JPH0623067B2 - 石英ガラス製角槽 - Google Patents
石英ガラス製角槽Info
- Publication number
- JPH0623067B2 JPH0623067B2 JP63254871A JP25487188A JPH0623067B2 JP H0623067 B2 JPH0623067 B2 JP H0623067B2 JP 63254871 A JP63254871 A JP 63254871A JP 25487188 A JP25487188 A JP 25487188A JP H0623067 B2 JPH0623067 B2 JP H0623067B2
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- JP
- Japan
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- quartz glass
- shaped member
- arc
- members
- square tank
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B23/00—Re-forming shaped glass
- C03B23/20—Uniting glass pieces by fusing without substantial reshaping
- C03B23/203—Uniting glass sheets
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B23/00—Re-forming shaped glass
- C03B23/20—Uniting glass pieces by fusing without substantial reshaping
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は上部が開口された角型石英ガラス容器、好まし
くは半導体ウエハ等の洗浄槽又は薬液処理槽等として用
いられる石英ガラス製角槽に関する。
くは半導体ウエハ等の洗浄槽又は薬液処理槽等として用
いられる石英ガラス製角槽に関する。
「従来の技術」 例えば半導体ウエハ等の洗浄槽や薬液処理槽においては
化学的安定性と不純物の溶出を避ける為に一般に石英ガ
ラス製の処理槽が用いられているが、該処理槽の形状は
操作の利便性と前記半導体ウエハを収納するキャリアの
形状等に対応させる為に上部が開口された角型状に形成
するのが常である。
化学的安定性と不純物の溶出を避ける為に一般に石英ガ
ラス製の処理槽が用いられているが、該処理槽の形状は
操作の利便性と前記半導体ウエハを収納するキャリアの
形状等に対応させる為に上部が開口された角型状に形成
するのが常である。
そしてこのような角形状の処理槽（以下角槽という）は
従来より底面及び４つの側面を形成する５枚の平板状石
英ガラス板を方形状に溶接して方形容器を形成した後、
グラインダ等で該容器の溶接跡を除去する事により製造
されるが、グラインダの形状は円板状か又はベルト状で
ある為に、溶接跡が存在する特に内周側に位置する凹稜
線部分の溶接跡を除去するのは多大な手間と熟練を必要
し且つ特にその角隅部に位置する溶接跡を完全に除去す
るのは極めて困難である。
従来より底面及び４つの側面を形成する５枚の平板状石
英ガラス板を方形状に溶接して方形容器を形成した後、
グラインダ等で該容器の溶接跡を除去する事により製造
されるが、グラインダの形状は円板状か又はベルト状で
ある為に、溶接跡が存在する特に内周側に位置する凹稜
線部分の溶接跡を除去するのは多大な手間と熟練を必要
し且つ特にその角隅部に位置する溶接跡を完全に除去す
るのは極めて困難である。
この為従来は、前記稜線部分の一部に溶接跡が残存した
まま薬液や洗浄液を投入する処理槽として利用されてい
たが、例えばバブリング洗浄等において、ウエハより洗
浄液側に移行したパーティクル等の微細な塵埃が前記溶
接跡に入り込んだ場合、例えフッ酸を用いて前記槽を洗
浄した場合にも簡単には取切れない。
まま薬液や洗浄液を投入する処理槽として利用されてい
たが、例えばバブリング洗浄等において、ウエハより洗
浄液側に移行したパーティクル等の微細な塵埃が前記溶
接跡に入り込んだ場合、例えフッ酸を用いて前記槽を洗
浄した場合にも簡単には取切れない。
而も前記角槽においては、パーティクルの沈積する部位
である底面四辺とそお角海部に溶接跡が多く形成される
構造である為に、前記入り込みは一層多くなる。
である底面四辺とそお角海部に溶接跡が多く形成される
構造である為に、前記入り込みは一層多くなる。
そしてこれら溶接跡に一旦入り込んだ塵埃等は、前述し
たように中々取切れないのみならず、再使用時において
再度洗浄液中に戻入してしまう場合があり、これがウエ
ハに再付着して製品欠陥の原因になるなど効果的な洗浄
を行えない場合があった。
たように中々取切れないのみならず、再使用時において
再度洗浄液中に戻入してしまう場合があり、これがウエ
ハに再付着して製品欠陥の原因になるなど効果的な洗浄
を行えない場合があった。
「発明が解決しようとする問題点」 かかる欠点を解消する為に、第５図に示すように底面10
0aの各辺に夫々４つの側壁面100bを一体的に連接した、
いわゆる展開図状の石英ガラス板100 を形成し、該石英
ガラス板100 の側壁面部位100bを起立させてその接合部
101 を溶接するようにした技術が開示されているが、か
かる技術においては底面周囲に位置する各辺には接合部
が形成されないが、底面角隅部より立ち上がる垂直の稜
線部とその下端角隅部には当然に接合部が形成される事
になる為に、尚これらの溶接跡を完全に除去し得ないと
いう前記欠点を解消し出来ない。
0aの各辺に夫々４つの側壁面100bを一体的に連接した、
いわゆる展開図状の石英ガラス板100 を形成し、該石英
ガラス板100 の側壁面部位100bを起立させてその接合部
101 を溶接するようにした技術が開示されているが、か
かる技術においては底面周囲に位置する各辺には接合部
が形成されないが、底面角隅部より立ち上がる垂直の稜
線部とその下端角隅部には当然に接合部が形成される事
になる為に、尚これらの溶接跡を完全に除去し得ないと
いう前記欠点を解消し出来ない。
この為例えば特開昭58-88129号において、複数の石英ガ
ラス部材を用いて石英ガラス製角槽を形成する異なく、
粉末状の石英ガラス原料と中子を用い、回転溶融炉の内
壁面と中子との間隙部に石英ガラス粉末を充填し、炉を
回転させながら前記中子を引き抜いた後、前記原料粉末
をアーク炎又はガス炎により加熱溶融して前記角槽を形
成する技術が提案されているが、かかる技術においては
原料粉末を直接溶融する構成を取る為に、大型の角槽の
形成が困難であり且つ原料粉末が炉壁と直接接触する為
に不純物が混入され易く、近年のように大口径で且つ高
集積化されたウエハを大量処理する為の製造工程には適
さない。
ラス部材を用いて石英ガラス製角槽を形成する異なく、
粉末状の石英ガラス原料と中子を用い、回転溶融炉の内
壁面と中子との間隙部に石英ガラス粉末を充填し、炉を
回転させながら前記中子を引き抜いた後、前記原料粉末
をアーク炎又はガス炎により加熱溶融して前記角槽を形
成する技術が提案されているが、かかる技術においては
原料粉末を直接溶融する構成を取る為に、大型の角槽の
形成が困難であり且つ原料粉末が炉壁と直接接触する為
に不純物が混入され易く、近年のように大口径で且つ高
集積化されたウエハを大量処理する為の製造工程には適
さない。
本発明はかかる従来技術の欠点に鑑み、複数の石英ガラ
ス部材の接合部を溶接して石英ガラス製角槽を形成しつ
つも、前記ガラス部材の接合部をグラインダの研削の容
易な位置に形成し、これにより溶接跡部の平滑化を達成
させて、洗浄液や処理液中に混入したパーティクル溶接
跡に入る込む事のない角槽を提供する事を目的とする。
ス部材の接合部を溶接して石英ガラス製角槽を形成しつ
つも、前記ガラス部材の接合部をグラインダの研削の容
易な位置に形成し、これにより溶接跡部の平滑化を達成
させて、洗浄液や処理液中に混入したパーティクル溶接
跡に入る込む事のない角槽を提供する事を目的とする。
「問題点を解決するための手段］ 本発明はかかる技術的課題を達成する為に、円筒管を縦
割りにして形成される弧状部材10A,10B と、少なくとも
一部が湾曲された板状部材（以下湾曲板状部材という）
20A,20B,20C と、角槽の各壁面幅より小なる幅をもって
形成された平板状部材30の内、選択された部材同士を組
み合わせて前記角槽を形成した点を要旨とするものであ
る。
割りにして形成される弧状部材10A,10B と、少なくとも
一部が湾曲された板状部材（以下湾曲板状部材という）
20A,20B,20C と、角槽の各壁面幅より小なる幅をもって
形成された平板状部材30の内、選択された部材同士を組
み合わせて前記角槽を形成した点を要旨とするものであ
る。
この場合前記湾曲板状部材には、第３図中央部を陥没さ
せてその四辺周縁部全域が隆起された部材20C 、各壁面
幅より小なる幅を有する平板状部材30の所定部位を折曲
し「コ」又はＬ字状に折曲した部材20B 更には一辺先端
側のみを湾曲してＪ字状に形成した部材20A も含む。
せてその四辺周縁部全域が隆起された部材20C 、各壁面
幅より小なる幅を有する平板状部材30の所定部位を折曲
し「コ」又はＬ字状に折曲した部材20B 更には一辺先端
側のみを湾曲してＪ字状に形成した部材20A も含む。
又本発明において平板状部材30を用いる場合があるが、
その縦及び横方向長さが、角槽の各壁面幅より小なる幅
を有する部材30である事が前提である。
その縦及び横方向長さが、角槽の各壁面幅より小なる幅
を有する部材30である事が前提である。
更に前記前記弧状部材には、先端が丸封された円筒管10
A や両端が開口された円筒管10B のいずれをも含む。
A や両端が開口された円筒管10B のいずれをも含む。
即ち弧状部材は第４図に示されるように両端が軸線と直
交する方向に切断された円筒管1Aと、一端が丸封された
円筒管1Bの夫々について、軸方向に沿って４つ割りにし
て形成される弧状部材10A,10B を２種類用いる。ここ
で、前記各円筒管1A,1B を４つ割りにした理由は前記弧
状部材10A,10B がいずれも稜線及び複数の稜線が集合す
る角隅部に配置される為にその挟角である90゜に対応さ
せた為であるが、必ずしも４つ割りのみに限定されるも
のではなく、６つ割りや３つ割りをする場合がある。
交する方向に切断された円筒管1Aと、一端が丸封された
円筒管1Bの夫々について、軸方向に沿って４つ割りにし
て形成される弧状部材10A,10B を２種類用いる。ここ
で、前記各円筒管1A,1B を４つ割りにした理由は前記弧
状部材10A,10B がいずれも稜線及び複数の稜線が集合す
る角隅部に配置される為にその挟角である90゜に対応さ
せた為であるが、必ずしも４つ割りのみに限定されるも
のではなく、６つ割りや３つ割りをする場合がある。
又弧状部材10A,10B を用いる理由は、第１図（ｂ）や第
２図（ｂ）に示すように、隣接する稜線部位に設けた部
材同士を接合する場合、両者間を直接接合させたので
は、その接合部が稜線及び角隅部状に位置してまう。
２図（ｂ）に示すように、隣接する稜線部位に設けた部
材同士を接合する場合、両者間を直接接合させたので
は、その接合部が稜線及び角隅部状に位置してまう。
そこで前記稜線上に前記弧状部材10A,10B を介在させ、
両者間が直接接合するのを避ける、言い換えればその接
合部40が稜線及び角隅部上に位置してしまうのを避ける
とともに、この場合端に第４図（ａ）に示すような弧状
部材10A を用いた場合はその角隅部に尚楔状空間が形成
されてしまう。そこで好ましくは前記稜線状に位置する
部材が、第４図（ｂ）に示すような丸封された円筒管1B
を縦割りにして形成される弧状部材10B を用いる事によ
り前記楔状空間が形成される事なくその接合部40が稜線
及び角隅部上に位置してしまうのを避ける事が可能とな
る。
両者間が直接接合するのを避ける、言い換えればその接
合部40が稜線及び角隅部上に位置してしまうのを避ける
とともに、この場合端に第４図（ａ）に示すような弧状
部材10A を用いた場合はその角隅部に尚楔状空間が形成
されてしまう。そこで好ましくは前記稜線状に位置する
部材が、第４図（ｂ）に示すような丸封された円筒管1B
を縦割りにして形成される弧状部材10B を用いる事によ
り前記楔状空間が形成される事なくその接合部40が稜線
及び角隅部上に位置してしまうのを避ける事が可能とな
る。
「作用」 従って本技術手段によれば、先ず前記平板状部材30は角
槽の各壁面幅より小なる幅をもって形成されている為
に、稜線及び複数の稜線が集合する角隅部に位置する部
材には前記平板状部材30の各辺や角隅部が位置する事は
全くなく、少なくとも円筒管1A,1B を縦割りにして形成
される弧状部材10A,10B か、湾曲板状部材20A,20B,20C
のいずれかである。
槽の各壁面幅より小なる幅をもって形成されている為
に、稜線及び複数の稜線が集合する角隅部に位置する部
材には前記平板状部材30の各辺や角隅部が位置する事は
全くなく、少なくとも円筒管1A,1B を縦割りにして形成
される弧状部材10A,10B か、湾曲板状部材20A,20B,20C
のいずれかである。
そして本発明は前項で詳説したように、このような弧状
部材10A,10B や湾曲板状部材20A,20B,20C の曲面を効果
的に利用して、これらの部材同士の接合部40を少なくと
も稜線及び複数の稜線が集合する角隅部から外れた位置
に設けて溶接する事が可能となり、この点が本発明の特
徴とする所である。
部材10A,10B や湾曲板状部材20A,20B,20C の曲面を効果
的に利用して、これらの部材同士の接合部40を少なくと
も稜線及び複数の稜線が集合する角隅部から外れた位置
に設けて溶接する事が可能となり、この点が本発明の特
徴とする所である。
「実施例」 以下、図面を参照して本発明の好適な実施例を例示的に
詳しく説明する。ただしこの実施例に記載されている構
成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特に特
定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれのみに
限定する趣旨ではなく、単なる説明例に過ぎない。尚第
１図乃至第３図は本発明の各実施例を示すが、いずれも
説明の明瞭化の為に肉厚を誇張して図示しており、実際
の肉厚は第４図の円筒管1A,1B の説明に示される程度で
ある。
詳しく説明する。ただしこの実施例に記載されている構
成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特に特
定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれのみに
限定する趣旨ではなく、単なる説明例に過ぎない。尚第
１図乃至第３図は本発明の各実施例を示すが、いずれも
説明の明瞭化の為に肉厚を誇張して図示しており、実際
の肉厚は第４図の円筒管1A,1B の説明に示される程度で
ある。
第1 図は前２種類の弧状部材（以下ａ弧状部材10A とｂ
弧状部材10B とに区別する）と、角槽の各壁面幅より小
なる幅を有する平板状部材30とを用いて形成した角槽
で、第１図（ａ）に示すように底壁側に位置する角四辺
にはａ弧状部材10A が、又隣接する各二辺の該ａ弧状部
材10A に挟まれる、垂直に立設する稜線部分にｂ弧状部
材10B を夫々配設し、又かれらの弧状部材10A,10B に挟
まれる各平面空間には、対応形状の平板状部材30が配設
されている。
弧状部材10B とに区別する）と、角槽の各壁面幅より小
なる幅を有する平板状部材30とを用いて形成した角槽
で、第１図（ａ）に示すように底壁側に位置する角四辺
にはａ弧状部材10A が、又隣接する各二辺の該ａ弧状部
材10A に挟まれる、垂直に立設する稜線部分にｂ弧状部
材10B を夫々配設し、又かれらの弧状部材10A,10B に挟
まれる各平面空間には、対応形状の平板状部材30が配設
されている。
この結果第１図（ｂ）に示すように稜線や角隅部を避け
て接合部40を形成する事が出来、グラインダによる接合
部40の溶接跡の除去が容易になる。
て接合部40を形成する事が出来、グラインダによる接合
部40の溶接跡の除去が容易になる。
第２図はＪ字状のとコの字状の２種類の湾曲板状部材
（以下Ｊ状部材20B とコ状部材20A とに区別する）と、
ｂ弧状部材10B とを用いて形成した角槽で、第２図
（ａ）（ｂ）に示すように先ず底面と対抗する二側壁面
を連接させてコ状部材20A で形成するとともに、他の二
側壁面と底面間に形成される稜線部分に接合部40が来る
のを避ける為に、平板状部材30の底縁をＲ状に湾曲させ
たＪ状部材20B を用い、該Ｊ状部材20B をコ状部材20A
の腹側に当接させて他の一対の側壁面を形成する。そし
て前記両部材に挟まれる、垂直に立設する稜線部分には
ｂ弧状部材10B を夫々配設して角槽を形成する。
（以下Ｊ状部材20B とコ状部材20A とに区別する）と、
ｂ弧状部材10B とを用いて形成した角槽で、第２図
（ａ）（ｂ）に示すように先ず底面と対抗する二側壁面
を連接させてコ状部材20A で形成するとともに、他の二
側壁面と底面間に形成される稜線部分に接合部40が来る
のを避ける為に、平板状部材30の底縁をＲ状に湾曲させ
たＪ状部材20B を用い、該Ｊ状部材20B をコ状部材20A
の腹側に当接させて他の一対の側壁面を形成する。そし
て前記両部材に挟まれる、垂直に立設する稜線部分には
ｂ弧状部材10B を夫々配設して角槽を形成する。
この結果第２図（ｂ）に示すように稜線や角隅部を避け
て接合部40を形成する事が出来、グラインダによる接合
部40の溶接跡の除去が容易になる。
て接合部40を形成する事が出来、グラインダによる接合
部40の溶接跡の除去が容易になる。
第３図はコの字状と盆状の２種類の湾曲板状部材（後者
を板状部材20C という）を用いて形成した角槽で、第３
図（ａ）に示すように底面を形成する板状部材20C 上面
側の周縁上に沿って、その中央線上を挟んで一対のコ状
部材20A を設置する事により角槽が簡単に形成される。
そして前記のような盆状部材20C は、平板状部材30の周
縁を酸水素ガスバーナによりあぶりながら軟化させて且
つ隆起させる事により、比較的簡単に形成出来る。
を板状部材20C という）を用いて形成した角槽で、第３
図（ａ）に示すように底面を形成する板状部材20C 上面
側の周縁上に沿って、その中央線上を挟んで一対のコ状
部材20A を設置する事により角槽が簡単に形成される。
そして前記のような盆状部材20C は、平板状部材30の周
縁を酸水素ガスバーナによりあぶりながら軟化させて且
つ隆起させる事により、比較的簡単に形成出来る。
この結果第３図（ｂ）に示すように稜線や角隅部を避け
て接合部40を形成する事が出来、グラインダによる接合
部40の溶接跡の除去が容易になる。
て接合部40を形成する事が出来、グラインダによる接合
部40の溶接跡の除去が容易になる。
「発明の効果」 以上記載の如く本発明によれば、複数の石英ガラス部材
の接合部を溶接した石英ガラス製角槽を形成しつつも、
前記ガラス部材の接合部をグラインダの研削の容易な位
置に形成し、これにより平滑な溶接跡部が形成し得、洗
浄液や処理液中に混入しパーティクル溶接跡に入り込む
事のない角槽を得る事が出来、これにより洗浄工程時又
は薬液処理工程時にように角形処理槽を用いる各製造工
程でのウエハー面へのパーティクル付着を大幅に抑制す
る事が出来、その実用的価値は極めて大である。
の接合部を溶接した石英ガラス製角槽を形成しつつも、
前記ガラス部材の接合部をグラインダの研削の容易な位
置に形成し、これにより平滑な溶接跡部が形成し得、洗
浄液や処理液中に混入しパーティクル溶接跡に入り込む
事のない角槽を得る事が出来、これにより洗浄工程時又
は薬液処理工程時にように角形処理槽を用いる各製造工
程でのウエハー面へのパーティクル付着を大幅に抑制す
る事が出来、その実用的価値は極めて大である。
第１図乃至第３図は本発明の各実施例に係る石英ガラス
製角槽を示し、いずれも（ａ）は全体斜視図、（ｂ）は
要部拡大斜視図である。 第４図（ａ）（ｂ）は前記角層に用いられる弧状部材の
製造手順を示す作用図、第５図は従来技術に係る石英ガ
ラス製角槽の製造手順を示す斜視図である。
製角槽を示し、いずれも（ａ）は全体斜視図、（ｂ）は
要部拡大斜視図である。 第４図（ａ）（ｂ）は前記角層に用いられる弧状部材の
製造手順を示す作用図、第５図は従来技術に係る石英ガ
ラス製角槽の製造手順を示す斜視図である。
Claims (3)
- 【請求項１】複数の石英ガラス部材の接合部を溶接して
形成される石英ガラス製角槽において、円筒管を縦割り
にして形成される弧状部材と、少なくとも一部が湾曲さ
れた板状部材と、角槽の各壁面幅より小なる幅をもって
形成された平板状部材の内、選択された部材同士を組み
合わせて前記角槽を形成するとともに、これらの各部材
同士の接合部を少なくとも稜線及び複数の稜線が集合す
る角隅部から外れた位置に設けた事を特徴とする石英ガ
ラス製角槽 - 【請求項２】稜線及び複数の稜線が集合する角隅部に位
置する部材が、前記弧状部材と、前記湾曲された板状部
材のいずれかである請求項1)記載の石英ガラス製角槽 - 【請求項３】隣接する各壁面上に配置した複数の部材が
集合する稜線上に位置する部材が弧状部材であり、好ま
しくは丸封された円筒管を縦割りにして形成される弧状
部材である請求項1)記載の石英ガラス製角槽
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63254871A JPH0623067B2 (ja) | 1988-10-12 | 1988-10-12 | 石英ガラス製角槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63254871A JPH0623067B2 (ja) | 1988-10-12 | 1988-10-12 | 石英ガラス製角槽 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02102141A JPH02102141A (ja) | 1990-04-13 |
| JPH0623067B2 true JPH0623067B2 (ja) | 1994-03-30 |
Family
ID=17270992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63254871A Expired - Fee Related JPH0623067B2 (ja) | 1988-10-12 | 1988-10-12 | 石英ガラス製角槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0623067B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH706648B1 (de) * | 2012-06-27 | 2016-04-15 | Engeler Ag Glaswelt | Schmelzglaskörper. |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5910046U (ja) * | 1982-07-12 | 1984-01-21 | トヨタ自動車株式会社 | シヤシダイナモメ−タ用車輪固定治具 |
| JPS59199540A (ja) * | 1983-04-26 | 1984-11-12 | Japan Seru:Kk | 液体分析装置用角形ガラスセルとその製造方法 |
| JPH0714194Y2 (ja) * | 1986-04-03 | 1995-04-05 | 信越石英株式会社 | 石英ガラス製大型容器 |
-
1988
- 1988-10-12 JP JP63254871A patent/JPH0623067B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02102141A (ja) | 1990-04-13 |
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