JPS58195848A - 自動現像装置 - Google Patents
自動現像装置Info
- Publication number
- JPS58195848A JPS58195848A JP7961782A JP7961782A JPS58195848A JP S58195848 A JPS58195848 A JP S58195848A JP 7961782 A JP7961782 A JP 7961782A JP 7961782 A JP7961782 A JP 7961782A JP S58195848 A JPS58195848 A JP S58195848A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- signal
- development
- image sensor
- photoresist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/30—Imagewise removal using liquid means
- G03F7/3021—Imagewise removal using liquid means from a wafer supported on a rotating chuck
- G03F7/3028—Imagewise removal using liquid means from a wafer supported on a rotating chuck characterised by means for on-wafer monitoring of the processing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本＠ｋｌｉ４Ｆｉ、自Ｓ男像装置１時にホトレジストｌ
用ｖｈ友ガラスマスター原盤における目勧机像装−に関
する。
用ｖｈ友ガラスマスター原盤における目勧机像装−に関
する。
最近レーザーの＠辰に伴なって、レーザー會光源とし、
そのレーザーｆ、ｉ刈智しンズ寺で叔９込んで感光材に
照射し、Ｎ″１１１′に紀鰍するシステムがさかんＶＣ
新死葛れて＾る◎峙に、ホトレジストにＸゾ智しン谷献
９込ま１″した光【白てて處元し、礪澹する方法は、光
学方式ビデオディスク、光字方式ディジＩル・オーデオ
ディスク等のガラスオスターぶ膳を真作する融に広く用
いられている・ガラスｉスＩ−原盤は、通常力２スｉ檄
上に１０００ Ａ ４ｉ直のホトレジスト？ｌｉ姻し、
そのガラス鳳ａｔ−叡させながら対物レンズで紋り込ま
ｎた元−【ホトレジストＩＩｃｍ射して１−虻行なって
いる・−ｔｏｔａ、この光−は１号によってオン−オフ
されて＾るので信号に応じた光がホトレジストに纒射さ
れることになる・筐友、ガラスＪＩＡ麹上に塗４１葛ｒ
′ＬＪｈホトレジストは、ｙｓ像度及び信号形状の＠Ａ
から一般にポジ蓋レジストが用いられる。こうして、ｍ
光が終ったガラス原盤は、久に塊電工偏へ處られ、楓１
ａさｎる・ポジ蓋レジストの）ｍ会は、Ｉｋ光さｎた偏
分が町浴性となるので、机饋犠はＪｉＫ１１１％ｉ＃Ｃ
ボす憧にガラス基板（４）上のホトレジスト山がｌｌｌ
１出して鯵或さｎた紀録偏号としてのピッ） （ｌＪと
、トラツタピッチに刈地してピッチ（ｕ’ｔｕ関に鯵Ｉ
ｉＬ畜れたランド田とによるレリーフ墓の□パターンが
碍ら八る・ζＯ嫌にして、ガラス原電マスターは１作さ
れるが１本トレジスト属が１０００ Ａ Ｉｍ度と非′
Ｉｖに尊いので、雰囲気（画えば湿度等）によって大き
く感度が左右され、ピッ） （１）の断−寸法（ａ）が
変化することになる◎しかし、この寸法（ＩＬ）は信号
に関係するものであるから、非常に重責なファクターで
あり、正４に管理する必要があるのである。そこで、こ
の様な変動をなくすため、産米から現像時に時間ｔ−制
−してこの寸法（１１１）を−足にすることが試みられ
てい７ｔ。
そのレーザーｆ、ｉ刈智しンズ寺で叔９込んで感光材に
照射し、Ｎ″１１１′に紀鰍するシステムがさかんＶＣ
新死葛れて＾る◎峙に、ホトレジストにＸゾ智しン谷献
９込ま１″した光【白てて處元し、礪澹する方法は、光
学方式ビデオディスク、光字方式ディジＩル・オーデオ
ディスク等のガラスオスターぶ膳を真作する融に広く用
いられている・ガラスｉスＩ−原盤は、通常力２スｉ檄
上に１０００ Ａ ４ｉ直のホトレジスト？ｌｉ姻し、
そのガラス鳳ａｔ−叡させながら対物レンズで紋り込ま
ｎた元−【ホトレジストＩＩｃｍ射して１−虻行なって
いる・−ｔｏｔａ、この光−は１号によってオン−オフ
されて＾るので信号に応じた光がホトレジストに纒射さ
れることになる・筐友、ガラスＪＩＡ麹上に塗４１葛ｒ
′ＬＪｈホトレジストは、ｙｓ像度及び信号形状の＠Ａ
から一般にポジ蓋レジストが用いられる。こうして、ｍ
光が終ったガラス原盤は、久に塊電工偏へ處られ、楓１
ａさｎる・ポジ蓋レジストの）ｍ会は、Ｉｋ光さｎた偏
分が町浴性となるので、机饋犠はＪｉＫ１１１％ｉ＃Ｃ
ボす憧にガラス基板（４）上のホトレジスト山がｌｌｌ
１出して鯵或さｎた紀録偏号としてのピッ） （ｌＪと
、トラツタピッチに刈地してピッチ（ｕ’ｔｕ関に鯵Ｉ
ｉＬ畜れたランド田とによるレリーフ墓の□パターンが
碍ら八る・ζＯ嫌にして、ガラス原電マスターは１作さ
れるが１本トレジスト属が１０００ Ａ Ｉｍ度と非′
Ｉｖに尊いので、雰囲気（画えば湿度等）によって大き
く感度が左右され、ピッ） （１）の断−寸法（ａ）が
変化することになる◎しかし、この寸法（ＩＬ）は信号
に関係するものであるから、非常に重責なファクターで
あり、正４に管理する必要があるのである。そこで、こ
の様な変動をなくすため、産米から現像時に時間ｔ−制
−してこの寸法（１１１）を−足にすることが試みられ
てい７ｔ。
この従来の制御方式を第２１支び第３図により説明する
と、（４）は記録された信号の蛾内縄部分。
と、（４）は記録された信号の蛾内縄部分。
（５）は最外周部分、（６）は（４）と（５）の閣の記
録された旧号の一部分である・現儂工橿で、ホトレジス
ト（２）上に塊像液（７）ｔ−供給すると、４光された
部分（８〕が徐々に＃解されて行く。通常この過ｍｒｉ
まず深さ方向に進行し、それから横方向に進んで行く。
録された旧号の一部分である・現儂工橿で、ホトレジス
ト（２）上に塊像液（７）ｔ−供給すると、４光された
部分（８〕が徐々に＃解されて行く。通常この過ｍｒｉ
まず深さ方向に進行し、それから横方向に進んで行く。
一方前記信号はスパイラル、又は閤芯円状で一定の１屹
隔を−って記録されている。したがって、信号トラック
は現像が進むにつれて光に対する位相格子として鋤く悼
になる。そこで、現像時（、信号″が紀−されている部
分の−、ｆ％通常１１１機１１０し「ず−スポット（９
）を照射すると、前記位相子を通過したレーず−ビーム
は、０次光四と±１次元四ｌｌ！ＩＫ分離される機にな
る。この１次光と０久光の比率は、格子の深さと巾によ
って決芝されるので、従来はこの原塩を用いて記録ピッ
） ＋１）の寸法惨）が一定になる嫌（現像時間を制御
していたのである◎ しかしながら、この嫌な方法には次の様な欠点が存在し
てｈろ・楓像筺の屈折率は水と四じ〈幻１．５であり１
ホトレジストの屈折率ｔ１．６４としてもその着はわず
か０．１４である・今１編厚會１０ｏＯＸとすると、格
子による位相差は、レーザー光−の涙量をλ・として−
３／１００λ・であり、−次光は１．４１１４１ｔｆ：
Ｌかでｔｋ−６１，か−これはビット（υとランド（ｂ
の寸法か同等Ｏ揚台であって、実際にはピッ） （１７
４０寸法はランド【６０寸法よりはるかに小さｈため、
−次光は上述０［よりもさらに小さくなる・ｃａｗａｉ
ｔｓ値光ｔホトディテクターで受けて増巾する＃Ｃは、
［流増暢によりｔ−ボ【掛けるときに＠ａｔ変化による
ｌ１ｌｔ篭流のドリフト等により檀々０小安定責内があ
り、安定した装置を得ることはなかなか１亀であった。
隔を−って記録されている。したがって、信号トラック
は現像が進むにつれて光に対する位相格子として鋤く悼
になる。そこで、現像時（、信号″が紀−されている部
分の−、ｆ％通常１１１機１１０し「ず−スポット（９
）を照射すると、前記位相子を通過したレーず−ビーム
は、０次光四と±１次元四ｌｌ！ＩＫ分離される機にな
る。この１次光と０久光の比率は、格子の深さと巾によ
って決芝されるので、従来はこの原塩を用いて記録ピッ
） ＋１）の寸法惨）が一定になる嫌（現像時間を制御
していたのである◎ しかしながら、この嫌な方法には次の様な欠点が存在し
てｈろ・楓像筺の屈折率は水と四じ〈幻１．５であり１
ホトレジストの屈折率ｔ１．６４としてもその着はわず
か０．１４である・今１編厚會１０ｏＯＸとすると、格
子による位相差は、レーザー光−の涙量をλ・として−
３／１００λ・であり、−次光は１．４１１４１ｔｆ：
Ｌかでｔｋ−６１，か−これはビット（υとランド（ｂ
の寸法か同等Ｏ揚台であって、実際にはピッ） （１７
４０寸法はランド【６０寸法よりはるかに小さｈため、
−次光は上述０［よりもさらに小さくなる・ｃａｗａｉ
ｔｓ値光ｔホトディテクターで受けて増巾する＃Ｃは、
［流増暢によりｔ−ボ【掛けるときに＠ａｔ変化による
ｌ１ｌｔ篭流のドリフト等により檀々０小安定責内があ
り、安定した装置を得ることはなかなか１亀であった。
本発明は、かかる問題点に朧み１女建した塊慮コントロ
ールがａＪ乾な自鯛曵儂装置の提倶葡目的とする。
ールがａＪ乾な自鯛曵儂装置の提倶葡目的とする。
本発明は、この九め、塊謙すべきガラスマスター原盤の
一側方にレーザー光を紋り込んで照射するレンズを配直
し、鴻側方のレーザー光の１ｇＪ折による０次光と＋１
次光又は０次光と一１仄光の１なり−にイメージセンサ
−を配直し、レーザー光を紋り込むことによｏ９Ｌ儂作
用中に発生する位摺朧パターンによるｉ＆！Ｉ折光００
次光と±１次光ｋＸＱる憶にし１重ねることによって位
相差ｔ−明暗変化に変え１位相格子の誠さと巾を明晰の
コントラストとしてイメージセンチ−で慣出し、拭ｌｊ
！条件を側御する体にした自ＩａＪ椀揮装置、を提供す
る。
一側方にレーザー光を紋り込んで照射するレンズを配直
し、鴻側方のレーザー光の１ｇＪ折による０次光と＋１
次光又は０次光と一１仄光の１なり−にイメージセンサ
−を配直し、レーザー光を紋り込むことによｏ９Ｌ儂作
用中に発生する位摺朧パターンによるｉ＆！Ｉ折光００
次光と±１次光ｋＸＱる憶にし１重ねることによって位
相差ｔ−明暗変化に変え１位相格子の誠さと巾を明晰の
コントラストとしてイメージセンチ−で慣出し、拭ｌｊ
！条件を側御する体にした自ＩａＪ椀揮装置、を提供す
る。
次に１本開明の一夷厖例を薦４図に基づいて収―する。
なお、１１４１図乃至纂３図で説明したものと同一の構
成費ＸＫりいてに同一の参照蕾号を付して説明ｔｆ＋４
する。ガラスｉ板（３）０ホトレジスｔレーザービーム
（９）を入れ、ホトレジスト（２）上でレーザービーム
（９）が紋られる様に配−構成されている。ここで、前
述した様にホトレジストに配縁さｎた信号トラックが位
相格子として働くので。
成費ＸＫりいてに同一の参照蕾号を付して説明ｔｆ＋４
する。ガラスｉ板（３）０ホトレジスｔレーザービーム
（９）を入れ、ホトレジスト（２）上でレーザービーム
（９）が紋られる様に配−構成されている。ここで、前
述した様にホトレジストに配縁さｎた信号トラックが位
相格子として働くので。
レーザー光は０次光と±１次光とに分離さｎ、その際ホ
トレジスト面上で紋り込ｔｆ′した光は紋り込み角度と
−−Ｏ角度で広がる九め、０次光と±１次光とＯ重な参
ｍｍが形成される。輪は、この電なりｌＩ＠に対応させ
て配置されたイメージセンサ−、ＯＪｌはオペアンプで
ある・上鮎０＠ｌｆｃ Ｑ次光と±１次光とが重なると
、よく知られている徐に位相差は明暗変化Ｋｇわり、か
つトラックピッチは一定であるＯで嘴暗の周期は一定で
ある◎そしてこの＠＊ｏ＝ｒントラストは１位相格子の
深さと巾によって異なるので、この白墨パターンを前記
イメージセンサー−で検出する仁とによ抄楓像の進Ｉ！
ＩＬに対応し友交流信号が得られ、この交流信号をオペ
アンプ−で増巾してｗ御信号として販９出すのである。
トレジスト面上で紋り込ｔｆ′した光は紋り込み角度と
−−Ｏ角度で広がる九め、０次光と±１次光とＯ重な参
ｍｍが形成される。輪は、この電なりｌＩ＠に対応させ
て配置されたイメージセンサ−、ＯＪｌはオペアンプで
ある・上鮎０＠ｌｆｃ Ｑ次光と±１次光とが重なると
、よく知られている徐に位相差は明暗変化Ｋｇわり、か
つトラックピッチは一定であるＯで嘴暗の周期は一定で
ある◎そしてこの＠＊ｏ＝ｒントラストは１位相格子の
深さと巾によって異なるので、この白墨パターンを前記
イメージセンサー−で検出する仁とによ抄楓像の進Ｉ！
ＩＬに対応し友交流信号が得られ、この交流信号をオペ
アンプ−で増巾してｗ御信号として販９出すのである。
Ｉ５＃！信号は、従来の直流信号に比べて安定的に増巾
でき、しかもイメージセンサー−はコントラストを検出
するもので、−元菫の変動によって影４１を受けないの
で、机憾の４腿によるわずかな変化を十分安定的にモニ
ターすることができる。
でき、しかもイメージセンサー−はコントラストを検出
するもので、−元菫の変動によって影４１を受けないの
で、机憾の４腿によるわずかな変化を十分安定的にモニ
ターすることができる。
次に真体夾ａｎｔ示すと、対切しンズ眞の開口ａ（入ム
）がｏ、ｔ 、 １ｒｓ号トラックピッチが１．６ｐｍ
。
）がｏ、ｔ 、 １ｒｓ号トラックピッチが１．６ｐｍ
。
レーザー光（９）の波長が０．６μｍの場合、ガラス着
板（３）の約２０−下方にイメージセンサー−を配瀘す
るとしたー＠−、屏像友が３０μＬ以下のイメージセン
サ−（２）を０次元と１次光の電なり部（至）に配置す
ｎば良員。
板（３）の約２０−下方にイメージセンサー−を配瀘す
るとしたー＠−、屏像友が３０μＬ以下のイメージセン
サ−（２）を０次元と１次光の電なり部（至）に配置す
ｎば良員。
本発明の自動机１１１２装−４によれば１以上の説鉤か
ら明らかな様に％机憶すべきガラスマスター原盤ｄして
１、ムなり−に生じた位相恰子の碌さと巾に対に６ Ｌ
、た明暗のコントラストｔＩＬＪ紀イメージセンサ−に
て恢圓する。”ｃ’、交ａｍ号が得らｎて女定した増巾
が可能でかつランストラストを検出するので総光量の変
動の影響を受けず、勇儂の進度を安定的にモニターしな
がら１Ｉｌ１１１１ＩＩすることができる０
ら明らかな様に％机憶すべきガラスマスター原盤ｄして
１、ムなり−に生じた位相恰子の碌さと巾に対に６ Ｌ
、た明暗のコントラストｔＩＬＪ紀イメージセンサ−に
て恢圓する。”ｃ’、交ａｍ号が得らｎて女定した増巾
が可能でかつランストラストを検出するので総光量の変
動の影響を受けず、勇儂の進度を安定的にモニターしな
がら１Ｉｌ１１１１ＩＩすることができる０
纂１図はガラスマスター原盤の断面図、第２図は刈上面
図、１１３図は従来の現像時Ｏ伏線を示す＠Ｓａａ、藁
４図は本発明の一夷滝ガを概略構成の説明図である。 （ｌＪは記鍮侭号としてのピッ）、（２３はホトレジス
） 、 （Ｊ）はガラス着板、（７）は現像液、１（８
）はホトレジスト０＠光された部分、（９）はレーザー
光、ＱＱは０久光、−は＋１次党、ａｓは一１次光、（
至）はレンズ。 −はイメージセンナ−，０１１１は０次光と１次光又は
０久光と一１次光との電なｐ部０ ｊＩ１図 第′：５図 ７ノ １０ ／２ 矛２図
図、１１３図は従来の現像時Ｏ伏線を示す＠Ｓａａ、藁
４図は本発明の一夷滝ガを概略構成の説明図である。 （ｌＪは記鍮侭号としてのピッ）、（２３はホトレジス
） 、 （Ｊ）はガラス着板、（７）は現像液、１（８
）はホトレジスト０＠光された部分、（９）はレーザー
光、ＱＱは０久光、−は＋１次党、ａｓは一１次光、（
至）はレンズ。 −はイメージセンナ−，０１１１は０次光と１次光又は
０久光と一１次光との電なｐ部０ ｊＩ１図 第′：５図 ７ノ １０ ／２ 矛２図
Claims (1)
- （１） 机渾すべきガラスマスター原盤の一一万にレ
ーザ光を紋り込んで照射するレンズに配直し、仙貴方の
レーザー光の回折（よる０久光と＋１次元又ＦｉＯ久光
と一１久元の嵐なり一にイメージセンサ−を配置した自
励９Ｌ儂鋏置Ｏ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7961782A JPS58195848A (ja) | 1982-05-11 | 1982-05-11 | 自動現像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7961782A JPS58195848A (ja) | 1982-05-11 | 1982-05-11 | 自動現像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58195848A true JPS58195848A (ja) | 1983-11-15 |
| JPH0421857B2 JPH0421857B2 (ja) | 1992-04-14 |
Family
ID=13695011
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7961782A Granted JPS58195848A (ja) | 1982-05-11 | 1982-05-11 | 自動現像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58195848A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5230429A (en) * | 1975-09-03 | 1977-03-08 | Canon Inc | Photographic image recording and processing system |
| JPS56145332A (en) * | 1980-04-12 | 1981-11-12 | Victor Co Of Japan Ltd | Detecting device for state of proper development |
-
1982
- 1982-05-11 JP JP7961782A patent/JPS58195848A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5230429A (en) * | 1975-09-03 | 1977-03-08 | Canon Inc | Photographic image recording and processing system |
| JPS56145332A (en) * | 1980-04-12 | 1981-11-12 | Victor Co Of Japan Ltd | Detecting device for state of proper development |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0421857B2 (ja) | 1992-04-14 |
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