JPS5855566A - 対向タ−ゲツト式スパツタ装置 - Google Patents

対向タ−ゲツト式スパツタ装置

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JPS5855566A
JPS5855566A JP15299481A JP15299481A JPS5855566A JP S5855566 A JPS5855566 A JP S5855566A JP 15299481 A JP15299481 A JP 15299481A JP 15299481 A JP15299481 A JP 15299481A JP S5855566 A JPS5855566 A JP S5855566A
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貞夫 門倉
Kazuhiko Honjo
和彦 本庄
Masahiko Naoe
直江　正彦
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Teijin Ltd
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