JPS5857703A - 抵抗アレ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は抵抗アレー〇構造に関する。

最近、抵抗器の実装密度を大きくすることを目的に数個
の抵抗体を１つの絶縁基板上に一体化した抵抗アレーが
幅広く電子機器に活用されている。

一般に抵抗アレー〇殆どは純度９５〜９９−のアルンナ
からなろセラミック基板上に形成されており、その基板
上に２酸化ルテニウムを主成分とする抵抗ペーストをス
クリーン印刷法を用いて被着し、温度８００〜１０００
℃の空気雰囲気中で約１時間焼成して抵抗体を形成して
いる。この抵抗体をレーザートリミング法などにより所
望の抵抗値に修正している。これらの通常市駅されてい
る抵抗アレーの抵抗体は通常平面的に構成されている。

しかし電子機器の小型化が進行している現在、より多く
の抵抗体を多層状に一体化した抵抗アレーが必要になっ
て来ている。との要求に対して従来用いられてきた抵抗
アレーの上述した製造手段では次に述べる理由により多
層化は困難であった。

従来、抵抗体の２層化まで試みられた手段を用いて、よ
シ多層化した抵抗アレーの断面図を第１図に示す。（実
際には多層化のメリットが出ないので市販品としては出
廻っていない。）この構造を有する抵抗アレーの製造を
簡単に説明すると、アルミナセラミ、り基板ｌ上にサー
メット抵抗体２が印刷、焼成される。同時に電極３も形
成される。

次いで抵抗体２と＃ｔ　ｔｘ同一の温度で焼成できる絶
縁ペーストを用い、印刷、焼成して絶縁膜４を形成する
。多層化は抵抗体２及び絶縁膜４を繰返して形成して行
う。この場合、第１図にも示してあるように最後に行う
抵抗値のトリミング用の窓５を設けておかなければなら
ないので、抵抗体はほとんどそれよりも下層に設けられ
た抵抗体と重畳することはできない。抵抗体を重畳する
ことができなければ、多層化して小形化するといり目的
焦足させることは出来ない。この原因の主たるものはこ
のように多層化された抵抗アレーを製造する上で、焼成
後抵抗値のトリミングが必賛であるからである。

発明者らは特願昭５５−１５６３６９に於いて開示した
抵抗グリーンシートを用いて抵抗値偏差のきわめて小さ
い抵抗器の製造方法を提案しており、この製造方法を抵
抗アレーの製造方法に適用することにより、まったく新
規な構造をもつ抵抗アレーが可能であることが発明でき
た。

本発明の目的は多層状の抵抗アレー１に提供することに
ある。

本発明によれば均一組成からなる絶縁物内に層状にかつ
、絶縁物と一体化形成された複数の抵抗体を有すること
を！￥！微とする抵抗アレーが得られる。

以下本発明を第２図〜第５図を参照して詳細に説明する
。

第２図は本発明抵抗アレーの一実施例の断面図を示す。

絶縁層６はアルミナ−ガラスセラミ、り複合物（絶縁層
６ａ＋−−−Ｈ６ｎは均一組成）であり、内装化された
抵抗体７は２酸化ルテニウムを主成分としてガラスフリ
、トを混合した構造にしている。外部電極８および外部
電極８と内装の抵抗体７とを電気的に接続する配１１１
ｊ！９は絶縁層６に設けられた数百ミクロンメーターの
細孔を金。

鋏、銀−パラジウムなどの金属で埋めることにより形成
する。本発明実施例の抵抗アレーは複数の抵抗体および
均一組成を持つ複数の絶縁層を多層化して焼結した一体
物であシ、その抵抗強度は約２０００ｋｇ／ｆｆｆｌ！
という大きな値を示している。

第３図（ａ）　、　（ｂ）　ｔ　（Ｃ）は本発明抵抗ア
レーの一実施例の製造工程の一部を示すものである。第
２図に示した絶縁層および抵抗体はそれぞれ厚さ０．１
１〜０．０３簡の未焼成膜（以下グリーンシートと呼ぶ
）の形で予め準備される。

絶縁グリーンシー　トおよび抵抗グリーンシートの組成
比は第１表および第２表の通りである。

ソｔ’ｔソれのグリーンシートの特性は第３表の通りで
あった。

第３表（グリーンシートの特性 この２種類のグリーン７−トを多層化して抵抗アレーを
製造する。

第３図（ａ）は絶縁グリーンクー）１０に金型を用いて
直径約１５０μｍの複数の細孔１１を形成した状態を示
す。この細孔１１の位置は後述するように多層化した時
に、抵抗体と接続する位置にそれぞれ形成されている。

本実と例の抵抗アレーは絶縁層２１１とし、その層間に
２０枚の抵抗シートの個片を配置して、最終出来上がり
抵抗アレーは素子数２０になるようにした。また抵抗ア
レー１個の外形寸法は１０■Ｘ　５．Ｏｗ＋Ｘ　２．Ｏ
ｍｍになるようにした。

本実施例では抵抗グリーン７−トの目標抵抗値を１に０
１ａｌｌ類に設定しこの抵抗グリーンシ一トを長さ：（
ｗ、＄１ｍＫ切断して抵抗グリーンシートの個片（図示
省略）を形成しておく。次に細孔１１を形成した絶縁グ
リーンシートｌＯＫ細孔１１および細孔１１が抵抗体と
外接する位置、すなわち細孔１１の近傍の上面に銀−パ
ラジウムペーストをスクリーｙ印刷法を用いて矩形状に
被着させ、内部電極１２を形成する。この時細孔１０内
には釧−パラジウムペーストが充填され絶縁グリーンシ
ートの表裏が電気的に導通される。このような方法で内
部電極１２が形成された絶縁グリーンシート１０上にあ
らかじめ形成しておいた抵抗グリーンシートの個片１３
を第３図（ｂ）に示すように隣接する２個の内部電極１
２に外接するｊ５に配置し、熱プレス機で温度１１５℃
、圧力５０ｋｇ／−ｊで１分間熱圧着を行う。このよう
にして抵抗グリーンシートの個片１３を圧着した絶縁グ
リーンシートを銀−パラジウムペーストが埋められた細
孔１１が互に接続するように位置合せして２１重積層し
、熱プレス機で温度１１５℃、圧力２５０ｋｇ／ｃＩ１
．２０分間熱圧着を行い第３図（Ｃ）に示す多層体１４
にする。

次にこの多層体１４の上部表面に内部の配線９（第２図
参照）に接続するように外部電極８をスクリーン印刷方
法を用いて形成する。

次に第３図（Ｃ）に示すように切断線Ａ−Ａ、Ｂ−Ｂに
沿ってナイフなどによシ多層体１４を切断して個片１４
ａとする。

次いでこの個片１４ａを第４図に示す温度曲線を有する
焼成炉（図示省略）中で焼成した。

このようにして製作された抵抗アレーは第２図に示す断
面形状を有しその特性は第４表に示す結果であった。

第４表（抵抗アレーの特性） この特性は現在市販されている抵抗アレーの％性に匹敵
する。

以上、本発明による抵抗アレーの特性は従来品と同郷で
あり、かつ外形は約１／４以下ときわめて小型化された
効果は大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来手段を用いて製作した抵抗アレーの縦断面
図、第２図は本発明の一実施例の抵抗アレーの縦断面図
、ａｌＥＢ図（ａ）は絶縁グリーンシートに細孔を設は
良状態を示す斜視図、第３図（ｂ）は第２図（Ｊｌ）の
絶縁グリーンフート上に内部電極および抵抗グリーンシ
ートを被着した状態を示す斜視図。 第３図（Ｃ）は第２図（ｂ）の絶縁グリーンシートを積
層し多層体とした斜視図、第４図は本発明の一実施例で
使用した焼成炉の温度曲線図。 ６・・・・・・絶縁層、７・・・・・・抵抗体、８・・
Ｊ・・・外部筒、極、９・・・・・・配線、１０・・・
・・・絶縁グリーンシート、１１・・・・・・細孔、１
２・・・・・・内部電極、１３・・・・・・抵抗グリー
ンシートの個片、１４・・・・・・多層体、１４ａ・・
・・・・（多層体の）個片。 １・・・・・・アルミナセラミ、り基板、２・・・・・
・サーメット抵抗体、３・・・・・・電極、４・・・・
・・絶縁膜、５°°°“°゛窓。 第１図 ７ 第２図 第３図（ｂ） Ａ″゛ 第　３　Ｆｊａ　（Ｃ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 均一組成からなる絶縁物内に層状に、かつ絶縁物と一体
   化形成された複数の抵抗体を有することを特徴とする抵
   抗アレー。