JP3226333B2 - 弾性表面波素子 - Google Patents
弾性表面波素子Info
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- JP3226333B2 JP3226333B2 JP17101892A JP17101892A JP3226333B2 JP 3226333 B2 JP3226333 B2 JP 3226333B2 JP 17101892 A JP17101892 A JP 17101892A JP 17101892 A JP17101892 A JP 17101892A JP 3226333 B2 JP3226333 B2 JP 3226333B2
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- Japan
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- acoustic wave
- surface acoustic
- resonator
- resonators
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、弾性表面波共振器によ
り構成される弾性表面波フィルタ素子、詳しくは、圧電
基板上にインタディジタルな電極指を配設した弾性表面
波共振器を複数個組み合せてなる弾性表面波共振器複合
形フィルタに関する。近年、自動車電話や携帯電話は小
形・軽量化が進み、急速に普及してきている。これらの
電話装置の無線信号処理部にはフィルタが用いられる
が、機器の小形・軽量・高性能化のため最近、弾性表面
波素子を用いた上述の如きフィルタが開発使用されてき
ている。
り構成される弾性表面波フィルタ素子、詳しくは、圧電
基板上にインタディジタルな電極指を配設した弾性表面
波共振器を複数個組み合せてなる弾性表面波共振器複合
形フィルタに関する。近年、自動車電話や携帯電話は小
形・軽量化が進み、急速に普及してきている。これらの
電話装置の無線信号処理部にはフィルタが用いられる
が、機器の小形・軽量・高性能化のため最近、弾性表面
波素子を用いた上述の如きフィルタが開発使用されてき
ている。
【０００２】
【従来の技術】いわゆるトランスバーサル形の弾性表面
フィルタは、電気信号を弾性表面波に変換する入力イン
タディジタルトランスデューサと弾性表面波を再び電気
信号に逆変換する出力インタディジタルトランスデュー
サとを圧電基板上に配置したものである。
フィルタは、電気信号を弾性表面波に変換する入力イン
タディジタルトランスデューサと弾性表面波を再び電気
信号に逆変換する出力インタディジタルトランスデュー
サとを圧電基板上に配置したものである。
【０００３】図１２に弾性表面波共振器の基本構成を示
す。同図において、１は圧電単結晶基板、２は櫛形駆動
電極で例えばＡ１からなる櫛形電極指２ａ，２ｂが交互
に差し挟まれている（インタディジタル電極指）。３は
例えば同じＡ１からなる反射電極で電極指３ａが多数並
んだ構造をしており、図ではショートストリップ型反射
電極として示されている。
す。同図において、１は圧電単結晶基板、２は櫛形駆動
電極で例えばＡ１からなる櫛形電極指２ａ，２ｂが交互
に差し挟まれている（インタディジタル電極指）。３は
例えば同じＡ１からなる反射電極で電極指３ａが多数並
んだ構造をしており、図ではショートストリップ型反射
電極として示されている。
【０００４】図１３に示す如く、弾性表面波共振器は共
振周波数ｆr と反共振周波数ｆa の二重共振特性を持
つ。共振器を用いてフィルタを形成する方法は以下の通
りである。図１３（イ）に上記弾性表面波共振器１個が
直列接続された場合の通過特性、図１４（ロ）に上記弾
性表面波共振器１個が並列接続された場合の通過特性を
夫々示す。これらを組み合わせた図１３（ハ）より、直
列共振器の共振周波数ｆr と並列共振器の反共振周波数
ｆa がほぼ等しい時バンドバスフィルタが形成される事
がわかる。所望のフィルタ特性を得るには、各直列共振
器と並列腕共振器の共振特性と梯子の組み合わせ方を最
適化する必要がある。
振周波数ｆr と反共振周波数ｆa の二重共振特性を持
つ。共振器を用いてフィルタを形成する方法は以下の通
りである。図１３（イ）に上記弾性表面波共振器１個が
直列接続された場合の通過特性、図１４（ロ）に上記弾
性表面波共振器１個が並列接続された場合の通過特性を
夫々示す。これらを組み合わせた図１３（ハ）より、直
列共振器の共振周波数ｆr と並列共振器の反共振周波数
ｆa がほぼ等しい時バンドバスフィルタが形成される事
がわかる。所望のフィルタ特性を得るには、各直列共振
器と並列腕共振器の共振特性と梯子の組み合わせ方を最
適化する必要がある。
【０００５】これまで、表面弾性波共振器を梯子型に構
成したフィルタにおいて、そのチップ上の配置は、例え
ば特開平１−２６０９１１号に示されるように共振器の
表面弾性波の伝播路が共通化されたようなものであっ
た。即ち、同一伝播路上に共振器を配列し、その相互干
渉を利用した多重モードフィルタの構成が用いられてい
た。図１４に、例えば１．５mm×２．２５mm程度の圧電
基板１上に５個の共振器Ｒ１〜Ｒ５を配列したチップ配
置構造の具体例を示す。図の下部に示す等価回路からも
判るように、入出力端子間において共振器Ｒ２，Ｒ５が
並列となっている。換言すれば、同図の如き等価回路を
実現するためのチップ配置は例えば図１４の如く形成さ
れる。
成したフィルタにおいて、そのチップ上の配置は、例え
ば特開平１−２６０９１１号に示されるように共振器の
表面弾性波の伝播路が共通化されたようなものであっ
た。即ち、同一伝播路上に共振器を配列し、その相互干
渉を利用した多重モードフィルタの構成が用いられてい
た。図１４に、例えば１．５mm×２．２５mm程度の圧電
基板１上に５個の共振器Ｒ１〜Ｒ５を配列したチップ配
置構造の具体例を示す。図の下部に示す等価回路からも
判るように、入出力端子間において共振器Ｒ２，Ｒ５が
並列となっている。換言すれば、同図の如き等価回路を
実現するためのチップ配置は例えば図１４の如く形成さ
れる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかるに従来のチップ
配置はチップ面積をいかに小さくするかにのみ焦点が向
けられ、複数の直列腕と並列腕を梯子形に配列する場合
における信号線の引き回しによる伝送損失や、直列腕と
並列腕との間の弾性波の干渉や各共振腕の静電気的結合
には全くと言ってよい程、関心が払われていなかった。
その結果、図１５に示すようにフィルタの挿入損失や帯
域内リップルが大きくなり、アイソレーションも劣化し
ていた。また、共振器の数や櫛形電極指の数が増加する
につれパターン形成時の電極ショート検査の工数も増
え、生産性が低下していた。
配置はチップ面積をいかに小さくするかにのみ焦点が向
けられ、複数の直列腕と並列腕を梯子形に配列する場合
における信号線の引き回しによる伝送損失や、直列腕と
並列腕との間の弾性波の干渉や各共振腕の静電気的結合
には全くと言ってよい程、関心が払われていなかった。
その結果、図１５に示すようにフィルタの挿入損失や帯
域内リップルが大きくなり、アイソレーションも劣化し
ていた。また、共振器の数や櫛形電極指の数が増加する
につれパターン形成時の電極ショート検査の工数も増
え、生産性が低下していた。
【０００７】そこで本発明は、信号線の引き回しによる
伝送損失や直列腕と並列腕の弾性波の干渉等を抑え良好
なフィルタ特性を得ることを目的とする。また、一素子
につき電極ショート検査が一回で済むようにし、検査工
数を減らし、延いてはチップのパッケージへの自動搭載
後の自動ワイヤーボンディングの信頼性を向上させ、か
つ生産性を上げることを目的とする。
伝送損失や直列腕と並列腕の弾性波の干渉等を抑え良好
なフィルタ特性を得ることを目的とする。また、一素子
につき電極ショート検査が一回で済むようにし、検査工
数を減らし、延いてはチップのパッケージへの自動搭載
後の自動ワイヤーボンディングの信頼性を向上させ、か
つ生産性を上げることを目的とする。
【０００８】本発明を理解する上での基本構成におい
て、図１に示すように、直列腕共振器１１，１２はその
弾性波伝播路と略直交する直線パターン上に配置され、
かつこれら直列腕共振器１１，１２はコーナー部（曲げ
部）を持たない直線状の接続線（信号線）１３により接
続される。さらに並列腕共振器２１は直列腕共振器１
１，１２の弾性波の伝播路５０（図では左右方向）およ
び直列腕共振器同士を接続する信号線１３を避けた位置
でかつその弾性波伝播路が直列腕共振器の直線パターン
部と交差するように配置する。
て、図１に示すように、直列腕共振器１１，１２はその
弾性波伝播路と略直交する直線パターン上に配置され、
かつこれら直列腕共振器１１，１２はコーナー部（曲げ
部）を持たない直線状の接続線（信号線）１３により接
続される。さらに並列腕共振器２１は直列腕共振器１
１，１２の弾性波の伝播路５０（図では左右方向）およ
び直列腕共振器同士を接続する信号線１３を避けた位置
でかつその弾性波伝播路が直列腕共振器の直線パターン
部と交差するように配置する。
【０００９】図２において、入出力部の少なくとも一方
（例えば出力部）が並列腕共振器２２により構成される
場合、その少なくとも一方の入出力部に設けられた並列
腕共振器２２と直列腕共振器１２を直線上に配置し、こ
れら直列腕・並列腕共振器１２，２２もコーナー（曲げ
部）を設けない直線状の接続線（信号線１３′）により
接続する。図３に示すように、直列腕共振器１１，１２
に挟まれた並列腕共振器２１の弾性波伝播路が並列腕共
振器を挟む直列腕共振器１１，１２の弾性波伝播路の間
になるように形成する。
（例えば出力部）が並列腕共振器２２により構成される
場合、その少なくとも一方の入出力部に設けられた並列
腕共振器２２と直列腕共振器１２を直線上に配置し、こ
れら直列腕・並列腕共振器１２，２２もコーナー（曲げ
部）を設けない直線状の接続線（信号線１３′）により
接続する。図３に示すように、直列腕共振器１１，１２
に挟まれた並列腕共振器２１の弾性波伝播路が並列腕共
振器を挟む直列腕共振器１１，１２の弾性波伝播路の間
になるように形成する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の如き配置構成にお
いて、本発明によれば、図４，５に示すように、２個の
並列腕共振器２１Ａ，２１Ｂを配置する際、並列腕共振
器の接地（ＧＮＤ）２１ａ，２１ｂ同士を対向させる。
互いの接地線は独立して形成する。
いて、本発明によれば、図４，５に示すように、２個の
並列腕共振器２１Ａ，２１Ｂを配置する際、並列腕共振
器の接地（ＧＮＤ）２１ａ，２１ｂ同士を対向させる。
互いの接地線は独立して形成する。
【００１１】
【作用】直列腕共振器はコーナーを設けない、即ち、曲
げ部を有さない接続（信号）線により接続されるため、
高周波線路のコーナー部に生ずる容量を低減でき、従っ
て、接続線部での伝送損失が極めて小さい。従ってフィ
ルタの挿入損失を小さくすることができる。また、並列
腕共振器は直列腕共振器の弾性波伝播路を避けるように
配置するため、直列・並列腕共振器の弾性波が互いに干
渉することなく良好なフィルタ特性が得られる。さら
に、直列腕共振器のパターン部と交差するように並列腕
共振器を配置することにより素子を小さくすることがで
きる。
げ部を有さない接続（信号）線により接続されるため、
高周波線路のコーナー部に生ずる容量を低減でき、従っ
て、接続線部での伝送損失が極めて小さい。従ってフィ
ルタの挿入損失を小さくすることができる。また、並列
腕共振器は直列腕共振器の弾性波伝播路を避けるように
配置するため、直列・並列腕共振器の弾性波が互いに干
渉することなく良好なフィルタ特性が得られる。さら
に、直列腕共振器のパターン部と交差するように並列腕
共振器を配置することにより素子を小さくすることがで
きる。
【００１２】複数の並列腕共振器の接地同士を独立対向
させることにより、並列腕共振器間の不要波の励振や静
電気的結合が抑えられ、チップ入出力のアイソレーショ
ンが良好になる。
させることにより、並列腕共振器間の不要波の励振や静
電気的結合が抑えられ、チップ入出力のアイソレーショ
ンが良好になる。
【００１３】
【実施例】図１１に示す等価回路構成を実現するフィル
タの実際のチップ上レイアウトを参考までに図６に示
す。フィルタチップは３６°Ｙ−Ｘ LiTaO3 基板１上に
Ａ１−Ｃｕ膜による櫛形電極および反射器により構成さ
れる弾性表面波共振器１１，１２Ａ，１２Ｂ，２１，２
２を回路素子とし、これらをパターンで直列および並列
に接続して、回路構成される。共振器の周期および対
数、開口長を適当に調整することにより、所望の特性を
得ることができ、例えば直列腕共振器１１，１２Ａ，１
２Ｂの周期を４．１０μm 、並列腕共振器２１，２２の
周期を４．３０μm とし、開口長と対数をそれぞれ８０
μm と１５０対とした。その特性を図７に示す。同じ条
件で同一の回路構成を図１４に示すようにコーナーを持
つ接続線１３′で形成すると図７に破線で示す如くな
り、挿入損失が０．２ｄＢ改善されていることがわか
る。
タの実際のチップ上レイアウトを参考までに図６に示
す。フィルタチップは３６°Ｙ−Ｘ LiTaO3 基板１上に
Ａ１−Ｃｕ膜による櫛形電極および反射器により構成さ
れる弾性表面波共振器１１，１２Ａ，１２Ｂ，２１，２
２を回路素子とし、これらをパターンで直列および並列
に接続して、回路構成される。共振器の周期および対
数、開口長を適当に調整することにより、所望の特性を
得ることができ、例えば直列腕共振器１１，１２Ａ，１
２Ｂの周期を４．１０μm 、並列腕共振器２１，２２の
周期を４．３０μm とし、開口長と対数をそれぞれ８０
μm と１５０対とした。その特性を図７に示す。同じ条
件で同一の回路構成を図１４に示すようにコーナーを持
つ接続線１３′で形成すると図７に破線で示す如くな
り、挿入損失が０．２ｄＢ改善されていることがわか
る。
【００１４】例えば図６に示すように、位置検出用パタ
ーン８を素子および配線を避け、かつチップの対角線上
の両コーナ部もしくはその近傍に設ける。その結果、チ
ップをパッケージに搭載し、ワイヤーボンディングする
際、チップの位置がバラツイても位置検出用パターン８
に対するボンディングパッド位置の相対位置が一定とな
るため、自動ボンディングの信頼性を向上することがで
きる。
ーン８を素子および配線を避け、かつチップの対角線上
の両コーナ部もしくはその近傍に設ける。その結果、チ
ップをパッケージに搭載し、ワイヤーボンディングする
際、チップの位置がバラツイても位置検出用パターン８
に対するボンディングパッド位置の相対位置が一定とな
るため、自動ボンディングの信頼性を向上することがで
きる。
【００１５】図８は図４に示す如く並列腕共振器２１
Ａ，２１Ｂをその接地線（ＧＮＤ）２１ａ，２１ｂどう
しが向き合うように対向させた場合（実線）と、図９に
示す如く信号線どうしを対向させた場合（破線）との挿
入損失を比較して示すもので、同図から接続線どうしを
対向させた場合の方がアイソレーションが改善されてい
ることがわかる。
Ａ，２１Ｂをその接地線（ＧＮＤ）２１ａ，２１ｂどう
しが向き合うように対向させた場合（実線）と、図９に
示す如く信号線どうしを対向させた場合（破線）との挿
入損失を比較して示すもので、同図から接続線どうしを
対向させた場合の方がアイソレーションが改善されてい
ることがわかる。
【００１６】上述の図６に、位置検出用パターン８を素
子と同一面上にパターン形成と同時に形成した例を参考
までに示す。検出用パターン８の大きさは１００μm ×
１５０μm で、チップの端から２００μm 離した対角線
上に図形のセンターを設けた。本位置検出用パターンに
対し、入出力およびアースパッド５，６の位置関係は一
定である。しかもウエハ切断時にチッピング等が生じて
も影響を受けない。このように、位置検出用パターン８
の認識を行うことで、自動ボンディング時におけるワイ
ヤを電極パッド部に正確に結線することができる。位置
検出用パターン８の形状は、読取装置が認識できるもの
であれば特に制限はなく、素子の形状との差異がはっき
りわかる円形や星形等も好ましい。尚、全図を通して対
応する部品は同一番号で示し重複説明を省略する。ま
た、必要に応じてチップパターン図には等価回路を下部
に示してある。
子と同一面上にパターン形成と同時に形成した例を参考
までに示す。検出用パターン８の大きさは１００μm ×
１５０μm で、チップの端から２００μm 離した対角線
上に図形のセンターを設けた。本位置検出用パターンに
対し、入出力およびアースパッド５，６の位置関係は一
定である。しかもウエハ切断時にチッピング等が生じて
も影響を受けない。このように、位置検出用パターン８
の認識を行うことで、自動ボンディング時におけるワイ
ヤを電極パッド部に正確に結線することができる。位置
検出用パターン８の形状は、読取装置が認識できるもの
であれば特に制限はなく、素子の形状との差異がはっき
りわかる円形や星形等も好ましい。尚、全図を通して対
応する部品は同一番号で示し重複説明を省略する。ま
た、必要に応じてチップパターン図には等価回路を下部
に示してある。
【００１７】
【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、弾性表面
波共振器を梯子型に配置して、帯域通過フィルタを構成
する場合、挿入損失の低下と大きな帯域外抑圧度を実現
できる。また、良好なフィルタ特性を維持しながら、チ
ップの小形化がはかられる。更に、電極パターンのショ
ート検査工数も減り、生産性が向上する。また、並列腕
共振器間の不要波の励振や静電気的結合が抑えられ、チ
ップ入出力のアイソレーションが良好になる。
波共振器を梯子型に配置して、帯域通過フィルタを構成
する場合、挿入損失の低下と大きな帯域外抑圧度を実現
できる。また、良好なフィルタ特性を維持しながら、チ
ップの小形化がはかられる。更に、電極パターンのショ
ート検査工数も減り、生産性が向上する。また、並列腕
共振器間の不要波の励振や静電気的結合が抑えられ、チ
ップ入出力のアイソレーションが良好になる。
【図１】本発明の前提となる基本構成を示す、弾性表面
波素子のパターン形状を示す構造図である。
波素子のパターン形状を示す構造図である。
【図２】図１の別のパターン形状を示す構造図である。
【図３】図１の更に別のパターン形状を示す構造図であ
る。
る。
【図４】本発明に係るパターン形状を示す構造図であ
る。
る。
【図５】図４の別のパターン形状を示す構造図である。
【図６】図１の更に別のパターンの参考形状を示す構造
図である。
図である。
【図７】弾性表面波素子の挿入損失特性を示すグラフで
ある。
ある。
【図８】弾性表面波素子の挿入損失特性を示すグラフで
ある。
ある。
【図９】図１の更に別のパターンの参考形状を示す構造
図である。
図である。
【図１０】図１の更に別のパターンの参考形状を示す構
造図である。
造図である。
【図１１】図９に示すパターン形状の等価回路図であ
る。
る。
【図１２】弾性表面波共振子の基本構造を示す図解図で
ある。
ある。
【図１３】共振子によりフィルタを構成するための説明
図である。
図である。
【図１４】従来のフィルタチップの電極レイアウトの一
例を示す構造図である。
例を示す構造図である。
【図１５】従来のフィルタの帯域内リップルを示す特性
図である。
図である。
１１，１２…直列腕共振子 ２１，２２…並列腕共振子 １３，１３′…信号線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 良夫 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 伊形 理 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 宮下 勉 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 弾性表面波共振器を梯子型回路の直列腕
と並列腕とに設けることにより構成した帯域通過フィル
タ回路をチップ上に所定パターンで形成して成る弾性表
面波素子において、直列腕共振器はその弾性波伝搬路と
略直交する直線パターン上に配置すると共に、直線状の
信号線により接続され、他方、並列腕共振器は直列腕共
振器の弾性波の伝搬路の延長線上以外の位置においてそ
の弾性波伝搬路が直列腕共振器のパターン部と交差する
ように配置し、２個の並列腕共振器が隣接して配置され
る場合にそれら並列腕共振器の接地線同士を対向させる
ことを特徴とする弾性表面波素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17101892A JP3226333B2 (ja) | 1992-06-29 | 1992-06-29 | 弾性表面波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17101892A JP3226333B2 (ja) | 1992-06-29 | 1992-06-29 | 弾性表面波素子 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP37494499A Division JP3260347B2 (ja) | 1999-01-01 | 1999-12-28 | 弾性表面波素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0613837A JPH0613837A (ja) | 1994-01-21 |
| JP3226333B2 true JP3226333B2 (ja) | 2001-11-05 |
Family
ID=15915569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17101892A Expired - Fee Related JP3226333B2 (ja) | 1992-06-29 | 1992-06-29 | 弾性表面波素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3226333B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1030448B1 (en) * | 1998-05-19 | 2013-11-06 | Panasonic Corporation | Saw filter, antenna sharing device using the same, and mobile communication terminal using the same |
| US6555696B2 (en) | 2001-03-23 | 2003-04-29 | Milliken & Company | Asymmetric dipolar multi-substituted alditol derivatives, methods of making thereof, and compositions and articles containing same |
| US6559211B2 (en) | 2001-05-23 | 2003-05-06 | Milliken & Company | Highly versatile thermoplastic nucleators |
| US6559216B1 (en) | 2001-08-21 | 2003-05-06 | Milliken & Company | Low-color ultraviolet absorber compounds and compositions thereof |
| US6602447B2 (en) | 2001-08-21 | 2003-08-05 | Milliken & Company | Low-color ultraviolet absorbers for high UV wavelength protection applications |
| JP4734436B2 (ja) * | 2008-04-11 | 2011-07-27 | 日本電波工業株式会社 | デュプレクサ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5219044A (en) * | 1975-08-04 | 1977-01-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Surface acoustic wave filter |
| JPS6210520B2 (ja) * | 1980-01-18 | 1987-03-06 | Toyo Jozo Kk | |
| JPH0454011A (ja) * | 1990-06-21 | 1992-02-21 | Murata Mfg Co Ltd | 縦型２重モード弾性表面波フィルタ |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6210520U (ja) * | 1985-07-03 | 1987-01-22 |
-
1992
- 1992-06-29 JP JP17101892A patent/JP3226333B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5219044A (en) * | 1975-08-04 | 1977-01-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Surface acoustic wave filter |
| JPS6210520B2 (ja) * | 1980-01-18 | 1987-03-06 | Toyo Jozo Kk | |
| JPH0454011A (ja) * | 1990-06-21 | 1992-02-21 | Murata Mfg Co Ltd | 縦型２重モード弾性表面波フィルタ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0613837A (ja) | 1994-01-21 |
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