JPS58127969A - Ｅｌ表示素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （ａ）　　発明の技術分野 本発明はエレクトロルミネッセンス（以下ＫＬと略称す
る）表示素子に係り、特にＥＬ層を誘電体層でサンドイ
ンチ状にはさんだ、いわゆる二重絶縁膜３層構造で構成
された薄膜ＥＬ表示素子の改良に関するものである。

（ｔ）３　　従来技術と問題点 近年、ＥＬ層を誘電体層でサンドイッチ状にはさんだ、
いわゆる二重絶縁膜８層構造で構成されたＥＬ表示素子
の開発、実用化が進められている。

このようなＥＬ表示素子は一般に、ガラス基板上に線状
の透明電極を並設し、それら各透明電極表面を含むガラ
ス基板表面に’ｆ　２０３の誘電体層、ＺｎＳのような
基体材料にＭｎのような活性剤を添加した（ＺｎＳ：Ｍ
ｎ）　ＥＬ層、７ｚ０３の銹電体層ヲ順次電子ビーム法
によね積層し、さらにその防電体層上に前記透明電極と
直交する関係で線状の背面電極を並設した構成となって
いる。そして前記透明電極と背面ＷＬ極との各交点部で
発光上μを画定している、 ところがこのようなＥＬ表示素子は耐湿処理を施して使
用するのであるが、長時間動作させると空気中の水分の
影響でＥＥＬ層と誘電体層との剥離を生じることがあり
、その結果ＥＬ表示素子としての機能が失なわれること
となる、 そこで種々検討の結果、このような層間剥離はＥＬ層を
スパッタリング法で形成したものの方が電子ビーム法で
形成したものよりも生じにくいことを本発明者らは見出
した。しかしながら、ＥＬ層をスパッタリング法で形成
し九場合、電子ビーム法で形成したものに比べて発光効
率が低く表示輝度が低いという欠点がある、 （０）　　発明の目的 本発明は前述の点に鑑みなされたもので、発光効率の低
下を招くことな（ＥＬ層と誘電体層との層間剥離を防止
し、信頼性の向上を図った構造のＥＬ表示素子の提供を
目的とするものである。

問　発明の構成 本発明は、基体材料に活性剤を添加したＥＬ層の少なく
とも１側に誘電体層をそなえてなり、前記ＥＬ層と誘電
体層との間に当該ＥＩ、層の基体材料を主成分とするス
パッタリング膜を介在させたことを特徴とするものであ
る。

（ｅ）　　発明の実施例 以下本発明の実施例ｔｃ）１図面を参照して説明する、 第１図は本発明によるＩＩ、表示素子の１例構造を説明
するための概念的に示した要部断面図であり、ｌはガラ
ス基板であって、そのガラス基板１上には例えばインジ
ウム錫酸化物（工Ｔｏ）からなる線状の透明電極２が並
設しである。そしてそれら透明電極２表面を含むガラス
基板１上には例えば層厚が２０００人〜ａｏｏｏ人のＹ
ｇＯｓからなる第１の誘電体層８が電子ビーム法で被着
され、その誘電体層ｓ上に例えば膜厚５００人のＺｎＳ
：Ｍｎからなるスパッタリング膜４が形成しである。と
のスバッ１”）７グｍ４はＺｎＳ：Ｍｎを高周波スパッ
タリング法で成膜したものである、そしてさらにスパッ
タリング膜４上にはＺｎＳ　：Ｍｎ　ノＥ　Ｌ層５（層
厚５０００人〜１００００人程度）が電子ビーム法で形
成され、そのＥＬ層５上Ｋ例えば膜厚５０（Ｈ）ＺｎＳ
：Ｍｎ　カＣ。

なるスパッタリング［６が、前記スパッタリング膜鳴と
同じく、高周波スパッタリング法で成膜しである、さら
にそのスパッタリング膜６上ＫＹａｋｓの第２の誘電体
層７（層厚２０００Ａ〜８０００Ａ　稈＆　”）を電子
ビーム法で形成し、その誘電体層７上Ｋ例えばＡＩから
なる線状の背面電極８が前記透明電ｆＭ２と直交する関
係で並設しである。このような構成において透明電極２
と背面電極８の各交点部で発光セルを画定するのは従来
のＥＬ表示素子と変らないが１本発明によるＫＬ表示素
子の従来のものと異なる点はＥＬ層すと第１および第２
の誘電体層８および７との間にスパッタリング膜４およ
び６を介在させたととろくある。換百すれば誘電体層と
接するＥＬ層の表層部をスパッタリング膜で構成したも
のである。

このよう−にＥＬ層５と誘電体層８訃よび７との間にス
パッタリング膜４および６を介在さ・せることＫよシ、
ＥＥＬＥＬ層６電体層３および７との間の層間剥離が防
止でき、またＫＬ層５祉発光効率の良い電子ビーム法で
形成されているので、発光効率の低下を招くことなく、
層間剥離の防止が可能となる。なお眉間剥離防止のため
Ｋはスパッタリング膜４．６の膜厚が５００Å以上必要
であるが、あまり厚くすると高い発光効率を得ることが
できる電子ビーム法で形成したＥＬ層すの層厚が薄くな
って表示輝度が低下する。このためスパッタリング膜４
．６の膜厚は６００人〜１０００人が適当である。

第２図は本発明の効果を確認するために実施した寿命試
験データであシ、横軸は動作時間を示し、縦軸は相対輝
度を示すものであって、その輝度は層間剥離に起因する
本のを対象としている、また試験は本発明によるＫＬ表
示素子と従来のＥＬ表示素子とを同一試験条件で実施し
ておシ１、本発明のＥＬ表示素子の試験結果を実線Ａで
示し、従来のものを点線Ｂで示している。第２図から明
らかなように本発明によるＥＥＬ表示素子の層間剥離に
起因して生じる輝度低下は従来のものと比較して大幅に
改善されていることがわかる、 なお前述の実施例ではスパッタリング膜４，６がＺｎＳ
：１ｖｌｎをスパッタリング法で成膜された場合につい
て述べたが、ＺｎＳをスパッタリング法で形成してスパ
ッタリング膜とすることも可能である。

またＩＤＬ層の両側に誘電体層を設けたＥＬ表、水素子
について説明したが、それに限らず、ＥＬ層のいずれか
１側にのみ誘電体層を設けたＥＬ表示素子にも本発明を
適用できることは勿論である。

（イ）発明の効果 以上の説明から明らかなように本発明によれば、発光効
率を低下させることなく長時間動作における空気中の水
分の影響で生じるＥＬ層と誘電体層との眉間剥離を防止
することができ、ＩＩ、表示素子の信頼性の向上に極め
て有効である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるＥＬ表示素子の１例構造を説明す
るための要部断面図、第２図は本発明の効果を確認する
ために実施した青金試験データを示す図である。 図面において、１はガラス基板、２は透明電極、３およ
び７は誘電体層、４および６はヌバッタリング膜、５は
ＥＬ層、８社背面電極をそれぞれ示すつ 第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基体材料に活性剤を添加したＥＬ層の少なくとも１側に
   誘電体層をそなえてなり、前１ｉ３　Ｅ、Ｉｊ層と誘電
   体層との間に当該ＥＬ層の基体材料を主成分とするスパ
   ッタリング膜を介在させたことを特徴とするＥＬ表示素
   子、