JPS5837682A - 等高線作図装置 - Google Patents
等高線作図装置Info
- Publication number
- JPS5837682A JPS5837682A JP13585881A JP13585881A JPS5837682A JP S5837682 A JPS5837682 A JP S5837682A JP 13585881 A JP13585881 A JP 13585881A JP 13585881 A JP13585881 A JP 13585881A JP S5837682 A JPS5837682 A JP S5837682A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明に試料面における被測定量の強度分布の等高線を
作図する装置に関する。通常等高線の作図し１：手作業
によっており大変面倒である。本発明し１：この上うな
雪“高線の作図を自動化することを目的と１７でいる。
作図する装置に関する。通常等高線の作図し１：手作業
によっており大変面倒である。本発明し１：この上うな
雪“高線の作図を自動化することを目的と１７でいる。
本発明Ｑ；ｊ、試料面に格子点を設定して各格子点にお
ける被測定［１１−の値を採取１〜、単位格子を囲む複
数の測定データを用いて等高線を決定するようにしたこ
とを！１４徴とする等高線作図装置を提供するもので、
０る１、以下実施例によって本発明を説明するＣ・ 第１−図は試料面を示し、矢印で示すようにＸ方向及び
Ｘ方向を定め、測定装置ばＸ方向の走査練成 に渚い一定間隔ΔＩでＸ方向走査を繰返し、Δりの間隔
ＩＵに測定値をサンプリングしてメモリに記憶させる。
ける被測定［１１−の値を採取１〜、単位格子を囲む複
数の測定データを用いて等高線を決定するようにしたこ
とを！１４徴とする等高線作図装置を提供するもので、
０る１、以下実施例によって本発明を説明するＣ・ 第１−図は試料面を示し、矢印で示すようにＸ方向及び
Ｘ方向を定め、測定装置ばＸ方向の走査練成 に渚い一定間隔ΔＩでＸ方向走査を繰返し、Δりの間隔
ＩＵに測定値をサンプリングしてメモリに記憶させる。
このようにして試料面には縦Δｙ、横ΔＸの学位格子を
並べた形で格子点が設定され、各格−ｒ点の測定値がメ
モリに記憶ぜ］〜められる。
並べた形で格子点が設定され、各格−ｒ点の測定値がメ
モリに記憶ぜ］〜められる。
実際問題と１〜てｉｒｌ、ΔＸ・−Δｙとして単位格子
を正方形にするのが便オ］１である。或は第２図に示ず
」：うにΔＸ 、ｌ−ΔＹの関係を とＩ〜、一つの×方向走査線における測定値サンプリン
グ点と次の走査線における測定値ザンプリング点とをス
方向にΔＸ ／ ２だけずらぜると格子は三角格−ｒ、
）：なｌ：）−１ｌ’１位格子は正三角形となる。第２
図に」、・いて１１可〃格子と１７で斜線を入れた平行
四辺形を採用することも理論的にに＋、可能である。
を正方形にするのが便オ］１である。或は第２図に示ず
」：うにΔＸ 、ｌ−ΔＹの関係を とＩ〜、一つの×方向走査線における測定値サンプリン
グ点と次の走査線における測定値ザンプリング点とをス
方向にΔＸ ／ ２だけずらぜると格子は三角格−ｒ、
）：なｌ：）−１ｌ’１位格子は正三角形となる。第２
図に」、・いて１１可〃格子と１７で斜線を入れた平行
四辺形を採用することも理論的にに＋、可能である。
第３図１１、四辺形のｒ）′１位格子を用いる場合を説
明する図で、縦１ｌｌｌｌｌＺＣｊ：測定値であり、ａ
％ ｄは一つのｒｌ薯）７格子を囲むイイ１子点在・
示１ッ、同時に各格子点の測５５１値をも示す。隣合う
格子点間の測定値の変化を各格子点の測定値を結ぶ直線
で近似し、この直線が等高線を引くべき測定値のレベル
と交わる点の１・ｌｉ標を３’、Ｉ出する１、一つのｒ
’、′ｌ−位格子を構成する辺上に１．・いて同レベル
に相当する点に、必ず対をな（〜でいるので、各文・１
をつなぐ直線イ１口、・・、ニーηが等高線であり、そ
の水平面への投影イｌ〜二１が図１−の等高線となる。
明する図で、縦１ｌｌｌｌｌＺＣｊ：測定値であり、ａ
％ ｄは一つのｒｌ薯）７格子を囲むイイ１子点在・
示１ッ、同時に各格子点の測５５１値をも示す。隣合う
格子点間の測定値の変化を各格子点の測定値を結ぶ直線
で近似し、この直線が等高線を引くべき測定値のレベル
と交わる点の１・ｌｉ標を３’、Ｉ出する１、一つのｒ
’、′ｌ−位格子を構成する辺上に１．・いて同レベル
に相当する点に、必ず対をな（〜でいるので、各文・１
をつなぐ直線イ１口、・・、ニーηが等高線であり、そ
の水平面への投影イｌ〜二１が図１−の等高線となる。
上述したようにして単位格子の各辺１ユの等高線との交
点の座標が算出されると、ｘｙプロッターを制御して紙
面上の上記単イ＼ン格子相゛【賀゛■分に等高純の一部
を画かせる。以上の動イ′［を順次隣の単位格子へと進
めて行くことに」８つて試わ面全体についての１ｌｌｌ
ｌ定値の分布の等高純が画き出される。
点の座標が算出されると、ｘｙプロッターを制御して紙
面上の上記単イ＼ン格子相゛【賀゛■分に等高純の一部
を画かせる。以上の動イ′［を順次隣の単位格子へと進
めて行くことに」８つて試わ面全体についての１ｌｌｌ
ｌ定値の分布の等高純が画き出される。
一般に一つの単位格子を囲む辺」−で同じレベルの点シ
ー１、− 勾たり見出されるが、場合によっては２★・
１見出されるＩ場合かある。第４図に示すような場合で
、このとき測定値はａｃを結ぶ線を尾根とする形の分布
であるかｂ ｃ］を谷とする形の分布であるか、との−
ｉ１′ｌ、 （）、’７格子だけのデータでは決定でき
ない。そし７てＲ，Ｃを尾根とするかｂ ｄを谷とする
かで痔高ｉｉ：＋１ｉ ＆−，１、実線のようにも点線
のようにも引ける。
ー１、− 勾たり見出されるが、場合によっては２★・
１見出されるＩ場合かある。第４図に示すような場合で
、このとき測定値はａｃを結ぶ線を尾根とする形の分布
であるかｂ ｃ］を谷とする形の分布であるか、との−
ｉ１′ｌ、 （）、’７格子だけのデータでは決定でき
ない。そし７てＲ，Ｃを尾根とするかｂ ｄを谷とする
かで痔高ｉｉ：＋１ｉ ＆−，１、実線のようにも点線
のようにも引ける。
この問題ｄ：このＡ１位格子に隣接するｒ１＋位格子に
おける同レベルの等高純の方向により刊１祈１〜、等高
線の屈曲が少なくなる方向を選んで等高純を引けばよい
。
おける同レベルの等高純の方向により刊１祈１〜、等高
線の屈曲が少なくなる方向を選んで等高純を引けばよい
。
単位格子として三角形を採用する場合も第３図で説明し
たのと同じ演算処理で？１′ｌ−位格子ブσに等高純を
決定し、紙上に画き出Ｉ〜で行くことができる。
たのと同じ演算処理で？１′ｌ−位格子ブσに等高純を
決定し、紙上に画き出Ｉ〜で行くことができる。
との場合でも第４図について説明ｌ〜だのと同じ問題が
起る。三角格子の場合、一つのｌｌｉ （☆格子におい
て同じレベルの点が４点見出されること１：ないが、第
５図に示すように二つの一部）′１位格子をつないだ場
合同じレベルの点が４点見出される可能１′１があり、
従って上側の単位格子における２点α、βを直ちに結ん
で等高純の一部とすることはできない。そこで第６図の
ように一つの単位格子Ａの周囲に３個の単位格子Ｂ、
Ｃ，Ｄを採る。そうすると中央の格子Ａにおいて成る
レベルの２点と同レベルの点が周囲の格子辺上に４．・
いて必ず２点或は４点見出される。第６図で白丸がこれ
らの点であ臣 シ、この場合これらの６点は図Ａ線のように結ぶ５− のｋｌ、無理があると判断できる。
起る。三角格子の場合、一つのｌｌｉ （☆格子におい
て同じレベルの点が４点見出されること１：ないが、第
５図に示すように二つの一部）′１位格子をつないだ場
合同じレベルの点が４点見出される可能１′１があり、
従って上側の単位格子における２点α、βを直ちに結ん
で等高純の一部とすることはできない。そこで第６図の
ように一つの単位格子Ａの周囲に３個の単位格子Ｂ、
Ｃ，Ｄを採る。そうすると中央の格子Ａにおいて成る
レベルの２点と同レベルの点が周囲の格子辺上に４．・
いて必ず２点或は４点見出される。第６図で白丸がこれ
らの点であ臣 シ、この場合これらの６点は図Ａ線のように結ぶ５− のｋｌ、無理があると判断できる。
一般論と１〜て７）′１位格子の大きさに比ｊ〜測定値
の変化がゆるやかなとき回、各１１’、を位格子毎に等
高純を定めて」：＜、第４図で説明したような問題は起
らない。測定値の変化率が大きいときは第４図の問題が
牛するので隣接格子のデータを参照する必要がある。こ
の場合７１′１位格子とｌ〜で四辺形を用いる場合はそ
の周囲の４個の単位格子を参照する必要があり演算上用
いられる格子点の数は全部で］２個になるが、三角格子
を用いるときは６個の格子点のデータを用いればよいか
ら演算処理が簡単になる。
の変化がゆるやかなとき回、各１１’、を位格子毎に等
高純を定めて」：＜、第４図で説明したような問題は起
らない。測定値の変化率が大きいときは第４図の問題が
牛するので隣接格子のデータを参照する必要がある。こ
の場合７１′１位格子とｌ〜で四辺形を用いる場合はそ
の周囲の４個の単位格子を参照する必要があり演算上用
いられる格子点の数は全部で］２個になるが、三角格子
を用いるときは６個の格子点のデータを用いればよいか
ら演算処理が簡単になる。
第°何・ソ１は不発間装＃で１の一実施例の構成を示す
ブロック図である。」−ｄ：試別、２は測定装置で試料
面をＸ、１両方向に走査できる。測定装置が走査運動を
１」う代りに試オニ１の方をＸ、１両方向に往復させて
イ、」：い。３は制御装置で上述した走査運動を制御す
ると共に測定装置２の測定点が試料土の格子点に相当す
る位置を通過する度に制御装置３は−リーンプリング信
号を出して測定装置２の出力をサンプリングしてＡ−Ｄ
変換器４に人力さ一１ｊ−１Ａ−り変換された測定値を
メモリ５の格子点夕・１応アドレスに記憶さぜる。即ち
この実施例でｔ−］メ：１′、−リ５は格子点の座標デ
ータＵ１、；；１４憶する必］）３：がなく、走査順序
に従ってメモリのアドレスを指つｊテすることに」二つ
て格子点の座標の記憶に代えている。この場合格子ピッ
チが一定で制御装置３けそれを記憶しており、メモリの
アドレスから格子；ｉ’ｊのＩ’１４ Ｊ：Ｍｉを算出
する。６ばＸＹブロック−て試才１−１の表向の測定が
完了しだら制御装置３←１、前ｊ・（（（〜た（（（算
を各単位格子につき順次実行１〜てｘｙプ「１ツク−６
を制御し単位格子ＩＴｆに等高純を画いて行く。
ブロック図である。」−ｄ：試別、２は測定装置で試料
面をＸ、１両方向に走査できる。測定装置が走査運動を
１」う代りに試オニ１の方をＸ、１両方向に往復させて
イ、」：い。３は制御装置で上述した走査運動を制御す
ると共に測定装置２の測定点が試料土の格子点に相当す
る位置を通過する度に制御装置３は−リーンプリング信
号を出して測定装置２の出力をサンプリングしてＡ−Ｄ
変換器４に人力さ一１ｊ−１Ａ−り変換された測定値を
メモリ５の格子点夕・１応アドレスに記憶さぜる。即ち
この実施例でｔ−］メ：１′、−リ５は格子点の座標デ
ータＵ１、；；１４憶する必］）３：がなく、走査順序
に従ってメモリのアドレスを指つｊテすることに」二つ
て格子点の座標の記憶に代えている。この場合格子ピッ
チが一定で制御装置３けそれを記憶しており、メモリの
アドレスから格子；ｉ’ｊのＩ’１４ Ｊ：Ｍｉを算出
する。６ばＸＹブロック−て試才１−１の表向の測定が
完了しだら制御装置３←１、前ｊ・（（（〜た（（（算
を各単位格子につき順次実行１〜てｘｙプ「１ツク−６
を制御し単位格子ＩＴｆに等高純を画いて行く。
等高純を自動的に画く方法と１〜で次のようなものが用
いられている。測定値を適尚にランク分けし、記録紙上
の格子点対応点にこのランク分けされた測定値を印字し
、同一数字で」！１１められている領域の周辺をつない
て等高純とする方υ、である。
いられている。測定値を適尚にランク分けし、記録紙上
の格子点対応点にこのランク分けされた測定値を印字し
、同一数字で」！１１められている領域の周辺をつない
て等高純とする方υ、である。
この方法は格子の一ピツチ間の測定（ｊ１′１の変化が
一ランクの変化より小さいような場合にＣ−１，実用性
のある方法である。１〜かしこの方法でｉｃｌ、格子の
一ピッチの間の測定値の変化が一うンク以」−であるよ
うな変動率の大きな分布に外っている場合には連続１２
／こ等高純が画けない。本発明は単位格子の格子点のデ
ータを用いて内挿法により等高純を決めるので、−格子
ピッチの間の測定値の変化が数ランクにわたってイ）連
続１〜だ等高純を画くことができるのである。
一ランクの変化より小さいような場合にＣ−１，実用性
のある方法である。１〜かしこの方法でｉｃｌ、格子の
一ピッチの間の測定値の変化が一うンク以」−であるよ
うな変動率の大きな分布に外っている場合には連続１２
／こ等高純が画けない。本発明は単位格子の格子点のデ
ータを用いて内挿法により等高純を決めるので、−格子
ピッチの間の測定値の変化が数ランクにわたってイ）連
続１〜だ等高純を画くことができるのである。
第１図は試ｆ’１面上の格子の一例の平面図、第２図（
１′：１．試℃１上の他の格子の一例の平面図、第３図
は四辺形格子を用いる場合の等高純決定を説明するクラ
ン、第４−図ｒ１、舌高純を決定できない場合を説明す
るクラン、第５図は三角格子で等高純を決定でき４二い
Ｊ場合を示すイ面図、第６図は複数の三角格子を用いる
（η高純の決定を説明する平面図、第Ｖ図Ｖ１、本発明
の一実施例装置のブロック図である。 」・・・試料、２・・・測定装置、３・・制御装置、４
・・・Ａ、 、−１）変換器、５・・・メモリ、６・・
・ＸＹプロッター。
１′：１．試℃１上の他の格子の一例の平面図、第３図
は四辺形格子を用いる場合の等高純決定を説明するクラ
ン、第４−図ｒ１、舌高純を決定できない場合を説明す
るクラン、第５図は三角格子で等高純を決定でき４二い
Ｊ場合を示すイ面図、第６図は複数の三角格子を用いる
（η高純の決定を説明する平面図、第Ｖ図Ｖ１、本発明
の一実施例装置のブロック図である。 」・・・試料、２・・・測定装置、３・・制御装置、４
・・・Ａ、 、−１）変換器、５・・・メモリ、６・・
・ＸＹプロッター。
Claims (4)
- （１）試料面に格子点を設定して各格子点における被測
定量を測定する手段と、同手段によって得られた各格子
点における測定値とその格子点のＪ’ｌ’標とを記憶す
るメモリと、同メモリからＱｉ位格子を囲む格子点のデ
ータを読出１〜、同単位格子の各辺について等高線と交
わるべき点の位置をその辺の両端の格子点のデータから
内挿法によって算出する演算と、記録紙上において上記
単位格子の各辺上において対をなす同高の点の位置を結
ぶ」：うに線引き動作の制御を行う制御回路とよりなる
等高線作図装置。 - （２）単位格子が四辺形である特許請求の範囲第］。 項記載の等高線作図装置。
- （３）単位格子が三角形である！１ｈ゛許請求の範囲第
１項記載の等高線作図装置。 - （４）一つの単位格子に隣接する複数の（１ｊ （、：
、格子に１一 ついて上記一つの７１ｊ位格子について行ったのと同じ
演算を行い、その結果を参照して上記一つの単位格子に
」、−ける各辺上の対をなす同高の点を結ぶ線の方向を
決定するようにした特許請求の範囲第２項又は第３項記
載の等高線作図装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13585881A JPS5837682A (ja) | 1981-08-29 | 1981-08-29 | 等高線作図装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13585881A JPS5837682A (ja) | 1981-08-29 | 1981-08-29 | 等高線作図装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5837682A true JPS5837682A (ja) | 1983-03-04 |
| JPH0136578B2 JPH0136578B2 (ja) | 1989-08-01 |
Family
ID=15161411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13585881A Granted JPS5837682A (ja) | 1981-08-29 | 1981-08-29 | 等高線作図装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5837682A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60207973A (ja) * | 1984-03-31 | 1985-10-19 | Jeol Ltd | 画像の等高線描画方法 |
| JPS61265674A (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-25 | Horiba Ltd | 等値線図の作成方法 |
| JPS6282473A (ja) * | 1985-10-07 | 1987-04-15 | Jeol Ltd | ２次元強度デ−タの等高線描画方式 |
| JPS6288065A (ja) * | 1985-10-14 | 1987-04-22 | Jeol Ltd | 分析用２次元強度デ−タの等高線出力装置 |
| US10049858B2 (en) | 2013-05-09 | 2018-08-14 | Mattson Technology, Inc. | System and method for protection of vacuum seals in plasma processing systems |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5033891A (ja) * | 1973-07-25 | 1975-04-01 |
-
1981
- 1981-08-29 JP JP13585881A patent/JPS5837682A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5033891A (ja) * | 1973-07-25 | 1975-04-01 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60207973A (ja) * | 1984-03-31 | 1985-10-19 | Jeol Ltd | 画像の等高線描画方法 |
| JPH0227707B2 (ja) * | 1984-03-31 | 1990-06-19 | Nippon Electron Optics Lab | |
| JPS61265674A (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-25 | Horiba Ltd | 等値線図の作成方法 |
| JPS6282473A (ja) * | 1985-10-07 | 1987-04-15 | Jeol Ltd | ２次元強度デ−タの等高線描画方式 |
| JPS6288065A (ja) * | 1985-10-14 | 1987-04-22 | Jeol Ltd | 分析用２次元強度デ−タの等高線出力装置 |
| US10049858B2 (en) | 2013-05-09 | 2018-08-14 | Mattson Technology, Inc. | System and method for protection of vacuum seals in plasma processing systems |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0136578B2 (ja) | 1989-08-01 |
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