JPS5852473A - 金属材料の表面処理法 - Google Patents
金属材料の表面処理法Info
- Publication number
- JPS5852473A JPS5852473A JP14904281A JP14904281A JPS5852473A JP S5852473 A JPS5852473 A JP S5852473A JP 14904281 A JP14904281 A JP 14904281A JP 14904281 A JP14904281 A JP 14904281A JP S5852473 A JPS5852473 A JP S5852473A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vessel
- metal
- gaseous
- plate
- gas
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- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/08—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases only one element being applied
- C23C8/24—Nitriding
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
金属材料表面に炭化物１窒化物、水素化物等の金属化合
物より成る被膜を生成きせる方法としては、イオンプレ
ーテング法、イオンスパッタリング法、電子ビーム真空
蒸着法あるいはブーラスマ’ｆ８ 対決’Ｊがある。イ
オンプレーテング法。
物より成る被膜を生成きせる方法としては、イオンプレ
ーテング法、イオンスパッタリング法、電子ビーム真空
蒸着法あるいはブーラスマ’ｆ８ 対決’Ｊがある。イ
オンプレーテング法。
イオンスパッタリング法、電子ビーム蒸着処理による被
覆処理法は何れも被覆材料となる蒸着材を電気抵抗加熱
法、プラズマアーク等の方法で所望の、温度まで加熱し
、真空下に於て蒸発あるいは蒸発過程で雰囲気ガスと反
応させて１表面処理の対象となる金属材料表面に被覆す
る方法であるため、処理容器としては所望の、真空条件
を生成せしめる真空設備に加えて、容器内に゛ン′着材
料を加熱する加熱装置の設置性を必要とするため、処理
対象となる金属材料の形状、・Ｊ法に制約を受け、連続
的処理が困難である。
覆処理法は何れも被覆材料となる蒸着材を電気抵抗加熱
法、プラズマアーク等の方法で所望の、温度まで加熱し
、真空下に於て蒸発あるいは蒸発過程で雰囲気ガスと反
応させて１表面処理の対象となる金属材料表面に被覆す
る方法であるため、処理容器としては所望の、真空条件
を生成せしめる真空設備に加えて、容器内に゛ン′着材
料を加熱する加熱装置の設置性を必要とするため、処理
対象となる金属材料の形状、・Ｊ法に制約を受け、連続
的処理が困難である。
させるが、処理面に於て急冷を受けるため被覆材と・母
材の熱物性値の差がある場合、被膜の破損、剥離１等の
欠点があり、又、溶射被膜の生成過程で若干酸化現象を
生じ、酸化物の混入により被膜の性能劣化も懸念される
。本発明はかかる“従来の被覆処理法の欠点を克服する
新しい方法を提供するものである。即ち図１に示す如く
、処理対象となる金属材料１を処理容器Ｖ中の冷却台２
上に設置し、該容器Ｖ内に七ける大気を真空ポンプ９．
真空排気バルブ８などの排気装置により排気後、該容器
Ｖ中に所望の反応性ガスをガス導入バルブ６を通じ導入
する。反応性ガスは流通状態でも良いし、又“該容器内
で所望の圧力を保ら密閉状態でも良い。かかる条件下で
、容器内の所定個所に設置されたガラス等濤明材を嵌装
したレーザ光投入窓５部を通じ。
材の熱物性値の差がある場合、被膜の破損、剥離１等の
欠点があり、又、溶射被膜の生成過程で若干酸化現象を
生じ、酸化物の混入により被膜の性能劣化も懸念される
。本発明はかかる“従来の被覆処理法の欠点を克服する
新しい方法を提供するものである。即ち図１に示す如く
、処理対象となる金属材料１を処理容器Ｖ中の冷却台２
上に設置し、該容器Ｖ内に七ける大気を真空ポンプ９．
真空排気バルブ８などの排気装置により排気後、該容器
Ｖ中に所望の反応性ガスをガス導入バルブ６を通じ導入
する。反応性ガスは流通状態でも良いし、又“該容器内
で所望の圧力を保ら密閉状態でも良い。かかる条件下で
、容器内の所定個所に設置されたガラス等濤明材を嵌装
したレーザ光投入窓５部を通じ。
レーザ発生装置４より生成されたレーザ光をレーザ反射
鏡５を介して導入し、処理対象となる金属材料１の所望
個所の表向に照射し、所定の金属化合物が生成ｉｊＪ能
な温度まで昇温せしめ、雰囲気ガスと反応させて金属化
合物を生成せしめる。
鏡５を介して導入し、処理対象となる金属材料１の所望
個所の表向に照射し、所定の金属化合物が生成ｉｊＪ能
な温度まで昇温せしめ、雰囲気ガスと反応させて金属化
合物を生成せしめる。
かかる方法を適用することにより、処理容器、、パ
■は従来のそれと異り、容器内に加熱源は不要となり、
限定ばれた所望部分に選択的に被膜の生成が可能となる
こと、又被膜の生成が外部より飛来して来た物質により
積層される方法によらぬため１表面生成被膜と母材の間
には不連続層が生じることがなく、良好な密着性を持つ
ことになり密着性の秀れた被膜を得ることが出来る。以
下に実施例を述べる。
限定ばれた所望部分に選択的に被膜の生成が可能となる
こと、又被膜の生成が外部より飛来して来た物質により
積層される方法によらぬため１表面生成被膜と母材の間
には不連続層が生じることがなく、良好な密着性を持つ
ことになり密着性の秀れた被膜を得ることが出来る。以
下に実施例を述べる。
〈実施例１ン被処理物の金属材料１として厚み１μｍの
Ｔｌ板を本発明適用口］能な図１に示す処理容器ｖ中に
設置し、容器Ｖ内の大気を真空ボン／９により１０ｍｍ
ＨｇＫ排気後、 ２Ｋｙ／ｅｒＡ Ｏ窒素カ／、イより
置換し、然る後、出力３ＫＷのレーザ発１１ｊ・置４よ
り発生するＣＯ２ガスレーザ光によりＴ１板表面をレー
ザ反射鏡５０角度を変えて順次引走査し１表面温度を１
４００’Ｏに保持した結Ｉｌｌ板表面に厚み５μのＴｉ
Ｎ被膜が生成さ第１た。
Ｔｌ板を本発明適用口］能な図１に示す処理容器ｖ中に
設置し、容器Ｖ内の大気を真空ボン／９により１０ｍｍ
ＨｇＫ排気後、 ２Ｋｙ／ｅｒＡ Ｏ窒素カ／、イより
置換し、然る後、出力３ＫＷのレーザ発１１ｊ・置４よ
り発生するＣＯ２ガスレーザ光によりＴ１板表面をレー
ザ反射鏡５０角度を変えて順次引走査し１表面温度を１
４００’Ｏに保持した結Ｉｌｌ板表面に厚み５μのＴｉ
Ｎ被膜が生成さ第１た。
４実施例２）同様の方法により、雰囲気ガス（２に９／
Ｃ＋＋！ ）をＯＨ４に変えてレーザ照射した結果Ｔｉ
板表面に６μのＴｉｅの被膜が生成された。
Ｃ＋＋！ ）をＯＨ４に変えてレーザ照射した結果Ｔｉ
板表面に６μのＴｉｅの被膜が生成された。
〈実施例３）同様の方法により、金属材料１＼とし、”
： ａＮ １５合金板を用い、雰囲気ガスとして１０
に９／Ｃ−の水素ガス中でレーザ光を照射した結果、金
属水素化物ＬａＮｉ５Ｈ６の被膜が生成された。
： ａＮ １５合金板を用い、雰囲気ガスとして１０
に９／Ｃ−の水素ガス中でレーザ光を照射した結果、金
属水素化物ＬａＮｉ５Ｈ６の被膜が生成された。
以上述べた如く１本発明を適用すれば金属材料１の表面
に所望の金属化合物より成る被膜を容易に生成せしめる
ことがｐＪ能となり工業的に秀れた表面処理法と考えら
れる。
に所望の金属化合物より成る被膜を容易に生成せしめる
ことがｐＪ能となり工業的に秀れた表面処理法と考えら
れる。
図１は本発明を実施するだめの装置の模式図である。
１：金属材料 ６：ガス導入バルブ
２：冷却台 ７：ガス排出バルブ
３：レーザ光投入窓８：真空排気バルブ４ ： レーザ
発生装置 ９ ：真空ポンプ５ ： レーザ故Ａ−篠碓 目 １
発生装置 ９ ：真空ポンプ５ ： レーザ故Ａ−篠碓 目 １
Claims (1)
- 金属材料の表面に炭化物、窒化物、水素化物等の金属化
合物より成る被膜を生成する方法として、処理対象とな
る金属材料を窒素ガス、炭化水素ガスあるいは水素ガス
等の雰囲気ガスを含む容器中に設置し、該容器外部より
該金属材料の表面にレーザ光を照射して金属化合物が生
成υ１能な温度に加熱保持し、該金属材料の表面に金属
化合物被膜を生成させることを特徴とする金属材料の表
面処理法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14904281A JPS5852473A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 金属材料の表面処理法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14904281A JPS5852473A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 金属材料の表面処理法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5852473A true JPS5852473A (ja) | 1983-03-28 |
Family
ID=15466373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14904281A Pending JPS5852473A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 金属材料の表面処理法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5852473A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6216872A (ja) * | 1985-07-12 | 1987-01-26 | Tekken Kensetsu Co Ltd | 鉄筋の接合工法 |
| JPS62142757A (ja) * | 1985-12-17 | 1987-06-26 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 装飾品 |
| JPS63160772A (ja) * | 1986-12-24 | 1988-07-04 | Sumitomo Metal Ind Ltd | バツト溶接方法 |
| JPS63192573A (ja) * | 1987-02-04 | 1988-08-09 | Sumitomo Metal Ind Ltd | バツト溶接方法 |
| EP1500922A2 (en) * | 2003-07-25 | 2005-01-26 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Electroluminescent gas sensor and gas detection method |
| CN104018114A (zh) * | 2014-02-26 | 2014-09-03 | 徐杰 | 一种提高激光氮化效果的气体分压装置 |
-
1981
- 1981-09-21 JP JP14904281A patent/JPS5852473A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6216872A (ja) * | 1985-07-12 | 1987-01-26 | Tekken Kensetsu Co Ltd | 鉄筋の接合工法 |
| JPS62142757A (ja) * | 1985-12-17 | 1987-06-26 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 装飾品 |
| JPS63160772A (ja) * | 1986-12-24 | 1988-07-04 | Sumitomo Metal Ind Ltd | バツト溶接方法 |
| JPH0513753B2 (ja) * | 1986-12-24 | 1993-02-23 | Sumitomo Metal Ind | |
| JPS63192573A (ja) * | 1987-02-04 | 1988-08-09 | Sumitomo Metal Ind Ltd | バツト溶接方法 |
| EP1500922A2 (en) * | 2003-07-25 | 2005-01-26 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Electroluminescent gas sensor and gas detection method |
| EP1500922A3 (en) * | 2003-07-25 | 2005-04-13 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Electroluminescent gas sensor and gas detection method |
| CN104018114A (zh) * | 2014-02-26 | 2014-09-03 | 徐杰 | 一种提高激光氮化效果的气体分压装置 |
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