SU1205206A1 - Способ измерени геометрических параметров электронного пучка с регулируемыми размерами сечени - Google Patents

Description

Ut

Изобретение откоситс  к изыере-: и контролю параметров злектрои1;о -о; тических систем (ЭОС) к можеч быть исгюльэоваью, например,  п  нэнгша- ПИЯ и калибровки ппракетрон ;ОС ус I-1OBOK электронолитографин  аэориогс типа с злектро И1Ь1Т. пучком цр моугчх; ного сечени  измен емых рлзмсроп.

Цель изо

i-iocTH и сокращение временз- при единовременком упрошен: ;- лени  мишени с измери гзльль ; ами -iia Озмой;и ПИЯ более нрот же иьппени  отношени  значительного мер емых nai)a: . «аний к точно( ч икс в,.

На чертеже лени  парамет

Пустт с n()

лов 5 нодл ваемых па. {К .; з- 1)атна  форма течени  лучк; чок ориена ир( на мишен и вторым датчиками 2 и 3 i тока электронов кзмет мента. Области да ; чит icpbroacMbic сучком,, заштрихова

Обычно к(5нструк1ди  ЭОС ее /зает регулитюванис размерот; зтучка таким оГкзазс м, -; i ; од - левых точек сс енин, иаприме О, остаетс  неподвижной j т т другие уг ловые точки -

контуры с (инией ч , тзиикающк

т и д а 1

иг нал/ уменьшени . етрот и CHJ ти coMe rpt

иоказаиа С5

И

В идеальном с: i у ч а - лучка опредал юч С; в ел ед с т гз и е .-JLUM б о к фо ркиров а н ИИ тгу ч:к; ни  могут, наприкг вать линии Ь,

Опыт зксдлуата графических что наиболее ошибок 5 возникающих при форкиро :;-;- электронного пучка: механический (- электронно-онтический разворо - на угол oL одной части реальногс- жени  с вершиной в точке О j /-oi-;тельно другой части этого же изобржени  с вершиной в точке 0; масштаное несоответствие между заданными и фактическими размерами сечени ,, вызванное неточностью настройки регулирующих элементов в системе у равлени ; начальное смещение размеров сечени , вызванное погрешност  взаимной фиксации диафрагм, а такж

, ьгЧь. / )Цсч-Ч т ,.2)

ие 1;уммарньгй сигнал,, пропор- 1гиональный нлощади сечени  н:учка ; x;Vv

j.

сигнал от датчика 3; X,( , X j )- координаты, опредсл юшие положение датчика 2; координаты, определ ющие положение датчика 3; средн   плотнос.ть тока в

пучке;

а Of.

0,02 - ширина полос датчиков.

Способ предполагает Е арьирова- ние каждого из размеров L, L,. двух уровн х: нижнем, при котором заданный размер сечени  пучка ранен А, и верхнем, при котором заданный размер сечени  пучка равен 2А. Каждому из четырех возможных сочетаний размеров можно поставить в соответствие двойные индексы При обозначени х сигналов: перва  цифра индекса указывает па уровень размера L, втора  - на уровень размера L, причем цифрой 1 обозначаетс  нижний, а цифрой 2 - верхний уровень варьировани  .

Учитыва  (1) и (2), получим:

(I) (I) .л

2Г9н JoO.,,

.,m,At,

,f

г1 Гц

q (i) q - i) ; j i3 : Va, с

Отсюда следует, что

. .

л )

()q f) t lz ii

Таким образом, угол с определ етс  отношением приращений сигналов от первого и второго измерительных элементов при варьировании размера с(.-. Важно отметить, что отношение не зависит от абсолютного значени  плот}юсти тока J , благ о- дар  чему исключаетс  в.чи ние нестабильности этого нараметра и ошибок его измерени  на точность определени  .

Из соотношений (1) можно установить , что

; Q

,+

варьировани  размера L,(,2);

- соответствующий масштаб ный к о э ффи ци е и т;

- соответствующее начальное смещение.

,,S,,-S

1 2

- j,,m,t-nj А (61

На осповаг1ии выражений (З) и (6) Предел ютс) масштабные коэффициенты о, д5„, Д5,

 .

i-i i.

с iTrTTir

1 А q ( 1- л I l fii т ч

t.

(7) Из выражений (2) и (5) следуют соS ,,, -s,,, - ли.-J,, 1-1 г i- /i m ; АЦ с) 1 S, - 5, л5с.: (lz 1 t jc - /7 miAtqot),

(8)

;;рЕ обр;1зу  которые можно получить:

/О

: / -1 bi 1 Cos оС- 51 ы. s; н л ; А iSo /

rii / ,.cc, Vi S HoL.

А I, Л So

(9)

)

т а ,(

ь30

35

50

55

Величины iA , л,, представл ют собой начальные смещени  размеров пучка в сис:теме координат Х ОХ , повернутой относительно исходной на угол . Оси этой си стемы совпадают, со

стороны подвижного изображени  с 1

вершиной в точке О ,

Величи гы а . г определ ютс  обратным преобразованием координат U.-, a Coscil-Ck Sintv; а-, а,Ч.п( . (10)

Все операции способа легко авто- .тизируютс  с помощью системы управлени , вход щей в состав злектро- но.пмтографической установки (ЭЛУ) . Ири Э1О;- ь:е требуетс  дополнительно о оборудова; Я. так как в системах управлени  установками данного класса обычно имеетс  ЭВМ с устрой- стваь:и вт5ода---вывода аналоговых. сиг налов н програ ;мньп 5, обеспечением, позвол ющим производить необходи Л е вычислени .

Например; способ, основанный, на использованн специально изготовленной мишени, располагаемой на координатном столе Э.Ш вблизи одной из границ рабочего пол  перемещени  стола, осуществл етс  следующим образом,

Практически требуемые размеры зоны Д-л  размещен1--  мишени не пре- BbDjjaroT К . Они определ ютс 

Claims (1)

1. СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА С РЕГУЛИРУЕМЫУШ РАЗМЕРАМИ СЕЧЕНИЯ, включающий облучение мишени с измерительным элементом в виде датчиков прямого потока электронов и определение параметров формы сечения пучка по совокупности сигналов с датчиков ₃ отличающийся тем, что, с целью повышения точности при сокращении времени измерений, электронный пучок направляют на датчики в виде двух взаимно перпендикулярных и параллельных двум сторонам сечения пучка полос, ширина ¹ и каждой из которых не превышает половины максимальной длины сторон сечения пучка, с помощью управляющих сигналов электронно-оптической системы задают исходную квадратную форму пучка со стороной размером А ₃ соответствующим середине диапазона регулирования размеров сечения, затем при неподвижной одной из угловых точек сечения поочередно увеличивают в два. раза размер каждой из сторон и обеих вместе и для каждого из сочетаний размеров сторон сечете рв о чк а

   СУ <

   а,. a η .3 ⁷Е) ? и уровень сумдрцметры формы ^;112 Sih X;

   значении размера и j —м значении

   SU ... 1205206