JPS58147185A - 無声放電励起レ−ザ−装置 - Google Patents
無声放電励起レ−ザ−装置Info
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- JPS58147185A JPS58147185A JP3040782A JP3040782A JPS58147185A JP S58147185 A JPS58147185 A JP S58147185A JP 3040782 A JP3040782 A JP 3040782A JP 3040782 A JP3040782 A JP 3040782A JP S58147185 A JPS58147185 A JP S58147185A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/09705—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser with particular means for stabilising the discharge
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は無声放電励起レーザー装置に関するものであ
り、特に無声放電々力の制御における安定性及び信頼性
の向上を計った無声放電励起レーザー装置に関するもの
である。
り、特に無声放電々力の制御における安定性及び信頼性
の向上を計った無声放電励起レーザー装置に関するもの
である。
従来、この種の装置として第１図に示すものがあった。
図において、３相交流電圧は整流回路（２）により＠流
電圧に変換され、平滑回路（３）により電圧の脈動が少
なくされる。ここで整流回路（２）は。
電圧に変換され、平滑回路（３）により電圧の脈動が少
なくされる。ここで整流回路（２）は。
第２図に示すように、６個の整流器（５）によ抄構成き
れ、３相交流を全波整流している。また。
れ、３相交流を全波整流している。また。
平滑回路（３）は、第３図に示すようにリアクトル（６
）とコンデンサ（７）により構成されている。
）とコンデンサ（７）により構成されている。
インバータ（８１Ｆｉ、第４図に示すように、真空管、
サイリスタ、ＦＢＴ、Ｓ工Ｔ またはトランジス１夕等
の複数の電気スイッチ（９）により構成され。
サイリスタ、ＦＢＴ、Ｓ工Ｔ またはトランジス１夕等
の複数の電気スイッチ（９）により構成され。
４個の電気スイッチ（９１のＯＮ時間が制御されること
により出力ｔＲが制御されるものであり。
により出力ｔＲが制御されるものであり。
動作胸波数が１９（ｌＫＨｇ 程度の単相インバータ
である。このインバータ（８）は、＠流入力電流検出器
ａ・の検出信号と電流設定装ｆＩｔａｌｌのｔ流膜定入
力との差をとり、この差信号を増幅器１２により増幅し
た信号により電気スイッチ（９）の導通率を制御するこ
とにより出力電力が制御され、インバータ（８）の＠流
入力ｔａが電流設定入力αＤとと同じ値になるように制
御される。インバータ（８）の出力電圧は昇圧トランス
α３により電圧が昇圧され９表面が誘電体に慢れた１対
の電極（１４Ａ）、 （１４Ｂ） にこの昇圧電圧が
加えられ、電極（１４ム）ｌ（１４Ｂ）間に無声放電Ｏ
Ｓを生じさせる。
である。このインバータ（８）は、＠流入力電流検出器
ａ・の検出信号と電流設定装ｆＩｔａｌｌのｔ流膜定入
力との差をとり、この差信号を増幅器１２により増幅し
た信号により電気スイッチ（９）の導通率を制御するこ
とにより出力電力が制御され、インバータ（８）の＠流
入力ｔａが電流設定入力αＤとと同じ値になるように制
御される。インバータ（８）の出力電圧は昇圧トランス
α３により電圧が昇圧され９表面が誘電体に慢れた１対
の電極（１４Ａ）、 （１４Ｂ） にこの昇圧電圧が
加えられ、電極（１４ム）ｌ（１４Ｂ）間に無声放電Ｏ
Ｓを生じさせる。
また、容器Ｃ１ｅ内Ｖｒ−はレーザー媒質ガス面を満し
てあり、無声放１１ａｓによりレーザー媒質ガス面を励
起することにより、無声放電（Ｉｓ部分をはさんで対向
して配置された全反射鏡ａ目と部分透過鏡α曽とからな
る共蚕器によりレーザー発蛋を起し、レーザー元朝を部
分透過鏡■から摩り出しレーザー加工等に使用する。
てあり、無声放１１ａｓによりレーザー媒質ガス面を励
起することにより、無声放電（Ｉｓ部分をはさんで対向
して配置された全反射鏡ａ目と部分透過鏡α曽とからな
る共蚕器によりレーザー発蛋を起し、レーザー元朝を部
分透過鏡■から摩り出しレーザー加工等に使用する。
従来の無声放電励起レーザー装置は以上のように構成さ
れているので、インバータ（８１のｔ１１５を入力電流
を直流入力電流検出器０Ｉにより検出し一定に制御して
も、インバータ（８）の内渡入力電力に対する交流出力
電力の比、すなわち電力変換効率か豫・化した秒、トラ
ンス０の入力電力に対する電極（１４Ａ）、（１４Ｂ）
への無声放電電力の比。
れているので、インバータ（８１のｔ１１５を入力電流
を直流入力電流検出器０Ｉにより検出し一定に制御して
も、インバータ（８）の内渡入力電力に対する交流出力
電力の比、すなわち電力変換効率か豫・化した秒、トラ
ンス０の入力電力に対する電極（１４Ａ）、（１４Ｂ）
への無声放電電力の比。
す−なわち市、力伝達効率が変化したりすると、無声放
電電力が変化し、レーザｆｔ、■の強さが安定しないと
いう欠点があった。
電電力が変化し、レーザｆｔ、■の強さが安定しないと
いう欠点があった。
これはインバータ（８）を構成すｒｔ電気スイッチ９）
がＦＩＴまたはトランジスタ等の半導体で構成されてい
るため、ＯＮ抵抗やＯＮ電圧、またはスイッチング損失
が温度条件によって変化することと、トランス０の巻線
抵抗や鉄心の損失の温度による変化に帰因するものであ
る。
がＦＩＴまたはトランジスタ等の半導体で構成されてい
るため、ＯＮ抵抗やＯＮ電圧、またはスイッチング損失
が温度条件によって変化することと、トランス０の巻線
抵抗や鉄心の損失の温度による変化に帰因するものであ
る。
着た。３相交流を源（りの電圧が変動した場合。
整流回路（２）がダイオード（５）により構成されてい
るので、整流回路（２）の直流出力電圧、すなわちイン
バータ（８）のＭ流入力電圧が変動するため。
るので、整流回路（２）の直流出力電圧、すなわちイン
バータ（８）のＭ流入力電圧が変動するため。
インバータ（８）の直流入力電流を一定に制御しても＠
流入力電力Ｆｉ変動してし１つという問題があった。
流入力電力Ｆｉ変動してし１つという問題があった。
また、３相交流１！湯（１１の電圧が高くなりすぎると
、インバータ（８）を構成する電気スイッチ（９１の耐
電圧を越えてしまい、トランジスタ等の電気スイッチ（
９）を破壊してしまう等の欠点がおった。
、インバータ（８）を構成する電気スイッチ（９１の耐
電圧を越えてしまい、トランジスタ等の電気スイッチ（
９）を破壊してしまう等の欠点がおった。
この発明に、上記のような従来のものの欠点を除去する
ためになされたもので、インバータ（８）の直流入力電
圧を一定に制御し、またｔ極（１４Ａ）、（１４Ｂ）に
流れる無声放″ｔｌＪｓの電流を一定に制御することＶ
Ｃより０安定なレーザー出力を得ることができる無声放
電励起レーザー装置を提供することを目的としている。
ためになされたもので、インバータ（８）の直流入力電
圧を一定に制御し、またｔ極（１４Ａ）、（１４Ｂ）に
流れる無声放″ｔｌＪｓの電流を一定に制御することＶ
Ｃより０安定なレーザー出力を得ることができる無声放
電励起レーザー装置を提供することを目的としている。
以下、この発明の一実施例を図に基ついて説明する。第
５図はこの発明の一実施例装置ｉｔ示し０図において、
３相交流′龜圧をコンバータ■により整流し、平滑回路
（３）により電圧の脈動を除去して面流麺圧全得る。こ
のコンバータ（ハ）の−例を第６図及び第７図に示す。
５図はこの発明の一実施例装置ｉｔ示し０図において、
３相交流′龜圧をコンバータ■により整流し、平滑回路
（３）により電圧の脈動を除去して面流麺圧全得る。こ
のコンバータ（ハ）の−例を第６図及び第７図に示す。
第６図に示すコンバータ＠はサイリスタ等の６素子から
なる電気スイッチ口によ沙構敗され、３相交流の位相に
同期させて導通を制御することにより、直流出力電圧を
得るものである。このコンパ−タロは、コンバータ＠か
らの＠流出力電圧と直流電圧設定装置軸の設定値との差
を増幅器□□□により増幅し、コンバータ（支）の電気
スイッチ□□□の導通率を制御して、直流出力電圧が一
定に保たれるように制御される。また、第７図に示すコ
ンバーターは、交Ｉｉｔ電圧をダイオードωで整流した
後、トランジスタ等の電気スイッチ６１１とダイオード
（至）とによりチョッパ制御する構成であり。
なる電気スイッチ口によ沙構敗され、３相交流の位相に
同期させて導通を制御することにより、直流出力電圧を
得るものである。このコンパ−タロは、コンバータ＠か
らの＠流出力電圧と直流電圧設定装置軸の設定値との差
を増幅器□□□により増幅し、コンバータ（支）の電気
スイッチ□□□の導通率を制御して、直流出力電圧が一
定に保たれるように制御される。また、第７図に示すコ
ンバーターは、交Ｉｉｔ電圧をダイオードωで整流した
後、トランジスタ等の電気スイッチ６１１とダイオード
（至）とによりチョッパ制御する構成であり。
スイッチングにより導通時間を制御することにより＠流
出力電圧を制御するものである。
出力電圧を制御するものである。
インバータ（８）はコンバータのの直流出力電圧を１０
９ＫＨｚ程度の交流電圧に変換するものであり、インバ
ータ（８）の出力電圧は昇圧トランス鰭により電圧が昇
圧され、この電圧が電極（１４Ａ）、（＋４Ｂ）に加え
られ無声放電α９が発生させられる。この無声放電ａＳ
の発生により生じた無声放電電流は、昇圧トランス■の
２次巻線の中点を分割して接続された電流検出回路（至
）により検出される。このｔ流検出回路■の一例を第８
図に示す。電流検出回路＠はダ身オード（支）、コンデ
ンサ■及び抵抗ＧＩＩＫより構成され、ダイオード固は
昇圧トランス勾の２次巻線に流れる交流電流を整流し、
コンデンサ（至）に直流電圧として充電する。コンデン
サ（至）の抽圧は抵抗（社）に流れ、無声放ＴｊＬ電流
と抵抗（Ｉｌｌの棟による電圧が無声放電電流の検出値
として用いられる。この電流検出回路（至）は昇圧トラ
ンス罰の２次巻線のアース電位側に挿入されるため、他
の制御回路で電流検出回路銘の出力を利用−する時、絶
縁の必要が無く安全であるという特徴がある。 −また
、電流検出回路（２）としては、第９図に示す回路のも
のもあり、この回路は昇圧トランス□□□の２次巻線の
アース電位側にフェライトコア等で構成されたトランス
■を第８（９）の回路に挿入したもので、高圧回路と制
御回路が完全に絶縁され、さらに安全なものにすること
ができる。
９ＫＨｚ程度の交流電圧に変換するものであり、インバ
ータ（８）の出力電圧は昇圧トランス鰭により電圧が昇
圧され、この電圧が電極（１４Ａ）、（＋４Ｂ）に加え
られ無声放電α９が発生させられる。この無声放電ａＳ
の発生により生じた無声放電電流は、昇圧トランス■の
２次巻線の中点を分割して接続された電流検出回路（至
）により検出される。このｔ流検出回路■の一例を第８
図に示す。電流検出回路＠はダ身オード（支）、コンデ
ンサ■及び抵抗ＧＩＩＫより構成され、ダイオード固は
昇圧トランス勾の２次巻線に流れる交流電流を整流し、
コンデンサ（至）に直流電圧として充電する。コンデン
サ（至）の抽圧は抵抗（社）に流れ、無声放ＴｊＬ電流
と抵抗（Ｉｌｌの棟による電圧が無声放電電流の検出値
として用いられる。この電流検出回路（至）は昇圧トラ
ンス罰の２次巻線のアース電位側に挿入されるため、他
の制御回路で電流検出回路銘の出力を利用−する時、絶
縁の必要が無く安全であるという特徴がある。 −また
、電流検出回路（２）としては、第９図に示す回路のも
のもあり、この回路は昇圧トランス□□□の２次巻線の
アース電位側にフェライトコア等で構成されたトランス
■を第８（９）の回路に挿入したもので、高圧回路と制
御回路が完全に絶縁され、さらに安全なものにすること
ができる。
無声放電電流は電流検出回路（至）により直流電圧信号
として検出され、無声放電電流設定装置Ｑの設定値との
電圧差を増幅器（至）により増幅しインバータ（８）の
−気スイッチ（９）の導通率を制御することにより無声
放ｘｔｉが一定に制御される。この回路によれ＃′ｆ、
インバータ（８）の効率またけ昇圧トランス（ハ）の損
失が変化しても無声放電電流を一定に制御することがで
き、またインバータ（８）の直流入力電圧もコンバータ
のにより一定に制御されているため無声放電電圧も安定
になる。したがって、無声放電力は３相交流電＃（１）
の電圧変動の影会を受けないことになる。
として検出され、無声放電電流設定装置Ｑの設定値との
電圧差を増幅器（至）により増幅しインバータ（８）の
−気スイッチ（９）の導通率を制御することにより無声
放ｘｔｉが一定に制御される。この回路によれ＃′ｆ、
インバータ（８）の効率またけ昇圧トランス（ハ）の損
失が変化しても無声放電電流を一定に制御することがで
き、またインバータ（８）の直流入力電圧もコンバータ
のにより一定に制御されているため無声放電電圧も安定
になる。したがって、無声放電力は３相交流電＃（１）
の電圧変動の影会を受けないことになる。
また無声放電電流の変動も無いので高精度に安定にする
ことができ、したがってレーザー出力■を安定なものと
することができる効果がある。
ことができ、したがってレーザー出力■を安定なものと
することができる効果がある。
インバータ（８）への直流入力電流を直流入力電流検出
器ＱＱＫよシ検出し、直流電流設定装置（至）の設定櫨
との差を増幅器（至）により増幅し、インバータ（８）
の直流入力電流が直流電圧設定装置軸の設定値を越えた
時にのみ、ダイオード（ロ）にヨシ無声放電電流設定装
置（至）の設定値を下けるように動作し、インバータ（
８）の直流入力電力の過大入力を防止し、昇圧トランス
勾の巻線の知略または電極（１４Ａ）、（１４Ｂ）の絶
縁劣下等の事故に対してインバータ（８）またはコンバ
ータ勾に過大電流が流れないようにすることができ、装
置の損傷を防ぐことができる。また０巻線電圧検出器（
至）は昇圧トランス罰の２次巻線の近傍に巻いた３次巻
線（至）に発生する電圧を直流電圧に変換するもので、
高電圧の２次巻線に対して３次巻線（至）は低電圧でよ
く、シかも２次巻線と相似の電圧波形であるため、この
電圧を巻線電圧検出器（至）の−例である第１０図のダ
イオード−とコンデンサ＋４１１及び抵抗ｉ４２により
直流に変換すれば。
器ＱＱＫよシ検出し、直流電流設定装置（至）の設定櫨
との差を増幅器（至）により増幅し、インバータ（８）
の直流入力電流が直流電圧設定装置軸の設定値を越えた
時にのみ、ダイオード（ロ）にヨシ無声放電電流設定装
置（至）の設定値を下けるように動作し、インバータ（
８）の直流入力電力の過大入力を防止し、昇圧トランス
勾の巻線の知略または電極（１４Ａ）、（１４Ｂ）の絶
縁劣下等の事故に対してインバータ（８）またはコンバ
ータ勾に過大電流が流れないようにすることができ、装
置の損傷を防ぐことができる。また０巻線電圧検出器（
至）は昇圧トランス罰の２次巻線の近傍に巻いた３次巻
線（至）に発生する電圧を直流電圧に変換するもので、
高電圧の２次巻線に対して３次巻線（至）は低電圧でよ
く、シかも２次巻線と相似の電圧波形であるため、この
電圧を巻線電圧検出器（至）の−例である第１０図のダ
イオード−とコンデンサ＋４１１及び抵抗ｉ４２により
直流に変換すれば。
２次巻線電圧を容易に検出することができる。
この巻線電圧検出器（至）の信号と巻線電圧設定装置−
との電圧差を増幅器−により増幅し、昇圧トランス笥の
２次巻線電圧が巻［［圧設定装置１４３の設定値を越え
た時にのみダイオード四によシ無声放電電流設定装置（
至）の設定値を下げるように動作し、昇圧トランス固の
断線、昇圧トランス罰から電極（１４Ａ）、（１４Ｂ）
へ至る電線の断線。
との電圧差を増幅器−により増幅し、昇圧トランス笥の
２次巻線電圧が巻［［圧設定装置１４３の設定値を越え
た時にのみダイオード四によシ無声放電電流設定装置（
至）の設定値を下げるように動作し、昇圧トランス固の
断線、昇圧トランス罰から電極（１４Ａ）、（１４Ｂ）
へ至る電線の断線。
または無声放電ａＳが発生しない場合に昇圧トランス面
の２次巻線電圧が上昇して昇圧トランス−の巻ｌ！！ま
たは電極（１４Ａ）、（１４Ｂ）を絶縁破壊するのを未
然に防止することができる。
の２次巻線電圧が上昇して昇圧トランス−の巻ｌ！！ま
たは電極（１４Ａ）、（１４Ｂ）を絶縁破壊するのを未
然に防止することができる。
以上のように、この発明装置によれば、インバータの直
流入力電圧を一定に保ち、無声放電電数を制御し、また
保護機能としてインバータの直流人力ｔｆｔまたは昇圧
トランスの２次巻線電圧が設定値を越えた時に無声放電
電流設定装置の設定値を下けるように構成したので、無
声放電電力を高精度に安定圧することができ、したがっ
てレーザー出力も安定なものとすることができ、昇圧ト
ランスや電極の短絡、絶縁劣下。
流入力電圧を一定に保ち、無声放電電数を制御し、また
保護機能としてインバータの直流人力ｔｆｔまたは昇圧
トランスの２次巻線電圧が設定値を越えた時に無声放電
電流設定装置の設定値を下けるように構成したので、無
声放電電力を高精度に安定圧することができ、したがっ
てレーザー出力も安定なものとすることができ、昇圧ト
ランスや電極の短絡、絶縁劣下。
断線等の異常事態が生じても装置の損傷を防ぐことがで
きる効果がある。
きる効果がある。
第１１図は従来の無声放電励起レーザー装置を示す概念
図、第２図は整流回路の一例を示す図。 第３図は平滑回路の一例を示す図、第４図はインバータ
の一例を示す図、第５図はこの発明の一実施例を示す概
念図、第６図はコンバータの一例を示す図、第７図はコ
ンバータの他の一例を示す図、第８図は電流検出回路の
一例を示す回路図、第Ｓ図は電流検出回路の他の一例を
示す回路図、第１０図は巻線電圧検出器の一例を示す図
である。 ０）・・・３相交流、（２）・・・整流回路、（３）・
・・平滑回路。 ＋５１． ＠、 Ｊ Ｃ１’１１． ＋４５１
． ＋＆Ｉ・・・ダイオード、 ＋６１・・・リア
クトル、（７＋、■、 ＫＶ・・・コンデンサ、（８）
・・・インバータ、 ＋９１． Ｃ１３，電気スイッチ
、αＱ・・・直流入力電流検出器、αＤ・・・直Ｒ，ｌ
ｌ流設定装置、 Ｇ２． ｖ。 （ロ）、■・・・増幅器、（１３・・・昇圧トランスＩ
（１４Ａ）＠（１４Ｂ）・・・電極、Ｃ９・・・無
声放電、０ト・・容器、Ｃ９・・・レーザー媒質カス、
ａ種・・・全反射鋭、０ト・・部分透過鏡、■・・・レ
ーザー元、 Ｇｌｌ、 ！４３・・・抵抗、Ｇ２・・・
トランス、■・・・コンバータ、■・・・電圧設定装置
。 □□□・・・昇圧トランス、＠・・・を流検出回路、Ｑ
・・・無声放電電流設定装置、（至）・・・直流入力電
流設定装置、Ｇｌ・・・巻線電圧検出器、（至）・・・
３次巻線、嘔・・・巻ｍ電圧設定装置 なお図中同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 葛 野 信 −
図、第２図は整流回路の一例を示す図。 第３図は平滑回路の一例を示す図、第４図はインバータ
の一例を示す図、第５図はこの発明の一実施例を示す概
念図、第６図はコンバータの一例を示す図、第７図はコ
ンバータの他の一例を示す図、第８図は電流検出回路の
一例を示す回路図、第Ｓ図は電流検出回路の他の一例を
示す回路図、第１０図は巻線電圧検出器の一例を示す図
である。 ０）・・・３相交流、（２）・・・整流回路、（３）・
・・平滑回路。 ＋５１． ＠、 Ｊ Ｃ１’１１． ＋４５１
． ＋＆Ｉ・・・ダイオード、 ＋６１・・・リア
クトル、（７＋、■、 ＫＶ・・・コンデンサ、（８）
・・・インバータ、 ＋９１． Ｃ１３，電気スイッチ
、αＱ・・・直流入力電流検出器、αＤ・・・直Ｒ，ｌ
ｌ流設定装置、 Ｇ２． ｖ。 （ロ）、■・・・増幅器、（１３・・・昇圧トランスＩ
（１４Ａ）＠（１４Ｂ）・・・電極、Ｃ９・・・無
声放電、０ト・・容器、Ｃ９・・・レーザー媒質カス、
ａ種・・・全反射鋭、０ト・・部分透過鏡、■・・・レ
ーザー元、 Ｇｌｌ、 ！４３・・・抵抗、Ｇ２・・・
トランス、■・・・コンバータ、■・・・電圧設定装置
。 □□□・・・昇圧トランス、＠・・・を流検出回路、Ｑ
・・・無声放電電流設定装置、（至）・・・直流入力電
流設定装置、Ｇｌ・・・巻線電圧検出器、（至）・・・
３次巻線、嘔・・・巻ｍ電圧設定装置 なお図中同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 葛 野 信 −
Claims (5)
- （１） 交流電圧を直流電圧に変換するコンバータ。 上記コンバータの直流出力電圧を交流電圧に変換するイ
ンバータ、上記インバータの交流出力電圧を昇圧するト
ランス、上記トランスの２次側Ｉに接続され対向して配
設され誘電体で覆われた一対の電極、上記一対の電極間
に無声放電を発生させることにより励起されるレーザー
媒質ガス、上記無声放電を介して対向して配設された全
反射鏡と部分透過鏡とからなる共振器、上記無声放電の
電流値を検出する電流検出装置、上記無声放電の電流値
を設定する放１ｍ流設定装置、上記電流検出装置の検出
値が放電電流設定装置の設定値となるように上記インバ
ータの出力電圧を制御するｉｕｔ＋装置を備えたことを
特徴とする無声放電励起レーザー装置。 - （２） 電流検出装置はトランスの２次巻線の中漬を
分割し巻線電流を全波整流することによシ検出するもの
であることを特徴とする特許請求の範囲第＋１１項記載
の無声放電励起レーザー装置。 - （３） コンバータはコンバータの出力電圧がコンバ
ータ出力電圧設定装置の設定値になるように制御されて
いることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項または
第（２）項に記載の無声放電励起レーザー装置。 - （４）放電電流設定装置の設定値はインバータへの入力
を流が直流電流設定僧を越えたときに下けるように制御
されることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項乃至
第（３）項のいずれかに記載の無声放電励起レーザー装
置。 - （５） 放電電流設定装置の設定値はトランスの２次
巻ｋｔＫ圧が設定値を越えたときに下げるようＶＣｉｉ
ＩＩ御されることを特徴とする特許請求の範囲第（１１
項乃至第（４）項のいずれかに記載の無声放電励起レー
ザー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3040782A JPS58147185A (ja) | 1982-02-26 | 1982-02-26 | 無声放電励起レ−ザ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3040782A JPS58147185A (ja) | 1982-02-26 | 1982-02-26 | 無声放電励起レ−ザ−装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58147185A true JPS58147185A (ja) | 1983-09-01 |
| JPS6244436B2 JPS6244436B2 (ja) | 1987-09-21 |
Family
ID=12303080
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3040782A Granted JPS58147185A (ja) | 1982-02-26 | 1982-02-26 | 無声放電励起レ−ザ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58147185A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988006809A1 (en) * | 1987-03-03 | 1988-09-07 | Fanuc Ltd | Device for detecting output voltage of a laser oscillator |
| WO1988006810A1 (en) * | 1987-03-03 | 1988-09-07 | Fanuc Ltd | Device for detecting output voltage of a laser oscillator |
| WO1988008632A1 (en) * | 1987-04-30 | 1988-11-03 | Fanuc Ltd | Laser oscillator |
-
1982
- 1982-02-26 JP JP3040782A patent/JPS58147185A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988006809A1 (en) * | 1987-03-03 | 1988-09-07 | Fanuc Ltd | Device for detecting output voltage of a laser oscillator |
| WO1988006810A1 (en) * | 1987-03-03 | 1988-09-07 | Fanuc Ltd | Device for detecting output voltage of a laser oscillator |
| EP0433266A1 (en) * | 1987-03-03 | 1991-06-19 | Fanuc Ltd. | Output voltage detecting device in a laser oscillator |
| WO1988008632A1 (en) * | 1987-04-30 | 1988-11-03 | Fanuc Ltd | Laser oscillator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6244436B2 (ja) | 1987-09-21 |
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