JPS587608A - カラ−フイルタの製造方法 - Google Patents
カラ−フイルタの製造方法Info
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発−は、カラー撮倫装置＄に用いられゐ色分節用Ｏカ
ッーフィルタｏＩｌｌ造方法に関すゐものである。
ッーフィルタｏＩｌｌ造方法に関すゐものである。
従来、単板式カラ一固体操体素子用フィルタや、通常の
単管式カラー撮像管用フィルＩを形成する場合には、（
ツチンパターンを有機ｌＩＩ料でａｍする方法が用いら
れている。
単管式カラー撮像管用フィルＩを形成する場合には、（
ツチンパターンを有機ｌＩＩ料でａｍする方法が用いら
れている。
第１図に、質米単板式カラー■体撮像素子用フィルタに
用いられている１０種の製造方法を示す。
用いられている１０種の製造方法を示す。
同ＷＡにおいて、１１に素子１０表表土上ゼラチン感光
膜１を塗布しく第１１１１１−））、露光法によ〉（ツ
チンパターン易を形成する（第１ＩＩ伽））０次いてこ
れを有機ｔＩＩＩＩ１４で染色しく第１１１（＊））、
フィルタパターン４を形成するが、第８色ｍ以降０フイ
ルＩパターンを積層すゐ際Ｏ１亀を避けＪｂ丸め、保験
＊ｉで被覆す、Ｌ（１１１０ａｉ（ｓＤＬ コｔ）保１
１１１１１ＳＦｉ、ボンデインダバット１の上Ｋｍる部
分な遠紫外線露光法で除去し、Ｓｔ 素子１とパッケー
ジ間Ｏ配線が行なえゐようにする（菖ＩＩＩ←））。
膜１を塗布しく第１１１１１−））、露光法によ〉（ツ
チンパターン易を形成する（第１ＩＩ伽））０次いてこ
れを有機ｔＩＩＩＩ１４で染色しく第１１１（＊））、
フィルタパターン４を形成するが、第８色ｍ以降０フイ
ルＩパターンを積層すゐ際Ｏ１亀を避けＪｂ丸め、保験
＊ｉで被覆す、Ｌ（１１１０ａｉ（ｓＤＬ コｔ）保１
１１１１１ＳＦｉ、ボンデインダバット１の上Ｋｍる部
分な遠紫外線露光法で除去し、Ｓｔ 素子１とパッケー
ジ間Ｏ配線が行なえゐようにする（菖ＩＩＩ←））。
このように、従来Ｏカラーフィルタの製造方法において
は、染色が容易であるとζろからゼラチ／が利用されて
いる。しかし１ｋがも、ゼラチン感光膜は、ｒ値が低く
て解俸力が劣参、かつ暗反応が激しい丸め、露光、現像
によｊ１形威され為ゼラチンパターンＯ麿厚が作業条件
の影響を受けて変動し易い、従って染色時Ｏゼラチンパ
ターンの膜厚Ｏ変動が大龜りことから、分光特性のばら
り暑が大■くなる。オた、染色１薯を必要とするが、そ
ＯＩＩ、−色筐Ｏ経時変化尋により分光特性に変化が生
じ晶い。更に、前述し九解僚力中暗反応に関連してパタ
ーン０１ｌＩ口部Ｋかぶりが生じ晶く、正常を分光特性
が損われる等の欠点を有している。
は、染色が容易であるとζろからゼラチ／が利用されて
いる。しかし１ｋがも、ゼラチン感光膜は、ｒ値が低く
て解俸力が劣参、かつ暗反応が激しい丸め、露光、現像
によｊ１形威され為ゼラチンパターンＯ麿厚が作業条件
の影響を受けて変動し易い、従って染色時Ｏゼラチンパ
ターンの膜厚Ｏ変動が大龜りことから、分光特性のばら
り暑が大■くなる。オた、染色１薯を必要とするが、そ
ＯＩＩ、−色筐Ｏ経時変化尋により分光特性に変化が生
じ晶い。更に、前述し九解僚力中暗反応に関連してパタ
ーン０１ｌＩ口部Ｋかぶりが生じ晶く、正常を分光特性
が損われる等の欠点を有している。
重置明は以上のような状況に鎌みてな畜れた４のであ）
、七Ｏ闘的は、高寸法精度、高解像度のパ１−ン形威を
可能ＫＬ、分光４Ｉ性のばらり亀が小事〈−口部Ｋかぶ
）の生じないカラーフィルタを得ることがで會る力２−
フィルタの製造方法を提供することＫある。
、七Ｏ闘的は、高寸法精度、高解像度のパ１−ン形威を
可能ＫＬ、分光４Ｉ性のばらり亀が小事〈−口部Ｋかぶ
）の生じないカラーフィルタを得ることがで會る力２−
フィルタの製造方法を提供することＫある。
ζＯようａＳ的を達成する九めに、重置１ｉｎｋよｈカ
９−フィル７０脚造方法は、フィルタ層として有機染料
を含有する紫外線硬化樹脂を用い、パターンＯ形成はポ
ジレジストを用い九シフトオフ方式で行なうものである
。以下、実施例を用いて重置−によるカラーフィルタの
製造方法を詳細に説−す為。
９−フィル７０脚造方法は、フィルタ層として有機染料
を含有する紫外線硬化樹脂を用い、パターンＯ形成はポ
ジレジストを用い九シフトオフ方式で行なうものである
。以下、実施例を用いて重置−によるカラーフィルタの
製造方法を詳細に説−す為。
第ｘ図は、重置＠によ為カッーフィルｐｏｌＩ造方法を
示ナエ＊Ｓである。岡−において、Ｉｌ素子１０１２画
上にポジレジストをｍ＊Ｌ、通常のイ、縮小投影露光装
置等を用−て露光、現像して所定Ｏポジレジストパター
ンＴを彫威すｈ（第２図（ａ） ）、次に、シアン有機
染料を含有する紫外曽硬化形レジストロを所定ＯＩ［厚
に塗布する（第２図伽））０次いで、紫外線を食菌露光
して紫外纏硬化形レジストｌを硬化すると同時にポジレ
ジストパターンＴを露光する＠ｗａｍ（ｃ））、次に、
ポジレジストパターン１を構像筐で廖潤畜せ丸後、スプ
レー水洗を行なってその上Ｏ紫外線硬化形レジスト−と
共Ｋｌｋ＊し、所定のフィルタパターン■を得る（第富
１１１＠））。こ０時、ポンディングパッド１０上０ポ
ジレジストパターン１にそＯ上の紫外線硬化形レジスト
・も同時に除＊され為（ＩＩ！ａｌｌ（・））。
示ナエ＊Ｓである。岡−において、Ｉｌ素子１０１２画
上にポジレジストをｍ＊Ｌ、通常のイ、縮小投影露光装
置等を用−て露光、現像して所定Ｏポジレジストパター
ンＴを彫威すｈ（第２図（ａ） ）、次に、シアン有機
染料を含有する紫外曽硬化形レジストロを所定ＯＩ［厚
に塗布する（第２図伽））０次いで、紫外線を食菌露光
して紫外纏硬化形レジストｌを硬化すると同時にポジレ
ジストパターンＴを露光する＠ｗａｍ（ｃ））、次に、
ポジレジストパターン１を構像筐で廖潤畜せ丸後、スプ
レー水洗を行なってその上Ｏ紫外線硬化形レジスト−と
共Ｋｌｋ＊し、所定のフィルタパターン■を得る（第富
１１１＠））。こ０時、ポンディングパッド１０上０ポ
ジレジストパターン１にそＯ上の紫外線硬化形レジスト
・も同時に除＊され為（ＩＩ！ａｌｌ（・））。
パターン形成後は、硬化な夏に先金にする丸めポストベ
ータを打電う。こＯギストベ〜り紘鋼外−〇装置露光で
代用してもよい。８も一以降のフィルタ層についても、
上記紫外線硬化形レジスト−に含有するシアン有機染料
を各色の有機染料に代えｈａ与で、上述したと食〈同様
の工程を繰返せばよい。
ータを打電う。こＯギストベ〜り紘鋼外−〇装置露光で
代用してもよい。８も一以降のフィルタ層についても、
上記紫外線硬化形レジスト−に含有するシアン有機染料
を各色の有機染料に代えｈａ与で、上述したと食〈同様
の工程を繰返せばよい。
このように１ フィルタパターンを得る九めに１ｒ値が
高くかつ暗反応が無視できるｓｆＫ小さいポジレジスト
パターンＴを利用する大め、パターンの寸法精度が＾く
、解像力が向上する。とれに関連して、為寸法精度のポ
ジレジストパターンＴＯ上に有機染料含有０＠外線硬化
レジスト＄から傘るフィルタ層を形成し、該ポジレジス
トパターｙ７を除去しえ＊にその開口部に残された部分
をもって所望のフィルタパターン−とするり７トオ７方
式によって−る九め、従来のフィルタパターン自体を直
１１Ｋｊｌ光で形成する場合のように１露光時０１１
素子５ｖｉｒからの反射勢によってパターン形成後Ｋか
ぶ）が生じることがない。宜え、フィルタ層Ｏ１ｉ′ｆ
Ｋが塗布時ＯＩＩ厚のみＫよって規定されるため、従来
ＯＮ光、ＩＩ儂を経て決オる方式に比べ、そＯばらつき
が一１１度に抑えられ為０ｇ１つて分光特性Ｏばらつ自
幅４ｆｉぼ半減で暑る。更に、塗布後の染色作業が不要
でＴｏる丸め、意色目以降のフィルタ層積層ＫＩＩして
保Ｉｌ膜を形成する必要はない。
高くかつ暗反応が無視できるｓｆＫ小さいポジレジスト
パターンＴを利用する大め、パターンの寸法精度が＾く
、解像力が向上する。とれに関連して、為寸法精度のポ
ジレジストパターンＴＯ上に有機染料含有０＠外線硬化
レジスト＄から傘るフィルタ層を形成し、該ポジレジス
トパターｙ７を除去しえ＊にその開口部に残された部分
をもって所望のフィルタパターン−とするり７トオ７方
式によって−る九め、従来のフィルタパターン自体を直
１１Ｋｊｌ光で形成する場合のように１露光時０１１
素子５ｖｉｒからの反射勢によってパターン形成後Ｋか
ぶ）が生じることがない。宜え、フィルタ層Ｏ１ｉ′ｆ
Ｋが塗布時ＯＩＩ厚のみＫよって規定されるため、従来
ＯＮ光、ＩＩ儂を経て決オる方式に比べ、そＯばらつき
が一１１度に抑えられ為０ｇ１つて分光特性Ｏばらつ自
幅４ｆｉぼ半減で暑る。更に、塗布後の染色作業が不要
でＴｏる丸め、意色目以降のフィルタ層積層ＫＩＩして
保Ｉｌ膜を形成する必要はない。
なお、上述し九実施例においては、単板式カッ−園体操
會素子用フィルタを製造する場合、特にｓ１素子ｉｏ’
ａｍ十Ｋｉ［ＩＩ形成するいわゆるモノリシツタ方式の
場合にりいてＯみｌｌ！明し友が、重置明線これに限定
され為もＯで杜なく、例えば通常Ｏ単管式カラー撮儂管
用フィルタＯＩｌ造に４適用できることは勿論である。
會素子用フィルタを製造する場合、特にｓ１素子ｉｏ’
ａｍ十Ｋｉ［ＩＩ形成するいわゆるモノリシツタ方式の
場合にりいてＯみｌｌ！明し友が、重置明線これに限定
され為もＯで杜なく、例えば通常Ｏ単管式カラー撮儂管
用フィルタＯＩｌ造に４適用できることは勿論である。
そＯ場合、フィルタがａｌｌ素子上ではなく、透−なガ
ラス基板上に形成されゑ点が異なるのみである。
ラス基板上に形成されゑ点が異なるのみである。
以上説−したように１本発明によるカラーフィルタ０１
ｓ造方法によれば、フィルＩパターンＯＩＩ口部にあえ
る部分にポジレジストパターンを形成し九基板上にフィ
ルタ層としてＯ有機桑科含有の紫外線硬化樹脂を塗布し
た後、曽記ポジレジストパターンをその上のフィルタ層
と共に剥離除去して所ｔａｏフィルタバターｙを形威す
為ことくよ〕、鳥寸法精変、高解像度のパターン形成が
可能とな９、分光特性Ｏばらつ龜が小官くかつ一口郁Ｋ
かぶりＯないカッ−フィルＩが形成で自るという優れた
効果を有する。
ｓ造方法によれば、フィルＩパターンＯＩＩ口部にあえ
る部分にポジレジストパターンを形成し九基板上にフィ
ルタ層としてＯ有機桑科含有の紫外線硬化樹脂を塗布し
た後、曽記ポジレジストパターンをその上のフィルタ層
と共に剥離除去して所ｔａｏフィルタバターｙを形威す
為ことくよ〕、鳥寸法精変、高解像度のパターン形成が
可能とな９、分光特性Ｏばらつ龜が小官くかつ一口郁Ｋ
かぶりＯないカッ−フィルＩが形成で自るという優れた
効果を有する。
第１ＩＩは従来の製造方法の各工１１におけるカラーフ
ィルタを示す断曹図、第震ｌ！紘装置ＷｌＩＫよるカラ
ーフィルタ〇調造方渋Ｏ各工Ｓにおけるカラーフィルタ
を示す断ｗ１５である。 １・・・・１魚素子、 Ｔ・・・・ポジレジストパター
ン、・・・・・紫外線硬化形レジスト、−・・・・フィ
ルタパターン。 第１図 第２図
ィルタを示す断曹図、第震ｌ！紘装置ＷｌＩＫよるカラ
ーフィルタ〇調造方渋Ｏ各工Ｓにおけるカラーフィルタ
を示す断ｗ１５である。 １・・・・１魚素子、 Ｔ・・・・ポジレジストパター
ン、・・・・・紫外線硬化形レジスト、−・・・・フィ
ルタパターン。 第１図 第２図
Claims (1)
- 基板上にポジレジストを塗布する工程と、皺ポジレジス
トを露光、ＩＡ像によ〕所定のパターンに形成する工１
と、このポジレジストパターンを形成し丸前記基板上に
有機原料を含有する紫外線硬化形樹脂を倉■塗布する工
程と、紫外線を食面露先してこの紫外−硬化形樹脂を硬
化すると共に前記ポジレジストパターンを露光する工程
と、露光しえポジレジストパターンをその上Ｏ前記紫外
線硬化層樹脂と共に剥離除去して残る紫外線硬化形−脂
からｔｋ為フィルタパターンを形成する工１とを會むこ
とを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56105586A JPS587608A (ja) | 1981-07-08 | 1981-07-08 | カラ−フイルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56105586A JPS587608A (ja) | 1981-07-08 | 1981-07-08 | カラ−フイルタの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS587608A true JPS587608A (ja) | 1983-01-17 |
| JPH031642B2 JPH031642B2 (ja) | 1991-01-11 |
Family
ID=14411598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56105586A Granted JPS587608A (ja) | 1981-07-08 | 1981-07-08 | カラ−フイルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS587608A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5711913A (en) * | 1980-06-24 | 1982-01-21 | Tsumura Juntendo Inc | Preparation of hard-capsule of herb medicine |
| JPS6058668A (ja) * | 1983-09-12 | 1985-04-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラ−フィルタ−の製造方法 |
| JPS6199104A (ja) * | 1984-10-22 | 1986-05-17 | Seikosha Co Ltd | カラ−フイルタの製造方法 |
| FR2586488A1 (fr) * | 1985-08-23 | 1987-02-27 | France Etat | Procede de fabrication de filtres colores, utiles notamment pour la visualisation d'information et support pour la visualisation comportant de tels filtres colores |
| WO1991004505A1 (fr) * | 1989-09-18 | 1991-04-04 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Procede de production d'un filtre de couleur et reserve pour film d'ecran antilumiere utilise par ce procede |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5246099A (en) * | 1975-10-07 | 1977-04-12 | Warner Lambert Co | Production of pyridd*2*11b** quinazolineeone |
-
1981
- 1981-07-08 JP JP56105586A patent/JPS587608A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5246099A (en) * | 1975-10-07 | 1977-04-12 | Warner Lambert Co | Production of pyridd*2*11b** quinazolineeone |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5711913A (en) * | 1980-06-24 | 1982-01-21 | Tsumura Juntendo Inc | Preparation of hard-capsule of herb medicine |
| JPH0322370B2 (ja) * | 1980-06-24 | 1991-03-26 | Tsumura & Co | |
| JPS6058668A (ja) * | 1983-09-12 | 1985-04-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラ−フィルタ−の製造方法 |
| JPS6199104A (ja) * | 1984-10-22 | 1986-05-17 | Seikosha Co Ltd | カラ−フイルタの製造方法 |
| FR2586488A1 (fr) * | 1985-08-23 | 1987-02-27 | France Etat | Procede de fabrication de filtres colores, utiles notamment pour la visualisation d'information et support pour la visualisation comportant de tels filtres colores |
| WO1991004505A1 (fr) * | 1989-09-18 | 1991-04-04 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Procede de production d'un filtre de couleur et reserve pour film d'ecran antilumiere utilise par ce procede |
| US5248576A (en) * | 1989-09-18 | 1993-09-28 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Method of producing color filter using a micellar disruption method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH031642B2 (ja) | 1991-01-11 |
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