JPS58224910A - ペレツト供給装置 - Google Patents
ペレツト供給装置Info
- Publication number
- JPS58224910A JPS58224910A JP10879082A JP10879082A JPS58224910A JP S58224910 A JPS58224910 A JP S58224910A JP 10879082 A JP10879082 A JP 10879082A JP 10879082 A JP10879082 A JP 10879082A JP S58224910 A JPS58224910 A JP S58224910A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- pellets
- head
- face
- tail
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
- B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
- B07C5/04—Sorting according to size
- B07C5/10—Sorting according to size measured by light-responsive means
Landscapes
- De-Stacking Of Articles (AREA)
- Jigging Conveyors (AREA)
- Feeding Of Articles To Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、半導体装置製造等において使用されること
が多いペレット供給装置、特にペレットマウント工程等
へのペレット移送・供給ヘッドの改善に関するものであ
る０ 従来より、この種ベレット移送・供給作業は、ダイ第３
−ドを例に取れば、多数の素子を形成済みのウェーハを
素子区画毎に分割して得たペレットを任意のまま山積し
ておき、ペレットマウント封着治具の行列状態に設けた
多数の孔へ、スラグリードや外囲器ガラスバルブと共に
挿入するために、第１図に示すような行列状で真空吸引
孔１．ｌ、・・・・・・・・・と連通している凹部２１
２．・・・・・・を有するペレット供給治具３を用いて
いた。しかしながら、最近では、このペレット供給治具
３では、ペレット４を１個吸３１するはずの四部２内に
、破線で示すように２個同時ｖ誤吸引したり、正しい姿
勢で挿入・供給されない場合が生じ、しかも供給インデ
ックスが遅い等の欠点があり、次のようなテープリード
供給法が提唱されている。すなわち、第２図に示すよう
にテープ５の穴６，６．・・・・・・内へ個々のペレッ
ト４１’ｌ・・・・・ を詰め込んで、蓋テープ９を貼
着しておき、ペレット供給ヘッド８ヘテーブ５を間欠移
送する毎に、蓋テープ７を剥離して、各ヘレット４を真
空吸引コレット９等によって捕獲する方式である。とこ
ろが、このテーブリード供給法によれば、ペレット捕獲
時の誤吸引や姿勢不良挿入 供給は防止し得るもののペ
レット供給インデックス短縮は達成し得す、量産体制上
の欠陥となる場合がある。
が多いペレット供給装置、特にペレットマウント工程等
へのペレット移送・供給ヘッドの改善に関するものであ
る０ 従来より、この種ベレット移送・供給作業は、ダイ第３
−ドを例に取れば、多数の素子を形成済みのウェーハを
素子区画毎に分割して得たペレットを任意のまま山積し
ておき、ペレットマウント封着治具の行列状態に設けた
多数の孔へ、スラグリードや外囲器ガラスバルブと共に
挿入するために、第１図に示すような行列状で真空吸引
孔１．ｌ、・・・・・・・・・と連通している凹部２１
２．・・・・・・を有するペレット供給治具３を用いて
いた。しかしながら、最近では、このペレット供給治具
３では、ペレット４を１個吸３１するはずの四部２内に
、破線で示すように２個同時ｖ誤吸引したり、正しい姿
勢で挿入・供給されない場合が生じ、しかも供給インデ
ックスが遅い等の欠点があり、次のようなテープリード
供給法が提唱されている。すなわち、第２図に示すよう
にテープ５の穴６，６．・・・・・・内へ個々のペレッ
ト４１’ｌ・・・・・ を詰め込んで、蓋テープ９を貼
着しておき、ペレット供給ヘッド８ヘテーブ５を間欠移
送する毎に、蓋テープ７を剥離して、各ヘレット４を真
空吸引コレット９等によって捕獲する方式である。とこ
ろが、このテーブリード供給法によれば、ペレット捕獲
時の誤吸引や姿勢不良挿入 供給は防止し得るもののペ
レット供給インデックス短縮は達成し得す、量産体制上
の欠陥となる場合がある。
この発明は、上記従来よりの経緯を考慮に入れて検討し
た結果提唱するもので、ペレット供給をバッチ処理で行
う方式を採ったペレット供給装置とするものである。そ
こでこの発明の要旨を述べると、多数のペレットを整列
搬出させる供給源と、供給源より搬出されるペレットを
搬送する搬送路と、搬送路上にてペレットへ光源を照射
して得られる光学像にてペレットの表裏を判別して、表
のペレットのみ或いは裏のペレットのみを捕獲して移送
・供給を行う判別ヘッドとを具備させたことである。以
下この発明の詳細な説明する。
た結果提唱するもので、ペレット供給をバッチ処理で行
う方式を採ったペレット供給装置とするものである。そ
こでこの発明の要旨を述べると、多数のペレットを整列
搬出させる供給源と、供給源より搬出されるペレットを
搬送する搬送路と、搬送路上にてペレットへ光源を照射
して得られる光学像にてペレットの表裏を判別して、表
のペレットのみ或いは裏のペレットのみを捕獲して移送
・供給を行う判別ヘッドとを具備させたことである。以
下この発明の詳細な説明する。
第３図は、この発明の第１実施例を示すペレット供給装
置の概略斜視図である。第３図にて、１０はペレット供
給源としてのパーツフィーダで、円筒状ボウル１１の周
縁にヘリカル状の円周トラック１２を最上部まで巻回さ
せて、ワークでアルペレットの搬送路としての傾斜ンユ
ート１３より、ベレツ） ２，２．・・・・・−を滑落
し排出させる。１４は、傾斜シュート１３の終端部１５
と、次工程へのペレット供給路である搬送レール１６と
の間を、往復回動、いわゆるスウィング移送動作を行う
搬送アームで、その先端部１７には、終端部１５上のペ
レット４を真空吸着して移送する真空吸引コレット１８
が取付けられている。さて、１９は、終端部１５上まで
搬送されたペレット２に対して光線全照射する照明ラン
プ２０と、ペレット４の表面外観を観測する産業用ＴＶ
カメラ２１とを備えたペレット表裏判別ヘッドである。
置の概略斜視図である。第３図にて、１０はペレット供
給源としてのパーツフィーダで、円筒状ボウル１１の周
縁にヘリカル状の円周トラック１２を最上部まで巻回さ
せて、ワークでアルペレットの搬送路としての傾斜ンユ
ート１３より、ベレツ） ２，２．・・・・・−を滑落
し排出させる。１４は、傾斜シュート１３の終端部１５
と、次工程へのペレット供給路である搬送レール１６と
の間を、往復回動、いわゆるスウィング移送動作を行う
搬送アームで、その先端部１７には、終端部１５上のペ
レット４を真空吸着して移送する真空吸引コレット１８
が取付けられている。さて、１９は、終端部１５上まで
搬送されたペレット２に対して光線全照射する照明ラン
プ２０と、ペレット４の表面外観を観測する産業用ＴＶ
カメラ２１とを備えたペレット表裏判別ヘッドである。
ここで判別ヘッド１９のペレット表裏判別動作を説明す
ると次の通りである。まず、第４図（ａ）に示すように
、傾斜シュー）１３の終端部１５上に滑落て米て、一時
停止ストツバ２２に当接した先端ノベレッ）４ａが表で
あった場合、ＴＶカメラ２１は、第４図（ｂ）に示すそ
の光学像４ ａ Ｌを検出して、予め判別ヘッドに内蔵
されている表、裏ツクターン記憶装置の画像信号と照合
チェックを行いペレット４ａが表であることを認識する
。すると搬送アーム１４が降下して、真空吸引フレット
１８がペレツ）４ａを真空吸着して、第４図（ｃ）に示
す通り、上昇し、さらに搬送レール１６上まで回動して
降下、吸引解除してベレン）４ａを移送する。
ると次の通りである。まず、第４図（ａ）に示すように
、傾斜シュー）１３の終端部１５上に滑落て米て、一時
停止ストツバ２２に当接した先端ノベレッ）４ａが表で
あった場合、ＴＶカメラ２１は、第４図（ｂ）に示すそ
の光学像４ ａ Ｌを検出して、予め判別ヘッドに内蔵
されている表、裏ツクターン記憶装置の画像信号と照合
チェックを行いペレット４ａが表であることを認識する
。すると搬送アーム１４が降下して、真空吸引フレット
１８がペレツ）４ａを真空吸着して、第４図（ｃ）に示
す通り、上昇し、さらに搬送レール１６上まで回動して
降下、吸引解除してベレン）４ａを移送する。
つぎに、これに対して、次のペレツ） ４ｂが裏である
場合には、画像の照合チェック時点で、第４図（ｄ）の
ようにその光学像４ｂ’が裏であることを認識すると、
搬送アーム１４は、第４図（ｅｌのように、終端部１５
と搬送レール１６との間の空間全回動中に、真空吸引コ
レット１８が吸引解除して、ペレット４ｂをパーツフィ
ーダの円周トラック１２へ吹き落し戻入するのである。
場合には、画像の照合チェック時点で、第４図（ｄ）の
ようにその光学像４ｂ’が裏であることを認識すると、
搬送アーム１４は、第４図（ｅｌのように、終端部１５
と搬送レール１６との間の空間全回動中に、真空吸引コ
レット１８が吸引解除して、ペレット４ｂをパーツフィ
ーダの円周トラック１２へ吹き落し戻入するのである。
以下、同様の動作を繰りかえす。
したがって上述したペレット供給装置では・ペレツ）４
１’、・・・・ の光学像を予め記憶している画像信号
と照合チェックして表裏判別を行うので、判別は一瞬の
間に行え、しかも、パーツフィーダ等の搬送路から次工
程へ供給・移送動作途中で、裏向きペレットの排除作業
が行える。そして、このペレット供給装置は、ペレット
の供給・移送時点でペレットの外観光学像が撮影できれ
ばよいので、パーツフィーダ等の搬送路を複数列配置と
することもでき、次の第２実施例から明白となる。
１’、・・・・ の光学像を予め記憶している画像信号
と照合チェックして表裏判別を行うので、判別は一瞬の
間に行え、しかも、パーツフィーダ等の搬送路から次工
程へ供給・移送動作途中で、裏向きペレットの排除作業
が行える。そして、このペレット供給装置は、ペレット
の供給・移送時点でペレットの外観光学像が撮影できれ
ばよいので、パーツフィーダ等の搬送路を複数列配置と
することもでき、次の第２実施例から明白となる。
第５図は、この発明の第２実施例を示すペレット供給装
置の要部拡大斜視図で、ペレット４，４゜・・・・・・
を供給するパーツフィーダ（図示省略）よりの傾斜ンユ
ート２３は、複数列のペレット搬送溝２４ 、２４ 、
・・・・・ が設けられ、これに対応して搬送レール２
５も複数列の溝２６ 、２６ 、・・・・・が備えられ
ている。
置の要部拡大斜視図で、ペレット４，４゜・・・・・・
を供給するパーツフィーダ（図示省略）よりの傾斜ンユ
ート２３は、複数列のペレット搬送溝２４ 、２４ 、
・・・・・ が設けられ、これに対応して搬送レール２
５も複数列の溝２６ 、２６ 、・・・・・が備えられ
ている。
したがってこの場合［け、ペレット２，２．・・・・・
の真空吸着供給・移送を行う手段として、マルチ真空
・吸引式コレット２７が設定され、傾斜シュート２３と
搬送レール２５との間を、昇降−水平移動−昇降動作す
る。尚第１実施例を示した第３図と同一図番のものは、
同一名称の部品である。
の真空吸着供給・移送を行う手段として、マルチ真空
・吸引式コレット２７が設定され、傾斜シュート２３と
搬送レール２５との間を、昇降−水平移動−昇降動作す
る。尚第１実施例を示した第３図と同一図番のものは、
同一名称の部品である。
この発明によれば、従来のペレット供給治具やテープリ
ード供給法による装置と異りペレットの供給・移送イン
デックスを増大することなくペレットの姿勢制御が行え
、しかも都合によっては、バッチ処理も可能なので、量
産体制に適合でき、ペレット自動供給を完壁にする優れ
た長所がある。
ード供給法による装置と異りペレットの供給・移送イン
デックスを増大することなくペレットの姿勢制御が行え
、しかも都合によっては、バッチ処理も可能なので、量
産体制に適合でき、ペレット自動供給を完壁にする優れ
た長所がある。
第１図は従来のペレット供給治具の要部拡大斜視図、第
２図は、テープリード供給法によったペレット供給装置
の概略断面図、第３図は、この発明の第１実施例を示す
ペレット供給装置の要部拡大斜視図、第４図（ａｌはそ
の装置のペレット供給途中の要部拡大斜視図、第４図（
ｂ）及び（ｄ）は、ペレットの光学像を示すンンボル、
第４図（ｃ）及び（ｅ）は、ペレットの表又は裏のとき
の判別動作を示す概念図、第５図は第２実施例を示すペ
レット供給装置の要部拡大斜視図。 ４．４．・・・・・ ・・・ペレット、１０・・φ供給
源（ハーツフイーダ）、１３．２３・・拳搬送路（傾斜
シュート）、１９＊＠・表裏判別ヘッド、 ２ｏ・・・照明ランプ、２１・・ΦＴＶカメラ。 特許出願人 新日本電気株式会社〆濃ハ第１図 第２図 第ろ図 第。４図＜ａ＞
２図は、テープリード供給法によったペレット供給装置
の概略断面図、第３図は、この発明の第１実施例を示す
ペレット供給装置の要部拡大斜視図、第４図（ａｌはそ
の装置のペレット供給途中の要部拡大斜視図、第４図（
ｂ）及び（ｄ）は、ペレットの光学像を示すンンボル、
第４図（ｃ）及び（ｅ）は、ペレットの表又は裏のとき
の判別動作を示す概念図、第５図は第２実施例を示すペ
レット供給装置の要部拡大斜視図。 ４．４．・・・・・ ・・・ペレット、１０・・φ供給
源（ハーツフイーダ）、１３．２３・・拳搬送路（傾斜
シュート）、１９＊＠・表裏判別ヘッド、 ２ｏ・・・照明ランプ、２１・・ΦＴＶカメラ。 特許出願人 新日本電気株式会社〆濃ハ第１図 第２図 第ろ図 第。４図＜ａ＞
Claims (1)
- 多数のペレットを整列搬出させる供給源と、供給源より
搬出されるペレットを搬送する搬送路と、搬送路上にて
ペレットへ光線を照射して得られる光学像にてペレット
の表裏を判別して、表のペレットのみ或いは裏のペレッ
トのみを捕獲して移送・供給を行う判別ヘッドとを具備
することを特徴とスルペレット供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10879082A JPS58224910A (ja) | 1982-06-24 | 1982-06-24 | ペレツト供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10879082A JPS58224910A (ja) | 1982-06-24 | 1982-06-24 | ペレツト供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58224910A true JPS58224910A (ja) | 1983-12-27 |
Family
ID=14493542
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10879082A Pending JPS58224910A (ja) | 1982-06-24 | 1982-06-24 | ペレツト供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58224910A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61150916A (ja) * | 1984-12-24 | 1986-07-09 | Citizen Watch Co Ltd | 姿勢揃え装置 |
| JPS628912A (ja) * | 1985-07-05 | 1987-01-16 | Shinko Electric Co Ltd | 振動部品選別供給装置 |
| JPS6382214A (ja) * | 1986-09-25 | 1988-04-13 | Shinko Electric Co Ltd | 部品の整送装置 |
| JPS6392517A (ja) * | 1986-10-01 | 1988-04-23 | Shinko Electric Co Ltd | 部品方向転換装置 |
| JP2015196235A (ja) * | 2014-04-03 | 2015-11-09 | ファナック株式会社 | ワーク搬送システム |
| JP2018024096A (ja) * | 2017-11-20 | 2018-02-15 | ファナック株式会社 | ワーク搬送システム |
| CN108423379A (zh) * | 2018-04-19 | 2018-08-21 | 深圳市富优驰科技有限公司 | 一种mim全自动视觉引导机器人上料装置 |
| CN110743805A (zh) * | 2019-10-22 | 2020-02-04 | 江苏佳晟精密设备科技有限公司 | 一种半导体生产检测装置 |
| CN112644980A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-04-13 | 天堃自动化科技(苏州)有限公司 | 一种振动盘多轨再定位循环上料系统及上料方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS48104253A (ja) * | 1972-04-11 | 1973-12-27 | ||
| JPS5726836A (en) * | 1980-05-31 | 1982-02-13 | Jakob Kocher | Binocular ophthalmoscope |
-
1982
- 1982-06-24 JP JP10879082A patent/JPS58224910A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
| JPS48104253A (ja) * | 1972-04-11 | 1973-12-27 | ||
| JPS5726836A (en) * | 1980-05-31 | 1982-02-13 | Jakob Kocher | Binocular ophthalmoscope |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPH059326B2 (ja) * | 1985-07-05 | 1993-02-04 | Shinko Electric Co Ltd | |
| JPS6382214A (ja) * | 1986-09-25 | 1988-04-13 | Shinko Electric Co Ltd | 部品の整送装置 |
| JPS6392517A (ja) * | 1986-10-01 | 1988-04-23 | Shinko Electric Co Ltd | 部品方向転換装置 |
| JP2015196235A (ja) * | 2014-04-03 | 2015-11-09 | ファナック株式会社 | ワーク搬送システム |
| US10207872B2 (en) | 2014-04-03 | 2019-02-19 | Fanuc Corporation | Workpiece conveyor system |
| JP2018024096A (ja) * | 2017-11-20 | 2018-02-15 | ファナック株式会社 | ワーク搬送システム |
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