JPH0714194Y2 - 石英ガラス製大型容器 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、半導体工業において、洗浄、薬品処理、熱処
理等を行う際に使用される石英ガラス製大型容器、特に
内容積10l以上の容器に関するものである。

（従来の技術とこの問題点） 従来石英ガラス製の角型容器を作るため一般に行われて
いるのは、（１）石英ガラス管の一端を加熱封止し、黒
鉛等の型に入れ、空気を送りこみふくらませて成形す
る、（２）５枚の平板を溶接して成形する、（３）溶接
部を減らすため（２）の底部および両側部を平板を加熱
して折り曲げ形成し、これに２枚の端板を溶接して成形
する等の方法である。

しかしながら、前記（１）の方法では加熱に要するエネ
ルギーが大きく、また成形した容器も表面に凹凸ができ
たり、肉厚が不均一になる等の欠点があり、（２）の方
法では、溶接の集中する底部４隅に歪が残りやすいた
め、機械的ショックにより底が抜ける事故が多く、また
洗浄が困難である等の問題があり、（３）の方法は
（２）の方法の欠点を改良すべく考案されたものである
が、第１に所望のＲを正確に得ることが困難であり、第
２に板曲げ部分に応力が集中したり、小さなＲを得よう
とするとガラスが溜まって肉厚が大きくなったりし、第
３に大型容器たとえば１辺500mmの角槽の製作には、150
0mm×500mmのような大型平板が必要であり、このような
平板は非常に高価であるという不利があった。

（問題点を解決するための手段） 本考案は、前記（１）、（２）、（３）の方法の問題点
を簡単な方法で解決するためのもので、これは内容積10
l以上の石英ガラス製大型容器において、少なくとも底
となる平板の両縁に石英ガラス管を縦割りにした曲板を
溶接して曲部を形成して底部となし、その両端面に側板
を溶接してなることを特徴とする石英ガラス製大型容器
である。

以下図面によって本考案の構成を説明する。

（考案の構成） 第１図に示すように、長さＬの平板を底板１とし、その
両縁２、３に、所望のＲをもつ長さＬの石英ガラス管を
縦に４等分にカットした曲板４、５を溶接し、つぎにそ
の両端面に端板６、７を溶接して大型容器とする。曲板
は石英ガラス管を４等分するとは限らず、第２図に示す
ように、必要に応じて大口径の石英ガラス管を縦に４以
上の数にカットした曲板４、５を使用すれば、ゆるやか
な曲面をもつ容器を形成することができる。

さらに深い容器の場合は、第３図に示すように、曲板
４、５の上に平板８、９を溶接し、一体化した板４、８
および５、９と同高の端板10、11を両端面に溶接すれば
よい。

（考案の効果） 本考案は、必要なＲを正確にもつ石英ガラス管をカット
した曲板を使って容器を形成するので、現在半導体工業
において要求されている高い寸法精度に対しても十分対
応することができるとともに、加工による応力集中、表
面の凹凸および肉厚のバラツキ等が全くないので機械的
強度が大きく、さらに底部がＲをもっているため洗浄を
簡単かつ完全に行うことができ、しかも高価な大型平板
を必要とせず、また加熱成形のための熱エネルギーを要
せず、溶接部分も少ないので、優れた大型容器をきわめ
て経済的に提供することができるものである。

【図面の簡単な説明】

第１、２、３図は本考案の異なる実施例を示すもので、
第１、２図は溶接前の状態を示す斜視図を、第３図は深
い容器の斜視図を示す。 １……底板、２、３……縁、４、５……曲板、６、７…
…端板、８、９……平板、10、11……端板。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】内容積10l以上の石英ガラス製大型容器に
   おいて、少なくとも底となる平板の両縁に石英ガラス管
   を縦割りにした曲板を溶接して曲部を形成して底部とな
   し、その両端面に側板を溶接してなることを特徴とする
   石英ガラス製大型容器。
2. 【請求項２】前記石英ガラス製大型容器に対して、前記
   底部の両曲板にさらに平板を溶接して深さを増し、その
   両端面に同高の側板を溶接してなる実用新案登録請求の
   範囲第１項記載の石英ガラス製大型容器。