JPS58169107A - 光学的情報入出力装置 - Google Patents
光学的情報入出力装置Info
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- JPS58169107A JPS58169107A JP5200382A JP5200382A JPS58169107A JP S58169107 A JPS58169107 A JP S58169107A JP 5200382 A JP5200382 A JP 5200382A JP 5200382 A JP5200382 A JP 5200382A JP S58169107 A JPS58169107 A JP S58169107A
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- JP
- Japan
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- dielectric
- diffraction grating
- waveguide layer
- refractive index
- light
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/124—Geodesic lenses or integrated gratings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/34—Optical coupling means utilising prism or grating
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は回折格子を用いた光導波路層の光学的情報入出
力装置に関する。
力装置に関する。
近年、光を利用した情報通信や情報紀碌再生が注目され
ているＯそして、このような光情報の伝達を担う光学的
部品として、例えば光導波路と光ファイバとを結合した
り、あるいは光ヒ゛デオディスク等の光情報記録媒体と
光学ヘッドとを結合する非接触量の光学的情報入出力装
置、所謂非接触減光結合器が檀々開発されている。
ているＯそして、このような光情報の伝達を担う光学的
部品として、例えば光導波路と光ファイバとを結合した
り、あるいは光ヒ゛デオディスク等の光情報記録媒体と
光学ヘッドとを結合する非接触量の光学的情報入出力装
置、所謂非接触減光結合器が檀々開発されている。
第１図に例示するものは、平板復光導技路に回折格子を
設けた構造の従来の光結合器の概略構成を示すものであ
る。即ち、この光結合器は、誘電体基板１１の表面近傍
に誘電体光導波路層１２を形成し、この光導波路層１２
の界１１に不等間隔曲線群からなる回折格子ＩＳを形成
した構造を有するものであり、上記先導波路層１２を伝
搬する導波光２１を上記回折格子１１にて回折して上記
導波路層１２０表面より直接外部光２３として取出し、
焦点２４に収束させるものである。
設けた構造の従来の光結合器の概略構成を示すものであ
る。即ち、この光結合器は、誘電体基板１１の表面近傍
に誘電体光導波路層１２を形成し、この光導波路層１２
の界１１に不等間隔曲線群からなる回折格子ＩＳを形成
した構造を有するものであり、上記先導波路層１２を伝
搬する導波光２１を上記回折格子１１にて回折して上記
導波路層１２０表面より直接外部光２３として取出し、
焦点２４に収束させるものである。
ところが、このような構造の光結合器では、その焦点２
４が導波路層１２０表面の近傍に位置する為、上記導波
路層１２上に各種の素子を配置することが非常に困難で
あり、更には導波路層１２を伝搬する導波光２１の散乱
光による愚影響を受は易いと云う問題がある。また上記
構造によれは、導波光２１が回折格子ＪＪＫより回折さ
れて空中に出力されると同様に、基板１１＠にも回折さ
れる。この為、他の損失を考慮しなくても光の回折効率
、結合効率が約１／２になってしまう、しかも回折格子
ＪＪＫは、導波光２１の進行方向に、！２′Ｉして垂直
に光を１折することのみならず、上記進行方向とは逆方
向に光を回折させる領域を鳴している。この為、上記領
域における回折格子１３の格子間隔を、（使用波長）÷
（導波路の実効屈折率）以Ｆにすることが必賛となる。
４が導波路層１２０表面の近傍に位置する為、上記導波
路層１２上に各種の素子を配置することが非常に困難で
あり、更には導波路層１２を伝搬する導波光２１の散乱
光による愚影響を受は易いと云う問題がある。また上記
構造によれは、導波光２１が回折格子ＪＪＫより回折さ
れて空中に出力されると同様に、基板１１＠にも回折さ
れる。この為、他の損失を考慮しなくても光の回折効率
、結合効率が約１／２になってしまう、しかも回折格子
ＪＪＫは、導波光２１の進行方向に、！２′Ｉして垂直
に光を１折することのみならず、上記進行方向とは逆方
向に光を回折させる領域を鳴している。この為、上記領
域における回折格子１３の格子間隔を、（使用波長）÷
（導波路の実効屈折率）以Ｆにすることが必賛となる。
例えば使用波長を０．６３２８μｍ 、実効屈折率を１
．５３とすると、回折格子ＩＪの最小格子間隔な０．４
１μｍ以下にすることが必要となる。このような回折格
子１８を形成する為には、その＃幅を０．２μｍ以下に
しなければならず、現在の電子ビーム描画法を利用して
も甚だ困難である。まして、量産性の高いフォトマスク
を用いて上述した回折格子１３を形成することは到底望
むことはできず、塊状ではホログラフインク技術に依ら
ざるを得ない、しかし、通常のフォトレジスト等の感光
材料は、長波長帯における悪風が極めて低く、例えば０
．６３２８μｍ の光を用いてこれを感光することはで
きない・これ故、回折格子ＩＪの作製時とその使用時と
の波長の異なりによる収差が大きな問題となっている・ 〔発明の目的〕 本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、そ
の目的とするところは１回折格子の最小格子間隔を大き
く設定することができ、しかも回折光を一方向にのみ＾
効率に取出すことのできる簡易で実用性の高い光学的情
報入出力装置を提供することにある。
．５３とすると、回折格子ＩＪの最小格子間隔な０．４
１μｍ以下にすることが必要となる。このような回折格
子１８を形成する為には、その＃幅を０．２μｍ以下に
しなければならず、現在の電子ビーム描画法を利用して
も甚だ困難である。まして、量産性の高いフォトマスク
を用いて上述した回折格子１３を形成することは到底望
むことはできず、塊状ではホログラフインク技術に依ら
ざるを得ない、しかし、通常のフォトレジスト等の感光
材料は、長波長帯における悪風が極めて低く、例えば０
．６３２８μｍ の光を用いてこれを感光することはで
きない・これ故、回折格子ＩＪの作製時とその使用時と
の波長の異なりによる収差が大きな問題となっている・ 〔発明の目的〕 本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、そ
の目的とするところは１回折格子の最小格子間隔を大き
く設定することができ、しかも回折光を一方向にのみ＾
効率に取出すことのできる簡易で実用性の高い光学的情
報入出力装置を提供することにある。
本発明はＩｔｃ面近傍に訪亀体党４波路層を形成してな
る誘電体基板と、上記誘電体導波路層よりも低い屈折率
の鱈電体物質を前記誘電体光導波路層の界面に形成して
設けられた不等間隔曲線群からなる回折格子とを備えた
光学的情報入出力装置において、上記回折格子のＸ軸方
向お上びｙ軸方向ベクトル成分をそれぞれＫｘ 、Ｋｙ
としたとき、上記回折格子の格子間隔Ａを、４ ｘ＝
２ ｗ ／ＪＫｘ” ＋ Ｋｙｌとし、前記誘電体光導
波路層を伝搬する４波光の進行方向とＸ軸とのなす角度
なθ、上紀導波九の真空中での伝搬係数をｋ。、前記誘
電体基板の屈折率をｎｌ、前記誘電体光導波路層の実効
屈折率゛をＮとしたとき、ｋ。（（ｋｏＮａｍｅ −Ｋ
ｘ ）＋（ｋｏＮ−θ−Ｋｙ） ＜ｋｏ ｎｓ なる
関係に定め、これによって前記回折格子による回折光な
前記誘電体基板の誘電体光導波路層に接する面とは異な
る面より入出力させるようにしたことを特徴とするもの
である。
る誘電体基板と、上記誘電体導波路層よりも低い屈折率
の鱈電体物質を前記誘電体光導波路層の界面に形成して
設けられた不等間隔曲線群からなる回折格子とを備えた
光学的情報入出力装置において、上記回折格子のＸ軸方
向お上びｙ軸方向ベクトル成分をそれぞれＫｘ 、Ｋｙ
としたとき、上記回折格子の格子間隔Ａを、４ ｘ＝
２ ｗ ／ＪＫｘ” ＋ Ｋｙｌとし、前記誘電体光導
波路層を伝搬する４波光の進行方向とＸ軸とのなす角度
なθ、上紀導波九の真空中での伝搬係数をｋ。、前記誘
電体基板の屈折率をｎｌ、前記誘電体光導波路層の実効
屈折率゛をＮとしたとき、ｋ。（（ｋｏＮａｍｅ −Ｋ
ｘ ）＋（ｋｏＮ−θ−Ｋｙ） ＜ｋｏ ｎｓ なる
関係に定め、これによって前記回折格子による回折光な
前記誘電体基板の誘電体光導波路層に接する面とは異な
る面より入出力させるようにしたことを特徴とするもの
である。
〔発明の効果〕 −
かくして本発明によれは、回折格子の最小格子間隔を大
きく設定してその製作を容易ムらしめると共に、光導波
路を伝搬する導波光を訪電体基’ｓ儒の一方向にのみ回
折させることＫよりその効率の向上を図ることが可能と
なる。しかも回折光の入出力面と導波路面とを異なる面
にＴることができるので、上記導波路上の空間を自由に
使うことがＩｆｆＪ能となる等の、実用上絶大なる効果
を奏する。
きく設定してその製作を容易ムらしめると共に、光導波
路を伝搬する導波光を訪電体基’ｓ儒の一方向にのみ回
折させることＫよりその効率の向上を図ることが可能と
なる。しかも回折光の入出力面と導波路面とを異なる面
にＴることができるので、上記導波路上の空間を自由に
使うことがＩｆｆＪ能となる等の、実用上絶大なる効果
を奏する。
以Ｆ１図面を参照して本発明の一実施例につき説明する
。
。
１８２図は実施例装置の概略構成図であり、纂３図はそ
の＃面構造を示す図である・誘電体基＆１１の上面には
、該基板１１より屈折率の＾い誘電体物質からなる誘亀
体光導良路層１１が形成され工おり、この光導波路層１
２の界面には該基板１１より屈折率の低い誘電体物質で
形成された不等間隔曲線群からなる回折格子１１が設け
られている・このような構造は、基本的には上述した第
１図に示す従来装置と同じくする。しかして、前記基板
１１の端面は回折光の入出力面１６として、藺紀光導波
路層１２０面に対し１角度α（０＠＜α＜９０′″）に
傾斜形成され工いる。そして、１紀回折格子ＩＳは、次
に説明するように、前記導波路層１２を伝搬する導波光
２１を基＆ Ｊ Ｉ ＩＩＩの一方向にのみ回折し、前
記入出力面Ｊ５より射出して焦点Ｊ４ｉ’Ｃ収束するべ
く条件設定されている。
の＃面構造を示す図である・誘電体基＆１１の上面には
、該基板１１より屈折率の＾い誘電体物質からなる誘亀
体光導良路層１１が形成され工おり、この光導波路層１
２の界面には該基板１１より屈折率の低い誘電体物質で
形成された不等間隔曲線群からなる回折格子１１が設け
られている・このような構造は、基本的には上述した第
１図に示す従来装置と同じくする。しかして、前記基板
１１の端面は回折光の入出力面１６として、藺紀光導波
路層１２０面に対し１角度α（０＠＜α＜９０′″）に
傾斜形成され工いる。そして、１紀回折格子ＩＳは、次
に説明するように、前記導波路層１２を伝搬する導波光
２１を基＆ Ｊ Ｉ ＩＩＩの一方向にのみ回折し、前
記入出力面Ｊ５より射出して焦点Ｊ４ｉ’Ｃ収束するべ
く条件設定されている。
今、ここで、上記構造の装置の座標系を基叡ＪＪＫ飼っ
て＃１２図に示す如く定め、導波光２１の進行方向とＸ
軸とのなす角度が０であるとする・また回折格子１３に
より回折されて入出力面１５より焦点ＪＩ５に収束する
光２３のベクトル方向が第２図に示す如く角度φ、ψで
示されるものとする。このとき、１紀回折格子１３の格
子のベクトルのＸ成分およびｙ成分はそれぞれ次のよう
に定められている。
て＃１２図に示す如く定め、導波光２１の進行方向とＸ
軸とのなす角度が０であるとする・また回折格子１３に
より回折されて入出力面１５より焦点ＪＩ５に収束する
光２３のベクトル方向が第２図に示す如く角度φ、ψで
示されるものとする。このとき、１紀回折格子１３の格
子のベクトルのＸ成分およびｙ成分はそれぞれ次のよう
に定められている。
Ｋｘ ＝ ｋＯ（ａｓαｍｆｃｘｍ＃ −ｍαｎ、”
−＝” ｆ＋ ８ｗ６ ）−−（１１Ｋ）’＝ｋｏ（−
１−φ十Ｎａｍθ）・・・・・・（２）但し、上式中、
ｋｏ は導波光２１の真窒中における伝搬定数、ｎ、は
基板１ノの屈折率、Ｎは導波路層１２の実効屈折率をそ
れぞれ示している。上記第（１）式鉛゛よび第（２）式
で示される角度のパラメータψ、φは、光路によって異
なる、値を持ち、従って回折格子１３の格子間隔と格子
線の向きは場所によって異なり、この結果上紀囲折格子
１３を形成する格子線群は不等間隔−線群を為すものと
なる。セし工、回折格子１１の格子間隔Ａは、 Ａ−２＊ ／ ５ ・・・・・・・・−（３）なる条
件に定められる。また、上記格子線のＸ方向およびｙ方
向のベクトル成分Ｋｘ、Ｋｙは次の条件を満たすように
定められる。
−＝” ｆ＋ ８ｗ６ ）−−（１１Ｋ）’＝ｋｏ（−
１−φ十Ｎａｍθ）・・・・・・（２）但し、上式中、
ｋｏ は導波光２１の真窒中における伝搬定数、ｎ、は
基板１ノの屈折率、Ｎは導波路層１２の実効屈折率をそ
れぞれ示している。上記第（１）式鉛゛よび第（２）式
で示される角度のパラメータψ、φは、光路によって異
なる、値を持ち、従って回折格子１３の格子間隔と格子
線の向きは場所によって異なり、この結果上紀囲折格子
１３を形成する格子線群は不等間隔−線群を為すものと
なる。セし工、回折格子１１の格子間隔Ａは、 Ａ−２＊ ／ ５ ・・・・・・・・−（３）なる条
件に定められる。また、上記格子線のＸ方向およびｙ方
向のベクトル成分Ｋｘ、Ｋｙは次の条件を満たすように
定められる。
ｋ□ （（ｋ□ Ｎ０ＯＩσ−Ｋｘ ） ＋ （ｋｏＮ
ｍ” ｋＹ ） ＜ ｋｏ Ｉｔｍ・・・・・・・・・
（４） この第（４）式にボされる条件は、前記入出力面１５と
導波路面１２との為す角度αを ０ 〈α〈９０ に定めたときにのみ成立するものである。しかし工、こ
のような条件を満たすべく繭紀回折格子１３を形成した
場合、光導ｇＪＬ路層１２を伝搬する導波光２１の回折
格子１３による１次回折光は誘電体基板ｌｌ−にのみ進
行し、光導波路Ｎ１１２の表面より直接９間に出力する
ことがなくなる。そして、前記入出力面１５より、その
焦点２４に向は工高効率に収束することになる・まだ上
記条件ｙ満たす回折格子１ｓｔｃついてみれは、その格
子間隔Ａと角度φとの関係は入出力面１６の開口数（Ｎ
、Ａ）に相当ｊる願ψをパラメータとしたとき、第４
図実線で示す通りとなる。第４図Ｋ、これに斜比して第
１図に不す従来構造の（ロ）折格子１３における格子間
隔Ａと角度φとの関係を破線で示すように、本栴造によ
れは格子間隔Ａを従来の約２倍に拡げることが可能とな
る。このことは、ψ、φに関して適尚な領域を選べは、
回折格子１３を遠紫外波長な用いたフォトマスク法にて
簡易に製作できることを意味する・ 従って本発明によれは、回折格子ＩＳＯ格子間隔Ａを広
く設定し１その製作を容易ならしめると共に、導波路層
１２を伝搬する導波光２１を基＠１１＠にのみ回折させ
て高効率Ｋ１１ｉｔ出すことができる。その上、導波路
層１２表面に。
ｍ” ｋＹ ） ＜ ｋｏ Ｉｔｍ・・・・・・・・・
（４） この第（４）式にボされる条件は、前記入出力面１５と
導波路面１２との為す角度αを ０ 〈α〈９０ に定めたときにのみ成立するものである。しかし工、こ
のような条件を満たすべく繭紀回折格子１３を形成した
場合、光導ｇＪＬ路層１２を伝搬する導波光２１の回折
格子１３による１次回折光は誘電体基板ｌｌ−にのみ進
行し、光導波路Ｎ１１２の表面より直接９間に出力する
ことがなくなる。そして、前記入出力面１５より、その
焦点２４に向は工高効率に収束することになる・まだ上
記条件ｙ満たす回折格子１ｓｔｃついてみれは、その格
子間隔Ａと角度φとの関係は入出力面１６の開口数（Ｎ
、Ａ）に相当ｊる願ψをパラメータとしたとき、第４
図実線で示す通りとなる。第４図Ｋ、これに斜比して第
１図に不す従来構造の（ロ）折格子１３における格子間
隔Ａと角度φとの関係を破線で示すように、本栴造によ
れは格子間隔Ａを従来の約２倍に拡げることが可能とな
る。このことは、ψ、φに関して適尚な領域を選べは、
回折格子１３を遠紫外波長な用いたフォトマスク法にて
簡易に製作できることを意味する・ 従って本発明によれは、回折格子ＩＳＯ格子間隔Ａを広
く設定し１その製作を容易ならしめると共に、導波路層
１２を伝搬する導波光２１を基＠１１＠にのみ回折させ
て高効率Ｋ１１ｉｔ出すことができる。その上、導波路
層１２表面に。
しかもその近傍に収束させて光が取出される従来構造の
ものとは異なるΩで、上紀導披路層１２上に樵々の素子
を配置することが可能となる上、散乱光による悪影響を
受ける虞れがなくなると云う利点が奏せられる・ 尚、回折格子ＪＪＫ対して （ｋｏＮａａｍ＃ −２ｈ）”十（ｋｏＮｓａＪ−Ｓｌ
ｙ ）” ＞ｋｏ” ｎａ” ＝（５１なる条件を与え
るようＫすれば、２次以上の回折光を基板１１側および
空中側のいずれに対しても射出されないようＫすること
ができる。従って、前述した第（４）式に示される条件
および第（５）式に示す条件を同時に満たすべく回折格
子１ｓを設ければ、その効率を非常に為いものとするこ
とができる。
ものとは異なるΩで、上紀導披路層１２上に樵々の素子
を配置することが可能となる上、散乱光による悪影響を
受ける虞れがなくなると云う利点が奏せられる・ 尚、回折格子ＪＪＫ対して （ｋｏＮａａｍ＃ −２ｈ）”十（ｋｏＮｓａＪ−Ｓｌ
ｙ ）” ＞ｋｏ” ｎａ” ＝（５１なる条件を与え
るようＫすれば、２次以上の回折光を基板１１側および
空中側のいずれに対しても射出されないようＫすること
ができる。従って、前述した第（４）式に示される条件
および第（５）式に示す条件を同時に満たすべく回折格
子１ｓを設ければ、その効率を非常に為いものとするこ
とができる。
ところで以上の説明は、導波光２１を回折格子１１１１
Ｃて回折して焦点２４に収束させるものとして行ったが
、光の可逆性より、焦点２４から発散する光を回折格子
１３にて回折し″ＣＳａ路層１２に導びくことも勿論可
能である。このような性負な利用して、例えばＦ７４５
図に不す如即ちこの装置は、２つの回折格子１１．１４
を設け、牛導体レーザ等の光源３１より導波路ｒ＠ｚｚ
に導ひかれた光を上記回折格子１３により回折し工焦点
Ｊ４［１１ｊけられた物体３３に照射し、その反射光を
回折格子１４にて受けて前記導波路層１２を介して光検
出器３２に導びくよ５Ｋしたものである。
Ｃて回折して焦点２４に収束させるものとして行ったが
、光の可逆性より、焦点２４から発散する光を回折格子
１３にて回折し″ＣＳａ路層１２に導びくことも勿論可
能である。このような性負な利用して、例えばＦ７４５
図に不す如即ちこの装置は、２つの回折格子１１．１４
を設け、牛導体レーザ等の光源３１より導波路ｒ＠ｚｚ
に導ひかれた光を上記回折格子１３により回折し工焦点
Ｊ４［１１ｊけられた物体３３に照射し、その反射光を
回折格子１４にて受けて前記導波路層１２を介して光検
出器３２に導びくよ５Ｋしたものである。
このような構造の装置によれば、回折格子１３．１４を
同一導波路面上に形成するので、フォトマスクを用いて
モノリシックに製作することができる。従って、ビデオ
ディスクやディジタル−オーディオディスクの光学ヘッ
ドとして応用することが可能となる。また上記の如く簡
易な構成であるから、その信頼性の飛躍的な向上を図る
ことも可能となる。
同一導波路面上に形成するので、フォトマスクを用いて
モノリシックに製作することができる。従って、ビデオ
ディスクやディジタル−オーディオディスクの光学ヘッ
ドとして応用することが可能となる。また上記の如く簡
易な構成であるから、その信頼性の飛躍的な向上を図る
ことも可能となる。
尚、本発明は上記実施例にのみ限定されるものではない
・例えば導波光２１は必ずしも平行光である必要はなく
、一点から発散するような光であつ工もよい。この場合
、それに応じた回折格子パターンを形成することは勿論
のことである・また回折格子１３は、従来より知られた
種々の手段により形成することができる・例えは、先導
波路層上に、該導波路よりも低い屈折率の誘電体薄膜層
を形成し、この誘電体薄層層内に不等間隔曲線の屈折率
変化をつけて曲折格子としてもよい、また基板上に不等
間隔曲線群からなる（口）折格子を形成し、その上に光
導波路層を形成したのち、史にその上に該導波路層より
屈折率の低いｗｊｔ体物質層を形成した構造としてもよ
い◎要するに本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で横
々変形応用することができる。
・例えば導波光２１は必ずしも平行光である必要はなく
、一点から発散するような光であつ工もよい。この場合
、それに応じた回折格子パターンを形成することは勿論
のことである・また回折格子１３は、従来より知られた
種々の手段により形成することができる・例えは、先導
波路層上に、該導波路よりも低い屈折率の誘電体薄膜層
を形成し、この誘電体薄層層内に不等間隔曲線の屈折率
変化をつけて曲折格子としてもよい、また基板上に不等
間隔曲線群からなる（口）折格子を形成し、その上に光
導波路層を形成したのち、史にその上に該導波路層より
屈折率の低いｗｊｔ体物質層を形成した構造としてもよ
い◎要するに本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で横
々変形応用することができる。
以上説明したよ５に本発明によれば、回折格子を用いた
導波路型の光結合器にあって、収束光を誘電体基板の趨
向より一方向に出射させ、また外部から発散する光を上
に！′９Ｉｌｌ１面より尋人して導波路ＭＥ導びくこと
ができる。しかもその効率を非常に高くすることができ
る上、導波路面と焦点とを離した位置に定めることがで
きる等の種々格別の効果を奏し、賽用土絶大なる利点が
ある。
導波路型の光結合器にあって、収束光を誘電体基板の趨
向より一方向に出射させ、また外部から発散する光を上
に！′９Ｉｌｌ１面より尋人して導波路ＭＥ導びくこと
ができる。しかもその効率を非常に高くすることができ
る上、導波路面と焦点とを離した位置に定めることがで
きる等の種々格別の効果を奏し、賽用土絶大なる利点が
ある。
第１図は従来装置の一例を示す図、第２図は本発明の一
爽施例装置を示す概略構成図、第３１は実施例装置の断
面構成図、第４図は格子間隔Ａとφとの関係を示す図、
第５図は本発明の他の実施例を示す概略構成図である。 １１・・・誘電体基板、１２・・・誘電体先導波路層、
１８．１４・・・回折格子、１６・・・入出力面（基板
端ｔｈ）。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第５因 １３ 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 １、事件の表示 特願昭５７−５２００３号 ２、発明の名称 光学的情報入出力装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （３０７） 東京芝浦電気株式会社 ４、代理人 ６、補正の対象 明細書および図面 ７、補正の内容 （１）明細書、絽８貞第１３行目および第１４行目に記
載された数式をＦ記の通り訂正する。 紀 ＫＸ ” ｋ □ （ｏｃｍ（１−−φ−＝ａ１７；ｂ
＋Ｎｃｍａ ） −−−−・−（１１Ｋｙ＝ｋｏ（■ψ
覧φ＋Ｎ癲θ） ・・・・・・（
２）（２１図面、第４図を５３１１紙の通り訂正する。
爽施例装置を示す概略構成図、第３１は実施例装置の断
面構成図、第４図は格子間隔Ａとφとの関係を示す図、
第５図は本発明の他の実施例を示す概略構成図である。 １１・・・誘電体基板、１２・・・誘電体先導波路層、
１８．１４・・・回折格子、１６・・・入出力面（基板
端ｔｈ）。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第５因 １３ 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 １、事件の表示 特願昭５７−５２００３号 ２、発明の名称 光学的情報入出力装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （３０７） 東京芝浦電気株式会社 ４、代理人 ６、補正の対象 明細書および図面 ７、補正の内容 （１）明細書、絽８貞第１３行目および第１４行目に記
載された数式をＦ記の通り訂正する。 紀 ＫＸ ” ｋ □ （ｏｃｍ（１−−φ−＝ａ１７；ｂ
＋Ｎｃｍａ ） −−−−・−（１１Ｋｙ＝ｋｏ（■ψ
覧φ＋Ｎ癲θ） ・・・・・・（
２）（２１図面、第４図を５３１１紙の通り訂正する。
Claims (2)
- （１）表面近傍に誘電体光導波路層を形成してなる誘電
体基取と、上記誘電体導波路層よりも低い屈折率の銹電
体物質を前記誘電体光導波路層の界面に形成して設けら
れた不等間隔１線群からなる回折格子とを備え、この回
折格子のＸ軸方向およびｙ軸方向ベクトル成分をそれぞ
れＫｘ、Ｋｙ としたとき、上記回折格子の格子間隔
Ａを Ａ ＝ ２ ＊ ／ＪＫｘ” ＋ Ｋｙ”とし、前記誘
電体光導波路層を伝搬する導波光の進行方向とＸ軸との
なす角度な０、上記導波光の真空中での伝搬係数なｋ。 、前記誘電体基板の屈折率をｎｓ、前記誘電体光導波路
層の実効屈折率をへとしたとき、ｋｏ＜（ｈ、ｒＷ−Ｋ
ｘ ） −１−（ｋｏＮ＝ｎ＃−Ｋｙ） ＜ｋｏ ｎｓ
なる関係に定め、前記回折格子による回折光を前記
誘電体基板の誘電体光導波路層に接する面とは異なる面
より入出力させてなることを特徴とする光学的情報入出
力装置。 - （２）誘電体基板の回折光入出力面は、上紀舖電体基叡
のＩＩｌｌｒＭであって、この９１１１１＋１は鋳電体
光導ａｊｌｌｉＫ接する面に対して９０°より小さく、
且っ０° より大なる角度を有するものである特許請求
の範囲第１項記載の光学的情報入出力装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5200382A JPS58169107A (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 光学的情報入出力装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5200382A JPS58169107A (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 光学的情報入出力装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58169107A true JPS58169107A (ja) | 1983-10-05 |
Family
ID=12902642
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5200382A Pending JPS58169107A (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 光学的情報入出力装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58169107A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60263350A (ja) * | 1984-06-08 | 1985-12-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ピツクアツプ |
| WO2018149412A1 (zh) * | 2017-02-20 | 2018-08-23 | 中兴通讯股份有限公司 | 改变光路的方法，和用于改变光路的光栅的制作方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5727086A (en) * | 1980-07-25 | 1982-02-13 | Toshiba Corp | Wavelength controlled laser wherein wave guide and grating lens are applied |
-
1982
- 1982-03-30 JP JP5200382A patent/JPS58169107A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5727086A (en) * | 1980-07-25 | 1982-02-13 | Toshiba Corp | Wavelength controlled laser wherein wave guide and grating lens are applied |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60263350A (ja) * | 1984-06-08 | 1985-12-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ピツクアツプ |
| WO2018149412A1 (zh) * | 2017-02-20 | 2018-08-23 | 中兴通讯股份有限公司 | 改变光路的方法，和用于改变光路的光栅的制作方法 |
| CN108459366A (zh) * | 2017-02-20 | 2018-08-28 | 中兴通讯股份有限公司 | 改变光路的方法，和应用于改变光路的光栅的制作方法 |
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