JPS5831607A - 弾性表面波装置の製造方法 - Google Patents
弾性表面波装置の製造方法Info
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- JPS5831607A JPS5831607A JP12975881A JP12975881A JPS5831607A JP S5831607 A JPS5831607 A JP S5831607A JP 12975881 A JP12975881 A JP 12975881A JP 12975881 A JP12975881 A JP 12975881A JP S5831607 A JPS5831607 A JP S5831607A
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/08—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ヒの発明は、縦貌普銃畜れえ複数ｅインターディジタル
電極からなる）ツンスデ、−すを有する弾性表面波装置
ＯＳ造方法に係シ、轡にインターディジタル電極を構成
するくし形電極間の短絡部を除去する方法に関する。
電極からなる）ツンスデ、−すを有する弾性表面波装置
ＯＳ造方法に係シ、轡にインターディジタル電極を構成
するくし形電極間の短絡部を除去する方法に関する。
弾性表面波装置では一般に、第１１１１に示すように２
Ｅ電体基板ｌ上にインターディジタル電極２を形成して
、電気信号−弾性表面波変換用のトランスデ、−すを構
成する・インターディジタル電極１は、圧電体基１［１
上に真空蒸着法によって形！Ｉｔされ九アル電膜等の金
属膜をホトエツチンダすることによって外戚され、七Ｏ
Ｉ１幅ωは基板１上の弾性表買波伝搬遮直をｆ（ｗ′＠
・・）′、使用周波数を／（Ｈａ）とすると。
Ｅ電体基板ｌ上にインターディジタル電極２を形成して
、電気信号−弾性表面波変換用のトランスデ、−すを構
成する・インターディジタル電極１は、圧電体基１［１
上に真空蒸着法によって形！Ｉｔされ九アル電膜等の金
属膜をホトエツチンダすることによって外戚され、七Ｏ
Ｉ１幅ωは基板１上の弾性表買波伝搬遮直をｆ（ｗ′＠
・・）′、使用周波数を／（Ｈａ）とすると。
ω社−Ｘｋ（ｍ）
！
（ンリＶド電極構造の場合に一１／４．スデリ。
Ｆ電極構造０場合ｋ −１／ｓ）に設定される０例えば
圧電体基板１の材料２して一般に用いられていゐＬ％Ｎ
ｈｏ、中ＬｉＴａＯ５では！−８５００（１ｍ／Ｉ＠＠
）前後であるから、／ ＝ １００ （ｌｆｆ１ｇ）
帯の弾性表面波装置のトランスデ、−すをソリ、ド電極
構造Ｏイ／ターディジタル電極で構成すゐと、インター
ディジタル電極は纏＠がω塵８．γ６（＾ｍ）と極めて
黴細な形状となる。
圧電体基板１の材料２して一般に用いられていゐＬ％Ｎ
ｈｏ、中ＬｉＴａＯ５では！−８５００（１ｍ／Ｉ＠＠
）前後であるから、／ ＝ １００ （ｌｆｆ１ｇ）
帯の弾性表面波装置のトランスデ、−すをソリ、ド電極
構造Ｏイ／ターディジタル電極で構成すゐと、インター
ディジタル電極は纏＠がω塵８．γ６（＾ｍ）と極めて
黴細な形状となる。
このような黴細な形状において社、第１図に示しえよう
にインターディジタル電極を構成する一対ｏくし形電極
Ｊ ａ ４の間が、金属膜中ガラスマスクの不良によっ
て５の如く短絡されてしまう事故がしばしば生ずる。こ
のような短絡部Ｉがあると、インターディジタル電極２
によって構成されゐトランスデユー伊の変換効率が極端
に減少し、入力トツンスデ、−す中出力トツンスデ、−
サとしての正常な動作が期待で會なくなる。
にインターディジタル電極を構成する一対ｏくし形電極
Ｊ ａ ４の間が、金属膜中ガラスマスクの不良によっ
て５の如く短絡されてしまう事故がしばしば生ずる。こ
のような短絡部Ｉがあると、インターディジタル電極２
によって構成されゐトランスデユー伊の変換効率が極端
に減少し、入力トツンスデ、−す中出力トツンスデ、−
サとしての正常な動作が期待で會なくなる。
そζで、インターディジタル電極１をトランスデユーサ
として正しく動作させるべく、短絡部Ｉを除去すゐ方法
として、短絡部Ｉをレーデ光て鉤切為方法、ホトエＶチ
ンダにようて切〉離す方法等が知られてい為が、量寓性
を考慮す為と轡−昭器２１１１８８に一示電れている方
法が有効であゐ、これはくし形電極１．４間に信号人、
出力端子を通してｌｌｌＲ１１ｆＥを印加し、短絡１Ｉ
ＩＪを溶断貧しめる亀のである。
として正しく動作させるべく、短絡部Ｉを除去すゐ方法
として、短絡部Ｉをレーデ光て鉤切為方法、ホトエＶチ
ンダにようて切〉離す方法等が知られてい為が、量寓性
を考慮す為と轡−昭器２１１１８８に一示電れている方
法が有効であゐ、これはくし形電極１．４間に信号人、
出力端子を通してｌｌｌＲ１１ｆＥを印加し、短絡１Ｉ
ＩＪを溶断貧しめる亀のである。
しかし、ヒの方法はトツンメデ、−すが複数のインター
ディジタル電極を縦ｋＩＩＩＩＩｋシて橋威される場合
には、そＯ実施がｉｉａｍとなる０例えば実用的な弾性
貌面波共振子では、第２ｒｌｌＪＫ示すような構造がと
られる。第２図において、１０は圧電体基板で１Ｌ甲央
に入、出力トラｙメゾａ−−？ ２１ ａ １ ｊが配
置され、その両側にダレーティｙダ反射器１１ｅｘ４が
配置される。
ディジタル電極を縦ｋＩＩＩＩＩｋシて橋威される場合
には、そＯ実施がｉｉａｍとなる０例えば実用的な弾性
貌面波共振子では、第２ｒｌｌＪＫ示すような構造がと
られる。第２図において、１０は圧電体基板で１Ｌ甲央
に入、出力トラｙメゾａ−−？ ２１ ａ １ ｊが配
置され、その両側にダレーティｙダ反射器１１ｅｘ４が
配置される。
入、出力トラｙｘ！−−’ｆｌｌｅ１２は各々３個のイ
ンターディジタル電極を縦続綾絖したもので、各インタ
ーディジタル電極１！１１〜１１１゜１１１〜１１１の
一方ＯＷＬ形電極は共通電極２０を介して接地され、−
ＳＯダインーディジタル電極１１１．１１１Ｏ非１１１
地偽くし形電極はそれぞれ信号入力端子１−および信号
出力端子ＪＦＫＩＩ続′ｇｈている。ヒの櫂合、信号人
。
ンターディジタル電極を縦続綾絖したもので、各インタ
ーディジタル電極１！１１〜１１１゜１１１〜１１１の
一方ＯＷＬ形電極は共通電極２０を介して接地され、−
ＳＯダインーディジタル電極１１１．１１１Ｏ非１１１
地偽くし形電極はそれぞれ信号入力端子１−および信号
出力端子ＪＦＫＩＩ続′ｇｈている。ヒの櫂合、信号人
。
出力端子１６ｍ１Ｆを通して短絡８１１を溶断するため
の直流電圧を印加できるのは、インターディジタル電極
１１１１．１１１のみである・従って、インターディシ
ール電極Ｉ Ｊ ＃ 、 １１１に生じ九短絡部は溶断
できるが、他のインターディジタル電極Ｊ Ｊ Ｊ ＝
１１ Ｊ ｅ １ ｊ Ｊ ｓ ＩＩＩに生じた短絡
部状、そのくし形電極間に直流電圧が印加されないので
、溶断できない。
の直流電圧を印加できるのは、インターディジタル電極
１１１１．１１１のみである・従って、インターディシ
ール電極Ｉ Ｊ ＃ 、 １１１に生じ九短絡部は溶断
できるが、他のインターディジタル電極Ｊ Ｊ Ｊ ＝
１１ Ｊ ｅ １ ｊ Ｊ ｓ ＩＩＩに生じた短絡
部状、そのくし形電極間に直流電圧が印加されないので
、溶断できない。
これに対し、第３図に示す如く導電針Ｊ１＃Ｊｊの先端
をインターディジタル電極の各々のくし形電極に接触さ
せて直流電圧を印加すれば、全てのインターディジタル
電極の短絡部を溶断でセるが、ヒの方法は量産性に適さ
ず、ｔたインターディジタル電極の形状が小型になると
実施が困難である。
をインターディジタル電極の各々のくし形電極に接触さ
せて直流電圧を印加すれば、全てのインターディジタル
電極の短絡部を溶断でセるが、ヒの方法は量産性に適さ
ず、ｔたインターディジタル電極の形状が小型になると
実施が困難である。
この発明の目的は、トツンメデ、−１を構成する縦続接
続された複数のインターディジタルヒとに′Ｉりる。
続された複数のインターディジタルヒとに′Ｉりる。
ヒの発明は、縦続Ｉｉ！続された複数のインターディジ
タル電極のうち、信号人、出力端子に接続されない非接
地側くし形電極を補助端子に接続し、信号人、出力端子
に加えこの補助端子を併用して全てのインターディジタ
ル電極のくし形電極間に直流電圧を印加して、短絡部を
溶断せしめることを特徴としている。
タル電極のうち、信号人、出力端子に接続されない非接
地側くし形電極を補助端子に接続し、信号人、出力端子
に加えこの補助端子を併用して全てのインターディジタ
ル電極のくし形電極間に直流電圧を印加して、短絡部を
溶断せしめることを特徴としている。
従りて、この発明によれば信号入、出力端子の結線と同
様の１稠が若干増えるだけで所期の目的が達成されると
と４に、インターディジタル電極の形状が小形になって
も直流電ＦＥＯ印加が容易であ〉、量産性の向上を図る
ことができる利点がある。
様の１稠が若干増えるだけで所期の目的が達成されると
と４に、インターディジタル電極の形状が小形になって
も直流電ＦＥＯ印加が容易であ〉、量産性の向上を図る
ことができる利点がある。
以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。
第４図はこの発明の一実施例の短絡部溶断工程における
斜視図を示していゐ０図において、弾性表面波装置本体
は第２図で説明したのと同様、３つのインターディジタ
ル電極１１１〜′ １１３および１２１〜１２８を各々
縦続接続して人、出力トランスデ、−す１１．Ｊｌを構
成し、その両側にダレ−ティング反射ＩＩＭ２３ 。
斜視図を示していゐ０図において、弾性表面波装置本体
は第２図で説明したのと同様、３つのインターディジタ
ル電極１１１〜′ １１３および１２１〜１２８を各々
縦続接続して人、出力トランスデ、−す１１．Ｊｌを構
成し、その両側にダレ−ティング反射ＩＩＭ２３ 。
１４を配置した弾性表面波共振子であ夛、圧電体基板１
０は接地導体板４０上に載置固定されている。インター
ディジタル電極１１１〜１１Ｊ。
０は接地導体板４０上に載置固定されている。インター
ディジタル電極１１１〜１１Ｊ。
１２１〜ＺＸＳの各々の接地側くし形電極は共通電極２
０に共通接続され、共通電極１０はリード縁４Ｊ＆、４
１ｂｌＩＣよって接地導体板４０に接続されている。接
地導体板４０には、これと電気的に導通するように接地
端子４１が暖付けられる。
０に共通接続され、共通電極１０はリード縁４Ｊ＆、４
１ｂｌＩＣよって接地導体板４０に接続されている。接
地導体板４０には、これと電気的に導通するように接地
端子４１が暖付けられる。
一方、入、出力トランスデユーサ１１ｅ１２における一
端のインターディジタル電極１１Ｓ−１１１の非接地側
くし形電極は、それぞれリード線４ｓｅ４４を介して信
号入、出力端子４５゜４６に接続され、他０インターデ
ィジタル電極Ｊ１１．１１１および２１１，１１８の非
接地側−極は、それぞれリード＠４ｒ、４ｇを介して補
助端子４１１．１０１Ｃ＊絖されている。なお。
端のインターディジタル電極１１Ｓ−１１１の非接地側
くし形電極は、それぞれリード線４ｓｅ４４を介して信
号入、出力端子４５゜４６に接続され、他０インターデ
ィジタル電極Ｊ１１．１１１および２１１，１１８の非
接地側−極は、それぞれリード＠４ｒ、４ｇを介して補
助端子４１１．１０１Ｃ＊絖されている。なお。
これらの信号人、出力端子４１．４６および補助端子４
ｅ、１１０は接地導体板４０に、こ些と電気的に絶縁さ
れるように、絶縁体メベーナを介して取付けられる。
ｅ、１１０は接地導体板４０に、こ些と電気的に絶縁さ
れるように、絶縁体メベーナを介して取付けられる。
°そして、この状Ｉｌｌ′に：端子４１ｍ４１．４６・
４１１９１１０を適当を治具を用いて直流電圧源に結合
し、これらの端子を通して各インターディジタル電極１
１１ ＃１１１ａｌ：ＩＩ〜１１１１のくし形電極間に
直流電圧を印加する。このようにすると、エッチング不
ｊＬ岬によって生じた短絡部１５の全てを溶断すゐこと
ができる。なお、この実施例において補助端子４ｍ、５
０およびリード線４１１４８は、短絡部１５の溶断後は
不要となるが、そのｔ壕残して実装しても、弾性表面波
装置としての機能を妨げるものではない。
４１１９１１０を適当を治具を用いて直流電圧源に結合
し、これらの端子を通して各インターディジタル電極１
１１ ＃１１１ａｌ：ＩＩ〜１１１１のくし形電極間に
直流電圧を印加する。このようにすると、エッチング不
ｊＬ岬によって生じた短絡部１５の全てを溶断すゐこと
ができる。なお、この実施例において補助端子４ｍ、５
０およびリード線４１１４８は、短絡部１５の溶断後は
不要となるが、そのｔ壕残して実装しても、弾性表面波
装置としての機能を妨げるものではない。
第５図はこの発明の他の実施例を示したもので、１個の
補助端子５ノを設け、これにインターディジタル電極１
１１９１１Ｍおよび１１１゜１１３の非接地側くし形電
極を２本のリード線ｓｓ、ｓｘを介して共通接続したも
のであシ、このようにしても同様な効果が得られるとと
は明らかである。但し、この場合はインターディジタル
電極ＩＪ１．１１１とｉｘｘ＊１１１とが補助端子５Ｊ
およびリード線ｌ ｊ ｅ ｌ Ｊを介して短絡される
ので、短絡部１５の溶断後、リード線１１ｅｌｌの少な
くと屯一方を除去して実装する必要があゐ。
補助端子５ノを設け、これにインターディジタル電極１
１１９１１Ｍおよび１１１゜１１３の非接地側くし形電
極を２本のリード線ｓｓ、ｓｘを介して共通接続したも
のであシ、このようにしても同様な効果が得られるとと
は明らかである。但し、この場合はインターディジタル
電極ＩＪ１．１１１とｉｘｘ＊１１１とが補助端子５Ｊ
およびリード線ｌ ｊ ｅ ｌ Ｊを介して短絡される
ので、短絡部１５の溶断後、リード線１１ｅｌｌの少な
くと屯一方を除去して実装する必要があゐ。
以上説明したように、この発明によれば複数のインター
ディジタル電極を縦続接続して構成されるトランスデ、
−ｆＯナベて０インターデイジタル電極の短絡部を、簡
単な工程で、しかもインターディジタル電極の形状が小
型の場合であうてｔ容易に溶断除去することが可能であ
シ、弾性表面波共振子その他の弾性表面波装置の歩留シ
向上、量産性の向上に大暑く寄与うるととができる。
ディジタル電極を縦続接続して構成されるトランスデ、
−ｆＯナベて０インターデイジタル電極の短絡部を、簡
単な工程で、しかもインターディジタル電極の形状が小
型の場合であうてｔ容易に溶断除去することが可能であ
シ、弾性表面波共振子その他の弾性表面波装置の歩留シ
向上、量産性の向上に大暑く寄与うるととができる。
【図面の簡単な説明】
第１ｖＡ拡弾性ｌＩＩ面波績置のトランスデユーサの基
本構成を示す斜禅図、第２図は弾性表面波共振子の一例
を示す斜視図、第３図はイノタープ１ジタル電極の短絡
部を溶断除去する従来０方法を示す因、第４図および第
５図はこの発明の実施例におけるインターディジタル電
極の短絡部の溶断工程を説明するための斜視図である。 １０°°°圧電体基板、１１・・・入力トランスデ。 −サ、１１・・・出力トランスデユーサ、ＩＪ−１４・
・・ダレ−ティング反射器、１Ｂ−・・短絡部、２０…
共通電極、１１１〜ｌ１ｌａｌ１１〜１２２・・・イン
ターディジタル電極、４０−・・接地導体板、 ４１１
ｍ ４１ ｂ 磨４ ＩＩ ｅ ４４ ｍ ４ Ｆ
＋４ａ、ｓｘ、ｉｓ・・・リード縁、４１・・・接地端
子。 ４５・・・信号入力端子、４６・・・信号出力端子、４
９ｅｌＯ，１１−・・補助端子。
本構成を示す斜禅図、第２図は弾性表面波共振子の一例
を示す斜視図、第３図はイノタープ１ジタル電極の短絡
部を溶断除去する従来０方法を示す因、第４図および第
５図はこの発明の実施例におけるインターディジタル電
極の短絡部の溶断工程を説明するための斜視図である。 １０°°°圧電体基板、１１・・・入力トランスデ。 −サ、１１・・・出力トランスデユーサ、ＩＪ−１４・
・・ダレ−ティング反射器、１Ｂ−・・短絡部、２０…
共通電極、１１１〜ｌ１ｌａｌ１１〜１２２・・・イン
ターディジタル電極、４０−・・接地導体板、 ４１１
ｍ ４１ ｂ 磨４ ＩＩ ｅ ４４ ｍ ４ Ｆ
＋４ａ、ｓｘ、ｉｓ・・・リード縁、４１・・・接地端
子。 ４５・・・信号入力端子、４６・・・信号出力端子、４
９ｅｌＯ，１１−・・補助端子。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 圧電体基板上に、縦続接続された複数のインターディジ
タル電極からなゐ電気信号−弾性表面波変換用Ｏトラン
スデ、−すを形成し、このトツｙスデ、−１０一端のイ
ンターディジタル電極の非接地側電極を信号入、出力端
子ＩＣＩＩＩ絖してなる弾性表Ｗ＊＊置ＯＩｔ造方法に
おいて、前記トラｙスデ、−すＯ他Ｏイシターデイジタ
ル電極の非箇地儒くし形電極を補助端子ＩＣ１ｌ続μ＃
配トクンスデ、−１０形成後、前記信号入。 出力端子および補助端子を通して前記トツｙスデ、−！
Ｏ各インＩ−ディジタル電極０＜Ｌ形電極間に直流電圧
を印加して、くシ形電極間の短絡部を溶断せしめる工１
を會むことを特徴とすゐ弾性表ＩＩｗＬ義置Ｏ製途方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12975881A JPS5831607A (ja) | 1981-08-19 | 1981-08-19 | 弾性表面波装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12975881A JPS5831607A (ja) | 1981-08-19 | 1981-08-19 | 弾性表面波装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5831607A true JPS5831607A (ja) | 1983-02-24 |
Family
ID=15017462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12975881A Pending JPS5831607A (ja) | 1981-08-19 | 1981-08-19 | 弾性表面波装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5831607A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5537133A (en) * | 1978-09-05 | 1980-03-15 | Yanmar Agricult Equip | Automatic steering device for harvester |
| JPS63155810A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-06-29 | Hitachi Ltd | 弾性表面波共振子フイルタ |
-
1981
- 1981-08-19 JP JP12975881A patent/JPS5831607A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5537133A (en) * | 1978-09-05 | 1980-03-15 | Yanmar Agricult Equip | Automatic steering device for harvester |
| JPS63155810A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-06-29 | Hitachi Ltd | 弾性表面波共振子フイルタ |
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