JPS5874373A - サ−マルヘッド及びその製造方法 - Google Patents
サ−マルヘッド及びその製造方法Info
- Publication number
- JPS5874373A JPS5874373A JP56173418A JP17341881A JPS5874373A JP S5874373 A JPS5874373 A JP S5874373A JP 56173418 A JP56173418 A JP 56173418A JP 17341881 A JP17341881 A JP 17341881A JP S5874373 A JPS5874373 A JP S5874373A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glaze
- thermal head
- pastes
- softening temperature
- base material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 15
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims abstract description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 14
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 13
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000001568 sexual effect Effects 0.000 description 1
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N97/00—Electric solid-state thin-film or thick-film devices, not otherwise provided for
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はサーマルへヴドに係わシ、%に熱的良導体基材
面上にY威されたグレーズ層の構造及びその製造方法に
間するものである。
面上にY威されたグレーズ層の構造及びその製造方法に
間するものである。
従来のサーマルヘッドの倒動面図を第1図、第2図に示
す。
す。
第1図に於いて t 、 tlけアルミナセラミック
より成る基板、コ、−′はグレーズ層5.?、 j’け
薄酸の発熱抵抗要素、ダ、ダ′け核発熱抵抗要素に接続
された薄腓塾気導体、s、yは上記発熱抵抗要素を被接
する絶縁性保護膜であって、上信ピグレーズ層け、発熱
抵抗要素剖を凸形状とし該要素と感熱紙との・接触性を
高めるν状Keされている。
より成る基板、コ、−′はグレーズ層5.?、 j’け
薄酸の発熱抵抗要素、ダ、ダ′け核発熱抵抗要素に接続
された薄腓塾気導体、s、yは上記発熱抵抗要素を被接
する絶縁性保護膜であって、上信ピグレーズ層け、発熱
抵抗要素剖を凸形状とし該要素と感熱紙との・接触性を
高めるν状Keされている。
第1図に於けるグレーズ層は、上1発熱抵抗要素の位置
する1分を除いた他の面を、エツチングにより深さ数〜
数十ミクロン除去して凸形状を形成したものである。し
かるに、上IIeエツチングにより凸部を形成する工程
は、ガラスペースト塗布、熱処理、レジスト剤塗布、露
光、現象、エツチング及びレジスト剤剥離という如き極
めて手数の工程となり、コスト及び生産性に於いて不利
な点を有していた。
する1分を除いた他の面を、エツチングにより深さ数〜
数十ミクロン除去して凸形状を形成したものである。し
かるに、上IIeエツチングにより凸部を形成する工程
は、ガラスペースト塗布、熱処理、レジスト剤塗布、露
光、現象、エツチング及びレジスト剤剥離という如き極
めて手数の工程となり、コスト及び生産性に於いて不利
な点を有していた。
一方、第2図に於はるグレーズ層の凸ν状影成け、アル
ミナセラミック基板/′上の抵抗要素lの位置を含む部
分K(D^グレーズを形成することKより放されている
。しかるに、上r方法によるグレーズ層は、アルミナセ
ラミツ、り基板面を全面に傍っていない為、了ルミナセ
)、ミックの有する表面のポーラスな形状が、薄#ヤ膚
された謝槃導体ダ′及び給縁性保S*、?に対し不利な
影曽をふえる。
ミナセラミック基板/′上の抵抗要素lの位置を含む部
分K(D^グレーズを形成することKより放されている
。しかるに、上r方法によるグレーズ層は、アルミナセ
ラミツ、り基板面を全面に傍っていない為、了ルミナセ
)、ミックの有する表面のポーラスな形状が、薄#ヤ膚
された謝槃導体ダ′及び給縁性保S*、?に対し不利な
影曽をふえる。
即ち、平滑面を有すグレーズ層に比ベアルミナセラミッ
ク基板面は実質的表面積が大−く、それに伴い電気導体
t′のもつ抵抗値は増大し、基板面凹凸に起因する電気
導体ダ′のピンホールによりさらに増大する。然して、
電気導体l′の有する抵抗値は、発熱抵抗要素j′に於
はる有効発熱効率を低減させるという重大な欠点を生入
出す。また、さらに最上層K W hl 8 h t:
J! * #保護、Ml?c>ff6゜起板面の凹凸
に起因するピンホールは、1気溝体q′に対して環境絶
縁の効果を低下させる為、該電気導体の酸化や腐食によ
る劣化をうながし抵抗値を増大させる等、信頼性上問題
があっt。
ク基板面は実質的表面積が大−く、それに伴い電気導体
t′のもつ抵抗値は増大し、基板面凹凸に起因する電気
導体ダ′のピンホールによりさらに増大する。然して、
電気導体l′の有する抵抗値は、発熱抵抗要素j′に於
はる有効発熱効率を低減させるという重大な欠点を生入
出す。また、さらに最上層K W hl 8 h t:
J! * #保護、Ml?c>ff6゜起板面の凹凸
に起因するピンホールは、1気溝体q′に対して環境絶
縁の効果を低下させる為、該電気導体の酸化や腐食によ
る劣化をうながし抵抗値を増大させる等、信頼性上問題
があっt。
以上の如く、従来の凸型のサーマルヘヅドに於いては、
コスト面あるいは信頼性面において重大な欠漬を治して
いt。
コスト面あるいは信頼性面において重大な欠漬を治して
いt。
木登@Aは、上記欠点くがん力;みなされたものであり
、製造に於けるコスト低減及び信頼性の高いサー〜−へ
・ト4...提供するものである。
、製造に於けるコスト低減及び信頼性の高いサー〜−へ
・ト4...提供するものである。
以下、本発明の一実施例を図面を用いて鮫明する。
第3図に於いて、6はアルミナセラミック基板、りね該
基板全面を覆う平滑平面状の第7のグレーズ層、Sけ肢
グレーズ層7材料に較べ躯化瀉青の高い材料を用い、凸
形状に形威さ引た第一のグレーズ層であや、第1.第一
のグレーズ層上九発熱抵抗要素9、電気導体IO及び絶
縁性保ra膜が形成されている。
基板全面を覆う平滑平面状の第7のグレーズ層、Sけ肢
グレーズ層7材料に較べ躯化瀉青の高い材料を用い、凸
形状に形威さ引た第一のグレーズ層であや、第1.第一
のグレーズ層上九発熱抵抗要素9、電気導体IO及び絶
縁性保ra膜が形成されている。
上記グレーズ烏け、鯖/のグレーズ層りがアルミナセラ
ミlりi板の全面を伽っている為、アルミナセラミック
のポーラスな面の影替が、電気導体10.絶縁性保11
111に′Etぶことがな’/’o*だ、第一のグレー
ズ層Sが白和を集成している為、発・ 熱抵M、 ?素
9と感熱紙との接触は良好に保たれる。
ミlりi板の全面を伽っている為、アルミナセラミック
のポーラスな面の影替が、電気導体10.絶縁性保11
111に′Etぶことがな’/’o*だ、第一のグレー
ズ層Sが白和を集成している為、発・ 熱抵M、 ?素
9と感熱紙との接触は良好に保たれる。
第1のグレーズ層7と第2のグレーズ層Sに軟化温度の
異なる材料を用いることの理由は、製造工程を簡略にす
る為である。
異なる材料を用いることの理由は、製造工程を簡略にす
る為である。
以下、かかるサーマルよラドを徊る本発明の製造方法を
図面を用いてy−#lKi[l?明する。
図面を用いてy−#lKi[l?明する。
第44図、第5図に於いて、丁ルミナセラミック基板り
コ、lコ′上に1スプレイ法又はスクリーン印刷法を用
いてガラスベース) /J、 /J”kWk布し、これ
を乾燥する。次に同様にマスクを用いたスプレィ法又は
スクリーン印刷法を甲い前1[’ガラスペースト/3.
/3’より軟化温度の高い材料より成るガラスペースト
ia、i4t’を前Fガラスペースト/3/3′の面上
又は塗布されていない部分に塗布し乾燥する。ここに於
いて塗布された軟化温度の高いガラスベース)/lI、
/lI’の上面部は、軟化温度のより低いガラスペース
ト/、?、/J’の上面に比較し基板より離れた位tK
なるように厚く、又は第q図の如くガラスペーストlJ
上lCl!I布されている。
コ、lコ′上に1スプレイ法又はスクリーン印刷法を用
いてガラスベース) /J、 /J”kWk布し、これ
を乾燥する。次に同様にマスクを用いたスプレィ法又は
スクリーン印刷法を甲い前1[’ガラスペースト/3.
/3’より軟化温度の高い材料より成るガラスペースト
ia、i4t’を前Fガラスペースト/3/3′の面上
又は塗布されていない部分に塗布し乾燥する。ここに於
いて塗布された軟化温度の高いガラスベース)/lI、
/lI’の上面部は、軟化温度のより低いガラスペース
ト/、?、/J’の上面に比較し基板より離れた位tK
なるように厚く、又は第q図の如くガラスペーストlJ
上lCl!I布されている。
上81゛の如く一種のガラスペーストを塗布した後軟化
温度の高いガラスペーストの焼成温1Kinする熱処理
を行なうことにより、第1のグレーズ/、?、/、?’
は基板ノコ、l−′を滑らか[5い、第一のグレーズ/
’I、/II’は前記基板/2./2’上忙凸部を構成
するグレーズ層となる。
温度の高いガラスペーストの焼成温1Kinする熱処理
を行なうことにより、第1のグレーズ/、?、/、?’
は基板ノコ、l−′を滑らか[5い、第一のグレーズ/
’I、/II’は前記基板/2./2’上忙凸部を構成
するグレーズ層となる。
上記凸部を構成する第一のグレーズの材料を、上記平面
を構成する第1のグレーズの材料に較べ軟化温度の高い
材料忙する理由は、上記一種のグレーズを一度の熱処理
によって焼成する為であり特に%皺熱処理に於いて凸部
の形成が確実に行なわれる為のものである。
を構成する第1のグレーズの材料に較べ軟化温度の高い
材料忙する理由は、上記一種のグレーズを一度の熱処理
によって焼成する為であり特に%皺熱処理に於いて凸部
の形成が確実に行なわれる為のものである。
例えば、112種のグレーズの材料の代わりに同一の材
料をもっであるいけ、凸部を軟化温間の、低いグレーズ
の材料をもって、−変の熱処理で形成しようとするなら
ば、凸部は形成されない。
料をもっであるいけ、凸部を軟化温間の、低いグレーズ
の材料をもって、−変の熱処理で形成しようとするなら
ば、凸部は形成されない。
以上の如く、軟化温間の異なる一種のクレーズ材料を、
軟化温間のより高い材料は凸部、恢い材料は平滑平面部
に適用することにより、−廖の熱処理で第3図に示され
る如きグレーズ層?、tを形成することが可能である。
軟化温間のより高い材料は凸部、恢い材料は平滑平面部
に適用することにより、−廖の熱処理で第3図に示され
る如きグレーズ層?、tを形成することが可能である。
上述のτ根は、ガラスペースト塗布、カラスペースト塗
布、及び熱処理となり、従来のエツチングにより凸部を
形成する場合に較べ楡めて却純であり、かつ本発明のグ
レーズ層構造を有した号−プルヘッドの品質Fi棲めて
高いものとなる。
布、及び熱処理となり、従来のエツチングにより凸部を
形成する場合に較べ楡めて却純であり、かつ本発明のグ
レーズ層構造を有した号−プルヘッドの品質Fi棲めて
高いものとなる。
第7図、M−図は従来の凸型サーマルヘッドのlth面
図、第3図は本発明による一実施例のサーマルヘッドの
f1面図、第弘図、第S図は本発明C)方法によるガラ
スペースト塗布工程に於ける一実施$11 (p断面図
である。 6・・・・・・アルミナセラミック基板り・・・・・・
第1のグレーズ層 ざ・・・・・・第一のグレーズ層 t・・・・・・発熱抵抗要素 io、・・・・・・電気導体 //、//’・・・・・・絶縁性保護膜ia、ix’・
・・・・・アルミナセラミック基板/、7./J’・・
・・・・第1のグレーズ材料/lI、/ダI・・・・・
・第一のグレーズ材料U)上 出願人 株式会社 第二秒工會 ■、、ヶ、A、、ツォ、よ 。
図、第3図は本発明による一実施例のサーマルヘッドの
f1面図、第弘図、第S図は本発明C)方法によるガラ
スペースト塗布工程に於ける一実施$11 (p断面図
である。 6・・・・・・アルミナセラミック基板り・・・・・・
第1のグレーズ層 ざ・・・・・・第一のグレーズ層 t・・・・・・発熱抵抗要素 io、・・・・・・電気導体 //、//’・・・・・・絶縁性保護膜ia、ix’・
・・・・・アルミナセラミック基板/、7./J’・・
・・・・第1のグレーズ材料/lI、/ダI・・・・・
・第一のグレーズ材料U)上 出願人 株式会社 第二秒工會 ■、、ヶ、A、、ツォ、よ 。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (A 熱的良導体基材と、#基材の面上に熱的不良導体
層が形成され、該層上に発熱抵抗要素、電気導体及び保
護膜を具備したサーマルヘッドに於いて、上記熱的不良
導体層が軟化温度の異なる少なくとも一種以上のグレー
ズから成り、かつ該グレーズが上記基材面上を平面状に
被接する部分と凸部を構成する部分とから成ることを*
微とするサーマルヘッド。 (−前記グレーズ層の凸部が軟化温度のより高いグレー
ズから成9、平11i舒が軟化温度のより低いグレーズ
より成ることを特徴とする特許−求の範囲第1項記載の
+−マルヘッド。 (3)基材面上に、スプレィ法又はスクリーン印刷法を
用いてグレーズ材を塗布する第1の工程と、該グレーズ
材と軟化温噴の異なるグレーズ材を塗布する第一の工程
と、グレーズ材をか処習する工程と、発熱抵抗要素とt
り導体を形成する工程と、V・締性保護膜で覆う工程と
を備え、前Pグレーズ層に於いて軟化温度のより窩;い
グレーズ材より成る部分に凸部が形成され、軟化温度の
より低いグレーズ材よし成る部分に平面が形成さねでい
ることを特徴とするサーマルヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56173418A JPS5874373A (ja) | 1981-10-29 | 1981-10-29 | サ−マルヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56173418A JPS5874373A (ja) | 1981-10-29 | 1981-10-29 | サ−マルヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5874373A true JPS5874373A (ja) | 1983-05-04 |
Family
ID=15960071
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56173418A Pending JPS5874373A (ja) | 1981-10-29 | 1981-10-29 | サ−マルヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5874373A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59230771A (ja) * | 1983-06-13 | 1984-12-25 | Seiko Instr & Electronics Ltd | サ−マルヘツド用グレ−ズ基板の製造方法 |
JPS6042069A (ja) * | 1983-08-19 | 1985-03-06 | Rohm Co Ltd | サ−マルプリントヘツド |
DE3447581A1 (de) * | 1983-12-28 | 1985-07-11 | Pentel K.K., Tokio/Tokyo | Thermodrucker und verfahren zu dessen herstellung |
EP0683053A3 (en) * | 1991-01-30 | 2001-08-29 | ROHM Co., Ltd. | Thermal head and system including the same |
-
1981
- 1981-10-29 JP JP56173418A patent/JPS5874373A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59230771A (ja) * | 1983-06-13 | 1984-12-25 | Seiko Instr & Electronics Ltd | サ−マルヘツド用グレ−ズ基板の製造方法 |
JPH0225340B2 (ja) * | 1983-06-13 | 1990-06-01 | Seiko Instr & Electronics | |
JPS6042069A (ja) * | 1983-08-19 | 1985-03-06 | Rohm Co Ltd | サ−マルプリントヘツド |
DE3447581A1 (de) * | 1983-12-28 | 1985-07-11 | Pentel K.K., Tokio/Tokyo | Thermodrucker und verfahren zu dessen herstellung |
EP0683053A3 (en) * | 1991-01-30 | 2001-08-29 | ROHM Co., Ltd. | Thermal head and system including the same |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS5874373A (ja) | サ−マルヘッド及びその製造方法 | |
JPH1131577A (ja) | 薄膜型発熱ヒーター及びその製造方法 | |
JPH05275162A (ja) | ライン型加熱体 | |
JPS59104963A (ja) | サ−マルヘツドの製造方法 | |
JPH03128256A (ja) | サーマルプリントヘッド及びその製造方法 | |
JPH0640064A (ja) | グレーズドセラミック基板の製造方法 | |
JP3643636B2 (ja) | 光起電力装置用基板の製造方法及び光起電力装置の製造方法 | |
JPH05330107A (ja) | サーマルプリントヘッド | |
JPS5815859Y2 (ja) | 熱ペン | |
JPS6096467A (ja) | サ−マルヘツドの製造方法 | |
JPS59167274A (ja) | サ−マルヘツドの構造 | |
JPS5915433Y2 (ja) | 面状発熱体 | |
JPS61192565A (ja) | サ−マルプリントヘツドの製造方法 | |
JPS5919178A (ja) | サ−マルヘツド | |
JPS63166197A (ja) | 面状発熱体 | |
JP2833659B2 (ja) | サーマルプリンターヘッド | |
JPS62116164A (ja) | サ−マルヘツドの製造方法 | |
JPH0439065A (ja) | サーマルヘッド | |
JPH03215050A (ja) | サーマルヘッドの製造方法 | |
JPS61291153A (ja) | サ−マルヘツド | |
JPS6230115B2 (ja) | ||
JPH04241962A (ja) | サーマルヘッドの製造方法 | |
JPS61283571A (ja) | 熱線放射ヘツドの製造方法 | |
JPH01272466A (ja) | サーマルヘッド | |
JPS62253469A (ja) | サ−マルヘツドの製造方法 |