の立ち上がり及び、連続点灯時の輝度変動が
はなはだしく、輝度コントロールをかけてもそのコント
ロール範囲を出たり、入っていたとしても該高周波電源
、ひいてはけい光ランプに負担がかかり長期信頼性がそ
こなわれる恐れがあった。しかるに以上のようなシーケ
ンスを行うことにより常に安定した設定輝度でけい光ラ
ンプを使用することができ、かつけい光ランプは印写中
のみ点灯するため見かけ上叶い光ランプの寿命が延び、
また初めから設定輝度を最大輝度の数割程度に設定して
やることにより、けい光ラングの負荷が軽くなり長期信
頼性を高めることができた０ ができた。
いため、温度コントロールを行なわなかった当初は点灯
直後の輝度の立ち上がり及び、連続点灯時の輝度変動が
はなはだしく、輝度コントロールをかけてもそのコント
ロール範囲を出たり、入っていたとしても該高周波電源
、ひいてはけい光ランプに負担がかかり長期信頼性がそ
こなわれる恐れがあった。しかるに以上のようなシーケ
ンスを行うことにより常に安定した設定輝度でけい光ラ
ンプを使用することができ、かつけい光ランプは印写中
のみ点灯するため見かけ上叶い光ランプの寿命が延び、
また初めから設定輝度を最大輝度の数割程度に設定して
やることにより、けい光ラングの負荷が軽くなり長期信
頼性を高めることができた０ ができた。
一方液晶駆動用には高耐圧のＣＭＯＢ−ＩＣを用いたが
、該第２の電源が約５０７程度と比較的高いため、印写
中にのみこれを印加することによりＩＣの痔命を向上で
きた。また印写直前に該リフレッシュ操作を行ったこと
Ｋより液晶パネルにおける光透過応答の文士がり特性を
実用上問題ない程度に改善できた。
、該第２の電源が約５０７程度と比較的高いため、印写
中にのみこれを印加することによりＩＣの痔命を向上で
きた。また印写直前に該リフレッシュ操作を行ったこと
Ｋより液晶パネルにおける光透過応答の文士がり特性を
実用上問題ない程度に改善できた。
以上のシーケンスで用いるととくより、けい光ラング、
高周波ドライバー、液晶駆動用回路の信頼性を確保しな
がら、安定な実使用レベルの光書へユニット、ひいては
印写装置を実現できた。
高周波ドライバー、液晶駆動用回路の信頼性を確保しな
がら、安定な実使用レベルの光書へユニット、ひいては
印写装置を実現できた。
印写装置の原理構成を第７図に示す◇感光ドラＡ８１は
矢印の方向に回転して、帯電器８４で帯電され、光書へ
ユニット８２で光書ぎ込みが行われ、現俸器８５で一成
分又は二成分系トナーによる反転現偉が行われ、転写９
８４で普通紙？ＩＫ転写され、定着器８９で定着される
。−万感光ドラムはイレーサーランプ８７で表面電荷を
消し、クリーナ８８で＆ｍに残ったトナーをクリーニン
グして１回の印写プロセスを終了する。９０は紙の搬送
系、８５は光書へユニットの各種電源及びコントロール
ユニットでアル。
矢印の方向に回転して、帯電器８４で帯電され、光書へ
ユニット８２で光書ぎ込みが行われ、現俸器８５で一成
分又は二成分系トナーによる反転現偉が行われ、転写９
８４で普通紙？ＩＫ転写され、定着器８９で定着される
。−万感光ドラムはイレーサーランプ８７で表面電荷を
消し、クリーナ８８で＆ｍに残ったトナーをクリーニン
グして１回の印写プロセスを終了する。９０は紙の搬送
系、８５は光書へユニットの各種電源及びコントロール
ユニットでアル。
以上のような構成で安定で信頼性の高い液晶光書込ユニ
ットを用いた印写装置を構成できた。
ットを用いた印写装置を構成できた。
第１図はけい光ランプの周囲温度特性を示した。
第２図、第５図は光書へユニットを示した。
１１−液！パネル １２−けい光ラング １４−結像レ
ンズ １５一液晶駆動回路 ２１−断熱材 ２２−ラン
プハウス ２４一温度センサ２６−光セン＋ｊ ５２−
ブロア ５５−ヒータ第４図は光書へユニットの別の実
施例を示したＯＨ２図は制御系の概略−を示した。 ４２−輝度コントローラ ４１−高周波ドライバー ４
４一温度コ□ントローラ 第６図は光書へユニットの動作シーケンスを示した。 ７１−該第１の期間 ７５−該第２の期間７４−該第５
の期間 ７５−該第４の期間第７図は該光書へユニット
を用いた印写装置の原理構成である０ 以上 出願人 株式会社 諏訪精工舎 代理人 弁理士 最 上 務
ンズ １５一液晶駆動回路 ２１−断熱材 ２２−ラン
プハウス ２４一温度センサ２６−光セン＋ｊ ５２−
ブロア ５５−ヒータ第４図は光書へユニットの別の実
施例を示したＯＨ２図は制御系の概略−を示した。 ４２−輝度コントローラ ４１−高周波ドライバー ４
４一温度コ□ントローラ 第６図は光書へユニットの動作シーケンスを示した。 ７１−該第１の期間 ７５−該第２の期間７４−該第５
の期間 ７５−該第４の期間第７図は該光書へユニット
を用いた印写装置の原理構成である０ 以上 出願人 株式会社 諏訪精工舎 代理人 弁理士 最 上 務
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１） 叶い光ランノ“、該けい光ランノのフィラメ
ント加熱回路と点灯回路が触覚した高ｆＩＢ波ドライバ
ー、光センナ、該光センサ出力により皺ｉ％ｉｌｉ周波
ドライバー出力を変化せしめる輝ぜコントローラよりな
る光源と、マイクロシャッターアレイヲ有する液晶パネ
ル、該液晶パネルをはさんで互いに光面が着臭するよう
配置された偏光板、ロジック用の第１の電源と液晶駆動
用の第２の電源を有する液晶駆動回路よりなる液晶ライ
トパルプと、該けい光ランプ及び該液晶パネルに送風す
るためのブｐアー、該プロア近傍に配置されたヒーター
、風出口近傍に配置された温度センナ、該温度センナ出
力により鋏ヒーターへの投入パワーをコントロールする
温度コントローラよりなる温度コントロールシステムと
、レンズ、以上よりなる光書返信袴部生部を有する電子
写真プロセスを利用した印写装置において、皺印写装置
のメイン電源投入後、該光書返信袴部生部においては、
液晶駆動用の骸ｊｌｌＩ２の電源と鋏点灯回路を除くす
べての構成要素に電源が投入せられ動作を開始し、該メ
イン電源が切られるまでこれらの状態は保持され、また
該メイン電源投入後、第１の期間後印写可能な第２の期
間となり、印写指令後、第５の期間では液晶駆動用の＃
＃Ｉ２の電源と該点灯回路が入れられ、続いて第４の期
間で印写を行い、印写終了後１１＊ｌＩ２の電源と該点
灯回路が切られ核第４の期間終了後再び＃第２の期間に
なり、該メイン電源を切ると同時にすべての構成要素の
電源が切れ動作を停止することを特徴とする印写装置。 （２） 該第１の期間は該メイン電源投入後、印写可
能になるまでの期間であり、この間に該温度センナ、ヒ
ーター、温度コントローラと該プロアが動作し、＃叶い
光ランプの管壁及び、蚊液晶パネルをある設定温度に到
達せしめ、またこの間の時間が、該光書返信袴部生部を
除く皺電子写真プロセスのウオームアツプ時間よりも短
いことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の印写装
置。 （５）該第２の期間は常に印写可能な待期状態であり、
この間に該けい光ラング管壁及び、該液晶パネルをある
設定温度に保っていることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の印写装置。 （４）＃第５の期間は印写指令を受けてから実際に書き
込むまでの期間であり、この間に液晶駆動用の該第２の
電源と峡点灯回路が入れられ、該輝度コントローラが動
作し、諌けい光ランプの輝度がある設定輝度に到達し、
かつこの期間が、該印写指令後、感光体ドラム上の該光
書返信袴部生部による被照射部に、該感光体ドラムの帯
電された領域が来るまでの時間より短いことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の印写装置。 （リ 該第５の期間中に、液晶パネル／１００ＫＨ２以
上の高周波ｆＨ１もしくは５ＫＩ（Ｚ以下の低周波ｆＬ
もしくは１ｌｆｌｌと＃ｆＣを交互に印加すること（以
下この操作をリフレッシュと呼ぶ）を特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の印写装置〇（６） 複数枚の連
続印写をする場合には、最終の印写が終了するまで、該
第２の電源、該点灯回路が切れないことを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の印写装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56176715A JPS5878176A (ja) | 1981-11-04 | 1981-11-04 | 印写装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56176715A JPS5878176A (ja) | 1981-11-04 | 1981-11-04 | 印写装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5878176A true JPS5878176A (ja) | 1983-05-11 |
Family
ID=16018489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56176715A Pending JPS5878176A (ja) | 1981-11-04 | 1981-11-04 | 印写装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5878176A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4529294A (en) * | 1984-03-16 | 1985-07-16 | Xerox Corporation | Document scanning drum and flash exposure copier |
| JPH01134363A (ja) * | 1987-10-14 | 1989-05-26 | E I Du Pont De Nemours & Co | 露光装置を作動させる方法およびこの方法を遂行するための露光装置 |
| US5508782A (en) * | 1990-02-17 | 1996-04-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Lighting unit cooling device control and combined exhaust device |
-
1981
- 1981-11-04 JP JP56176715A patent/JPS5878176A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4529294A (en) * | 1984-03-16 | 1985-07-16 | Xerox Corporation | Document scanning drum and flash exposure copier |
| JPH01134363A (ja) * | 1987-10-14 | 1989-05-26 | E I Du Pont De Nemours & Co | 露光装置を作動させる方法およびこの方法を遂行するための露光装置 |
| US5508782A (en) * | 1990-02-17 | 1996-04-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Lighting unit cooling device control and combined exhaust device |
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