SU1205206A1 - Способ измерени геометрических параметров электронного пучка с регулируемыми размерами сечени - Google Patents
Способ измерени геометрических параметров электронного пучка с регулируемыми размерами сечени Download PDFInfo
- Publication number
- SU1205206A1 SU1205206A1 SU843764357A SU3764357A SU1205206A1 SU 1205206 A1 SU1205206 A1 SU 1205206A1 SU 843764357 A SU843764357 A SU 843764357A SU 3764357 A SU3764357 A SU 3764357A SU 1205206 A1 SU1205206 A1 SU 1205206A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- section
- cross
- sides
- sensors
- size
- Prior art date
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
Ut
Изобретение откоситс к изыере-: и контролю параметров злектрои1;о -о; тических систем (ЭОС) к можеч быть исгюльэоваью, например, п нэнгша- ПИЯ и калибровки ппракетрон ;ОС ус I-1OBOK электронолитографин аэориогс типа с злектро И1Ь1Т. пучком цр моугчх; ного сечени измен емых рлзмсроп.
Цель изо
i-iocTH и сокращение временз- при единовременком упрошен: ;- лени мишени с измери гзльль ; ами -iia Озмой;и ПИЯ более нрот же иьппени отношени значительного мер емых nai)a: . «аний к точно( ч икс в,.
На чертеже лени парамет
Пустт с n()
лов 5 нодл ваемых па. {К .; з- 1)атна форма течени лучк; чок ориена ир( на мишен и вторым датчиками 2 и 3 i тока электронов кзмет мента. Области да ; чит icpbroacMbic сучком,, заштрихова
Обычно к(5нструк1ди ЭОС ее /зает регулитюванис размерот; зтучка таким оГкзазс м, -; i ; од - левых точек сс енин, иаприме О, остаетс неподвижной j т т другие уг ловые точки -
контуры с (инией ч , тзиикающк
т и д а 1
иг нал/ уменьшени . етрот и CHJ ти coMe rpt
иоказаиа С5
И
В идеальном с: i у ч а - лучка опредал юч С; в ел ед с т гз и е .-JLUM б о к фо ркиров а н ИИ тгу ч:к; ни могут, наприкг вать линии Ь,
Опыт зксдлуата графических что наиболее ошибок 5 возникающих при форкиро :;-;- электронного пучка: механический (- электронно-онтический разворо - на угол oL одной части реальногс- жени с вершиной в точке О j /-oi-;тельно другой части этого же изобржени с вершиной в точке 0; масштаное несоответствие между заданными и фактическими размерами сечени ,, вызванное неточностью настройки регулирующих элементов в системе у равлени ; начальное смещение размеров сечени , вызванное погрешност взаимной фиксации диафрагм, а такж
, ьгЧь. / )Цсч-Ч т ,.2)
ие 1;уммарньгй сигнал,, пропор- 1гиональный нлощади сечени н:учка ; x;Vv
j.
сигнал от датчика 3; X,( , X j )- координаты, опредсл юшие положение датчика 2; координаты, определ ющие положение датчика 3; средн плотнос.ть тока в
пучке;
а Of.
0,02 - ширина полос датчиков.
Способ предполагает Е арьирова- ние каждого из размеров L, L,. двух уровн х: нижнем, при котором заданный размер сечени пучка ранен А, и верхнем, при котором заданный размер сечени пучка равен 2А. Каждому из четырех возможных сочетаний размеров можно поставить в соответствие двойные индексы При обозначени х сигналов: перва цифра индекса указывает па уровень размера L, втора - на уровень размера L, причем цифрой 1 обозначаетс нижний, а цифрой 2 - верхний уровень варьировани .
Учитыва (1) и (2), получим:
(I) (I) .л
2Г9н JoO.,,
.,m,At,
,f
г1 Гц
q (i) q - i) ; j i3 : Va, с
Отсюда следует, что
. .
л )
()q f) t lz ii
Таким образом, угол с определ етс отношением приращений сигналов от первого и второго измерительных элементов при варьировании размера с(.-. Важно отметить, что отношение не зависит от абсолютного значени плот}юсти тока J , благ о- дар чему исключаетс в.чи ние нестабильности этого нараметра и ошибок его измерени на точность определени .
Из соотношений (1) можно установить , что
; Q
,+
варьировани размера L,(,2);
- соответствующий масштаб ный к о э ффи ци е и т;
- соответствующее начальное смещение.
,,S,,-S
1 2
- j,,m,t-nj А (61
На осповаг1ии выражений (З) и (6) Предел ютс) масштабные коэффициенты о, д5„, Д5,
.
i-i i.
с iTrTTir
1 А q ( 1- л I l fii т ч
t.
(7) Из выражений (2) и (5) следуют соS ,,, -s,,, - ли.-J,, 1-1 г i- /i m ; АЦ с) 1 S, - 5, л5с.: (lz 1 t jc - /7 miAtqot),
(8)
;;рЕ обр;1зу которые можно получить:
/О
: / -1 bi 1 Cos оС- 51 ы. s; н л ; А iSo /
rii / ,.cc, Vi S HoL.
А I, Л So
(9)
)
т а ,(
ь30
35
50
55
Величины iA , л,, представл ют собой начальные смещени размеров пучка в сис:теме координат Х ОХ , повернутой относительно исходной на угол . Оси этой си стемы совпадают, со
стороны подвижного изображени с 1
вершиной в точке О ,
Величи гы а . г определ ютс обратным преобразованием координат U.-, a Coscil-Ck Sintv; а-, а,Ч.п( . (10)
Все операции способа легко авто- .тизируютс с помощью системы управлени , вход щей в состав злектро- но.пмтографической установки (ЭЛУ) . Ири Э1О;- ь:е требуетс дополнительно о оборудова; Я. так как в системах управлени установками данного класса обычно имеетс ЭВМ с устрой- стваь:и вт5ода---вывода аналоговых. сиг налов н програ ;мньп 5, обеспечением, позвол ющим производить необходи Л е вычислени .
Например; способ, основанный, на использованн специально изготовленной мишени, располагаемой на координатном столе Э.Ш вблизи одной из границ рабочего пол перемещени стола, осуществл етс следующим образом,
Практически требуемые размеры зоны Д-л размещен1-- мишени не пре- BbDjjaroT К . Они определ ютс
Claims (1)
- СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА С РЕГУЛИРУЕМЫУШ РАЗМЕРАМИ СЕЧЕНИЯ, включающий облучение мишени с измерительным элементом в виде датчиков прямого потока электронов и определение параметров формы сечения пучка по совокупности сигналов с датчиков 3 отличающийся тем, что, с целью повышения точности при сокращении времени измерений, электронный пучок направляют на датчики в виде двух взаимно перпендикулярных и параллельных двум сторонам сечения пучка полос, ширина 1 и каждой из которых не превышает половины максимальной длины сторон сечения пучка, с помощью управляющих сигналов электронно-оптической системы задают исходную квадратную форму пучка со стороной размером А 3 соответствующим середине диапазона регулирования размеров сечения, затем при неподвижной одной из угловых точек сечения поочередно увеличивают в два. раза размер каждой из сторон и обеих вместе и для каждого из сочетаний размеров сторон сечете рв о чк аСУ <а,. a η .3 7Е) ? и уровень сумдрцметры формы ;112 Sih X;значении размера и j —м значенииSU ... 1205206
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843764357A SU1205206A1 (ru) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | Способ измерени геометрических параметров электронного пучка с регулируемыми размерами сечени |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843764357A SU1205206A1 (ru) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | Способ измерени геометрических параметров электронного пучка с регулируемыми размерами сечени |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1205206A1 true SU1205206A1 (ru) | 1986-01-15 |
Family
ID=21128138
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU843764357A SU1205206A1 (ru) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | Способ измерени геометрических параметров электронного пучка с регулируемыми размерами сечени |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1205206A1 (ru) |
-
1984
- 1984-07-11 SU SU843764357A patent/SU1205206A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 904256, кл. Н 01 J 37/00, 1978, Патент DD № 015-2022, кл. Н 01 J 3/00, опублик. 1981. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0178090A1 (en) | Volume determination process | |
EP0085951B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung von Messgrössen | |
Frolov et al. | The accuracy of area measurement by point counting techniques | |
CN110598239B (zh) | 基于轨行区点云大数据的应用方法 | |
Lane | Correction terms for calculating surface tension from capillary rise | |
SU1205206A1 (ru) | Способ измерени геометрических параметров электронного пучка с регулируемыми размерами сечени | |
EP0328694A4 (en) | Non-contact profiling method | |
SE8106958L (sv) | Sett och anordning for provning av overensstemmelse mellan sikt- och riktlinjer | |
GB2165946A (en) | Measuring straightness and flatness | |
US5083378A (en) | Two dimensional vernier | |
CN106247945A (zh) | 一种位置探测器及其探测方法 | |
US4019034A (en) | Method for determining the interior shape of spherical tanks for the computation of the liquid volume of the tanks, and device for carrying out the method | |
US1990040A (en) | Perspective drawing instrument | |
JPH0136578B2 (ru) | ||
Grew et al. | A method of measuring human body shape and movement—the ‘vector stereograph’ | |
JP3205030B2 (ja) | 指針式指示計器の自動調整方法 | |
US3087247A (en) | Determining reference plane for surface plate inspection | |
US3255528A (en) | Measuring device | |
US3450475A (en) | Apparatus for producing differentially rectified orthogonal picture plan of spatial objects | |
SU993001A1 (ru) | Способ измерени линейных размеров тел | |
US3352014A (en) | Optical method of hull measurement | |
Drummond et al. | The Compulallon of Dimensions in Planigraphy with Mathematical Instruments | |
RU1837155C (ru) | Устройство дл графического изображени профил деталей | |
SU744617A1 (ru) | Вычислительный прибор дл определени параметров интервала радиорелейных линий | |
US4712308A (en) | Measurement method and apparatus |