JPS5830645A - パターン検査方法 - Google Patents
パターン検査方法Info
- Publication number
- JPS5830645A JPS5830645A JP56127787A JP12778781A JPS5830645A JP S5830645 A JPS5830645 A JP S5830645A JP 56127787 A JP56127787 A JP 56127787A JP 12778781 A JP12778781 A JP 12778781A JP S5830645 A JPS5830645 A JP S5830645A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- pattern
- standard pattern
- positional deviation
- defect
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95607—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、パターン検査方式に関するものである。
従来１９２つの同一形状ｔ−Ｖするパターンを比較し、
欠陥判定する比較検査法があるが、Ｃの場合２つのパタ
ーンの関には位置ずれが少なからずあるため、２つパタ
ーン１り特徴を抽出し、この特徴が位置ずれ許容範囲内
［ｆｌＰＬ／Ａで２つのパターンｋＴｏるか否かの判定
を行なっていた。しかしこの方法であると、抽出する特
徴の数が多く、ハードクエテ規模が大きくなる欠点があ
った。
欠陥判定する比較検査法があるが、Ｃの場合２つのパタ
ーンの関には位置ずれが少なからずあるため、２つパタ
ーン１り特徴を抽出し、この特徴が位置ずれ許容範囲内
［ｆｌＰＬ／Ａで２つのパターンｋＴｏるか否かの判定
を行なっていた。しかしこの方法であると、抽出する特
徴の数が多く、ハードクエテ規模が大きくなる欠点があ
った。
本発明の目的Ｆｉ、上記した従来技術の欠点をなくし大
パターン検査方式ｔＩＩ供するｋある。
パターン検査方式ｔＩＩ供するｋある。
本発明は、設計データ等より創成した欠陥のない標準パ
ターンを用意し、一方！Ｖカメラ等を用いて被検査パタ
ーンの映像信号を２値化し、その際標準パターンをずら
して被検査パターンとの不一致数を全画面について求め
、不一致数が最小になる位置ずらし量會標準パ４−ンと
普検査パターンの位置ずれ量とし１次に位置ずれ量に基
づき標準パターンある一ｔｉｔ着検査パターンをずらし
ながら読み出しくここで、被検査パターンは再度＊１１
２ｇｉ化して得ることもできるし９位置ずれを求めると
きメモリへ入力してもよい）、標準パターンと被検査パ
ターンとの不一致を求め、このとき標準パターンより境
界部を抽出して量子化誤差の発生する境界部近傍では不
一致を無視し、他の不−ｈｒ欠陥とするようＫなしたこ
とｔ−特徴とする。
ターンを用意し、一方！Ｖカメラ等を用いて被検査パタ
ーンの映像信号を２値化し、その際標準パターンをずら
して被検査パターンとの不一致数を全画面について求め
、不一致数が最小になる位置ずらし量會標準パ４−ンと
普検査パターンの位置ずれ量とし１次に位置ずれ量に基
づき標準パターンある一ｔｉｔ着検査パターンをずらし
ながら読み出しくここで、被検査パターンは再度＊１１
２ｇｉ化して得ることもできるし９位置ずれを求めると
きメモリへ入力してもよい）、標準パターンと被検査パ
ターンとの不一致を求め、このとき標準パターンより境
界部を抽出して量子化誤差の発生する境界部近傍では不
一致を無視し、他の不−ｈｒ欠陥とするようＫなしたこ
とｔ−特徴とする。
本発明の全体構成図管筒１図に示す。第１図において１
Ｆｉ撮倖装置、２は２ｉＩ化回路、５ｉｊ標準パターン
１ｏｖ記憶する標準パターンメモリ、４は２値化回路２
の出力である２１［信号７と撮ｇＩ装置１に同期して標
準パターンメモリ３より読み出した標準バター／ＩＱｊ
り被１１１査ハＪ−ン（２１１信号７）と標準パターン
１０との位置ずれ量５を求める位置ずれ抽出回路である
。 ６Ｆｉ位置ずれ補正回路であり、２音信号７が入力
され１位置ずれ抽出回路４にて求め大位置ずれ量５に基
づいて２短信号７の位置ずれ１＊正し、補正した２短信
号を欠陥列ｉ！回路６へ出力すゐ、９は境界部抽出回路
であり、標準パターン１０１ｐ境界Ｓｔ−抽出し。
Ｆｉ撮倖装置、２は２ｉＩ化回路、５ｉｊ標準パターン
１ｏｖ記憶する標準パターンメモリ、４は２値化回路２
の出力である２１［信号７と撮ｇＩ装置１に同期して標
準パターンメモリ３より読み出した標準バター／ＩＱｊ
り被１１１査ハＪ−ン（２１１信号７）と標準パターン
１０との位置ずれ量５を求める位置ずれ抽出回路である
。 ６Ｆｉ位置ずれ補正回路であり、２音信号７が入力
され１位置ずれ抽出回路４にて求め大位置ずれ量５に基
づいて２短信号７の位置ずれ１＊正し、補正した２短信
号を欠陥列ｉ！回路６へ出力すゐ、９は境界部抽出回路
であり、標準パターン１０１ｐ境界Ｓｔ−抽出し。
境界部であることを欠陥判定回路８へ伝達する。
本！Ｉ！格例では％まず位置ずれ抽出回路４ ｉｊ、
’ ２音信号７と許容範囲内でずらした標準パターン１
０とが入力さｎて不一致数を求め、不一致数が最小とな
る位置ずらし量會位置ずれ量５として求める。
’ ２音信号７と許容範囲内でずらした標準パターン１
０とが入力さｎて不一致数を求め、不一致数が最小とな
る位置ずらし量會位置ずれ量５として求める。
次に位置ずれ量５に基づき、２１１信号７ｔ−位置ずれ
補正回路６で位置ずれ’ｉｎ正し、１Ｂ準パターン１０
との不一致會欠陥判定回路８で求める。このとき、標準
パターン１０１り境界部を境界部抽出回路９において求
めてこれｔ欠陥判定回路８に入力し、欠陥判定回路８は
境界部を除いた不一致全欠陥として抽出する。
補正回路６で位置ずれ’ｉｎ正し、１Ｂ準パターン１０
との不一致會欠陥判定回路８で求める。このとき、標準
パターン１０１り境界部を境界部抽出回路９において求
めてこれｔ欠陥判定回路８に入力し、欠陥判定回路８は
境界部を除いた不一致全欠陥として抽出する。
第２図に上記位置ずれ抽出回路４の具体的一実施例を示
す、第２図において１例えば標準パターン１０と被検査
パターンＦｉ最大±２＃素ずれるものとして考える。第
２図におりてｓ １ｏＦｉ前述した如く標準パターンメ
モリ５より入力される標準パターン、１１は走査線の長
さに和尚するシフトレジスタｌＬ１２はＶリテルインパ
ラレルアウトのレフトレジスタでＴｏｎ、＊準パターン
１ＱＫ対し５Ｘ５の局部エリアを逐次走査に同期して切
出していく、１５は２ＩＩ信号７を入力する走査線の長
さに対応するレフトレジスタ群、１４Ｆｉ５ビ豐トのレ
フトレジスタであり、ここで該ν７トレジースタ１４の
出力と上記νフトレジスａ１２ｏｒｓ。
す、第２図において１例えば標準パターン１０と被検査
パターンＦｉ最大±２＃素ずれるものとして考える。第
２図におりてｓ １ｏＦｉ前述した如く標準パターンメ
モリ５より入力される標準パターン、１１は走査線の長
さに和尚するシフトレジスタｌＬ１２はＶリテルインパ
ラレルアウトのレフトレジスタでＴｏｎ、＊準パターン
１ＱＫ対し５Ｘ５の局部エリアを逐次走査に同期して切
出していく、１５は２ＩＩ信号７を入力する走査線の長
さに対応するレフトレジスタ群、１４Ｆｉ５ビ豐トのレ
フトレジスタであり、ここで該ν７トレジースタ１４の
出力と上記νフトレジスａ１２ｏｒｓ。
３」は走査位置が一致している。シフトレジスタ１４の
出力は、上記レフトレジスタ１２０６Ｘ５＝２５本の出
力各々と、排他的論理和回路群１５で各々不一致が判定
される。２５木の不一致信号は、各々２５個のカウンタ
で構成されるカウンタ回路群１６へ入力され、全−面の
走査終了に伴ない、２５個のカウンタの最小値を最小値
検出回路１７で求める。最小値検出回Ｗ＆ｓ ７Ｆｉ、
最小となったカウンタに対応するシフトレジスタ１２の
位置（ｒｌｊｌＪ、ｒ２．５Ｊなど］と着目絵素である
「ｓ、ｓＪよハ榔準パターン１０と被検査Ｉ（−一ン（
２１１信号７）の位置ずれ量５ｔ−求めるものである。
出力は、上記レフトレジスタ１２０６Ｘ５＝２５本の出
力各々と、排他的論理和回路群１５で各々不一致が判定
される。２５木の不一致信号は、各々２５個のカウンタ
で構成されるカウンタ回路群１６へ入力され、全−面の
走査終了に伴ない、２５個のカウンタの最小値を最小値
検出回路１７で求める。最小値検出回Ｗ＆ｓ ７Ｆｉ、
最小となったカウンタに対応するシフトレジスタ１２の
位置（ｒｌｊｌＪ、ｒ２．５Ｊなど］と着目絵素である
「ｓ、ｓＪよハ榔準パターン１０と被検査Ｉ（−一ン（
２１１信号７）の位置ずれ量５ｔ−求めるものである。
次に第３図を用いて１位置ずれ補正回路６．欠陥判定回
路８．及び境界部抽出回路９の具体例會説明する。第３
図において、１８は２値信号７を入力とする走査線の長
さに対応するリフトレジスタより構成されるシフトレジ
スタ群であり１９は２短信号７エ９被検査ノ（ターンの
５Ｘ５の局部エリアを逐次切９出すＶリアルインノくラ
レルアウトのレフトレジスタである。レフトレジスタ１
９の出力２５本は、第２図にて求められた位置ずれ量５
にＬり動作する選択回路２０に１５１本力５選択すｒｂ
、 １１ｍ１パターン噌０の切り出し用シフトレジスタ
１２の「ｓ、ｓＪの位置に対応するもの２５５選択回路
２０エク出力される。１準）（ターン１０の切り出し用
シフトレジスタ１２の中央のＳ＞＜Ｓ（すなわち「２．
２Ｊ〜ｒ２．４Ｊ、ｒ５．２Ｊ〜ｒ！！、４Ｊ。
路８．及び境界部抽出回路９の具体例會説明する。第３
図において、１８は２値信号７を入力とする走査線の長
さに対応するリフトレジスタより構成されるシフトレジ
スタ群であり１９は２短信号７エ９被検査ノ（ターンの
５Ｘ５の局部エリアを逐次切９出すＶリアルインノくラ
レルアウトのレフトレジスタである。レフトレジスタ１
９の出力２５本は、第２図にて求められた位置ずれ量５
にＬり動作する選択回路２０に１５１本力５選択すｒｂ
、 １１ｍ１パターン噌０の切り出し用シフトレジスタ
１２の「ｓ、ｓＪの位置に対応するもの２５５選択回路
２０エク出力される。１準）（ターン１０の切り出し用
シフトレジスタ１２の中央のＳ＞＜Ｓ（すなわち「２．
２Ｊ〜ｒ２．４Ｊ、ｒ５．２Ｊ〜ｒ！！、４Ｊ。
「４．２」〜［４，４Ｊ）Ｋ−論理積ゲート２１とＮＯ
’ｌ’論理積ゲート２２へ入力する− このＬうにすると、論理積ゲート２１では５Ｘ５＝９絵
素全部か１“のとき出力があハ Ｎｏ？論理積ゲート２
２では５×５＝９絵素全＠ｆｉｇ“０”のとき出力ｆあ
ることになり、これらのゲート２１と２２の出力を論理
和ゲート２ｓに入力すると・３Ｘ墨絵素に境界部が存在
しないとき、“１″が出刀される。２４は排他的論理和
ゲートで、標準パターン１０と位置ずれ補正後の２１［
信号の不一致を求めており、排他的論理和ゲート２４の
出力と論理和ゲート２３の出力を論理積ゲート２５に入
力することに１り、欠陥信号２６を得る。
’ｌ’論理積ゲート２２へ入力する− このＬうにすると、論理積ゲート２１では５Ｘ５＝９絵
素全部か１“のとき出力があハ Ｎｏ？論理積ゲート２
２では５×５＝９絵素全＠ｆｉｇ“０”のとき出力ｆあ
ることになり、これらのゲート２１と２２の出力を論理
和ゲート２ｓに入力すると・３Ｘ墨絵素に境界部が存在
しないとき、“１″が出刀される。２４は排他的論理和
ゲートで、標準パターン１０と位置ずれ補正後の２１［
信号の不一致を求めており、排他的論理和ゲート２４の
出力と論理和ゲート２３の出力を論理積ゲート２５に入
力することに１り、欠陥信号２６を得る。
このように本発明では、ます普検査パターンと標準パタ
ーンの位置ずれｔ補正し、補正後量子化誤差の発生する
境界ａｔ−除いて不−ｌｋをとり、欠陥信号とするもの
である。
ーンの位置ずれｔ補正し、補正後量子化誤差の発生する
境界ａｔ−除いて不−ｌｋをとり、欠陥信号とするもの
である。
以上詳しく説明した工うに、本発明により八−ドウエア
規模を小さくなした欠陥判定が可能となり、その工業的
価１ｉＦｉ非常に大なるものがある。
規模を小さくなした欠陥判定が可能となり、その工業的
価１ｉＦｉ非常に大なるものがある。
第１図は本楯明によるパターン検査方式の一笑一例の全
体構成図、第２図は第１図における位置ずれ量抽出部の
一実施例ブＯｗり図、第３図は第１図における欠陥判定
部の一実施例プロヴク図である。 １：撮儂装置、 ２：２値化回路。 ３：標準パターンメモリ。 ４：位置ずｆＬ抽出回路。 ６：位置ずれ補正回路。 ８：欠陥判定回路、 ９：境界部抽出回路、 １１．１５，１ ：シフトレジスタ群。 １２．１９ ：シフトレジスタ。 １４：レフトレジスタ、 １５：排他的論理和回路群。 １６：カウンタ回路群、 １７：最小値検出回路。 ２０：選択回路。 ２１：論理積ゲート、 ２２：ＮＯｔ論理積ゲート、 ２３：論理和ゲート、 ２４：排他的論理和ゲート。 ２５：論理積ゲート。 グ ／ 図 γ 才 ２ 図 ）Ｘ３ 図
体構成図、第２図は第１図における位置ずれ量抽出部の
一実施例ブＯｗり図、第３図は第１図における欠陥判定
部の一実施例プロヴク図である。 １：撮儂装置、 ２：２値化回路。 ３：標準パターンメモリ。 ４：位置ずｆＬ抽出回路。 ６：位置ずれ補正回路。 ８：欠陥判定回路、 ９：境界部抽出回路、 １１．１５，１ ：シフトレジスタ群。 １２．１９ ：シフトレジスタ。 １４：レフトレジスタ、 １５：排他的論理和回路群。 １６：カウンタ回路群、 １７：最小値検出回路。 ２０：選択回路。 ２１：論理積ゲート、 ２２：ＮＯｔ論理積ゲート、 ２３：論理和ゲート、 ２４：排他的論理和ゲート。 ２５：論理積ゲート。 グ ／ 図 γ 才 ２ 図 ）Ｘ３ 図
Claims (1)
- 標準パターンを記憶する標準パターンメモリと、撮儂装
置から得られる映像信号を２値化する２値化回路と、上
記標準パターンメそりより上記２値信号と上記標準パタ
ーンの位置ずれが鞄生しうる範囲の局部エリアを逐次切
１出し１局部エリアの各絵素七２ｗ信号の不一致を各絵
素ととに全面画に対し求め、全画面走査終了時に木−歇
数が最小となる局部エリアの絵素位置よｐ標準パＪ−ン
と２値信号との位置ずれ量を求める位置ずれ抽出回路と
、該位置ずれ量に基づいて標準パターンあるいは２値信
号に位置すれｔ与えて位置ずれｔ補正し元後に２短信勺
と標準パターンの不一致を標準パターン１ｐ求めたパタ
ーンの境界部以外の領域にシいて抽出する欠陥判定回路
とｔ少なくとも備えてなるパターン検査方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56127787A JPS5830645A (ja) | 1981-08-17 | 1981-08-17 | パターン検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56127787A JPS5830645A (ja) | 1981-08-17 | 1981-08-17 | パターン検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5830645A true JPS5830645A (ja) | 1983-02-23 |
| JPH038505B2 JPH038505B2 (ja) | 1991-02-06 |
Family
ID=14968665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56127787A Granted JPS5830645A (ja) | 1981-08-17 | 1981-08-17 | パターン検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5830645A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0117559A2 (en) * | 1983-02-28 | 1984-09-05 | Hitachi, Ltd. | Pattern checking apparatus |
| JPS59173736A (ja) * | 1983-03-11 | 1984-10-01 | ケイエルエイ・インストラメンツ・コ−ポレ−シヨン | 光学検査装置 |
| JPS6165377A (ja) * | 1984-09-07 | 1986-04-03 | Hitachi Ltd | パタ−ン検査装置 |
| JPH04353990A (ja) * | 1991-05-30 | 1992-12-08 | Hitachi Eng Co Ltd | パターンマッチングを用いる検査装置およびパターンマッチング方法 |
-
1981
- 1981-08-17 JP JP56127787A patent/JPS5830645A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0117559A2 (en) * | 1983-02-28 | 1984-09-05 | Hitachi, Ltd. | Pattern checking apparatus |
| JPS59157505A (ja) * | 1983-02-28 | 1984-09-06 | Hitachi Ltd | パタ−ン検査装置 |
| JPH0160767B2 (ja) * | 1983-02-28 | 1989-12-25 | Hitachi Ltd | |
| JPS59173736A (ja) * | 1983-03-11 | 1984-10-01 | ケイエルエイ・インストラメンツ・コ−ポレ−シヨン | 光学検査装置 |
| JPS6165377A (ja) * | 1984-09-07 | 1986-04-03 | Hitachi Ltd | パタ−ン検査装置 |
| JPH04353990A (ja) * | 1991-05-30 | 1992-12-08 | Hitachi Eng Co Ltd | パターンマッチングを用いる検査装置およびパターンマッチング方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH038505B2 (ja) | 1991-02-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0225651B1 (en) | Method of and apparatus for detecting pattern defects | |
| JP4230880B2 (ja) | 欠陥検査方法 | |
| US5148500A (en) | Morphological processing system | |
| JPS5830645A (ja) | パターン検査方法 | |
| JPS58222382A (ja) | 画像の傾き補正方式 | |
| JPH03170930A (ja) | パターン検査装置 | |
| JPH04157577A (ja) | 位置合わせ装置 | |
| JP3109237B2 (ja) | 画像中の線分構成画素抽出方法および線分判定方法 | |
| JPS642218B2 (ja) | ||
| JPS62154076A (ja) | 画像処理方法 | |
| JPS6359682A (ja) | 高速パタ−ン整合装置 | |
| JPS6159575A (ja) | パタ−ン検査方式 | |
| JPS58158761A (ja) | パタ−ン位置検出方法 | |
| JP2009223893A (ja) | 画像認識装置、画像認識方法及び画像認識装置を備える画像読取装置 | |
| JPS6165377A (ja) | パタ−ン検査装置 | |
| JP2998518B2 (ja) | パターン検査装置 | |
| JPH0388079A (ja) | 画像処理装置における２値化処理方法 | |
| JPS62274477A (ja) | パタ−ン欠陥検査装置 | |
| JPH0564857B2 (ja) | ||
| JPS58218271A (ja) | 網点画像検出装置 | |
| JPH0750037B2 (ja) | 配線パターン検査装置 | |
| JPS5861442A (ja) | 色画像読取装置 | |
| JPH0131750B2 (ja) | ||
| JPH1019955A (ja) | パターン検査装置 | |
| JPH06164931A (ja) | 画像信号処理装置 |