JP3260347B2 - 弾性表面波素子 - Google Patents
弾性表面波素子Info
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- JP3260347B2 JP3260347B2 JP37494499A JP37494499A JP3260347B2 JP 3260347 B2 JP3260347 B2 JP 3260347B2 JP 37494499 A JP37494499 A JP 37494499A JP 37494499 A JP37494499 A JP 37494499A JP 3260347 B2 JP3260347 B2 JP 3260347B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、弾性表面波共振器
により構成される弾性表面波フィルタ素子、詳しくは、
圧電基板上にインタディジタルな電極指を配設した弾性
表面波共振器を複数個組み合せてなる弾性表面波共振器
複合形フィルタに関する。近年、自動車電話や携帯電話
は小形・軽量化が進み、急速に普及してきている。これ
らの電話装置の無線信号処理部にはフィルタが用いられ
るが、機器の小形・軽量・高性能化のため最近、弾性表
面波素子を用いた上述の如きフィルタが開発使用されて
きている。
により構成される弾性表面波フィルタ素子、詳しくは、
圧電基板上にインタディジタルな電極指を配設した弾性
表面波共振器を複数個組み合せてなる弾性表面波共振器
複合形フィルタに関する。近年、自動車電話や携帯電話
は小形・軽量化が進み、急速に普及してきている。これ
らの電話装置の無線信号処理部にはフィルタが用いられ
るが、機器の小形・軽量・高性能化のため最近、弾性表
面波素子を用いた上述の如きフィルタが開発使用されて
きている。
【０００２】
【従来の技術】いわゆるトランスバーサル形の弾性表面
フィルタは、電気信号を弾性表面波に変換する入力イン
タディジタルトランスデューサと弾性表面波を再び電気
信号に逆変換する出力インタディジタルトランスデュー
サとを圧電基板上に配置したものである。
フィルタは、電気信号を弾性表面波に変換する入力イン
タディジタルトランスデューサと弾性表面波を再び電気
信号に逆変換する出力インタディジタルトランスデュー
サとを圧電基板上に配置したものである。
【０００３】図１５に弾性表面波共振器の基本構成を示
す。同図において、１は圧電単結晶基板、２は櫛形駆動
電極で例えばＡ１からなる櫛形電極指２ａ，２ｂが交互
に差し挟まれている（インタディジタル電極指）。３は
例えば同じＡ１からなる反射電極で電極指３ａが多数並
んだ構造をしており、図ではショートストリップ型反射
電極として示されている。
す。同図において、１は圧電単結晶基板、２は櫛形駆動
電極で例えばＡ１からなる櫛形電極指２ａ，２ｂが交互
に差し挟まれている（インタディジタル電極指）。３は
例えば同じＡ１からなる反射電極で電極指３ａが多数並
んだ構造をしており、図ではショートストリップ型反射
電極として示されている。
【０００４】図１６に示す如く、弾性表面波共振器は共
振周波数ｆr と反共振周波数ｆa の二重共振特性を持
つ。共振器を用いてフィルタを形成する方法は以下の通
りである。図１６（イ）に上記弾性表面波共振器１個が
直列接続された場合の通過特性、図１６（ロ）に上記弾
性表面波共振器１個が並列接続された場合の通過特性を
夫々示す。これらを組み合わせた図１６（ハ）より、直
列共振器の共振周波数ｆr と並列共振器の反共振周波数
ｆa がほぼ等しい時バンドバスフィルタが形成される事
がわかる。所望のフィルタ特性を得るには、各直列共振
器と並列腕共振器の共振特性と梯子の組み合わせ方を最
適化する必要がある。
振周波数ｆr と反共振周波数ｆa の二重共振特性を持
つ。共振器を用いてフィルタを形成する方法は以下の通
りである。図１６（イ）に上記弾性表面波共振器１個が
直列接続された場合の通過特性、図１６（ロ）に上記弾
性表面波共振器１個が並列接続された場合の通過特性を
夫々示す。これらを組み合わせた図１６（ハ）より、直
列共振器の共振周波数ｆr と並列共振器の反共振周波数
ｆa がほぼ等しい時バンドバスフィルタが形成される事
がわかる。所望のフィルタ特性を得るには、各直列共振
器と並列腕共振器の共振特性と梯子の組み合わせ方を最
適化する必要がある。
【０００５】これまで、表面弾性波共振器を梯子型に構
成したフィルタにおいて、そのチップ上の配置は、例え
ば特開平１−２６０９１１号に示されるように共振器の
表面弾性波の伝播路が共通化されたようなものであっ
た。即ち、同一伝播路上に共振器を配列し、その相互干
渉を利用した多重モードフィルタの構成が用いられてい
た。図１７に、例えば１．５mm×２．２５mm程度の圧電
基板１上に５個の共振器Ｒ１〜Ｒ５を配列したチップ配
置構造の具体例を示す。図の下部に示す等価回路からも
判るように、入出力端子間において共振器Ｒ２，Ｒ５が
並列となっている。換言すれば、同図の如き等価回路を
実現するためのチップ配置は例えば図１７の如く形成さ
れる。
成したフィルタにおいて、そのチップ上の配置は、例え
ば特開平１−２６０９１１号に示されるように共振器の
表面弾性波の伝播路が共通化されたようなものであっ
た。即ち、同一伝播路上に共振器を配列し、その相互干
渉を利用した多重モードフィルタの構成が用いられてい
た。図１７に、例えば１．５mm×２．２５mm程度の圧電
基板１上に５個の共振器Ｒ１〜Ｒ５を配列したチップ配
置構造の具体例を示す。図の下部に示す等価回路からも
判るように、入出力端子間において共振器Ｒ２，Ｒ５が
並列となっている。換言すれば、同図の如き等価回路を
実現するためのチップ配置は例えば図１７の如く形成さ
れる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかるに従来のチップ
配置はチップ面積をいかに小さくするかにのみ焦点が向
けられ、複数の直列腕と並列腕を梯子形に配列する場合
における信号線の引き回しによる伝送損失や、直列腕と
並列腕との間の弾性波の干渉や各共振腕の静電気的結合
には全くと言ってよい程、関心が払われていなかった。
その結果、図１８に示すようにフィルタの挿入損失や帯
域内リップルが大きくなり、アイソレーションも劣化し
ていた。また、共振器の数や櫛形電極指の数が増加する
につれパターン形成時の電極ショート検査の工数も増
え、生産性が低下していた。
配置はチップ面積をいかに小さくするかにのみ焦点が向
けられ、複数の直列腕と並列腕を梯子形に配列する場合
における信号線の引き回しによる伝送損失や、直列腕と
並列腕との間の弾性波の干渉や各共振腕の静電気的結合
には全くと言ってよい程、関心が払われていなかった。
その結果、図１８に示すようにフィルタの挿入損失や帯
域内リップルが大きくなり、アイソレーションも劣化し
ていた。また、共振器の数や櫛形電極指の数が増加する
につれパターン形成時の電極ショート検査の工数も増
え、生産性が低下していた。
【０００７】そこで本発明は、信号線の引き回しによる
伝送損失や直列腕と並列腕の弾性波の干渉等を抑え良好
なフィルタ特性を得ることを目的とする。また、一素子
につき電極ショート検査が一回で済むようにし、検査工
数を減らし、延いてはチップのパッケージへの自動搭載
後の自動ワイヤーボンディングの信頼性を向上させ、か
つ生産性を上げることを目的とする。
伝送損失や直列腕と並列腕の弾性波の干渉等を抑え良好
なフィルタ特性を得ることを目的とする。また、一素子
につき電極ショート検査が一回で済むようにし、検査工
数を減らし、延いてはチップのパッケージへの自動搭載
後の自動ワイヤーボンディングの信頼性を向上させ、か
つ生産性を上げることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項１に記載した本発明によれば、図１に示すよ
うに、直列腕共振器１１，１２はその弾性波伝播路と略
直交する直線パターン上に配置され、かつこれら直列腕
共振器１１，１２はコーナー部（曲げ部）を持たない直
線状の接続線（信号線）１３により接続される。さらに
並列腕共振器２１は直列腕共振器１１，１２の弾性波の
伝播路５０（図では左右方向）および直列腕共振器同士
を接続する信号線１３を避けた位置でかつその弾性波伝
播路が直列腕共振器の直線パターン部と交差するように
配置する。
め、請求項１に記載した本発明によれば、図１に示すよ
うに、直列腕共振器１１，１２はその弾性波伝播路と略
直交する直線パターン上に配置され、かつこれら直列腕
共振器１１，１２はコーナー部（曲げ部）を持たない直
線状の接続線（信号線）１３により接続される。さらに
並列腕共振器２１は直列腕共振器１１，１２の弾性波の
伝播路５０（図では左右方向）および直列腕共振器同士
を接続する信号線１３を避けた位置でかつその弾性波伝
播路が直列腕共振器の直線パターン部と交差するように
配置する。
【０００９】請求項２に記載した本発明によれば、図２
に示すように、入出力部の少なくとも一方（例えば出力
部）が並列腕共振器２２により構成される場合、その少
なくとも一方の入出力部に設けられた並列腕共振器２２
と直列腕共振器１２を直線上に配置し、これら直列腕・
並列腕共振器１２，２２もコーナー（曲げ部）を設けな
い直線状の接続線（信号線１３′）により接続する。請
求項３に記載した発明では、図３に示すように、直列腕
共振器１１，１２に挟まれた並列腕共振器２１の弾性波
伝播路が並列腕共振器を挟む直列腕共振器１１，１２の
弾性波伝播路の間になるように形成する。
に示すように、入出力部の少なくとも一方（例えば出力
部）が並列腕共振器２２により構成される場合、その少
なくとも一方の入出力部に設けられた並列腕共振器２２
と直列腕共振器１２を直線上に配置し、これら直列腕・
並列腕共振器１２，２２もコーナー（曲げ部）を設けな
い直線状の接続線（信号線１３′）により接続する。請
求項３に記載した発明では、図３に示すように、直列腕
共振器１１，１２に挟まれた並列腕共振器２１の弾性波
伝播路が並列腕共振器を挟む直列腕共振器１１，１２の
弾性波伝播路の間になるように形成する。
【００１０】図４，５に示すように、２個の並列腕共振
器２１Ａ，２１Ｂを配置する際、並列腕共振器の接地
（ＧＮＤ）２１ａ，２１ｂ同士を対向させるのが好まし
い。互いの接地線は独立して形成する。請求項４に記載
した本発明では、図７に示すように素子回路パターンの
ショート欠陥検査用パッド５を並列腕共振器との接続部
において直列腕共振器の直線状信号線１３上に設ける。
請求項５に記載した本発明によれば、図８に示す如く、
素子回路パターンのショート欠陥検査用パッド５を信号
線から引き出し線７を介して所定位置に設けたことを特
徴とする。
器２１Ａ，２１Ｂを配置する際、並列腕共振器の接地
（ＧＮＤ）２１ａ，２１ｂ同士を対向させるのが好まし
い。互いの接地線は独立して形成する。請求項４に記載
した本発明では、図７に示すように素子回路パターンの
ショート欠陥検査用パッド５を並列腕共振器との接続部
において直列腕共振器の直線状信号線１３上に設ける。
請求項５に記載した本発明によれば、図８に示す如く、
素子回路パターンのショート欠陥検査用パッド５を信号
線から引き出し線７を介して所定位置に設けたことを特
徴とする。
【００１１】
【作用】請求項１，２に記載の本発明によれば、図１，
２，３に示すように直列腕共振器はコーナーを設けな
い、即ち、曲げ部を有さない接続（信号）線により接続
されるため、高周波線路のコーナー部に生ずる容量を低
減でき、従って、接続線部での伝送損失が極めて小さ
い。従ってフィルタの挿入損失を小さくすることができ
る。また、並列腕共振器は直列腕共振器の弾性波伝播路
を避けるように配置するため、直列・並列腕共振器の弾
性波が互いに干渉することなく良好なフィルタ特性が得
られる。さらに、直列腕共振器のパターン部と交差する
ように並列腕共振器を配置することにより素子を小さく
することができる。
２，３に示すように直列腕共振器はコーナーを設けな
い、即ち、曲げ部を有さない接続（信号）線により接続
されるため、高周波線路のコーナー部に生ずる容量を低
減でき、従って、接続線部での伝送損失が極めて小さ
い。従ってフィルタの挿入損失を小さくすることができ
る。また、並列腕共振器は直列腕共振器の弾性波伝播路
を避けるように配置するため、直列・並列腕共振器の弾
性波が互いに干渉することなく良好なフィルタ特性が得
られる。さらに、直列腕共振器のパターン部と交差する
ように並列腕共振器を配置することにより素子を小さく
することができる。
【００１２】尚、図４，５に示すように、複数の並列腕
共振器の接地同士を独立対向させることにより、並列腕
共振器間の不要波の励振や静電気的結合が抑えられ、チ
ップ入出力のアイソレーションが良好になる。尚、参考
までに示す図６に示すように、並列腕共振器２１の伝播
路は、素子を接続するパターンを避けて外側に設けた場
合、対数を多くすることが可能でかつ素子面積も小さく
できる。請求項４記載の発明によれば、図７に示すよう
に、素子回路パターンのショート欠陥用パッド５を信号
線１３上に設け、接続部のパッド６と共用することがで
きるため、それらパッドおいて、一回のプロービングに
より、ショート検査が完了し、検査工数を減らすことが
できる。
共振器の接地同士を独立対向させることにより、並列腕
共振器間の不要波の励振や静電気的結合が抑えられ、チ
ップ入出力のアイソレーションが良好になる。尚、参考
までに示す図６に示すように、並列腕共振器２１の伝播
路は、素子を接続するパターンを避けて外側に設けた場
合、対数を多くすることが可能でかつ素子面積も小さく
できる。請求項４記載の発明によれば、図７に示すよう
に、素子回路パターンのショート欠陥用パッド５を信号
線１３上に設け、接続部のパッド６と共用することがで
きるため、それらパッドおいて、一回のプロービングに
より、ショート検査が完了し、検査工数を減らすことが
できる。
【００１３】また、フィルタ回路が複雑または微細な場
合は、プロービング領域が狭くなり検査困難になるた
め、請求項５記載の発明によれば、図８に示すように信
号線１３（または接地線）から引き出し線７を介して検
査用パッド５を設けることにより、あらゆるフィルタ回
路でも電極パターンのショート欠陥検査ができる。この
場合、引き出し線を１０μm 以下と非常に細くすればハ
イインピーダンスであることからフィルタ特性への影響
はない。
合は、プロービング領域が狭くなり検査困難になるた
め、請求項５記載の発明によれば、図８に示すように信
号線１３（または接地線）から引き出し線７を介して検
査用パッド５を設けることにより、あらゆるフィルタ回
路でも電極パターンのショート欠陥検査ができる。この
場合、引き出し線を１０μm 以下と非常に細くすればハ
イインピーダンスであることからフィルタ特性への影響
はない。
【００１４】
【実施例】図１４に示す等価回路構成を実現するフィル
タの実際のチップ上レイアウトを図９に示す。フィルタ
チップは３６°Ｙ−Ｘ LiTaO3 基板１上にＡ１−Ｃｕ膜
による櫛形電極および反射器により構成される弾性表面
波共振器１１，１２Ａ，１２Ｂ，２１，２２を回路素子
とし、これらをパターンで直列および並列に接続して、
回路構成される。共振器の周期および対数、開口長を適
当に調整することにより、所望の特性を得ることがで
き、本実施例においては直列腕共振器１１，１２Ａ，１
２Ｂの周期を４．１０μm 、並列腕共振器２１，２２の
周期を４．３０μm とし、開口長と対数をそれぞれ８０
μm と１５０対とした。その特性を図１０に示す。同じ
条件で同一の回路構成を図１７に示すようにコーナーを
持つ接続線１３′で形成すると図１０に破線で示す如く
なり、本発明によれば挿入損失が０．２ｄＢ改善されて
いることがわかる。
タの実際のチップ上レイアウトを図９に示す。フィルタ
チップは３６°Ｙ−Ｘ LiTaO3 基板１上にＡ１−Ｃｕ膜
による櫛形電極および反射器により構成される弾性表面
波共振器１１，１２Ａ，１２Ｂ，２１，２２を回路素子
とし、これらをパターンで直列および並列に接続して、
回路構成される。共振器の周期および対数、開口長を適
当に調整することにより、所望の特性を得ることがで
き、本実施例においては直列腕共振器１１，１２Ａ，１
２Ｂの周期を４．１０μm 、並列腕共振器２１，２２の
周期を４．３０μm とし、開口長と対数をそれぞれ８０
μm と１５０対とした。その特性を図１０に示す。同じ
条件で同一の回路構成を図１７に示すようにコーナーを
持つ接続線１３′で形成すると図１０に破線で示す如く
なり、本発明によれば挿入損失が０．２ｄＢ改善されて
いることがわかる。
【００１５】好ましくは、図９に示すように、位置検出
用パターン８を素子および配線を避け、かつチップの対
角線上の両コーナ部もしくはその近傍に設ける。その結
果、チップをパッケージに搭載し、ワイヤーボンディン
グする際、チップの位置がバラツイても位置検出用パタ
ーン８に対するボンディングパッド位置の相対位置が一
定となるため、自動ボンディングの信頼性を向上するこ
とができる。
用パターン８を素子および配線を避け、かつチップの対
角線上の両コーナ部もしくはその近傍に設ける。その結
果、チップをパッケージに搭載し、ワイヤーボンディン
グする際、チップの位置がバラツイても位置検出用パタ
ーン８に対するボンディングパッド位置の相対位置が一
定となるため、自動ボンディングの信頼性を向上するこ
とができる。
【００１６】図１１は図４に示す如く並列腕共振器２１
Ａ，２１Ｂをその接地線（ＧＮＤ）２１ａ，２１ｂどう
しが向き合うように対向させた場合（実線）と、図１２
に示す如く信号線どうしを対向させた場合（破線）との
挿入損失を比較して示すもので、同図から接続線どうし
を対向させた場合の方がアイソレーションが改善されて
いることがわかる。
Ａ，２１Ｂをその接地線（ＧＮＤ）２１ａ，２１ｂどう
しが向き合うように対向させた場合（実線）と、図１２
に示す如く信号線どうしを対向させた場合（破線）との
挿入損失を比較して示すもので、同図から接続線どうし
を対向させた場合の方がアイソレーションが改善されて
いることがわかる。
【００１７】図１３では、入力側直列腕共振器１１より
外側（チップ端側）に並列腕共振器２２の伝播路を配置
してある。フィルタ回路は、図９に示す第一実施例と同
じで、共振器条件も同じとした。図１０の特性と同等の
特性が得られ、第一実施例よりもチップ面積を小さくで
きた。
外側（チップ端側）に並列腕共振器２２の伝播路を配置
してある。フィルタ回路は、図９に示す第一実施例と同
じで、共振器条件も同じとした。図１０の特性と同等の
特性が得られ、第一実施例よりもチップ面積を小さくで
きた。
【００１８】上述の図９に、位置検出用パターン８を素
子と同一面上にパターン形成と同時に形成した例を示
す。検出用パターン８の大きさは１００μm ×１５０μ
m で、チップの端から２００μm 離した対角線上に図形
のセンターを設けた。本位置検出用パターンに対し、入
出力およびアースパッド５，６の位置関係は一定であ
る。しかもウエハ切断時にチッピング等が生じても影響
を受けない。このように、位置検出用パターン８の認識
を行うことで、自動ボンディング時におけるワイヤを電
極パッド部に正確に結線することができる。位置検出用
パターン８の形状は、読取装置が認識できるものであれ
ば特に制限はなく、素子の形状との差異がはっきりわか
る円形や星形等も好ましい。尚、図１〜図１８において
対応する部品は同一番号で示し重複説明を省略する。ま
た、必要に応じてチップパターン図には等価回路を下部
に示してある。
子と同一面上にパターン形成と同時に形成した例を示
す。検出用パターン８の大きさは１００μm ×１５０μ
m で、チップの端から２００μm 離した対角線上に図形
のセンターを設けた。本位置検出用パターンに対し、入
出力およびアースパッド５，６の位置関係は一定であ
る。しかもウエハ切断時にチッピング等が生じても影響
を受けない。このように、位置検出用パターン８の認識
を行うことで、自動ボンディング時におけるワイヤを電
極パッド部に正確に結線することができる。位置検出用
パターン８の形状は、読取装置が認識できるものであれ
ば特に制限はなく、素子の形状との差異がはっきりわか
る円形や星形等も好ましい。尚、図１〜図１８において
対応する部品は同一番号で示し重複説明を省略する。ま
た、必要に応じてチップパターン図には等価回路を下部
に示してある。
【００１９】
【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、弾性表面
波共振器を梯子型に配置して、帯域通過フィルタを構成
する場合、挿入損失の低下と大きな帯域外抑圧度を実現
できる。また、良好なフィルタ特性を維持しながら、チ
ップの小形化がはかられる。更に、電極パターンのショ
ート検査工数も減り、生産性が向上する。
波共振器を梯子型に配置して、帯域通過フィルタを構成
する場合、挿入損失の低下と大きな帯域外抑圧度を実現
できる。また、良好なフィルタ特性を維持しながら、チ
ップの小形化がはかられる。更に、電極パターンのショ
ート検査工数も減り、生産性が向上する。
【図１】本発明にかかる弾性表面波素子のパターン形状
を示す構造図である。
を示す構造図である。
【図２】図１の別のパターン形状を示す構造図である。
【図３】図１の更に別のパターン形状を示す構造図であ
る。
る。
【図４】図１の更に別のパターン形状を示す構造図であ
る。
る。
【図５】図１の更に別のパターン形状を示す構造図であ
る。
る。
【図６】図１の更に別のパターン形状を示す構造図であ
る。
る。
【図７】図１の更に別のパターン形状を示す構造図であ
る。
る。
【図８】図１の更に別のパターン形状を示す構造図であ
る。
る。
【図９】図１の更に別のパターン形状を示す構造図であ
る。
る。
【図１０】本発明にかかる弾性表面波素子の挿入損失特
性を示すグラフである。
性を示すグラフである。
【図１１】本発明にかかる弾性表面波素子の挿入損失特
性を示すグラフである。
性を示すグラフである。
【図１２】図１の更に別のパターン形状を示す構造図で
ある。
ある。
【図１３】図１の更に別のパターン形状を示す構造図で
ある。
ある。
【図１４】図９に示すパターン形状の等価回路図であ
る。
る。
【図１５】弾性表面波共振子の基本構造を示す図解図で
ある。
ある。
【図１６】共振子によりフィルタを構成するための説明
図である。
図である。
【図１７】従来のフィルタチップの電極レイアウトの一
例を示す構造図である。
例を示す構造図である。
【図１８】従来のフィルタの帯域内リップルを示す特性
図である。
図である。
１１，１２…直列腕共振子 ２１，２２…並列腕共振子 １３，１３′…信号線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊形 理 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 宮下 勉 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (56)参考文献 特開 昭51−36091（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−190411（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−178812（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−2105（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−251987（ＪＰ，Ａ)
Claims (5)
- 【請求項１】 弾性表面波共振器を梯子型回路の直列腕
と並列腕とに設けることにより構成した帯域通過フィル
タ回路をチップ上に所定パターンで形成して成る弾性表
面波素子において、直列腕共振器はその弾性波伝搬路と
略直交する直線パターン上に配置すると共に、直線状の
信号線により接続され、他方、並列腕共振器は直列腕共
振器の弾性波の伝搬路の延長線上以外の位置においてそ
の弾性波伝搬路が直列腕共振器のパターン部と交差する
ように配置したことを特徴とする弾性表面波素子。 - 【請求項２】 上記帯域通過フィルタ回路の入出力部の
少なくとも一方が並列腕共振器により構成される場合、
この並列腕共振器を直列腕共振器の直線パターン上に配
置すると共に直線状の信号線により直列腕共振器に接続
することを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波素
子。 - 【請求項３】 並列腕共振器の弾性波の伝播路が直列腕
共振器の弾性波の伝播路の間に位置するようにパターン
形成したことを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波
素子。 - 【請求項４】 素子回路パターンのショート欠陥検査用
パットを並列腕共振器との接続部において直列腕共振器
の直線状信号線上に設けたことを特徴とする請求項１に
記載の弾性表面波素子。 - 【請求項５】 素子回路パターンのショート欠陥検査用
パットを信号線から引き出し線を介して所定位置に設け
たことを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37494499A JP3260347B2 (ja) | 1999-01-01 | 1999-12-28 | 弾性表面波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37494499A JP3260347B2 (ja) | 1999-01-01 | 1999-12-28 | 弾性表面波素子 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17101892A Division JP3226333B2 (ja) | 1992-06-29 | 1992-06-29 | 弾性表面波素子 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001272408A Division JP3439750B2 (ja) | 2001-09-07 | 2001-09-07 | 弾性表面波素子 |
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|---|---|
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Family
ID=18504700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP37494499A Ceased JP3260347B2 (ja) | 1999-01-01 | 1999-12-28 | 弾性表面波素子 |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP3260347B2 (ja) |
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-
1999
- 1999-12-28 JP JP37494499A patent/JP3260347B2/ja not_active Ceased
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