JPS586941B2 - フオト マスク ノ セイゾウホウホウ - Google Patents
フオト マスク ノ セイゾウホウホウInfo
- Publication number
- JPS586941B2 JPS586941B2 JP48126897A JP12689773A JPS586941B2 JP S586941 B2 JPS586941 B2 JP S586941B2 JP 48126897 A JP48126897 A JP 48126897A JP 12689773 A JP12689773 A JP 12689773A JP S586941 B2 JPS586941 B2 JP S586941B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask
- chromium
- oxide
- material layer
- mask material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP48126897A JPS586941B2 (ja) | 1973-11-12 | 1973-11-12 | フオト マスク ノ セイゾウホウホウ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP48126897A JPS586941B2 (ja) | 1973-11-12 | 1973-11-12 | フオト マスク ノ セイゾウホウホウ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5080082A JPS5080082A (enrdf_load_stackoverflow) | 1975-06-28 |
| JPS586941B2 true JPS586941B2 (ja) | 1983-02-07 |
Family
ID=14946569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP48126897A Expired JPS586941B2 (ja) | 1973-11-12 | 1973-11-12 | フオト マスク ノ セイゾウホウホウ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS586941B2 (enrdf_load_stackoverflow) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6063053U (ja) * | 1983-10-06 | 1985-05-02 | 高尾 武 | ピストン・クラウン |
| JPS626456U (enrdf_load_stackoverflow) * | 1985-06-27 | 1987-01-16 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5190274A (en) * | 1975-02-05 | 1976-08-07 | Fuotomasukuno seizohoho | |
| JPS6033555A (ja) * | 1983-08-04 | 1985-02-20 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | ドライエッチング用マスク素材 |
-
1973
- 1973-11-12 JP JP48126897A patent/JPS586941B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6063053U (ja) * | 1983-10-06 | 1985-05-02 | 高尾 武 | ピストン・クラウン |
| JPS626456U (enrdf_load_stackoverflow) * | 1985-06-27 | 1987-01-16 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5080082A (enrdf_load_stackoverflow) | 1975-06-28 |
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