JPS5841732A - フランジ付石英ガラス容器の製造方法 - Google Patents
フランジ付石英ガラス容器の製造方法Info
- Publication number
- JPS5841732A JPS5841732A JP56136181A JP13618181A JPS5841732A JP S5841732 A JPS5841732 A JP S5841732A JP 56136181 A JP56136181 A JP 56136181A JP 13618181 A JP13618181 A JP 13618181A JP S5841732 A JPS5841732 A JP S5841732A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz glass
- flange
- welding
- glass container
- small
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B20/00—Processes specially adapted for the production of quartz or fused silica articles, not otherwise provided for
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、７ランジ付石英ガラス容器の製造方法に関す
るものである。
るものである。
半導体材料、特にウェーハの気相蒸着時に使用する石英
ガラス−ペルジャーやチャンバー、それに拡散用炉芯管
等には７ランジ部が形成されている。
ガラス−ペルジャーやチャンバー、それに拡散用炉芯管
等には７ランジ部が形成されている。
第１ａ図及び第１ｂ図は従来の７ランジ付石英ガラス容
器の製造方法の説明図である。
器の製造方法の説明図である。
第１ａ図は従来の製造方法の説明図で、溶接直後の石英
ガラス容器７の断面を示したち−１− のである。
ガラス容器７の断面を示したち−１− のである。
従−来は石英ガース製の容器本体１と、容器本体１と同
−材質の７ランジ２を別個（製造し、容器本体１と７ラ
ンジ２を溶接して石英ガラス容器７を製造していた。石
英ガラスは透明な石英ガラスと不透明な石英ガラスの両
方が使用される。□ 溶接する際には、容器本体１と７ランジ２の歪みを充分
に取り除き、容器本体１及び７ランジ２と同一材料の溶
接棒を用いて溶接する。溶接は１０００〜１１００℃に
保温した溶接炉内で行う。・ 溶接後は充分に歪みを取り除いた後、砥石や平ＩＩＮ削
機等を用いて７ランジ２の両面の平行度と、接続１ｉ３
の平滑度を取るために研削を行う。最後に溶接箇所の研
削等を行って、石英ガラス容器７の製造を完了する。
−材質の７ランジ２を別個（製造し、容器本体１と７ラ
ンジ２を溶接して石英ガラス容器７を製造していた。石
英ガラスは透明な石英ガラスと不透明な石英ガラスの両
方が使用される。□ 溶接する際には、容器本体１と７ランジ２の歪みを充分
に取り除き、容器本体１及び７ランジ２と同一材料の溶
接棒を用いて溶接する。溶接は１０００〜１１００℃に
保温した溶接炉内で行う。・ 溶接後は充分に歪みを取り除いた後、砥石や平ＩＩＮ削
機等を用いて７ランジ２の両面の平行度と、接続１ｉ３
の平滑度を取るために研削を行う。最後に溶接箇所の研
削等を行って、石英ガラス容器７の製造を完了する。
第１ｂ図は研削後の石英ガラス容器７の断面を示したも
のである。
のである。
しかし、この従来のフランジ付石英ガラス−２−
容器の製造方法は、７ランジ２に直接容器本体１を溶接
するため、次のことが問題になっていた。
するため、次のことが問題になっていた。
（１）応力の集中する箇所が溶接であるため強度が弱く
、使用中破損が生じる。
、使用中破損が生じる。
（２）容器本体１と７ランジ２の垂直度が取りにくいた
め、容器本体１やフランジ２と機器を接続することが不
可能になる。無理をして接続すると７ランジ２や容器本
体１の破損を生じる。
め、容器本体１やフランジ２と機器を接続することが不
可能になる。無理をして接続すると７ランジ２や容器本
体１の破損を生じる。
（３）さらに、溶接のために７ランジ２の接続面３の平
滑度が失われ、再度研削等をしなければならず、手間が
掛る。
滑度が失われ、再度研削等をしなければならず、手間が
掛る。
（４）また、溶接のためにフランジ２の両面の平行度も
失われ、再陵平行寧を取らなければならない。しかし、
溶接後は平行度が取りにくいため、７ランジ２を機器に
接続するとき、充分に締付けができず、ガス等がリーク
する場合がある。逆に締付けが強すぎると、７ランジ部
が破損することがある。
失われ、再陵平行寧を取らなければならない。しかし、
溶接後は平行度が取りにくいため、７ランジ２を機器に
接続するとき、充分に締付けができず、ガス等がリーク
する場合がある。逆に締付けが強すぎると、７ランジ部
が破損することがある。
−３一
本発明の目的は、上記のような従来技術の欠点を解消し
て、充分に強度があり、しかもＳ接後に寸法精度が失わ
れない７ランジ付石英ガラス容器を得ることができる７
ランジ付石英ガラス容器の製造方法を提供することにあ
る。
て、充分に強度があり、しかもＳ接後に寸法精度が失わ
れない７ランジ付石英ガラス容器を得ることができる７
ランジ付石英ガラス容器の製造方法を提供することにあ
る。
以下、第２ａ図及び第２ｂ図を参照して本発明の好適な
実施例について説明する。
実施例について説明する。
１２ａｌｌは本発明による７ランジ付石英ガラス容器の
製造方法の説明図で、溶接直後の７ランジ付石英ガラス
容器８−のｉ面を示したものである。
製造方法の説明図で、溶接直後の７ランジ付石英ガラス
容器８−のｉ面を示したものである。
本発明による７ランジ、付石英ガラス容器の製造方法は
次のとおりである。
次のとおりである。
まず、容器本体１の一部となる本体部６ｂと７ランジ６
ａから成る７ランジ部６を一体加工で形成する。７ラン
ジ部６は容器本体１と同一材質の透明または不透明右奥
ガラスでできている。７ランジ部６を一体加工する際に
、７ランジ６ａの両面の平行度、接続面３− ４ − の平滑度及び７ランジ６ａと本体部６ｂの垂直度をそれ
ぞれ取る。その後、容器本体１を本体部６ｂ先端の溶接
部５及び５′に溶接する。溶接後、溶接部５及び５′の
研削を行い、７ランジ付石英ガラス容器８の製造を完了
する。
ａから成る７ランジ部６を一体加工で形成する。７ラン
ジ部６は容器本体１と同一材質の透明または不透明右奥
ガラスでできている。７ランジ部６を一体加工する際に
、７ランジ６ａの両面の平行度、接続面３− ４ − の平滑度及び７ランジ６ａと本体部６ｂの垂直度をそれ
ぞれ取る。その後、容器本体１を本体部６ｂ先端の溶接
部５及び５′に溶接する。溶接後、溶接部５及び５′の
研削を行い、７ランジ付石英ガラス容器８の製造を完了
する。
第２ｂ図は、研削後の石英ガラス容器８の断面を示した
ものである。
ものである。
本発明の７ランジ付石英ガラス容器の製造方法によると
、フランｐ６ａと本体部６ｂで構成された７ランジ部６
が一体加工で形成されるため、７ランジ６ａの両面の平
行度、接続面３の平滑度及び７ランジ６ａと本体部６ｂ
の垂直度が確実に取れる。しかも、溶接が７ランジ６ａ
に直接されないため、平行度、平滑度及び垂直度が失゛
われることがない。このため、機器とセットするとき、
締付けが充分に行われる。
、フランｐ６ａと本体部６ｂで構成された７ランジ部６
が一体加工で形成されるため、７ランジ６ａの両面の平
行度、接続面３の平滑度及び７ランジ６ａと本体部６ｂ
の垂直度が確実に取れる。しかも、溶接が７ランジ６ａ
に直接されないため、平行度、平滑度及び垂直度が失゛
われることがない。このため、機器とセットするとき、
締付けが充分に行われる。
また、溶接が７ランジ６ａに直接されないため、歪みや
溶接ムラ等がなく、強度が充分−５− に出る。従って、機器にセットするときの破損や−、使
用時の破損等が発生しない。
溶接ムラ等がなく、強度が充分−５− に出る。従って、機器にセットするときの破損や−、使
用時の破損等が発生しない。
第１ａ図及び第１ｂ図は従来の７ランジ付石英ガラス容
器の製造方法の説明図、第２ａ図は本発明による７ラン
ジ付石英ガラス容器の製造方法の説明図、第２ｂ図は本
発明の製造方法により作られたフランジ付石英ガラス容
器の断面図である。 １・・・・容器本体 ２・番・・７ランジ ３・・・・接続面 ５．５′・溶接部 ６・・・・７ランジ部 ８・・・・７ランジ付石英ガラス容器 −６− 第１ａ図 第１ｂ図 第２ａ図 第２ｂ図 手続補正書（方式） ％式％ ） １、事件の表示 特願＠５６−１３６１８１号 ２、発明の名称 ７ランジ付石英ガラス容器の製造方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都新宿区西新宿１−２６−２氏名 東芝セラ
ミックス株式会社 ４、代理人 住所 東京都港区西新橋２−３９−８ ５、補正命令の日付 ６、補正の対象 「願−」及び「明細書」の欄。 ７、補正の内容 「願書」及び「明細書」の浄書。 （内容に変更なし）
器の製造方法の説明図、第２ａ図は本発明による７ラン
ジ付石英ガラス容器の製造方法の説明図、第２ｂ図は本
発明の製造方法により作られたフランジ付石英ガラス容
器の断面図である。 １・・・・容器本体 ２・番・・７ランジ ３・・・・接続面 ５．５′・溶接部 ６・・・・７ランジ部 ８・・・・７ランジ付石英ガラス容器 −６− 第１ａ図 第１ｂ図 第２ａ図 第２ｂ図 手続補正書（方式） ％式％ ） １、事件の表示 特願＠５６−１３６１８１号 ２、発明の名称 ７ランジ付石英ガラス容器の製造方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都新宿区西新宿１−２６−２氏名 東芝セラ
ミックス株式会社 ４、代理人 住所 東京都港区西新橋２−３９−８ ５、補正命令の日付 ６、補正の対象 「願−」及び「明細書」の欄。 ７、補正の内容 「願書」及び「明細書」の浄書。 （内容に変更なし）
Claims (1)
- ７ランジと本体部の２つの部分から成り、しかも断面が
１字形の石英ガラス製フランジ部を、一体加工で形成し
、形成後前記本体部に容器本体を溶接接合することを特
徴とする７ランジ付石英ガラス容器の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56136181A JPS5841732A (ja) | 1981-09-01 | 1981-09-01 | フランジ付石英ガラス容器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56136181A JPS5841732A (ja) | 1981-09-01 | 1981-09-01 | フランジ付石英ガラス容器の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5841732A true JPS5841732A (ja) | 1983-03-11 |
Family
ID=15169227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56136181A Pending JPS5841732A (ja) | 1981-09-01 | 1981-09-01 | フランジ付石英ガラス容器の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5841732A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61138A (ja) * | 1984-06-06 | 1986-01-06 | 三菱樹脂株式会社 | 合成樹脂製のパリソンまたは容器 |
| JPH02283628A (ja) * | 1989-04-26 | 1990-11-21 | Nippon Sekiei Glass Kk | 石英ガラス管のフランジの取り付け加工方法 |
| WO2019004008A1 (ja) * | 2017-06-27 | 2019-01-03 | ネクサス株式会社 | 石英バイアル瓶の製造方法 |
| WO2020129415A1 (ja) * | 2018-12-19 | 2020-06-25 | ネクサス株式会社 | 石英バイアル瓶の製造方法 |
| JP2020180047A (ja) * | 2020-07-20 | 2020-11-05 | ネクサス株式会社 | 石英バイアル瓶の製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5669233A (en) * | 1979-11-08 | 1981-06-10 | Toshiba Ceramics Co Ltd | Large-sized quartz glass container |
| JPS5634835B2 (ja) * | 1973-07-18 | 1981-08-13 |
-
1981
- 1981-09-01 JP JP56136181A patent/JPS5841732A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5634835B2 (ja) * | 1973-07-18 | 1981-08-13 | ||
| JPS5669233A (en) * | 1979-11-08 | 1981-06-10 | Toshiba Ceramics Co Ltd | Large-sized quartz glass container |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0422780B2 (ja) * | 1984-06-06 | 1992-04-20 | Mitsubishi Plastics Ind | |
| JPS61138A (ja) * | 1984-06-06 | 1986-01-06 | 三菱樹脂株式会社 | 合成樹脂製のパリソンまたは容器 |
| JPH02283628A (ja) * | 1989-04-26 | 1990-11-21 | Nippon Sekiei Glass Kk | 石英ガラス管のフランジの取り付け加工方法 |
| US11279515B2 (en) | 2017-06-27 | 2022-03-22 | Nexus Company Inc. | Fabricating method for quartz vial |
| WO2019004008A1 (ja) * | 2017-06-27 | 2019-01-03 | ネクサス株式会社 | 石英バイアル瓶の製造方法 |
| JP2019005330A (ja) * | 2017-06-27 | 2019-01-17 | ネクサス株式会社 | 石英バイアル瓶の製造方法 |
| CN109429486A (zh) * | 2017-06-27 | 2019-03-05 | 诺希斯股份有限公司 | 石英管形瓶的制造方法 |
| US11745914B2 (en) | 2017-06-27 | 2023-09-05 | Nexus Company Inc. | Fabricating method for quartz vial |
| WO2020129415A1 (ja) * | 2018-12-19 | 2020-06-25 | ネクサス株式会社 | 石英バイアル瓶の製造方法 |
| KR20210005660A (ko) * | 2018-12-19 | 2021-01-14 | 넥서스 가부시키가이샤 | 석영 바이알병의 제조 방법 |
| EP3901107A4 (en) * | 2018-12-19 | 2022-02-16 | Nexus Company Inc. | PROCESS FOR MAKING A QUARTZ VESSEL |
| JP2020100510A (ja) * | 2018-12-19 | 2020-07-02 | ネクサス株式会社 | 石英バイアル瓶の製造方法 |
| JP2020180047A (ja) * | 2020-07-20 | 2020-11-05 | ネクサス株式会社 | 石英バイアル瓶の製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5841732A (ja) | フランジ付石英ガラス容器の製造方法 | |
| Allum | Welding technology data: pulsed MIG welding | |
| JPS58161845A (ja) | 電子顕微鏡用試料の処理方法 | |
| CN106181094A (zh) | 一种高压管材的焊接工艺 | |
| JPS6081843A (ja) | マイクロ波筐体の製造方法 | |
| JPH0311899Y2 (ja) | ||
| JPH0240024Y2 (ja) | ||
| SE9301013L (sv) | Förfarande för tillverkning av en bulbplattstång medelst svetsning samt bulbplattstång tillverkad enligt förfarandet | |
| JPH09257621A (ja) | 圧力センサの溶接固定構造 | |
| JPH0314110Y2 (ja) | ||
| SU1823326A1 (ru) | Способ изготовления крупногабаритных конструкций из разнородных сталей | |
| JPS6342099Y2 (ja) | ||
| JPS58192693A (ja) | パイプと管台の突合せ溶接開先形状 | |
| JPS58103983A (ja) | 高エネルギ−密度溶接法 | |
| GB239871A (en) | Improvements in and relating to means for making gas-tight joints between metal and glass or quartz | |
| JPS62127169A (ja) | 裏波溶接方法 | |
| Golderer et al. | Avoidance of hot cracks when welding a material combination consisting of tool steel and a magnetically soft material with a solid state laser | |
| JPH01122671A (ja) | クラッド鋼の接合方法 | |
| JPS6087919A (ja) | 溶接管の製造方法 | |
| JPS5950038B2 (ja) | 熱交換器の管孔のプラグ方法 | |
| JPS62267088A (ja) | 異材継手の溶接方法 | |
| SE8005849L (sv) | Sett att forsterka en titankonstruktion med en stodkonstruktion av annan metall | |
| Semenov et al. | Determining Allowable Stresses in Brazing | |
| JPS5785670A (en) | Airtightly seal-bonded metallic construction-body | |
| JPH0623067B2 (ja) | 石英ガラス製角槽 |