JPS61290804A - マイクロ波発生装置 - Google Patents
マイクロ波発生装置Info
- Publication number
- JPS61290804A JPS61290804A JP13165185A JP13165185A JPS61290804A JP S61290804 A JPS61290804 A JP S61290804A JP 13165185 A JP13165185 A JP 13165185A JP 13165185 A JP13165185 A JP 13165185A JP S61290804 A JPS61290804 A JP S61290804A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetron
- circuit
- rectifier circuit
- smoothing
- control
- Prior art date
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- Granted
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- Control Of High-Frequency Heating Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、マイクロ波出力の高精度制御を可能にした
マイクロ波発生装置に関する。
マイクロ波発生装置に関する。
従来よυマグネトロンを用いた各種のマイクロ波発生装
置が知られている。マグネトロンを用いた装置では、上
記マグネトロンが定電圧特性を示すことから、電源に比
較的電流容量の大きいものを用いれば、少ない電圧でも
極めて高出力のマイクロ波出力/ヤルスが得られるとい
う利点がある。
置が知られている。マグネトロンを用いた装置では、上
記マグネトロンが定電圧特性を示すことから、電源に比
較的電流容量の大きいものを用いれば、少ない電圧でも
極めて高出力のマイクロ波出力/ヤルスが得られるとい
う利点がある。
第2図は、このようなマグネトロンを用いた従来のマイ
クロ波発生装置の構成を示す図でおる。すなわち、逆並
列接続されたサイリスタ1゜2は、制御回路3からの制
御信号に基づいて、AC入力電圧の位相制御を行い、ト
ランス4の一次側に可変交流電圧を生じさせる。トラン
ス4の二次側に現れる交流電圧は、ダイオードブリッジ
5による整流回路によって全波整流され、電流検出抵抗
6およびバイパスコンデンサ1の並列回路を介してマグ
ネトロン8の陽極および陰極間に与えられる。一方、陰
極側に配置されたヒータには、トランス9を介してAC
l[圧が印加されている。そして、トランス9とマグネ
トロン8のヒータとの間にはマグネトロン8からの高周
波ノイズを遮断するフィルタ10が介装されている。
クロ波発生装置の構成を示す図でおる。すなわち、逆並
列接続されたサイリスタ1゜2は、制御回路3からの制
御信号に基づいて、AC入力電圧の位相制御を行い、ト
ランス4の一次側に可変交流電圧を生じさせる。トラン
ス4の二次側に現れる交流電圧は、ダイオードブリッジ
5による整流回路によって全波整流され、電流検出抵抗
6およびバイパスコンデンサ1の並列回路を介してマグ
ネトロン8の陽極および陰極間に与えられる。一方、陰
極側に配置されたヒータには、トランス9を介してAC
l[圧が印加されている。そして、トランス9とマグネ
トロン8のヒータとの間にはマグネトロン8からの高周
波ノイズを遮断するフィルタ10が介装されている。
このように構成され九マイクロ波発生装置では、マグネ
トロン8の発振特性が、前述したように定電圧特性を示
すので、第3図にも示すように、AC入力電圧の僅かな
変動が出力に大きな電圧変動として現れてしまう。
トロン8の発振特性が、前述したように定電圧特性を示
すので、第3図にも示すように、AC入力電圧の僅かな
変動が出力に大きな電圧変動として現れてしまう。
そこで、これを防止するため、上記装置ではアノード電
流が一定となるようにフィード7々ツク制御を行なって
いる。具体的には、アノード電流を電流検出抵抗61f
−よって検出し、その検出値を制御回路3に与え、サイ
リスタ1#2のIf −) ノ母ルスのタイミングを制
御して入力電圧を制御するものである。
流が一定となるようにフィード7々ツク制御を行なって
いる。具体的には、アノード電流を電流検出抵抗61f
−よって検出し、その検出値を制御回路3に与え、サイ
リスタ1#2のIf −) ノ母ルスのタイミングを制
御して入力電圧を制御するものである。
ところで、一般に、上記のようなマイクロ波発生装置で
は、マグネトロン8に間欠的な電圧が与えられ、マイク
ロ波も間欠的に出力される。
は、マグネトロン8に間欠的な電圧が与えられ、マイク
ロ波も間欠的に出力される。
もちろんアノード電流も脈動となるので、通常、アノー
ド電流は平均値として検出され、この平均値が一定とな
るような制御が行なわれる。
ド電流は平均値として検出され、この平均値が一定とな
るような制御が行なわれる。
しかし、アノード電流の平均値が一定でも、例えば第3
図中実線と破線とで示すように、波高値が大幅に異なる
場合には、電力の実効値(アノード電流の二乗に比例)
は異なったものとなる。しかるにマイクロ波電力のモニ
タ装置である0Mカッグラもやはシアノード電流の平均
値に比例した値を示すので、真の実効1[′t−知るこ
とができないという問題がめった。したがって、例えば
半導体のエツチング装置等、高精度のゾロセスコントロ
ールを必要とする用途では、制御精度の低下が問題とな
った。・〔発明の目的〕 本発明は、かかる問題に基づきなされたもので、その目
的とするところは、高精度のグロセスコントロール金可
能にするマイクロ波発生装置を提供することにある。
図中実線と破線とで示すように、波高値が大幅に異なる
場合には、電力の実効値(アノード電流の二乗に比例)
は異なったものとなる。しかるにマイクロ波電力のモニ
タ装置である0Mカッグラもやはシアノード電流の平均
値に比例した値を示すので、真の実効1[′t−知るこ
とができないという問題がめった。したがって、例えば
半導体のエツチング装置等、高精度のゾロセスコントロ
ールを必要とする用途では、制御精度の低下が問題とな
った。・〔発明の目的〕 本発明は、かかる問題に基づきなされたもので、その目
的とするところは、高精度のグロセスコントロール金可
能にするマイクロ波発生装置を提供することにある。
本発明は、従来の間欠式の発振に代えてマグネトロンを
連続発振させるようにしたことを特徴としている。
連続発振させるようにしたことを特徴としている。
すなわち、本発明社、交流入力電圧を整流する整流回路
と、この整流回路で整流された電圧を印加されて発振動
作全行なうマグネトロンと、このマグネトロンの7ノー
ド電流の平均値を検出するとともにこれを一定にすべく
前記交流入力電圧を制御する制御手段とを具備したマイ
クロ波発生装置において、前記整流回路と前記マグネト
ロンとの間IF@記整流回路の出力を平滑化させる平滑
化回路を介在させるようにしたものである。
と、この整流回路で整流された電圧を印加されて発振動
作全行なうマグネトロンと、このマグネトロンの7ノー
ド電流の平均値を検出するとともにこれを一定にすべく
前記交流入力電圧を制御する制御手段とを具備したマイ
クロ波発生装置において、前記整流回路と前記マグネト
ロンとの間IF@記整流回路の出力を平滑化させる平滑
化回路を介在させるようにしたものである。
本発明によれば、アノード電流が間欠的ではなく連続的
に流れることになるので、これt 一定に制御すれば、
結局、マイクロ波電力の実効値も一定に制御されること
になる。従って、この発明によれば、特にモニタ系に格
別の工夫こらすことなしにマイクロ波電力計の読みと実
際の実効電力とを一致させることができ、高精度のゾロ
セスコントロールが可能になるという効果を奏すること
になる。
に流れることになるので、これt 一定に制御すれば、
結局、マイクロ波電力の実効値も一定に制御されること
になる。従って、この発明によれば、特にモニタ系に格
別の工夫こらすことなしにマイクロ波電力計の読みと実
際の実効電力とを一致させることができ、高精度のゾロ
セスコントロールが可能になるという効果を奏すること
になる。
゛以下1本発明の詳細を図示の実施例に基づいて説明す
る。
る。
第1図において、第1の整流回路21は、ダイオード2
2.23.24および25t−ブリッジ状に接続して構
成されたものであり、入力端子に印加されたAC入力電
圧を全波整流するものである。この第1の整流回路21
の出力端には平滑コンデンサ26が接続されている。こ
の平滑コンデンサ26で平滑化された電圧は、トランス
27の一次側巻線の中間タッグと、該トランス27の一
次側巻線の両端との間に、それぞれトランジスタ28.
29f介して与えられている。上記トランジスタ2B、
29は、制御回路30からの制御信号によって作動し、
可変交流電圧を出力するインノ4−タを構成する。
2.23.24および25t−ブリッジ状に接続して構
成されたものであり、入力端子に印加されたAC入力電
圧を全波整流するものである。この第1の整流回路21
の出力端には平滑コンデンサ26が接続されている。こ
の平滑コンデンサ26で平滑化された電圧は、トランス
27の一次側巻線の中間タッグと、該トランス27の一
次側巻線の両端との間に、それぞれトランジスタ28.
29f介して与えられている。上記トランジスタ2B、
29は、制御回路30からの制御信号によって作動し、
可変交流電圧を出力するインノ4−タを構成する。
トランス27の二次側には、第2の整流回路31が接続
されている。第2の整流回路Lノも4つのダイオード3
1,32.33および35をプリッゾ接続して構成され
たもので、トランス27の二次側に現れる可変交流電圧
を整流する。整流回路31の出力端には平滑コンデ/す
36が接続されている。
されている。第2の整流回路Lノも4つのダイオード3
1,32.33および35をプリッゾ接続して構成され
たもので、トランス27の二次側に現れる可変交流電圧
を整流する。整流回路31の出力端には平滑コンデ/す
36が接続されている。
この平滑コンデンサ36の高電位側は、接地されるとと
もに電流検出抵抗37およびパイ14スコンデンサ38
の並列回路を介してマグネトロン39の陽極に接続され
ている。上記電流検出抵抗310両端は前記制御回路3
0の制御入力として与えられている。また、平滑コンデ
ンサ36の低電位側はチョークコイル40および後述す
るフィルタ41ft介して上記マグネトロンのヒータ側
に接続されている。つまり、上記平滑コンデンサ36と
上記チ、−クコイル40とで平滑化回路を構成する。
もに電流検出抵抗37およびパイ14スコンデンサ38
の並列回路を介してマグネトロン39の陽極に接続され
ている。上記電流検出抵抗310両端は前記制御回路3
0の制御入力として与えられている。また、平滑コンデ
ンサ36の低電位側はチョークコイル40および後述す
るフィルタ41ft介して上記マグネトロンのヒータ側
に接続されている。つまり、上記平滑コンデンサ36と
上記チ、−クコイル40とで平滑化回路を構成する。
上記マグネトロン39の陰極側に配置されたヒータには
、トランス42を介して図示しない電源系統からのAC
電圧が与えられている。ヒータとトランス42の二次側
巻線とヒータとの間には、マグネトロン39からの高周
波ノイズを遮断するフィルタとが介装されている。仁の
フィルタ41は、トランス42の二次側巻線の両端部と
ヒータとの間にそれぞれ介装されたコイル43.44と
、これらコイル43.44の各一方の端部間に接続され
たコンデンサ45と、同他方の端部間に直列接続されて
結合点を接地電位とするコンデンサ46.47とで構成
されている。
、トランス42を介して図示しない電源系統からのAC
電圧が与えられている。ヒータとトランス42の二次側
巻線とヒータとの間には、マグネトロン39からの高周
波ノイズを遮断するフィルタとが介装されている。仁の
フィルタ41は、トランス42の二次側巻線の両端部と
ヒータとの間にそれぞれ介装されたコイル43.44と
、これらコイル43.44の各一方の端部間に接続され
たコンデンサ45と、同他方の端部間に直列接続されて
結合点を接地電位とするコンデンサ46.47とで構成
されている。
このように構成された本実施例に係るマイクロ波発生装
置においては、インバータを構成するトランジスタ21
1.29の制御によ多発生した可変交流電圧を、トラン
ス21を介して整流回路31に与え、全波整流するとと
もに、平滑コンデンサ36とチョークコイル40とで平
滑化するようにしている。したがって、マグネトロン3
9の入力電圧は直流電圧となる。L(4−適当な値に設
定すれは、マグネトロン390入力電圧のリッノルを容
易に5−以下に抑えることができる。
置においては、インバータを構成するトランジスタ21
1.29の制御によ多発生した可変交流電圧を、トラン
ス21を介して整流回路31に与え、全波整流するとと
もに、平滑コンデンサ36とチョークコイル40とで平
滑化するようにしている。したがって、マグネトロン3
9の入力電圧は直流電圧となる。L(4−適当な値に設
定すれは、マグネトロン390入力電圧のリッノルを容
易に5−以下に抑えることができる。
ところでマグネトロン39の定電圧特性により、入力側
の電圧変動が出力側に増幅される可能性がおる。しかし
2この実施例では、電流検出抵抗31によシアノ。−ド
電流を検出し、これを制御回路30t−介してインバー
タにフィードバックしている。このようなフィードバッ
ク系統であれば変動に対する追従性は高いので、7ノー
ド電流を略一定の直流電流に安定化させることができる
。
の電圧変動が出力側に増幅される可能性がおる。しかし
2この実施例では、電流検出抵抗31によシアノ。−ド
電流を検出し、これを制御回路30t−介してインバー
タにフィードバックしている。このようなフィードバッ
ク系統であれば変動に対する追従性は高いので、7ノー
ド電流を略一定の直流電流に安定化させることができる
。
このように、アノード電流が直流電流であれば、これを
一定に制御することはマイクロ波電力も一定値に保たれ
ることを意味する。したがって、この実施例の装置によ
れば、例えばマグネトロン39に接続された図示しない
導波管に合が図れ、プロセスコントロールの精度向上に
寄与することは明らかでちる。
一定に制御することはマイクロ波電力も一定値に保たれ
ることを意味する。したがって、この実施例の装置によ
れば、例えばマグネトロン39に接続された図示しない
導波管に合が図れ、プロセスコントロールの精度向上に
寄与することは明らかでちる。
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではない。
上記実施例では、入力側の可変交流電圧を得るのにトラ
ンジスタインバータを用いたが、鉤えばSCR位相制御
方式、SCRイン・り一夕方式を用いたものにも適用可
能であることは言うまでもない。
ンジスタインバータを用いたが、鉤えばSCR位相制御
方式、SCRイン・り一夕方式を用いたものにも適用可
能であることは言うまでもない。
第1図は本発明の一実施例に係るマイクロ波発生装置を
示す回路図、第2図は従来のマイクロ波発生装置の構成
金示す回路図、第3図は同装置の動作を説明するための
波形図である。 1.2・・・サイリスタ、3.30・・・制御回路、4
.9,27.42・・・トランス、5・・・整流回路、
6.37・・・電流制限抵抗、1.38・・・パイ14
スコンデンサ%8,39・・・マクネトロン、10゜4
1・・・フィルタ、21・・・第1の整流回路、22〜
25.32〜35・・・ダイオ−plze、st;・・
・平滑コンデンサ、2g、29・・・トランジスタ。 イ0・・・チョークコイル。
示す回路図、第2図は従来のマイクロ波発生装置の構成
金示す回路図、第3図は同装置の動作を説明するための
波形図である。 1.2・・・サイリスタ、3.30・・・制御回路、4
.9,27.42・・・トランス、5・・・整流回路、
6.37・・・電流制限抵抗、1.38・・・パイ14
スコンデンサ%8,39・・・マクネトロン、10゜4
1・・・フィルタ、21・・・第1の整流回路、22〜
25.32〜35・・・ダイオ−plze、st;・・
・平滑コンデンサ、2g、29・・・トランジスタ。 イ0・・・チョークコイル。
Claims (1)
- 交流入力電圧を整流する整流回路と、この整流回路で整
流された電圧を印加されて発振動作を行なうマグネトロ
ンと、このマグネトロンのアノード電流の平均値を検出
するとともにこれを一定にすべく前記交流入力電圧を制
御する制御手段とを具備してなるマイクロ波発生装置に
おいて、前記整流回路と前記マグネトロンとの間に前記
整流回路の出力を平滑化させる平滑化回路を介在させた
ことを特徴とするマイクロ波発生装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13165185A JPS61290804A (ja) | 1985-06-19 | 1985-06-19 | マイクロ波発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13165185A JPS61290804A (ja) | 1985-06-19 | 1985-06-19 | マイクロ波発生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61290804A true JPS61290804A (ja) | 1986-12-20 |
JPH0335844B2 JPH0335844B2 (ja) | 1991-05-29 |
Family
ID=15063040
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13165185A Granted JPS61290804A (ja) | 1985-06-19 | 1985-06-19 | マイクロ波発生装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61290804A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62248743A (ja) * | 1987-04-15 | 1987-10-29 | 林 平八 | 波形鋼板合成柱 |
JPS63199495U (ja) * | 1987-06-15 | 1988-12-22 | ||
CN110025311A (zh) * | 2019-02-22 | 2019-07-19 | 四川华微康医疗科技有限公司 | 一种用于微波热声成像的小型化便携式微波源 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5469002A (en) * | 1977-11-11 | 1979-06-02 | Sanyo Electric Co Ltd | Power supply unit for magnetron |
JPS54128039A (en) * | 1978-03-27 | 1979-10-04 | Sharp Corp | High frequency heating device |
-
1985
- 1985-06-19 JP JP13165185A patent/JPS61290804A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5469002A (en) * | 1977-11-11 | 1979-06-02 | Sanyo Electric Co Ltd | Power supply unit for magnetron |
JPS54128039A (en) * | 1978-03-27 | 1979-10-04 | Sharp Corp | High frequency heating device |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62248743A (ja) * | 1987-04-15 | 1987-10-29 | 林 平八 | 波形鋼板合成柱 |
JPS63199495U (ja) * | 1987-06-15 | 1988-12-22 | ||
CN110025311A (zh) * | 2019-02-22 | 2019-07-19 | 四川华微康医疗科技有限公司 | 一种用于微波热声成像的小型化便携式微波源 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0335844B2 (ja) | 1991-05-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |