JPS58138001A - 湿度検知素子 - Google Patents
湿度検知素子Info
- Publication number
- JPS58138001A JPS58138001A JP57021433A JP2143382A JPS58138001A JP S58138001 A JPS58138001 A JP S58138001A JP 57021433 A JP57021433 A JP 57021433A JP 2143382 A JP2143382 A JP 2143382A JP S58138001 A JPS58138001 A JP S58138001A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity
- sensitive resistor
- sensing element
- resistance
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は湿度を電気抵抗に変換できる湿度検知可能に関
するものである。
するものである。
一般に金属酸化物は水分吸着性に優れており、水の物理
的吸着量は雰囲気中の温度と湿度に依存する０そして金
属酸化物表面に水が物理的に吸着するとイ第２伝導が増
加し、その電気抵抗が低下する。
的吸着量は雰囲気中の温度と湿度に依存する０そして金
属酸化物表面に水が物理的に吸着するとイ第２伝導が増
加し、その電気抵抗が低下する。
従来の湿度検知菓子の多くは前述の金属酸化物表面への
水の物理吸着を利用している。
水の物理吸着を利用している。
前述の湿度検知菓子の材料としては、ｙｅｓｏ４゜Ｆｅ
２ｅｓ、０ｘ２０ｓ、Ｎ１ｚ０３．ム１２０３．ＴｉＯ
２，。
２ｅｓ、０ｘ２０ｓ、Ｎ１ｚ０３．ム１２０３．ＴｉＯ
２，。
ＺｎＯ，ＭｇＧｒ２０ｎ等の金属酸化物がある０湿度検
知素子の用途としては、空調検器、食品調理器、乾燥器
、および計測機器がある。
知素子の用途としては、空調検器、食品調理器、乾燥器
、および計測機器がある。
しかし、前述の湿度検知菓子には次のような問題がある
。、それは耐雰囲気性が悪いことと湿度検知可能なオー
気温度に制限があることである。
。、それは耐雰囲気性が悪いことと湿度検知可能なオー
気温度に制限があることである。
耐雰囲気性が悪い理由としては、金属酸化物辰面の雰−
気中のほこりや油蒸気が付着すると、水の吸着状態が変
化するためである〇 また、湿度検知可能な雰囲気温度に制限がある理由とし
ては、雰−気温度が１００″Ｃ以上では金属酸化物表面
への水の物理的吸着量が急激に減少し、また雰囲気温度
が０″Ｃ以下では金属酸化物表面に吸着した水が氷の状
態にあるためである。
気中のほこりや油蒸気が付着すると、水の吸着状態が変
化するためである〇 また、湿度検知可能な雰囲気温度に制限がある理由とし
ては、雰−気温度が１００″Ｃ以上では金属酸化物表面
への水の物理的吸着量が急激に減少し、また雰囲気温度
が０″Ｃ以下では金属酸化物表面に吸着した水が氷の状
態にあるためである。
前述の耐雰囲気性を改善するには、金属酸化物表面のほ
こりや油分全有機溶剤等で洗浄するか、金属酸化物全高
温に加熱することによって、それら全除去すればよい◇
しかしながら、このような方法では連続的に湿度検出を
行なえないという欠点がある。
こりや油分全有機溶剤等で洗浄するか、金属酸化物全高
温に加熱することによって、それら全除去すればよい◇
しかしながら、このような方法では連続的に湿度検出を
行なえないという欠点がある。
以上、金属酸化物を用いた湿度検知素子について説明し
たが、前述の問題点は水の物理吸着を利用した湿度検知
素子に共通のものである。
たが、前述の問題点は水の物理吸着を利用した湿度検知
素子に共通のものである。
前述のような物理吸着を利用しないガス検知素子として
、ＳｎＯ２系セラミックを用いたものが実用化されてい
る。しかし、この５ｎＯｚ系セラミ２クガス慣知素子は
還元性ガスの検出金目的とじたものであり、湿度と還元
性ガスによってガス検知素子の抵抗が変化する。そのた
め、還元性ガスが存在する雰囲気中では精度の高い湿度
検知ができない〇 他の材料としてはＧ！Ｌ２０３と１ｎ２０ｓからなるセ
ラミックもある。しかし、ＧＩＬ２０５やＩｎ２Ｏ３は
高価な材料であり、検知素子のコスＩｆ上昇させるとい
う問題がある。以上のことから安価な材料を用い、高温
中で湿度のみに感する湿度検知素子が必要となる。
、ＳｎＯ２系セラミックを用いたものが実用化されてい
る。しかし、この５ｎＯｚ系セラミ２クガス慣知素子は
還元性ガスの検出金目的とじたものであり、湿度と還元
性ガスによってガス検知素子の抵抗が変化する。そのた
め、還元性ガスが存在する雰囲気中では精度の高い湿度
検知ができない〇 他の材料としてはＧ！Ｌ２０３と１ｎ２０ｓからなるセ
ラミックもある。しかし、ＧＩＬ２０５やＩｎ２Ｏ３は
高価な材料であり、検知素子のコスＩｆ上昇させるとい
う問題がある。以上のことから安価な材料を用い、高温
中で湿度のみに感する湿度検知素子が必要となる。
本発明の目的は、湿度検出時に雰囲気中のほこり、油蒸
気および還元性ガス等による特性変化を受けず、１００
′Ｇ以上の高い温度の雰囲気中でも湿度検知のできる安
価な湿度検知素子を提供することにある。
気および還元性ガス等による特性変化を受けず、１００
′Ｇ以上の高い温度の雰囲気中でも湿度検知のできる安
価な湿度検知素子を提供することにある。
本発明による湿度検知素子は、高温度下で電気抵抗が湿
度に依存する感湿抵抗体と抵抗発熱体とからなるもので
ある。
度に依存する感湿抵抗体と抵抗発熱体とからなるもので
ある。
本発明の湿度検知素子に用いらｎる感湿抵抗体は、Ｔｉ
０ｚ 、ＺｒＯ２，Ｎｂ２Ｏ５、およびＴＩＬ２０５か
らなる酸化物群から選択された少なくとも一つを含む金
属酸化物セラミックである０この感湿抵抗体の抵抗値が
、高温度下で湿度に依存する。
０ｚ 、ＺｒＯ２，Ｎｂ２Ｏ５、およびＴＩＬ２０５か
らなる酸化物群から選択された少なくとも一つを含む金
属酸化物セラミックである０この感湿抵抗体の抵抗値が
、高温度下で湿度に依存する。
本発明の湿度検知素子を用いて湿度検知を行なう場合、
その感湿抵抗体の温度１２００’ｃ、以上とすることが
好ましい０これは、２００℃より低い温度では感湿抵抗
体が水の物理吸着による影響全党けやすくなるたけでな
く、雰囲気中の有機物（高沸点の油分、煙に含まれるタ
ール分等）が付着しやすくなり、湿度検知の際に誤差を
生じて、長時間安定した湿度検知ができなくなるためで
ある。
その感湿抵抗体の温度１２００’ｃ、以上とすることが
好ましい０これは、２００℃より低い温度では感湿抵抗
体が水の物理吸着による影響全党けやすくなるたけでな
く、雰囲気中の有機物（高沸点の油分、煙に含まれるタ
ール分等）が付着しやすくなり、湿度検知の際に誤差を
生じて、長時間安定した湿度検知ができなくなるためで
ある。
なお、湿度検出の際、雰囲気中に還元性ガスが存在する
場合には、感湿抵抗体の最適温度はＳＯＯ℃以上の温度
領域にある。これは６００℃以下では還元性ガスの影響
を受けるためである。
場合には、感湿抵抗体の最適温度はＳＯＯ℃以上の温度
領域にある。これは６００℃以下では還元性ガスの影響
を受けるためである。
以下実施例を用いて説明する。
実施例１
感湿抵抗体の原料として純度９９．９％以上のＺｒ０ｚ
粉末を用いる。
粉末を用いる。
原料２７ｔｓｏＫｙ／ｃ！ｒの圧力で角板状の成形体（
寸法５ｍｍＸ ５ｍｍＸ ０９５ＩｎＩｎ ）とする０
この成形体を空気中において１３００’Ｃ，の温度で２
時間焼成する。
寸法５ｍｍＸ ５ｍｍＸ ０９５ＩｎＩｎ ）とする０
この成形体を空気中において１３００’Ｃ，の温度で２
時間焼成する。
以上のようにして第１図に示す板状の感湿抵抗体１を作
る。この感湿抵抗体１の両生面に導電性ペースト（、Ｒ
ｕＯ２系グレーズ抵抗用ペースト）全塗布し、通常実施
されているようにｇｏｏ’（１，で焼付け、電極２，３
を形成する。次にリード線４゜５を電極２，３の面上に
前記導電性ペースｔｆ用いて焼付は接着する。なお、リ
ード線４，５は太ｇｏ、１ｍＬＩＩのＰｔ−Ｉｒ合金ｉ
！１１（Ｐｔ９０％、Ｉｒ１０％）である。これらリー
ド線４，６を電気溶接に−より固定端子６，７に接続す
る。
る。この感湿抵抗体１の両生面に導電性ペースト（、Ｒ
ｕＯ２系グレーズ抵抗用ペースト）全塗布し、通常実施
されているようにｇｏｏ’（１，で焼付け、電極２，３
を形成する。次にリード線４゜５を電極２，３の面上に
前記導電性ペースｔｆ用いて焼付は接着する。なお、リ
ード線４，５は太ｇｏ、１ｍＬＩＩのＰｔ−Ｉｒ合金ｉ
！１１（Ｐｔ９０％、Ｉｒ１０％）である。これらリー
ド線４，６を電気溶接に−より固定端子６，７に接続す
る。
抵抗発熱体８は白金線ヲコイル状に成形したものであり
、固定岸子９，１０に電気溶接によ多接続される。
、固定岸子９，１０に電気溶接によ多接続される。
支持体１１は絶縁性の金属酸化物セラミック（ム１２０
３）からなり、上述の構成要素を保持するためのもので
ある。
３）からなり、上述の構成要素を保持するためのもので
ある。
この湿度検知素子の抵抗−湿度特性を第２図に示す。な
お、このときの感湿抵抗体１の温度は６００’Ｃであり
、その加熱には抵抗発熱体８を用ｆす’Ｃ。
お、このときの感湿抵抗体１の温度は６００’Ｃであり
、その加熱には抵抗発熱体８を用ｆす’Ｃ。
第２図からこの湿度検知素子の抵抗は高温度下で湿度に
依存していることがわかる０ 以上のようにして得ら扛る湿度検知素子は感湿抵抗俸奮
抵抗発熱体により一定温度（たとえば６００℃）に加熱
保持しておけば、雰囲気温度。
依存していることがわかる０ 以上のようにして得ら扛る湿度検知素子は感湿抵抗俸奮
抵抗発熱体により一定温度（たとえば６００℃）に加熱
保持しておけば、雰囲気温度。
雰囲気中のほこり、油分の付着および還元性ガス（エチ
ルアルコール濃度０〜３０００ｐｐｍ）の化学吸着によ
る影＃を受けることなく、湿度検出をすることができる
。
ルアルコール濃度０〜３０００ｐｐｍ）の化学吸着によ
る影＃を受けることなく、湿度検出をすることができる
。
芙“流物２〜１０
感湿抵抗体の原料としてＺｒＯ２，Ｎｂ２Ｏ５゜Ｔ＆１
ｌＯｓのいずｎか一種以上を用い実施例１に示した製造
方法により湿匿門仰累子を作製した。この湿１ｊ［知累
子の原料の配合比および湿度に対する感Ｋを下記５ｇ１
表に示す。
ｌＯｓのいずｎか一種以上を用い実施例１に示した製造
方法により湿匿門仰累子を作製した。この湿１ｊ［知累
子の原料の配合比および湿度に対する感Ｋを下記５ｇ１
表に示す。
なお、湿度に対する感度Ｓは次式によＶ算出し’Ｉｌ。
Ｓ＝ｌｏｇ （Ｒ１／Ｒｏ ）
たたし
ＲＯ：乾燥空気中、６００℃における感湿抵抗体の抵抗
値。
値。
Ｒ１：水蒸気１０重量％を含む空気中、６ａＯ℃におけ
る抵抗値。
る抵抗値。
第１表に示すように、本発明による湿度検知素子は高温
度下で湿度に感する０ 以上のようにして得られる湿度検知素子は、感湿抵抗体
を抵抗発熱体により一定温度（たとえば、ｅｏＯＴ、）
に加熱してかけば、雰囲気温度、雰囲気中のほこり、油
分の付着、および還元性ガス（エチルアルコール濃度０
〜３ｏｏｏｐ ｐｍ ）の影響を受けることなく湿度検
出をすることができる。
度下で湿度に感する０ 以上のようにして得られる湿度検知素子は、感湿抵抗体
を抵抗発熱体により一定温度（たとえば、ｅｏＯＴ、）
に加熱してかけば、雰囲気温度、雰囲気中のほこり、油
分の付着、および還元性ガス（エチルアルコール濃度０
〜３ｏｏｏｐ ｐｍ ）の影響を受けることなく湿度検
出をすることができる。
以下余白
第 １ 表
実施例１１〜３゜
感湿抵抗体の原料としてＺｒ０ｚ、Ｎｂ２Ｏ５，ならび
にＴａｚＯｓの群より選ばれた一種以上の成分と８ａＯ
，ＭｇＯ，（３ａ０，８ｒＯ，ＢａＯ，Ｚｎ０．ＯｄＯ
，ならびにム１２０５の群より選ばれた一種以上の成分
とを用い、実施例１と同様の製造方法で湿度検知素子を
作製した。
にＴａｚＯｓの群より選ばれた一種以上の成分と８ａＯ
，ＭｇＯ，（３ａ０，８ｒＯ，ＢａＯ，Ｚｎ０．ＯｄＯ
，ならびにム１２０５の群より選ばれた一種以上の成分
とを用い、実施例１と同様の製造方法で湿度検知素子を
作製した。
以上のようにして得られた湿度検知素子の湿度に対する
感度および原料の配合比を下記第２表に示す。
感度および原料の配合比を下記第２表に示す。
湿度に対する感度は実施例２〜１０で示した方法と同様
の方法で算出した。
の方法で算出した。
第２表に示すように、本発明による湿度検知素子は高温
度下で湿度に感する。
度下で湿度に感する。
以上のようにして得られる湿度検知素子は感湿抵抗体を
抵抗発熱体により一定温度（たとえば、６００℃）に加
熱しておけば、雰囲気温度、雰囲気中のほこり、油分の
付着、および還元性ガス（エチルアルコール濃度０〜３
０ＱＯｐｐｍ）の影響を受けることなく、湿度検出をす
ることができる。
抵抗発熱体により一定温度（たとえば、６００℃）に加
熱しておけば、雰囲気温度、雰囲気中のほこり、油分の
付着、および還元性ガス（エチルアルコール濃度０〜３
０ＱＯｐｐｍ）の影響を受けることなく、湿度検出をす
ることができる。
第 ２ 表
実施例３１
感湿抵抗体の原料としてＴｉ０ｚ、ＭｇＯを用い実施例
１に示す製造方法と同様の方法で湿度検知素子を作製し
た０ 以上のようにして得られた湿度検知素子の湿度に対する
感度と感湿抵抗体中のＭｇＯ濃度との関係を第３図に示
す。
１に示す製造方法と同様の方法で湿度検知素子を作製し
た０ 以上のようにして得られた湿度検知素子の湿度に対する
感度と感湿抵抗体中のＭｇＯ濃度との関係を第３図に示
す。
この図から明らかなように、感湿抵抗体中のＭｇＯ濃度
が６モル％と３０モル％であるときに湿度に対する感度
が最大となる。そして、ＭｇＯ濃度が６モル％であると
きには、湿度が上昇するに従って感湿抵抗体の抵抗値が
増加し、ＭｇＯ濃度が３０モル％であるときには逆に湿
度が上昇するにともなって抵抗値は減少する０ なお、湿度に対する感度は実施例２〜１ｏと同様の方法
で算出した。
が６モル％と３０モル％であるときに湿度に対する感度
が最大となる。そして、ＭｇＯ濃度が６モル％であると
きには、湿度が上昇するに従って感湿抵抗体の抵抗値が
増加し、ＭｇＯ濃度が３０モル％であるときには逆に湿
度が上昇するにともなって抵抗値は減少する０ なお、湿度に対する感度は実施例２〜１ｏと同様の方法
で算出した。
以上のようにＴｉ０ｚｉ主成分とする感湿抵抗体では、
その、添加物濃度により感湿抵抗体の抵抗−湿度特性を
制御することができる。
その、添加物濃度により感湿抵抗体の抵抗−湿度特性を
制御することができる。
第４図に、ＭｑＯ濃度が６モル％である感湿抵抗体を用
いた湿度検知素子と、Ｍ９０濃度が３０モル％である感
湿抵抗体を用いた湿度検知素子の抵抗−湿度依存性を示
す０図において、破線は前者の特性を、まｆｃ実線は後
者の特性をそれぞれ示す。
いた湿度検知素子と、Ｍ９０濃度が３０モル％である感
湿抵抗体を用いた湿度検知素子の抵抗−湿度依存性を示
す０図において、破線は前者の特性を、まｆｃ実線は後
者の特性をそれぞれ示す。
なお、第４図における感湿抵抗体の温度は６００℃であ
る。
る。
以上のようにして得られる湿度検知素子は、感湿抵抗体
を抵抗発熱体により一定温度（たとえばｅｏｏ−Ｃ）に
加熱しておけば、雰囲気温度−雰囲気中のほこり、油分
の付着、および還元性ガス（エチルアルコール濃度０〜
ｓｏｏｏｐｐｍ）の影響′（ｉ−受けることなく湿度検
出音することができる。
を抵抗発熱体により一定温度（たとえばｅｏｏ−Ｃ）に
加熱しておけば、雰囲気温度−雰囲気中のほこり、油分
の付着、および還元性ガス（エチルアルコール濃度０〜
ｓｏｏｏｐｐｍ）の影響′（ｉ−受けることなく湿度検
出音することができる。
実施例３２〜３８
感湿抵抗体の原料として、ＴｉＯ２と、Ｂｅｄ。
ＣａＯ、ＢａＯ、ＳｒＯ、ＺｎＯ、ＣｄＯ、ならびにム
１２０３の群より選ばｔｚた一種以上の成分とを用いて
、実施例１と同様の製造方法に↓ケ湿度検知素子を作製
した〇 以上のようにして得られた湿度検知素子の湿度に対する
感度と原料の配合比を下記第３表に示す〇湿度に対する
感度は実施例２〜１０で示した方法と同様の方法で算出
した。
１２０３の群より選ばｔｚた一種以上の成分とを用いて
、実施例１と同様の製造方法に↓ケ湿度検知素子を作製
した〇 以上のようにして得られた湿度検知素子の湿度に対する
感度と原料の配合比を下記第３表に示す〇湿度に対する
感度は実施例２〜１０で示した方法と同様の方法で算出
した。
第３表に示すように、本発明による湿度検知素子の感湿
抵抗体は高温中で湿度に感する。
抵抗体は高温中で湿度に感する。
以上のようにして得られる湿度検知素子は、感湿抵抗体
を抵抗発熱体により一足温度（たとえば６００℃）に加
熱しておけば、雰囲気温度、雰囲気中のほこり、油分の
付着および還元性ガスの影響を受けることなく湿度検出
をすることができる。
を抵抗発熱体により一足温度（たとえば６００℃）に加
熱しておけば、雰囲気温度、雰囲気中のほこり、油分の
付着および還元性ガスの影響を受けることなく湿度検出
をすることができる。
第 ３ 表
以上の説明から明らかなように、本発明によるも広く、
湿度検出も必要とする各種機器に応用できるものである
。
湿度検出も必要とする各種機器に応用できるものである
。
第１図は本発明にかかる湿度検知素子の一実施例の構造
を示す斜視図、第２図はその抵抗−湿度特性金示す図で
ある。第３図は本発明の湿度検知素子に用いるＴｉＯ２
系感湿抵抗体の湿度感度−添加物濃度特性を示す図、第
４図は同じ（ＴｉＯ２系感湿抵抗体の抵抗−湿度特性を
示す図である。 １・・・・・・感湿抵抗体、２，３・・・・・・電極、
４，６・・・・・・リード婦、８・・・・・・抵抗発熱
体。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 １２図 兇片湿曳〔重量％〕 第３図 ＭｌＯタＦ４ （七ル匍 第４図 艷討遜支（１１’／ａ） 手続補正書 昭和６７年１２月−一 特許庁長官殿 ｌ事件の表示 昭和５７年特許願第 ２１４３３号 ２発明の名称 知 湿度検知素子 ３補正をする者 事件との関係 特 許 出 願 大
佐 所 大阪府門真市大字門真１００６番地名 称
（５８２）松下電器産業株式会社代表者 山
下 俊 彦 ４代理人 〒５７１ 住 所 大阪府門真市大字門真１００６番地松下電器
産業株式会社内 ５補正の対象 明細書全文 図面 ６、補正の内容 （１）明細書全文を別紙のとおりに補正いたします。 （２）図面第３図および第４図を削除いたします。 明 細 書 １、発明の名称 湿度検知素子 ２、特許請求の範囲 （１） 物理吸着による影響が実質的にない２００℃
以上の温度で電気抵抗が湿度に依存する゛感湿抵抗体と
前記感湿抵抗体を加熱するための抵抗発熱体とを有し、
前記感湿抵抗体がＺｒＯ２、ＴｉＯ２゜Ｎｂ２Ｏ５，な
らびにＴ ＩＬ２ｏ５よりなる群から選ばれた一種以上
を主たる成分としていることを特徴とする湿度検知素子
。 （２）感湿抵抗体がＺｒＯ２，ＴｉＯ２，Ｔａ２０５．
ならびにＮｂ２Ｏ５よりなる群から選ばれた一種以上か
らなることを特徴とする特許請求の範囲第１項にｄピ載
の湿度検知素子。 （３）感湿抵抗体が、ＺｒＯ２，Ｔｉｅ□、Ｎｂ２Ｏ５
，ならびにＴａ２０５ からなる群より選ばれた一種以
上を主成分とし、さらにＢｅｄ、ＭｇＯ，Ｃａｂ、Ｂａ
Ｏ。 ＳｒＱ、ＺｎＯ，ＣｄＯ，ならびにム１２０３ から
なる群より辿ばれた一種以上を副成分として含むことを
特徴とする特許請求・の範囲第１項に記載の湿度検知素
子。 ３、発明の詳細な説明 本発明は湿度を電気抵抗に変換できる湿度検知素子に関
するものである。 一般に金属酸化物は水分吸着性に優れており、水の物理
的吸着量は雰囲気中の温度と湿度に依存する。そして金
属酸化物表■に水が物理的に吸着するとイオン伝導か増
加し、その電気抵抗が低下する。 従来の湿度検知素子の多くは前述の金属酸化物表面への
水の物理吸着を利用している。 前述の湿度検知素子の材料としては、Ｆ １！＋３ ｏ
。 やＦ ６１２ｏ３．０ｒ２０３． Ｎｉ２Ｏ３、ム１２
０３ 、 ＴｉＯ２。 ＺｎＯ，ＭｇＣｒ２Ｏ４，Ｔｉ０２−Ｖ２Ｏ３系、 Ｚ
ｎＯ−Ｃｒ２ｏ３−Ｌｉ２０−Ｖ２Ｏ３系等の金属酸化
物がある〇湿度検知素子の用途としては、空調機器、食
品調理器、乾燥器、および計測機器がある。 しかし、前述の湿度検知素子には次のような問題がある
。それは耐雰囲気性が悪いことと湿度検知可能な雰囲気
温度に制限があることである。 耐雰囲気性が悪い理由としては、金属酸化物表面の雰囲
気中のほこりや油蒸気が付着すると、水の吸着状態か変
化するためである。 また、湿度検知可能な雰囲気温度に制限がある理由とし
２ては、雰囲気温度が１００℃以上では金属酸化物表面
への水の物理的吸着量が急激に減少し、また雰囲気温度
が０℃以下では金属酸化物表面に吸着した水が氷の状態
にあるためである。 前述の耐雰囲気性を改善するには、金属酸化物表面のほ
こりや油分を有機溶剤等で洗浄するか、金属酸化物を高
温に加熱することによって、それらを除去すればよい。 しかしながら、このような方法では連続的に湿度検出を
行なえないという欠点かある。 以上、金属酸化物を用いた湿度検知素子について説明し
たが、前述の問題点は水の物理吸着を利用した湿度検知
素子に共通のものである。 前述のような物理吸着を利用しないガス検知素子として
、５ｎ０２系セラミツクを用いたものが実用化されてい
る１、シかし、この５ｎ０２糸セラミツクガス検知素子
は還元性ガスの検出を目的としたものであり、湿度と還
元性ガスによってガス検知素子の抵抗が変化する。その
ため、還元性ガスか存在する雰囲気中では検反の高い湿
度検知ができない。 以上のことから、高温中で湿度のみに感する湿度検知素
子が必要となる。 本発明の目的は、湿度検出時に雰囲気中のほこり、油蒸
気および還元性ガス等ＶＣよる特性変化を受けず、１０
０℃以上の高い温度の雰囲気中でも湿度検知のできる安
価な湿度検知素子を提供することにある。 本発明による湿度検知可能は、高温度下で電気抵抗が温
度に依存する感湿抵抗体と抵抗発熱体とからなるもので
ある。 本発明の湿度検知素子に用いられる感湿抵抗体は、Ｚｒ
Ｏ２、ＴｉＯ２、Ｎｂ２Ｏ５；およびＴ ２Ｌ２ｏ５か
らなる酸化物群から選択された少ｌくとも一つを含む金
属酸化物セラミックである。この感湿抵抗洋の抵抗値が
、物理吸着による影響が実質的に々くなり、それを無視
できる高温度下で湿度に依存する。 また、これらの感湿抵抗体にＢａｄ、ＭｇＯ。 （３ａＯ，Ｂａｄ、８ｒＯ，ＺｎＯ，ＣｄＯおよびム１
２Ｑ１の群より選ばれた少なくとも一つを副成分として
添加き有させることにより、高温度下での湿度検出能力
をより一層向上させることができる。 本発明の湿度検知素子を用いて湿度検知を行なう場合、
その感湿抵抗体の温度を２ＱＯ’Ｃ以上とすることが好
ましい。これは、２００℃より低い温度では感湿抵抗体
が水の物理吸着による影響を受けやすくなるだけでなく
、−雰囲気中の有機物たとえば高沸点の油分、煙に含ま
れるタール分等が付着しやすくなり、湿度検知の際に誤
差を生じて、長時間にわたる安定した湿度検知をするこ
とができなくなるためである。 なお、湿度検出の際、雰囲気中に還元性ガスか存在する
場合には、感湿抵抗体の最適温度は５００℃以上の温度
領域にある。これはＳＯＯ℃よシ低い温度下では還元性
ガスの影響を受けるためである。 以下実施例を用いて説明する。 実施例１ 感湿抵抗体の原料として純度９９．９％以上のＺｒＯ２
粉末を用いる。 原料を７６０１の圧力で角板状の成形体（寸法ｓｍｘｓ
ｍｘｏ、ｓａ＋）とする。この成形体を空気中において
１３００℃の温度で２時間焼成する。 以上のようにして第１図に示す板状の感湿抵抗体１を作
る。この感湿抵抗体１の両生面に導電性ペーストである
ＲｕＯ２系グレース抵抗用ペーストを塗布し、通常実施
されているように８００°Ｃで焼付け、電極２．３を形
成する。次にリード線４゜６を電極２，３の面上に前記
導電性ペーストを用いて焼付は接着する。なお４、リー
ド線４．６は太さ０．１１ＥＩのＰｔ−Ｉｒ合金線（Ｐ
ｔ９０％、Ｉｒ１０％）である。これらリード線４．６
を電気溶接により固定端子６．７に接続する。 抵抗発熱体８は白金線をコイル状に成形したものであり
、固定端子９，１ｏに電気溶接によシ接続される。 支持体１１は絶縁性の金属酸化物セラミック（ム１２０
３ ）からなり、上述の構成要素を保持するためのもの
である。 この湿度検知素子の抵抗−湿度特性を第２図に示す。な
お、このときの感湿抵抗体１の温度は６００℃であり、
その加熱には抵抗発熱体８を用いた。 第２図からこの湿度検知素子の抵抗は高温度下で湿度に
依存していることがわかる。 以上のようにして得られる湿度検知素子は、その感湿抵
抗体を抵抗発熱体により一定温度たとえばａ ｏ ｏ
℃に加熱保持しておけば、雰囲気温度。 雰囲気中のほこり、油分の付着および還元性ガス（エチ
ルアルコール濃度０〜ａｏｏｏｐｐｍ ）の化学吸着
による影響を受けることなく、湿度検出をすることがで
きる。 実施例２〜１０ − 感湿抵抗体の原料としてＺｒＯ２、Ｎｂ２０５
。 Ｔ ＆、 ｏ５のいずれか一種以上を用い実施例１に示
した製造方法により湿度検知菓子を作製した。この湿度
検知素子の原料の配合比および湿度に対する感度を第１
表に示す。 なお、湿度に対する感度Ｓは次式により算出した。 Ｓ ＝ ｇｏｇ （）（ｔ／ Ｒｏ ）ただし Ｒｏ：乾燥空気中、６００℃における感湿抵抗体の抵抗
値。 Ｒ１：水蒸気１０重量％を含む空気中、６００℃におけ
る抵抗値。 第 １ 表 第１衣に示すように、本発明による湿度検知素子は高温
度下で湿度に感する。 以上のようにして得られる湿度検知素子は、感湿抵抗体
を抵抗発熱体により一定温度たとえば、６ｏｏ℃に加熱
しておけば、雰囲気温度、雰囲気中のほこり、油分の付
着、および還元性ガス（エチルアルコール濃度０〜ａｏ
ｏｏｐｐｍ ）の影響１ 。 を受けることなく湿度検出をすることができる。 実施例１１〜３０ 感湿抵抗体の原料としてＺｒＯ２、Ｎｂ２Ｏ５、ならび
にＴ ａ２０５の群より選ばれた一種以上の成分とＢ
ｅ Ｏ，ＭｇＯ，Ｃａｂ、 ＳｒＯ，Ｂａｄ、 ＺｎＯ
，０６０゜ならびにム１２０３の肝より選ばれた一種以
上の成分とを用い、実施例１と同様の製造方法で湿度検
知素子を作製した。 以上のようにして得られた湿度検知素子の湿度に対する
感度υよび原料の配合比を下記第２表に示す。 湿度に対する感度は実施例２〜１ｏで示した方法と同様
の方法で算出した。 第 ２ 表 ２ 第２表に示すように、本発明による湿度検知素子は高温
度下で湿度に感する。そして、その感度が添加成分によ
って向上していることか認められる。 以上のようにして得られる湿度検知素子は感湿抵抗体を
抵抗発熱体により一定温度たとえば６００℃に加熱して
おけば、雰囲気温度、雰囲気中のほこり、油分の付着、
および還元性ガス（エチルアルコール濃度０〜ｓｏｏｏ
ｐｐｍ）の影響を受けることなく、湿度検出をすること
ができる。 実施例３１〜３９ 感湿抵抗体の原料として、ＴｉＯ□と、ＴｉＯ２ならび
にＢｅｄ、Ｃａｂ、Ｂａｄ、ＳｒＯ，ＺｎＯ，ＣｄＯ，
ム１２０３の群より選ばれた一種以上の成分とを用いて
、実施例１と同様の製造方法により湿度検知素子を作製
した。 以上のようにして得られた湿度検知素子の湿度に対する
感度と原料の配合比を下記第３表に示す。 湿度に対する感度は実施例２〜１０で示した方法と同様
の方法で算出した。 ３ 第 ３ 表 第３表に示すように、本発明による湿度検知素子の感湿
抵抗体は高温中で湿度に感する。 以上のようにして得られる湿度検知素子は、感湿抵抗体
を抵抗発熱体により一定、温度たとえば６００ ’Ｃに
加熱しておけば、雰囲気温度、雰囲気中のほこり、油分
の付着および還元性ガスの影響を受けることなく湿度検
出をすることができる。 １４ 以上の説明から明らかなように、本発明による湿度検知
素子は、雰囲気中のほこり、油蒸気等による特性変化が
なく、また還元性雰囲気中でも湿度検出ができ、湿度検
出可能な雰囲気温度範囲も広く、湿度検出も必要とする
各種機器に応用できるものである。 ４、図面の簡単な説明 第１図は本発明にかかる湿度検知素子の一実施例の構造
を示す斜視図、第２図はその抵抗−湿度特性を示す図で
ある。 １・・・・・・感湿抵抗体、２，３・・・・・・電極、
４．５・・・・・・リード線、８・・・・・・抵抗発熱
体。
を示す斜視図、第２図はその抵抗−湿度特性金示す図で
ある。第３図は本発明の湿度検知素子に用いるＴｉＯ２
系感湿抵抗体の湿度感度−添加物濃度特性を示す図、第
４図は同じ（ＴｉＯ２系感湿抵抗体の抵抗−湿度特性を
示す図である。 １・・・・・・感湿抵抗体、２，３・・・・・・電極、
４，６・・・・・・リード婦、８・・・・・・抵抗発熱
体。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 １２図 兇片湿曳〔重量％〕 第３図 ＭｌＯタＦ４ （七ル匍 第４図 艷討遜支（１１’／ａ） 手続補正書 昭和６７年１２月−一 特許庁長官殿 ｌ事件の表示 昭和５７年特許願第 ２１４３３号 ２発明の名称 知 湿度検知素子 ３補正をする者 事件との関係 特 許 出 願 大
佐 所 大阪府門真市大字門真１００６番地名 称
（５８２）松下電器産業株式会社代表者 山
下 俊 彦 ４代理人 〒５７１ 住 所 大阪府門真市大字門真１００６番地松下電器
産業株式会社内 ５補正の対象 明細書全文 図面 ６、補正の内容 （１）明細書全文を別紙のとおりに補正いたします。 （２）図面第３図および第４図を削除いたします。 明 細 書 １、発明の名称 湿度検知素子 ２、特許請求の範囲 （１） 物理吸着による影響が実質的にない２００℃
以上の温度で電気抵抗が湿度に依存する゛感湿抵抗体と
前記感湿抵抗体を加熱するための抵抗発熱体とを有し、
前記感湿抵抗体がＺｒＯ２、ＴｉＯ２゜Ｎｂ２Ｏ５，な
らびにＴ ＩＬ２ｏ５よりなる群から選ばれた一種以上
を主たる成分としていることを特徴とする湿度検知素子
。 （２）感湿抵抗体がＺｒＯ２，ＴｉＯ２，Ｔａ２０５．
ならびにＮｂ２Ｏ５よりなる群から選ばれた一種以上か
らなることを特徴とする特許請求の範囲第１項にｄピ載
の湿度検知素子。 （３）感湿抵抗体が、ＺｒＯ２，Ｔｉｅ□、Ｎｂ２Ｏ５
，ならびにＴａ２０５ からなる群より選ばれた一種以
上を主成分とし、さらにＢｅｄ、ＭｇＯ，Ｃａｂ、Ｂａ
Ｏ。 ＳｒＱ、ＺｎＯ，ＣｄＯ，ならびにム１２０３ から
なる群より辿ばれた一種以上を副成分として含むことを
特徴とする特許請求・の範囲第１項に記載の湿度検知素
子。 ３、発明の詳細な説明 本発明は湿度を電気抵抗に変換できる湿度検知素子に関
するものである。 一般に金属酸化物は水分吸着性に優れており、水の物理
的吸着量は雰囲気中の温度と湿度に依存する。そして金
属酸化物表■に水が物理的に吸着するとイオン伝導か増
加し、その電気抵抗が低下する。 従来の湿度検知素子の多くは前述の金属酸化物表面への
水の物理吸着を利用している。 前述の湿度検知素子の材料としては、Ｆ １！＋３ ｏ
。 やＦ ６１２ｏ３．０ｒ２０３． Ｎｉ２Ｏ３、ム１２
０３ 、 ＴｉＯ２。 ＺｎＯ，ＭｇＣｒ２Ｏ４，Ｔｉ０２−Ｖ２Ｏ３系、 Ｚ
ｎＯ−Ｃｒ２ｏ３−Ｌｉ２０−Ｖ２Ｏ３系等の金属酸化
物がある〇湿度検知素子の用途としては、空調機器、食
品調理器、乾燥器、および計測機器がある。 しかし、前述の湿度検知素子には次のような問題がある
。それは耐雰囲気性が悪いことと湿度検知可能な雰囲気
温度に制限があることである。 耐雰囲気性が悪い理由としては、金属酸化物表面の雰囲
気中のほこりや油蒸気が付着すると、水の吸着状態か変
化するためである。 また、湿度検知可能な雰囲気温度に制限がある理由とし
２ては、雰囲気温度が１００℃以上では金属酸化物表面
への水の物理的吸着量が急激に減少し、また雰囲気温度
が０℃以下では金属酸化物表面に吸着した水が氷の状態
にあるためである。 前述の耐雰囲気性を改善するには、金属酸化物表面のほ
こりや油分を有機溶剤等で洗浄するか、金属酸化物を高
温に加熱することによって、それらを除去すればよい。 しかしながら、このような方法では連続的に湿度検出を
行なえないという欠点かある。 以上、金属酸化物を用いた湿度検知素子について説明し
たが、前述の問題点は水の物理吸着を利用した湿度検知
素子に共通のものである。 前述のような物理吸着を利用しないガス検知素子として
、５ｎ０２系セラミツクを用いたものが実用化されてい
る１、シかし、この５ｎ０２糸セラミツクガス検知素子
は還元性ガスの検出を目的としたものであり、湿度と還
元性ガスによってガス検知素子の抵抗が変化する。その
ため、還元性ガスか存在する雰囲気中では検反の高い湿
度検知ができない。 以上のことから、高温中で湿度のみに感する湿度検知素
子が必要となる。 本発明の目的は、湿度検出時に雰囲気中のほこり、油蒸
気および還元性ガス等ＶＣよる特性変化を受けず、１０
０℃以上の高い温度の雰囲気中でも湿度検知のできる安
価な湿度検知素子を提供することにある。 本発明による湿度検知可能は、高温度下で電気抵抗が温
度に依存する感湿抵抗体と抵抗発熱体とからなるもので
ある。 本発明の湿度検知素子に用いられる感湿抵抗体は、Ｚｒ
Ｏ２、ＴｉＯ２、Ｎｂ２Ｏ５；およびＴ ２Ｌ２ｏ５か
らなる酸化物群から選択された少ｌくとも一つを含む金
属酸化物セラミックである。この感湿抵抗洋の抵抗値が
、物理吸着による影響が実質的に々くなり、それを無視
できる高温度下で湿度に依存する。 また、これらの感湿抵抗体にＢａｄ、ＭｇＯ。 （３ａＯ，Ｂａｄ、８ｒＯ，ＺｎＯ，ＣｄＯおよびム１
２Ｑ１の群より選ばれた少なくとも一つを副成分として
添加き有させることにより、高温度下での湿度検出能力
をより一層向上させることができる。 本発明の湿度検知素子を用いて湿度検知を行なう場合、
その感湿抵抗体の温度を２ＱＯ’Ｃ以上とすることが好
ましい。これは、２００℃より低い温度では感湿抵抗体
が水の物理吸着による影響を受けやすくなるだけでなく
、−雰囲気中の有機物たとえば高沸点の油分、煙に含ま
れるタール分等が付着しやすくなり、湿度検知の際に誤
差を生じて、長時間にわたる安定した湿度検知をするこ
とができなくなるためである。 なお、湿度検出の際、雰囲気中に還元性ガスか存在する
場合には、感湿抵抗体の最適温度は５００℃以上の温度
領域にある。これはＳＯＯ℃よシ低い温度下では還元性
ガスの影響を受けるためである。 以下実施例を用いて説明する。 実施例１ 感湿抵抗体の原料として純度９９．９％以上のＺｒＯ２
粉末を用いる。 原料を７６０１の圧力で角板状の成形体（寸法ｓｍｘｓ
ｍｘｏ、ｓａ＋）とする。この成形体を空気中において
１３００℃の温度で２時間焼成する。 以上のようにして第１図に示す板状の感湿抵抗体１を作
る。この感湿抵抗体１の両生面に導電性ペーストである
ＲｕＯ２系グレース抵抗用ペーストを塗布し、通常実施
されているように８００°Ｃで焼付け、電極２．３を形
成する。次にリード線４゜６を電極２，３の面上に前記
導電性ペーストを用いて焼付は接着する。なお４、リー
ド線４．６は太さ０．１１ＥＩのＰｔ−Ｉｒ合金線（Ｐ
ｔ９０％、Ｉｒ１０％）である。これらリード線４．６
を電気溶接により固定端子６．７に接続する。 抵抗発熱体８は白金線をコイル状に成形したものであり
、固定端子９，１ｏに電気溶接によシ接続される。 支持体１１は絶縁性の金属酸化物セラミック（ム１２０
３ ）からなり、上述の構成要素を保持するためのもの
である。 この湿度検知素子の抵抗−湿度特性を第２図に示す。な
お、このときの感湿抵抗体１の温度は６００℃であり、
その加熱には抵抗発熱体８を用いた。 第２図からこの湿度検知素子の抵抗は高温度下で湿度に
依存していることがわかる。 以上のようにして得られる湿度検知素子は、その感湿抵
抗体を抵抗発熱体により一定温度たとえばａ ｏ ｏ
℃に加熱保持しておけば、雰囲気温度。 雰囲気中のほこり、油分の付着および還元性ガス（エチ
ルアルコール濃度０〜ａｏｏｏｐｐｍ ）の化学吸着
による影響を受けることなく、湿度検出をすることがで
きる。 実施例２〜１０ − 感湿抵抗体の原料としてＺｒＯ２、Ｎｂ２０５
。 Ｔ ＆、 ｏ５のいずれか一種以上を用い実施例１に示
した製造方法により湿度検知菓子を作製した。この湿度
検知素子の原料の配合比および湿度に対する感度を第１
表に示す。 なお、湿度に対する感度Ｓは次式により算出した。 Ｓ ＝ ｇｏｇ （）（ｔ／ Ｒｏ ）ただし Ｒｏ：乾燥空気中、６００℃における感湿抵抗体の抵抗
値。 Ｒ１：水蒸気１０重量％を含む空気中、６００℃におけ
る抵抗値。 第 １ 表 第１衣に示すように、本発明による湿度検知素子は高温
度下で湿度に感する。 以上のようにして得られる湿度検知素子は、感湿抵抗体
を抵抗発熱体により一定温度たとえば、６ｏｏ℃に加熱
しておけば、雰囲気温度、雰囲気中のほこり、油分の付
着、および還元性ガス（エチルアルコール濃度０〜ａｏ
ｏｏｐｐｍ ）の影響１ 。 を受けることなく湿度検出をすることができる。 実施例１１〜３０ 感湿抵抗体の原料としてＺｒＯ２、Ｎｂ２Ｏ５、ならび
にＴ ａ２０５の群より選ばれた一種以上の成分とＢ
ｅ Ｏ，ＭｇＯ，Ｃａｂ、 ＳｒＯ，Ｂａｄ、 ＺｎＯ
，０６０゜ならびにム１２０３の肝より選ばれた一種以
上の成分とを用い、実施例１と同様の製造方法で湿度検
知素子を作製した。 以上のようにして得られた湿度検知素子の湿度に対する
感度υよび原料の配合比を下記第２表に示す。 湿度に対する感度は実施例２〜１ｏで示した方法と同様
の方法で算出した。 第 ２ 表 ２ 第２表に示すように、本発明による湿度検知素子は高温
度下で湿度に感する。そして、その感度が添加成分によ
って向上していることか認められる。 以上のようにして得られる湿度検知素子は感湿抵抗体を
抵抗発熱体により一定温度たとえば６００℃に加熱して
おけば、雰囲気温度、雰囲気中のほこり、油分の付着、
および還元性ガス（エチルアルコール濃度０〜ｓｏｏｏ
ｐｐｍ）の影響を受けることなく、湿度検出をすること
ができる。 実施例３１〜３９ 感湿抵抗体の原料として、ＴｉＯ□と、ＴｉＯ２ならび
にＢｅｄ、Ｃａｂ、Ｂａｄ、ＳｒＯ，ＺｎＯ，ＣｄＯ，
ム１２０３の群より選ばれた一種以上の成分とを用いて
、実施例１と同様の製造方法により湿度検知素子を作製
した。 以上のようにして得られた湿度検知素子の湿度に対する
感度と原料の配合比を下記第３表に示す。 湿度に対する感度は実施例２〜１０で示した方法と同様
の方法で算出した。 ３ 第 ３ 表 第３表に示すように、本発明による湿度検知素子の感湿
抵抗体は高温中で湿度に感する。 以上のようにして得られる湿度検知素子は、感湿抵抗体
を抵抗発熱体により一定、温度たとえば６００ ’Ｃに
加熱しておけば、雰囲気温度、雰囲気中のほこり、油分
の付着および還元性ガスの影響を受けることなく湿度検
出をすることができる。 １４ 以上の説明から明らかなように、本発明による湿度検知
素子は、雰囲気中のほこり、油蒸気等による特性変化が
なく、また還元性雰囲気中でも湿度検出ができ、湿度検
出可能な雰囲気温度範囲も広く、湿度検出も必要とする
各種機器に応用できるものである。 ４、図面の簡単な説明 第１図は本発明にかかる湿度検知素子の一実施例の構造
を示す斜視図、第２図はその抵抗−湿度特性を示す図で
ある。 １・・・・・・感湿抵抗体、２，３・・・・・・電極、
４．５・・・・・・リード線、８・・・・・・抵抗発熱
体。
Claims (3)
- （１） ２００″Ｇ以上の温度で電気抵抗が湿度に依
存する感湿抵抗体と前記感湿抵抗体を加熱するための抵
抗発熱体とを有し、前記感湿抵抗体がＴｉＯ２，ｚｒｏ
ｚ 、Ｎｂ２Ｏ５、ならびにＴａ ２０５よりなる群か
ら選ばれ九一種以上を主たる成分としていることｙｋ＃
ｆ徴とする湿度検知素子。 - （２）感湿抵抗体がＴｉＯ２，ＺｒＯ２，Ｔａ２０５．
ならびにＮｂ２Ｏ５よりなる群から選ばれた一種以上か
らなることを特徴とする特許請求の範ｌ１１１＄１項に
記載の湿度検知素子６ - （３）感湿抵抗体が、ＴｉＯ２，ＺｒＯ２，Ｎｂ２Ｏ５
，ならびにＴＩＬ２０５からなる群より選ばれた一種以
上を主成分とし、さらにＢ２Ｏ，ＭｇＯ，Ｃ３ｌＬＯ。 ｄａＯ，８ｒＯ，Ｚｎ０，０４０．ならびにム１２０３
からなる群より選ばれた一種以上を副成分として含むこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の湿度検知
菓子。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57021433A JPS58138001A (ja) | 1982-02-12 | 1982-02-12 | 湿度検知素子 |
| EP83101078A EP0086415B1 (en) | 1982-02-12 | 1983-02-04 | Humidity sensitive device |
| DE8383101078T DE3375212D1 (en) | 1982-02-12 | 1983-02-04 | Humidity sensitive device |
| CA000421483A CA1197995A (en) | 1982-02-12 | 1983-02-11 | Humidity sensitive device |
| US06/796,506 US4594569A (en) | 1982-02-12 | 1985-11-12 | Humidity sensitive device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57021433A JPS58138001A (ja) | 1982-02-12 | 1982-02-12 | 湿度検知素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58138001A true JPS58138001A (ja) | 1983-08-16 |
| JPH0125201B2 JPH0125201B2 (ja) | 1989-05-16 |
Family
ID=12054841
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57021433A Granted JPS58138001A (ja) | 1982-02-12 | 1982-02-12 | 湿度検知素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58138001A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03238349A (ja) * | 1990-02-16 | 1991-10-24 | Koroido Res:Kk | 湿度センサー |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57138102A (en) * | 1981-02-20 | 1982-08-26 | Gen Corp | Moisture sensitive element |
-
1982
- 1982-02-12 JP JP57021433A patent/JPS58138001A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57138102A (en) * | 1981-02-20 | 1982-08-26 | Gen Corp | Moisture sensitive element |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03238349A (ja) * | 1990-02-16 | 1991-10-24 | Koroido Res:Kk | 湿度センサー |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0125201B2 (ja) | 1989-05-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0517650Y2 (ja) | ||
| JPS61260605A (ja) | セラミツク湿度センサ | |
| JPS58138001A (ja) | 湿度検知素子 | |
| US4594569A (en) | Humidity sensitive device | |
| JPH0378761B2 (ja) | ||
| JPH0225452B2 (ja) | ||
| JPS5826641B2 (ja) | 温度・湿度検出素子 | |
| JPS5849001B2 (ja) | 感湿素子 | |
| JPS6214921B2 (ja) | ||
| JPH07190979A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH04359141A (ja) | 感湿素子 | |
| JPS6235058B2 (ja) | ||
| JPH0552795A (ja) | 感湿素子 | |
| JPS5911601A (ja) | 金属酸化物系抵抗体 | |
| JPH0510910A (ja) | 湿度センサ | |
| JP2959122B2 (ja) | 感湿素子 | |
| JPH0225453B2 (ja) | ||
| JPS6213620B2 (ja) | ||
| JPH02252202A (ja) | 湿度センサ素子 | |
| JPS63128248A (ja) | 複合ガスセンサ | |
| JPS6359983B2 (ja) | ||
| JPS5811082B2 (ja) | 温度湿度検出素子 | |
| JPS58150850A (ja) | ガス感応素子 | |
| JPH05302908A (ja) | 感湿素子 | |
| JPS63144243A (ja) | 静電容量型湿度センサ |