JPS5841795A - 単結晶製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は酸化物あるいけセラミックスの単結晶育成方法
に関するものである、 従来、酸化物あるいはセラミックスの単結晶を育成する
には、これらの物質の融点が高いために、化学反応をお
こしに＜〈、かつこれらの＠ｎ質の融点よりもさらｙｒ
　紬点の高い金属ルツボを用い、核ルツボ中で溶融させ
育成する方法がとられてきた。しかし、実際ＩＦｌｄ、
金属ルツボの材質の一部が溶融物の中に混入し、それが
単結晶の中にも不純物として混入してしまい育成した準
結晶の質を著しく低下させている場合が多い。

すなわち、不純物が混入したり、結晶欠陥を発生させた
りする欠点があった。。

本発明は上記欠点を改良し、ルツボ材質の不純物の結晶
中への混入を少なくし、また結晶欠陥の少ない極めて質
の良−単結晶を提供することを目的とする。

°一般に金欄の電気伝導率は溶融している酸化物あるい
け、セラミックスと異る。そのため溶融物質中に不純物
として混入した金属に磁場を加えることにより渦電流な
どの影響などで加わる力はセラミックスと異なり一方向
に集めることができろう 本発明はこの原理を用いたものであり、溶融体中に混入
したルツボ材質を一方向にあつめ。

不純物の、１とんどな１単結晶を得ることができるもの
であろう 以下、本発明を実施例により詳述する。

実施例ｌ Ｍｎ−Ｉｎフェライトの粉末を白金ルツボに充たし、′
４Ｅ気炉に入゛れ温度を上け、１７００℃　で溶融した
。一つのルツボはいわゆるブリッジマン法でルツボ先端
から除々に冷却し単結晶をえた。

芒らに同様な方法でルツボ中でＭ＊−２ｍフェライトを
溶融したのち、ルツボに直角に磁場を１０００　　′Ｏ
ａ加えながら同様にブリッジマン法で単結晶を育成した
。二つの試料を切断し、単結晶中の白金の混入量を測定
した。その結果を第１表に示す。

第１表 磁動を加えることにより、　ｐｔ混入量はきわめて少な
くなっていることがわかる。

実施例２ ０４ｍ０ｍ％Ｑ＋１の焼成体をＩｒルツボに入れ１８０
０°０で溶融したのもいわゆるチ箇コラルスキー法で単
結晶を育成した。

一方、Ｉｒルツボ中に溶融した状態で外部から約５ｏｏ
ｏ−の磁動を加えながら上記と同様にチ■コラルスキー
法で単結晶の育成をした。このようにしそ得られた単結
晶を切断し結晶欠陥数を測定した。その結果を第２表に
示す。

第２表 上記実Ｍ例から・男らかな如く単結晶を育成するさいに
、ルツボ中の溶融物に外部から磁場を加えることにより
、不純物混入量の極めて少いまた不ｆＡ物によって発生
する欠陥の少ない良質手続補正書゛（自発） ＋１７１４１１５１７’　ｔ、、ｉ　４１１’Ｌｉ１．
′１庁長官殿 ・ＩＧ　ｆ’ｌのノ（示 昭　和５６年１１・許願第　１３７９３８　　シＪ・驚
明の名称単４６晶Ｌ４１１！遣方法 袖１１ユをす・る各 １・、　＋１　　　硼）１し″ｆ、金属株式会社代　　
　ノＺ　　古　　　イ１ｉＪ　　　　野　　　　　　典
　　　大成　　　理　　　人 １、・：１１１　　　　東京部下−代Ｉｌ１区丸の内２
１−目１番２Ｓ；補正の内容 夏　明細書の「発明の詳細な説明」の欄の記載を下記の
通り訂正する。

記 Ｌ　明細書第３頁第２行の「除々」を「徐々」に訂正す
る。

２　同畜向頁第１表の「ｐ　ｔの数」を「ｐｔの数」に
訂正する。

３、　回書同頁第１４行の「磁動」を「磁場」に訂正す
るＯ 春　同畜同頁陶行の「ｐｔ混入量」を「ｐｔ混入量」に
訂正する。

５、　同警同負Ｍ１７行のｒＧｄ５Ｇａｌｏ　１ｍ　、
　Ｊをｌ”ＧｄａＧａａＯｘｓＪに訂正する。

６．１掲％ｍ４頁第１行の「−物」を「磁場」に訂正す
る。

７、同沓同頁第３打の「このようにしそ」を「このよう
にして」に訂正する。

以上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 酸化物あるいけセラミックスの単結晶育成を金属ルツボ
   を用いて行う方法において、溶融物の入つ′たルタポに
   磁場を加えながら単結晶を育成することを特徴とする準
   結晶製造方法。