JPS6231524B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6231524B2 JPS6231524B2 JP18692583A JP18692583A JPS6231524B2 JP S6231524 B2 JPS6231524 B2 JP S6231524B2 JP 18692583 A JP18692583 A JP 18692583A JP 18692583 A JP18692583 A JP 18692583A JP S6231524 B2 JPS6231524 B2 JP S6231524B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transducer
- short
- acoustic wave
- surface acoustic
- transducers
- Prior art date
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- Expired
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
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- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/08—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は弾性表面波素子の製造方法に関する。
近年、通信用などの電子機器におけるIC化に
伴い周辺回路部品の小型化が要求されている。こ
うした中で弾性表面波素子はIC製造技術を応用
して微細な電極パターンの加工が容易となつたこ
とから小形の超高周波用フイルタ、発振器、画像
処理装置等に用いられるものとして注目されるよ
うになつて来ている。この弾性表面波素子は第１
図に示す如く圧電物質、例えばニオブ酸リチウム
（LiNbO3）、タンタル酸リチウム（LiTaO3）等で
形成された基板１の表面に夫々２個の櫛形状電極
２および３を組合せた入力用トランスジユーサ４
と出力用トランスジユーサ５を薄膜金属により形
成したものであつて、入力用トランスジユーサ４
より電気信号６を入れて弾性表面波７を発生さ
せ、これを伝播させて出力用トランスジユーサ５
より電気信号８として取出すことができるように
したものである。このような弾性表面波素子にお
いて第２図の如く入出力用トランスジユーサ４，
５の他に歩留り向上用、または遅延時間調整用の
トランスジユーサ９を設けたもの、あるいは第３
図の如くマルチストリツプカプラ１０を有する場
合にも歩留り向上用として予備の入力用トランス
ジユーサ１１および出力用トランスジユーサ１２
を設けたものがある。このような弾性表面波素子
は第２図および第３図において、理想的には表面
波は実線矢印で示す如く入力用トランスジユーサ
４から出力用トランスジユーサ５へ伝播されるの
であるが実際には表面波の一部が予備のトランス
ジユーサ９あるいは１２より点線矢印の如く反射
され、それが再び入力用トランスジユーサ４に反
射されて出力用トランスジユーサ５に伝播され
る。このため第４図ａの特性図に示す使用する表
面波１３のほかに不必要な高周波変調パルス１４
が出力され第４図ｂの如く出力トランスジユーサ
のレスポンスに点線で示すようなリツプル１５を
生ずる欠点がある。本発明はこの欠点を改良する
ために案出されたものである。
伴い周辺回路部品の小型化が要求されている。こ
うした中で弾性表面波素子はIC製造技術を応用
して微細な電極パターンの加工が容易となつたこ
とから小形の超高周波用フイルタ、発振器、画像
処理装置等に用いられるものとして注目されるよ
うになつて来ている。この弾性表面波素子は第１
図に示す如く圧電物質、例えばニオブ酸リチウム
（LiNbO3）、タンタル酸リチウム（LiTaO3）等で
形成された基板１の表面に夫々２個の櫛形状電極
２および３を組合せた入力用トランスジユーサ４
と出力用トランスジユーサ５を薄膜金属により形
成したものであつて、入力用トランスジユーサ４
より電気信号６を入れて弾性表面波７を発生さ
せ、これを伝播させて出力用トランスジユーサ５
より電気信号８として取出すことができるように
したものである。このような弾性表面波素子にお
いて第２図の如く入出力用トランスジユーサ４，
５の他に歩留り向上用、または遅延時間調整用の
トランスジユーサ９を設けたもの、あるいは第３
図の如くマルチストリツプカプラ１０を有する場
合にも歩留り向上用として予備の入力用トランス
ジユーサ１１および出力用トランスジユーサ１２
を設けたものがある。このような弾性表面波素子
は第２図および第３図において、理想的には表面
波は実線矢印で示す如く入力用トランスジユーサ
４から出力用トランスジユーサ５へ伝播されるの
であるが実際には表面波の一部が予備のトランス
ジユーサ９あるいは１２より点線矢印の如く反射
され、それが再び入力用トランスジユーサ４に反
射されて出力用トランスジユーサ５に伝播され
る。このため第４図ａの特性図に示す使用する表
面波１３のほかに不必要な高周波変調パルス１４
が出力され第４図ｂの如く出力トランスジユーサ
のレスポンスに点線で示すようなリツプル１５を
生ずる欠点がある。本発明はこの欠点を改良する
ために案出されたものである。
このため本発明の弾性表面波素子の製造方法に
おいては、２個の櫛形状電極を組合せてなるトラ
ンスジユーサを３個以上同一基板内に具備して成
る弾性表面波素子において、前記トランスジユー
サの夫々２個の櫛形状電極を使用時に切断可能な
短絡パターンにより電気的に短絡しておき、使用
時に必要なトランスジユーサのみその短絡パター
ンを切断することを特徴とするものである。
おいては、２個の櫛形状電極を組合せてなるトラ
ンスジユーサを３個以上同一基板内に具備して成
る弾性表面波素子において、前記トランスジユー
サの夫々２個の櫛形状電極を使用時に切断可能な
短絡パターンにより電気的に短絡しておき、使用
時に必要なトランスジユーサのみその短絡パター
ンを切断することを特徴とするものである。
以下添付図面に基づいて本発明の実施例につき
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第５図に本発明の原理図を示す。図において４
は入力用トランスジユーサ、５は出力用トランス
ジユーサ、９は予備のトランスジユーサである。
このトランスジユーサ９はその櫛形状電極１６お
よび１７の両端子間を電極形成時に短絡パターン
１８により電気的に短絡して形成されている。こ
のように短絡パターン１８を設けた理由は、若し
トランスジユーサ９の端子間を電気的に開放して
おくと第５図ｂに示す音響端子のインピーダンス
Ｚが伝播路の特性インピーダンスZ0より大きくな
り、そのため反射波が生ずる。これに対し図の如
く両端子間が短絡状態であれば音響端子のインピ
ーダンスＺは伝播路の特性インピーダンスZ0に近
い状態となるため表面波の反射は少なくなり、そ
のため特性の劣化は防止されるのである。なお、
予備のトランスジユーサ９を出力トランスジユー
サとして使用するときは、その短絡パターン１８
をレーザー光による切断又は機械的な切断手段を
用いて切断して使用すれば良い。
は入力用トランスジユーサ、５は出力用トランス
ジユーサ、９は予備のトランスジユーサである。
このトランスジユーサ９はその櫛形状電極１６お
よび１７の両端子間を電極形成時に短絡パターン
１８により電気的に短絡して形成されている。こ
のように短絡パターン１８を設けた理由は、若し
トランスジユーサ９の端子間を電気的に開放して
おくと第５図ｂに示す音響端子のインピーダンス
Ｚが伝播路の特性インピーダンスZ0より大きくな
り、そのため反射波が生ずる。これに対し図の如
く両端子間が短絡状態であれば音響端子のインピ
ーダンスＺは伝播路の特性インピーダンスZ0に近
い状態となるため表面波の反射は少なくなり、そ
のため特性の劣化は防止されるのである。なお、
予備のトランスジユーサ９を出力トランスジユー
サとして使用するときは、その短絡パターン１８
をレーザー光による切断又は機械的な切断手段を
用いて切断して使用すれば良い。
次に第６図に実施例を示す。これはマルチスト
リツプカプラ１０と４個のトランスジユーサ４，
５および１１，１２を備えたもので全べてのトラ
ンスジユーサは夫々の２個の櫛形状電極を短絡し
て形成されている。この弾性表面波素子を使用す
る場合には何れかの入出力トランスジユーサ、例
えば４および５の短絡部分４ａ，５ａを切断し、
不要となつたトランスジユーサ１１，１２の短絡
部分１１ａ，１２ａはそのままとしておくのであ
る。このようにして用いれば前述の原理により不
要となつたトランスジユーサ１１および１２より
の反射を抑制し、その影響を少なくすることがで
きるのである。
リツプカプラ１０と４個のトランスジユーサ４，
５および１１，１２を備えたもので全べてのトラ
ンスジユーサは夫々の２個の櫛形状電極を短絡し
て形成されている。この弾性表面波素子を使用す
る場合には何れかの入出力トランスジユーサ、例
えば４および５の短絡部分４ａ，５ａを切断し、
不要となつたトランスジユーサ１１，１２の短絡
部分１１ａ，１２ａはそのままとしておくのであ
る。このようにして用いれば前述の原理により不
要となつたトランスジユーサ１１および１２より
の反射を抑制し、その影響を少なくすることがで
きるのである。
以上説明した如く本発明の弾性表面波素子の製
造方法はトランスジユーサを構成する２個の櫛形
状電極を予め短絡して形成しておき、使用時に対
象となるトランスジユーサの短絡部分を切断し、
非使用のトランスジユーサの短絡部分はそのまま
としておくことにより不要となつたトランスジユ
ーサからの表面波の反射を抑え特性の劣化を防止
することを可能としたものである。
造方法はトランスジユーサを構成する２個の櫛形
状電極を予め短絡して形成しておき、使用時に対
象となるトランスジユーサの短絡部分を切断し、
非使用のトランスジユーサの短絡部分はそのまま
としておくことにより不要となつたトランスジユ
ーサからの表面波の反射を抑え特性の劣化を防止
することを可能としたものである。
第１図は弾性表面波素子の原理図、第２図およ
び第３図は弾性表面波素子の従来例の模式図、第
４図はその特性図、第５図は本発明にかかる弾性
表面波素子の原理説明図、第６図は本発明にかか
る実施例の弾性表面波素子の模式図である。 １……基板、４，１１……入力用トランスジユ
ーサ、５，１２……出力用トランスジユーサ、９
……予備トランスジユーサ、１０……マルチスト
リツプカプラ、１６，１７……櫛形状電極、１
８，４ａ，５ａ，１１ａ，１２ａ……短絡パター
ン。
び第３図は弾性表面波素子の従来例の模式図、第
４図はその特性図、第５図は本発明にかかる弾性
表面波素子の原理説明図、第６図は本発明にかか
る実施例の弾性表面波素子の模式図である。 １……基板、４，１１……入力用トランスジユ
ーサ、５，１２……出力用トランスジユーサ、９
……予備トランスジユーサ、１０……マルチスト
リツプカプラ、１６，１７……櫛形状電極、１
８，４ａ，５ａ，１１ａ，１２ａ……短絡パター
ン。
Claims (1)
- １ ２個の櫛形状電極を組合せてなるトランスジ
ユーサを３個以上同一基板内に形成し、該トラン
スジユーサの夫々２個の櫛形状電極を予め短絡パ
ターンにより電気的に短絡しておき、使用時に必
要なトランスジユーサのみその短絡パターンを切
断することを特徴とする弾性表面波素子の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18692583A JPS5985115A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | 弾性表面波素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18692583A JPS5985115A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | 弾性表面波素子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5985115A JPS5985115A (ja) | 1984-05-17 |
| JPS6231524B2 true JPS6231524B2 (ja) | 1987-07-09 |
Family
ID=16197104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18692583A Granted JPS5985115A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | 弾性表面波素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5985115A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63255123A (ja) * | 1987-04-11 | 1988-10-21 | Kubota Ltd | 歩行型移動農機の燃料タンク取付構造 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63132513A (ja) * | 1986-11-21 | 1988-06-04 | Clarion Co Ltd | 弾性表面波装置 |
| US6429569B1 (en) * | 1999-07-22 | 2002-08-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and communication apparatus |
-
1983
- 1983-10-07 JP JP18692583A patent/JPS5985115A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63255123A (ja) * | 1987-04-11 | 1988-10-21 | Kubota Ltd | 歩行型移動農機の燃料タンク取付構造 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5985115A (ja) | 1984-05-17 |
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