JPS5855665B2 - ワイヤボンデイング方法 - Google Patents
ワイヤボンデイング方法Info
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- JPS5855665B2 JPS5855665B2 JP54078313A JP7831379A JPS5855665B2 JP S5855665 B2 JPS5855665 B2 JP S5855665B2 JP 54078313 A JP54078313 A JP 54078313A JP 7831379 A JP7831379 A JP 7831379A JP S5855665 B2 JPS5855665 B2 JP S5855665B2
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- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
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- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明はワイヤボンディング方法に関するものである。
周知の如く、ワイヤボンティング方法は第1ボンド点に
ツール先端に繰り出されたワイヤをボンティングした後
、次に接続すべき第2ボンド点にツールを移動させるこ
とによりワイヤを引き出し、第2ボンド点のボンディン
グが終了した後にクランパーでワイヤを引張って切断し
、更に次のボンディングのためにワイヤを再びクランパ
でツール先端部に繰り出す動作を繰り返すことにより行
なわれる。
ツール先端に繰り出されたワイヤをボンティングした後
、次に接続すべき第2ボンド点にツールを移動させるこ
とによりワイヤを引き出し、第2ボンド点のボンディン
グが終了した後にクランパーでワイヤを引張って切断し
、更に次のボンディングのためにワイヤを再びクランパ
でツール先端部に繰り出す動作を繰り返すことにより行
なわれる。
このようにワイヤ切断後のワイヤの繰り出しは、クラン
パーを移動させて行なうため、ワイヤ先端はツール先端
より離れた位置に位置する。
パーを移動させて行なうため、ワイヤ先端はツール先端
より離れた位置に位置する。
このため、次のボンティングのためにツールが下降して
ワイヤ先端を押圧する時、ワイヤ先端を押圧するツール
下端位置がボンディング毎に変動するので、ボンディン
グの信頼性が劣る欠点があった。
ワイヤ先端を押圧する時、ワイヤ先端を押圧するツール
下端位置がボンディング毎に変動するので、ボンディン
グの信頼性が劣る欠点があった。
また極端な場合はワイヤ先端がツール先端より外れる欠
点があった。
点があった。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたもので、ボ
ンティングの信頼性を向上させることができるワイヤボ
ンディング方法を提供することを目的とする。
ンティングの信頼性を向上させることができるワイヤボ
ンディング方法を提供することを目的とする。
本発明は上記目的を達成するために、第2ボンド点にボ
ンティングした後、ツールをわずか上方及び水平後方に
移動させてワイヤを繰り出し、その後クランパーでワイ
ヤを挟みツールと共に水平後方に移動させてワイヤを切
断することにより、ツール先端より延出したワイヤ先端
をツール先端に沿うように整形することを特徴とする。
ンティングした後、ツールをわずか上方及び水平後方に
移動させてワイヤを繰り出し、その後クランパーでワイ
ヤを挟みツールと共に水平後方に移動させてワイヤを切
断することにより、ツール先端より延出したワイヤ先端
をツール先端に沿うように整形することを特徴とする。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
図は本発明になるワイヤボンディング方法の一実施例を
示す動作説明図である。
示す動作説明図である。
まず、第1図に示す如く超音波発振ホーン1に取付けら
れたツール2は第1ボンド点の上方に位置する。
れたツール2は第1ボンド点の上方に位置する。
この状態においては、ツール2の先端に延出したワイヤ
3の先端3aは本発明の特徴とする後記する方法によっ
てツール2の先端に沿って整形されており、クランパー
4によりワイヤ3はクランプされている。
3の先端3aは本発明の特徴とする後記する方法によっ
てツール2の先端に沿って整形されており、クランパー
4によりワイヤ3はクランプされている。
この状態より従来と同様に第2図、第3図、第4図の工
程を経て第2ボンド点にボンディングする。
程を経て第2ボンド点にボンディングする。
即ち、第2図の如くツール2が下降し、第1ボンド点に
第1ボンドを行ない、クランパー4が開く。
第1ボンドを行ない、クランパー4が開く。
次に第3図の如くツール2とクランパー4は共に上昇し
、第2ボンド点の上方に位置する。
、第2ボンド点の上方に位置する。
続いて第4図の如くツール2が下降し第2ボンド点に第
2ボンドを行なう。
2ボンドを行なう。
その後第5図の如くツール2は第2ボンド点からツール
2がワイヤ3を押え付けないわずかな高さ上昇し、続い
て第6図の如く水平後方に移動してワイヤ3を引き出す
。
2がワイヤ3を押え付けないわずかな高さ上昇し、続い
て第6図の如く水平後方に移動してワイヤ3を引き出す
。
その後第7図の如くクランパー4を閉じ、ツール2と共
にクランパー4を水平後方に移動させてワイヤ3を第2
ボンド点の接合部近傍で切断させる。
にクランパー4を水平後方に移動させてワイヤ3を第2
ボンド点の接合部近傍で切断させる。
その後ツール2は上昇及びXY方向に移動し、次にボン
ティングすべきボンド点の上方に位置し、第1図の状態
となる。
ティングすべきボンド点の上方に位置し、第1図の状態
となる。
このように第2ボンド(第4図参照)後にソール2を上
昇及び水平後方に移動(第5、第6図参照)させるので
、ソール2下端のワイヤ3はツール2下端に沿って整形
され、切断後(第7図参照)のワイヤ先端3aは常にツ
ール2下端に沿うように決められた位置に保たれる。
昇及び水平後方に移動(第5、第6図参照)させるので
、ソール2下端のワイヤ3はツール2下端に沿って整形
され、切断後(第7図参照)のワイヤ先端3aは常にツ
ール2下端に沿うように決められた位置に保たれる。
従って、第2図の如くツール2が下降してワイヤ3の先
端3aを第1ボンド点に押付けた状態におけるワイヤ先
端の位置変動がないので、常に安定したボンティングが
行なわれる。
端3aを第1ボンド点に押付けた状態におけるワイヤ先
端の位置変動がないので、常に安定したボンティングが
行なわれる。
以上の説明から明らかな如く、本発明になるワイヤボン
ディング方法によれば、ツール下端に延出したワイヤ先
端はツール下端に沿って整形されてボンドされるので、
ボンティングの信頼性が向上する。
ディング方法によれば、ツール下端に延出したワイヤ先
端はツール下端に沿って整形されてボンドされるので、
ボンティングの信頼性が向上する。
図は本発明になるワイヤボンディング方法の一実施例を
示し、第1図乃至第7図は動作説明図である。 2・・・・・・ツール、3・・・・・・ワイヤ、3a・
・・・・・ワイヤ先端、4・・・・・・クランパー。
示し、第1図乃至第7図は動作説明図である。 2・・・・・・ツール、3・・・・・・ワイヤ、3a・
・・・・・ワイヤ先端、4・・・・・・クランパー。
Claims (1)
- 1 第2ボンド後、ツールをわずかに上昇させた後ニツ
ール後方に水平移動させ、その後クランパーでワイヤを
挟みクランパーをツールと共にツール後方に移動させて
ワイヤを切断させることにより、ツール下端に延出した
ワイヤ先端をツール下端に沿うように整形することを特
徴とするワイヤボンディング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54078313A JPS5855665B2 (ja) | 1979-06-21 | 1979-06-21 | ワイヤボンデイング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54078313A JPS5855665B2 (ja) | 1979-06-21 | 1979-06-21 | ワイヤボンデイング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS568831A JPS568831A (en) | 1981-01-29 |
| JPS5855665B2 true JPS5855665B2 (ja) | 1983-12-10 |
Family
ID=13658440
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54078313A Expired JPS5855665B2 (ja) | 1979-06-21 | 1979-06-21 | ワイヤボンデイング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5855665B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5897840U (ja) * | 1981-12-24 | 1983-07-02 | 海上電機株式会社 | ボンデイング装置 |
| JPS6442830A (en) * | 1987-08-11 | 1989-02-15 | Marine Instr Co Ltd | Wire bonding |
| JPH0244743A (ja) * | 1988-08-05 | 1990-02-14 | Marine Instr Co Ltd | ワイヤボンディング方法 |
| JPH0244744A (ja) * | 1988-08-05 | 1990-02-14 | Marine Instr Co Ltd | ワイヤボンディング方法 |
| US8697305B2 (en) * | 2009-03-16 | 2014-04-15 | Kabushiki Kaisha Toyoda Jidoshokki | Fuel cell system |
-
1979
- 1979-06-21 JP JP54078313A patent/JPS5855665B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS568831A (en) | 1981-01-29 |
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