JPS58161845A - 電子顕微鏡用試料の処理方法 - Google Patents
電子顕微鏡用試料の処理方法Info
- Publication number
- JPS58161845A JPS58161845A JP57045392A JP4539282A JPS58161845A JP S58161845 A JPS58161845 A JP S58161845A JP 57045392 A JP57045392 A JP 57045392A JP 4539282 A JP4539282 A JP 4539282A JP S58161845 A JPS58161845 A JP S58161845A
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、電子顕微鏡で試料の断面の形状を観察する
場合の電子顕微鏡用試料の処理方法に関し、試料の断面
形状を明瞭に観察できるようにしたものである。
場合の電子顕微鏡用試料の処理方法に関し、試料の断面
形状を明瞭に観察できるようにしたものである。
一般に、走査電子顕微鏡で試料の断面形状を観察する場
合、まず、試料の断面形状を出す必要があるが、従来の
試料の処理方法は、そ′の１つの方法として、処理が施
こされていない試料を、軟らかいものはカミソリ刃等で
切断し、硬いものは折り曲げによりあるいはガラス、Ｓ
ｉウエノ１−のようなものは浅い傷を入れて破断し、断
面を出すようにしている。しかし、この種の方法は簡単
に行なえる反面、試料の断面の形状を忠実に出すことが
困難であり、しかも、これを金属類の試料に適用するこ
とができない難点がある。
合、まず、試料の断面形状を出す必要があるが、従来の
試料の処理方法は、そ′の１つの方法として、処理が施
こされていない試料を、軟らかいものはカミソリ刃等で
切断し、硬いものは折り曲げによりあるいはガラス、Ｓ
ｉウエノ１−のようなものは浅い傷を入れて破断し、断
面を出すようにしている。しかし、この種の方法は簡単
に行なえる反面、試料の断面の形状を忠実に出すことが
困難であり、しかも、これを金属類の試料に適用するこ
とができない難点がある。
また、従来の他の試料の処理方法は、第１図および第２
図に示すように、試料（１）を樹脂、金属。
図に示すように、試料（１）を樹脂、金属。
セラミック等の包埋材（２）で包埋して包埋体（３）を
構成し、この包埋体（３）を試料（１）の観察面（ＩＹ
に直交する而で切断するとともに、該切断面を研磨し、
ここで、試料（１）および包埋材（２）がともに導電性
でない場合は切断面に１００〜２００大の導電性薄膜（
４）を接着し、試料（１）の断面を出す方法である。こ
の方法によれば、〜試料（１）がどのような種類であ−
っでも適用できるのみならす、包埋材（２）の材料およ
び研磨方法を考慮すれば、試料（１）の断面の形状を忠
実に出すことができるものである。しかし、この方法で
試料（１）を処理し、その断面形状を走査電子顕微鏡で
観察する場合、試料（１）の断面が包埋材（２）とトモ
に平滑になっているため、コントラストがつきに（（、
画面が見にくい欠点がある。
構成し、この包埋体（３）を試料（１）の観察面（ＩＹ
に直交する而で切断するとともに、該切断面を研磨し、
ここで、試料（１）および包埋材（２）がともに導電性
でない場合は切断面に１００〜２００大の導電性薄膜（
４）を接着し、試料（１）の断面を出す方法である。こ
の方法によれば、〜試料（１）がどのような種類であ−
っでも適用できるのみならす、包埋材（２）の材料およ
び研磨方法を考慮すれば、試料（１）の断面の形状を忠
実に出すことができるものである。しかし、この方法で
試料（１）を処理し、その断面形状を走査電子顕微鏡で
観察する場合、試料（１）の断面が包埋材（２）とトモ
に平滑になっているため、コントラストがつきに（（、
画面が見にくい欠点がある。
この発明は、前記の点に留意してなされたものであり、
つぎにこの発明を、その実施例を示した第３図以下の図
面とともに詳細に説明する。
つぎにこの発明を、その実施例を示した第３図以下の図
面とともに詳細に説明する。
まず、１実施例を示した第３図および第４図について説
明する。
明する。
第３図に示すように、まず、断面形状が見たい試料（５
）の観察面（６）に蒸発源（７）による真空蒸着により
５０〜５００人厚の金属薄膜（８）を蒸着し、つぎに、
金属薄膜（８）゛が蒸着された試料（５）を樹脂、金属
、セラミック等の包埋材（９）に埋め込んで包埋体Ｏ０
を構成し、さらに、包埋体０１を試料（５）の観察面（
６）に対しほぼ直交する面で切断し、この切断面を研磨
して試料（５）を露出させる。そして、この研磨が終了
すれば、包埋体０１を、金属薄膜（８）の腐食剤、すな
わち金属薄膜（８）を腐食するとともに試料（５）およ
び包埋材（９）を腐食しない腐食剤の溶液中に所定時間
浸し、包埋体００の切断面６乙金属薄膜（８）の腐食に
よる四部を形成する。ここで、試料（５）Ａｔｔｍ＜Ｃ
Ｉ）’！”が非導電性の場合、包・埋体（ＩＩの切断面
に１００〜２００λの導電性薄膜θυを接着する。
）の観察面（６）に蒸発源（７）による真空蒸着により
５０〜５００人厚の金属薄膜（８）を蒸着し、つぎに、
金属薄膜（８）゛が蒸着された試料（５）を樹脂、金属
、セラミック等の包埋材（９）に埋め込んで包埋体Ｏ０
を構成し、さらに、包埋体０１を試料（５）の観察面（
６）に対しほぼ直交する面で切断し、この切断面を研磨
して試料（５）を露出させる。そして、この研磨が終了
すれば、包埋体０１を、金属薄膜（８）の腐食剤、すな
わち金属薄膜（８）を腐食するとともに試料（５）およ
び包埋材（９）を腐食しない腐食剤の溶液中に所定時間
浸し、包埋体００の切断面６乙金属薄膜（８）の腐食に
よる四部を形成する。ここで、試料（５）Ａｔｔｍ＜Ｃ
Ｉ）’！”が非導電性の場合、包・埋体（ＩＩの切断面
に１００〜２００λの導電性薄膜θυを接着する。
したがって、前記実施例によると、試料（５）の観察面
（６）に蒸着された金属薄膜（８）を包埋体０１の切断
面から凹ませ、試料（５）の観察したい断面形状に沿っ
て段差を形成することができるため、これを走査電子顕
微鏡で観察すれば、段差の部分でコントラストがつき、
試料（５）の断面形状を明瞭に観察することができるも
のである。
（６）に蒸着された金属薄膜（８）を包埋体０１の切断
面から凹ませ、試料（５）の観察したい断面形状に沿っ
て段差を形成することができるため、これを走査電子顕
微鏡で観察すれば、段差の部分でコントラストがつき、
試料（５）の断面形状を明瞭に観察することができるも
のである。
なお、前記実施例では、切断、研磨された包埋体０１を
金属薄膜（８）の腐食剤の溶液中に潰し、金属薄膜（８
）のみを腐食して切断面番こ凹部を形成したが。
金属薄膜（８）の腐食剤の溶液中に潰し、金属薄膜（８
）のみを腐食して切断面番こ凹部を形成したが。
これに限らす、試料（５）および包埋材（９）の腐食剤
。
。
すなわち試料・（５）および包埋材（９）を腐食すると
ともに金属薄膜（８）を腐食しない腐食剤の溶液中に包
埋体００を所定時間浸し、第５図に示すように、包埋体
ＯＩの腐食面に金属薄膜（８）による凸部を形成するよ
うにしてもよく、この場合、金属薄膜（８）の凸部によ
り試料（５）の断面形状に沿った段差を形成できるだめ
、走査電子顕微鏡で観察した場合に試料（５）の断面形
状を明瞭に観察できるものである。
ともに金属薄膜（８）を腐食しない腐食剤の溶液中に包
埋体００を所定時間浸し、第５図に示すように、包埋体
ＯＩの腐食面に金属薄膜（８）による凸部を形成するよ
うにしてもよく、この場合、金属薄膜（８）の凸部によ
り試料（５）の断面形状に沿った段差を形成できるだめ
、走査電子顕微鏡で観察した場合に試料（５）の断面形
状を明瞭に観察できるものである。
以上のように、この発明の電子顕微鏡用試料の処理方法
によると、断面形状を観察する電子顕微鏡用試料の観察
面に５０〜５００λの金属薄膜を接着し、前記試料を包
埋材で包埋して包埋体を構成し、前記包埋体を前記観察
面にほぼ直交する面で切断するとともに、該切断面を研
磨して前記試料を露出し９、前記切断面の前記金属薄膜
ある、いは前記試料および前記包埋材を腐食材で腐食す
ることにより、試料の観察面に接着された金属薄膜を包
埋体の切断面に対して凹凸させ、試料の断面形状に沿っ
て段差を形成できるため、電子顕微鏡で観察した場合に
段差の部分でコントラストがつき、試料の断面形状を明
瞭に観察できるもの゛であり、簡単な方法により従来欠
点を解消できるものである。
によると、断面形状を観察する電子顕微鏡用試料の観察
面に５０〜５００λの金属薄膜を接着し、前記試料を包
埋材で包埋して包埋体を構成し、前記包埋体を前記観察
面にほぼ直交する面で切断するとともに、該切断面を研
磨して前記試料を露出し９、前記切断面の前記金属薄膜
ある、いは前記試料および前記包埋材を腐食材で腐食す
ることにより、試料の観察面に接着された金属薄膜を包
埋体の切断面に対して凹凸させ、試料の断面形状に沿っ
て段差を形成できるため、電子顕微鏡で観察した場合に
段差の部分でコントラストがつき、試料の断面形状を明
瞭に観察できるもの゛であり、簡単な方法により従来欠
点を解消できるものである。
第１図および第２図は従来の電子顕微鏡用試料の処理方
法の平面図ａよび切断正面図、第３図以Ｆの図面はこの
発明の電子顕微鏡用試料の処理方法の実施例を示し、第
３図および第４図は１実施例を示し、第３図は金属薄膜
の蒸着説明図、第４図は切断正面図、第５図は他の実施
例の切断正面図である。 （５）・・試料、（６）・・・観察面、（８）・・・金
属薄膜、（９）・・・包埋材、叫・・・包埋体。
法の平面図ａよび切断正面図、第３図以Ｆの図面はこの
発明の電子顕微鏡用試料の処理方法の実施例を示し、第
３図および第４図は１実施例を示し、第３図は金属薄膜
の蒸着説明図、第４図は切断正面図、第５図は他の実施
例の切断正面図である。 （５）・・試料、（６）・・・観察面、（８）・・・金
属薄膜、（９）・・・包埋材、叫・・・包埋体。
Claims (1)
- ■ ｍ１面形状を観察する電子顕微鏡用試料の観察面に
５０〜５００Ａの金属薄膜を接着し、前記試料を包埋材
で包埋して包埋体を構成し、前記包埋体を前記観察面に
ほぼ直交する面で切断するとともに、該切断面を研磨し
て前記試料を露出し、前記切断面の前記金属薄膜あるい
は前記試料および前記包埋材を腐食剤で腐食したことを
特徴とする電子顕微鏡用試料の処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57045392A JPS58161845A (ja) | 1982-03-20 | 1982-03-20 | 電子顕微鏡用試料の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57045392A JPS58161845A (ja) | 1982-03-20 | 1982-03-20 | 電子顕微鏡用試料の処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58161845A true JPS58161845A (ja) | 1983-09-26 |
Family
ID=12717987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57045392A Pending JPS58161845A (ja) | 1982-03-20 | 1982-03-20 | 電子顕微鏡用試料の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58161845A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0843279A (ja) * | 1994-07-27 | 1996-02-16 | Nec Corp | 薄片試料作製方法 |
| WO2007025961A1 (de) * | 2005-08-31 | 2007-03-08 | BAM Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung | Verfahren zur präparation eines flächigen probenkörpers sowie präparat |
| JP2011080963A (ja) * | 2009-10-09 | 2011-04-21 | Nippon Steel Corp | 最表層観察に適した断面研磨方法 |
| WO2013035681A1 (ja) * | 2011-09-06 | 2013-03-14 | 学校法人久留米大学 | 電子顕微鏡用包埋樹脂組成物及び当該組成物を用いた電子顕微鏡による試料の観察方法 |
| JP2016050918A (ja) * | 2014-09-02 | 2016-04-11 | 住友金属鉱山株式会社 | 樹脂包埋試料およびその作製方法 |
-
1982
- 1982-03-20 JP JP57045392A patent/JPS58161845A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0843279A (ja) * | 1994-07-27 | 1996-02-16 | Nec Corp | 薄片試料作製方法 |
| WO2007025961A1 (de) * | 2005-08-31 | 2007-03-08 | BAM Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung | Verfahren zur präparation eines flächigen probenkörpers sowie präparat |
| JP2011080963A (ja) * | 2009-10-09 | 2011-04-21 | Nippon Steel Corp | 最表層観察に適した断面研磨方法 |
| WO2013035681A1 (ja) * | 2011-09-06 | 2013-03-14 | 学校法人久留米大学 | 電子顕微鏡用包埋樹脂組成物及び当該組成物を用いた電子顕微鏡による試料の観察方法 |
| US9870894B2 (en) | 2011-09-06 | 2018-01-16 | Kurume University | Embedding resin composition for electron microscopey and method for observing sample with electron microscope using the same |
| JP2016050918A (ja) * | 2014-09-02 | 2016-04-11 | 住友金属鉱山株式会社 | 樹脂包埋試料およびその作製方法 |
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