JPS58125613A - 酸化錫膜の形成方法 - Google Patents
酸化錫膜の形成方法Info
- Publication number
- JPS58125613A JPS58125613A JP558282A JP558282A JPS58125613A JP S58125613 A JPS58125613 A JP S58125613A JP 558282 A JP558282 A JP 558282A JP 558282 A JP558282 A JP 558282A JP S58125613 A JPS58125613 A JP S58125613A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tin oxide
- glass plate
- oxide film
- flame
- glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Chemically Coating (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はガラス表面に酸化錫膜を形成する方法に関し、
更に詳しくは高温に加熱したガラス表面に錫化合物を接
触させることによりガラス表面に酸化錫膜を形成する方
法に関する。
更に詳しくは高温に加熱したガラス表面に錫化合物を接
触させることによりガラス表面に酸化錫膜を形成する方
法に関する。
一般に酸化錫膜はすぐれた硬度を有していることから、
ビン製品１食器などの表面の傷つき防Ｉにに広く用いら
れている。また、酸化錫膜の半導体的性質を利用した応
用例も多く例えば酸化錫膜を形成したガラスは液晶セル
の透明電極板、防備ガラスなど透明な電導体としての用
途に広く使用されており、更にはその可視光透過率と赤
外線反射率が大なるところから太陽熱集熱器のカバーガ
ラスとしても極めて有用である。
ビン製品１食器などの表面の傷つき防Ｉにに広く用いら
れている。また、酸化錫膜の半導体的性質を利用した応
用例も多く例えば酸化錫膜を形成したガラスは液晶セル
の透明電極板、防備ガラスなど透明な電導体としての用
途に広く使用されており、更にはその可視光透過率と赤
外線反射率が大なるところから太陽熱集熱器のカバーガ
ラスとしても極めて有用である。
酸化錫膜をガラス表面に付着させる方法としては種々あ
るが、量産に適した方法として古くから四塩化錫を有機
溶媒に溶かした溶液を高温のガラス表面に吹き付ける方
法が用いられてきた。
るが、量産に適した方法として古くから四塩化錫を有機
溶媒に溶かした溶液を高温のガラス表面に吹き付ける方
法が用いられてきた。
そして近年、四塩化錫またはジメチルニ塩化ｇを加熱蒸
発させて得られる蒸気を高温のガラス表面に接触させる
、いわゆるＣＶＤ法も広く採用されている。しかしなが
らこれらの方法で形成される酸化錫膜は一般にヘーズと
呼ばれる曇りを有するものが多く、特に被膜厚味を厚く
した場合ヘーズが悪化し著しく美観を損うのが最大の難
点であった。このため錫化合物を含む溶液または錫化合
物蒸気を高温のガラスに吹付ける際にノズル構造、吹付
圧、あるいは錫化合物の熱分解後の排ガス吸別方法など
に種々の改良が提案されているが、必ずしも十分ではな
かった。
発させて得られる蒸気を高温のガラス表面に接触させる
、いわゆるＣＶＤ法も広く採用されている。しかしなが
らこれらの方法で形成される酸化錫膜は一般にヘーズと
呼ばれる曇りを有するものが多く、特に被膜厚味を厚く
した場合ヘーズが悪化し著しく美観を損うのが最大の難
点であった。このため錫化合物を含む溶液または錫化合
物蒸気を高温のガラスに吹付ける際にノズル構造、吹付
圧、あるいは錫化合物の熱分解後の排ガス吸別方法など
に種々の改良が提案されているが、必ずしも十分ではな
かった。
本発明者らは酸化錫膜のヘーズに関し鋭意研究の結果、
従来よりも大幅にヘーズ率〔（散乱透過量／全透過量）
×７００〕のすぐれた酸化錫膜の形成方法を見出すに至
った。すなわち本発明は高温に加熱したガラス表面に錫
化合物を含む溶液または錫化合物の蒸気または粉末を接
触させて、熱分解酸化反応によりガラス表面に酸化錫膜
を形成する方法において、酸化錫膜形成に先だち該ガラ
ス表面に火炎を直接接触せしめることを特徴とする。こ
の場合、火炎の温度は４７．２ｏ°Ｃ以上、火炎がガラ
ス表面に接する時間は０９５秒以上が必要で好ましくは
ＳＯＯ″Ｃ以上の火炎を１秒〜３秒間接触させる。
従来よりも大幅にヘーズ率〔（散乱透過量／全透過量）
×７００〕のすぐれた酸化錫膜の形成方法を見出すに至
った。すなわち本発明は高温に加熱したガラス表面に錫
化合物を含む溶液または錫化合物の蒸気または粉末を接
触させて、熱分解酸化反応によりガラス表面に酸化錫膜
を形成する方法において、酸化錫膜形成に先だち該ガラ
ス表面に火炎を直接接触せしめることを特徴とする。こ
の場合、火炎の温度は４７．２ｏ°Ｃ以上、火炎がガラ
ス表面に接する時間は０９５秒以上が必要で好ましくは
ＳＯＯ″Ｃ以上の火炎を１秒〜３秒間接触させる。
また、ガラス表面への被膜の形成は、上記火炎処理の後
１０秒以内に行なうことが好ましい。
１０秒以内に行なうことが好ましい。
このように酸化錫膜の形成に先たち高温に加熱されたガ
ラスの表面を更に火炎処理することによりその後に形成
される酸化物膜のヘーズが良化する（３） 理由については定かにするに至っていないが、一つには
高温に加熱されたガラス表向に溶出していると思われる
アルカリイオンが火炎処理により蒸気化され、ガラス表
面から除去されるためと考えられる。
ラスの表面を更に火炎処理することによりその後に形成
される酸化物膜のヘーズが良化する（３） 理由については定かにするに至っていないが、一つには
高温に加熱されたガラス表向に溶出していると思われる
アルカリイオンが火炎処理により蒸気化され、ガラス表
面から除去されるためと考えられる。
以下に本発明の詳細な説明する。
実施例
第１図において、厚さが３ ｍｍで幅及び長さが１３０
ｍｍ及びｑｓｏｍｍ のガラス板ノを加熱炉／内をコン
ベヤー３で通過させて加熱した後、７ｍ／分のスピード
で被膜形成部ＩＯへ移送する。被膜形成部１０に移送さ
れた加熱されたガラス板２の表面を加熱炉／の出口に設
けられたガスバーナ７の約ｓ ｓ ｓ ’ｃの火炎で約
を秒間接触さゼた。この時用いたガスバーナー７は第２
図に示したガス管に、２ｍｍ幅の小孔／／を７９ｍｍ
ピッチでｉｓ。
ｍｍ及びｑｓｏｍｍ のガラス板ノを加熱炉／内をコン
ベヤー３で通過させて加熱した後、７ｍ／分のスピード
で被膜形成部ＩＯへ移送する。被膜形成部１０に移送さ
れた加熱されたガラス板２の表面を加熱炉／の出口に設
けられたガスバーナ７の約ｓ ｓ ｓ ’ｃの火炎で約
を秒間接触さゼた。この時用いたガスバーナー７は第２
図に示したガス管に、２ｍｍ幅の小孔／／を７９ｍｍ
ピッチでｉｓ。
ｍｍの長さにわたって明けたもので、その両端にペンチ
ーリーミキサー／２を取付けたものを用いた。
ーリーミキサー／２を取付けたものを用いた。
火炎処理された加熱ガラス板２はその表面に／、２０（
４’） °Ｃに加熱された（ＯＨ３）２ Ｓ ｎ Ｃ１２の蒸気
と空気の混合ガスを吹付ノズルｌから吸付は酸化錫膜を
形成し、被膜形成の除虫じる排ガスを吹伺ノズルの両側
に設けた排ガス吸引用ダク）ｊ、Ｊから吸引除去した。
４’） °Ｃに加熱された（ＯＨ３）２ Ｓ ｎ Ｃ１２の蒸気
と空気の混合ガスを吹付ノズルｌから吸付は酸化錫膜を
形成し、被膜形成の除虫じる排ガスを吹伺ノズルの両側
に設けた排ガス吸引用ダク）ｊ、Ｊから吸引除去した。
混合ガスの（ＣＨ３）２５ｎ（Ｊ２ の濃度を変えるこ
とにより、種々の被膜厚みの酸化錫膜をガラス板−の表
面に付着させた。なお、混合ガスの吹付は直前のガラス
板の温度は赤外幅射温度言１ｇにより測定され５７．？
°Ｃ−５ｇ ／ ’Ｃであった。
とにより、種々の被膜厚みの酸化錫膜をガラス板−の表
面に付着させた。なお、混合ガスの吹付は直前のガラス
板の温度は赤外幅射温度言１ｇにより測定され５７．？
°Ｃ−５ｇ ／ ’Ｃであった。
酸化錫膜を付着したガラス板２はコンベヤー３により徐
冷炉４内に送られ徐冷される。以上のように調整された
酸化錫膜付着ガラス板の膜厚とヘーズ率を測定した結果
を第１表に示した。
冷炉４内に送られ徐冷される。以上のように調整された
酸化錫膜付着ガラス板の膜厚とヘーズ率を測定した結果
を第１表に示した。
一方、ガスバーナ７を用いなかった以外は前記実施例と
全く同じ条件で酸化錫膜被覆ガラスの比較例を製作し、
膜厚とヘーズ率を測定した結果を第１表に示した。
全く同じ条件で酸化錫膜被覆ガラスの比較例を製作し、
膜厚とヘーズ率を測定した結果を第１表に示した。
第１表から明らかなように、本発明の方法によって得ら
れた酸化錫膜被覆ガラスのヘーズ率は比較例に比して小
さく優れていることがわかる。
れた酸化錫膜被覆ガラスのヘーズ率は比較例に比して小
さく優れていることがわかる。
第１表酸化錫膜被覆ガラスのヘーズ率（％）
図面は本発明の実施例を示すものであって、第１図は本
発明を実施するための装置の一部切断した側面図、第２
図はガスバーナの正面図である。 ／；加熱炉１．２；ガラス板、３；コンベヤー。 ｌ；吹付ノズル、ｊ；吸引用ダクト。 乙；徐冷炉、７；ガスバーナ
発明を実施するための装置の一部切断した側面図、第２
図はガスバーナの正面図である。 ／；加熱炉１．２；ガラス板、３；コンベヤー。 ｌ；吹付ノズル、ｊ；吸引用ダクト。 乙；徐冷炉、７；ガスバーナ
Claims (1)
- 高温に加熱したガラス表面に、錫化合物を含む溶液、錫
化合物の蒸気、及び粉末のいずれかを接触させて、熱分
解酸化反応によりガラス表面に酸化錫膜を形成する方法
において、酸化錫膜形成に先だち該ガラス表面に１１２
０”ｃ以上の火炎を０１５秒以上接触せしめることを特
徴とする酸化錫膜の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP558282A JPS58125613A (ja) | 1982-01-18 | 1982-01-18 | 酸化錫膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP558282A JPS58125613A (ja) | 1982-01-18 | 1982-01-18 | 酸化錫膜の形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58125613A true JPS58125613A (ja) | 1983-07-26 |
Family
ID=11615230
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP558282A Pending JPS58125613A (ja) | 1982-01-18 | 1982-01-18 | 酸化錫膜の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58125613A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0390580A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-16 | Taiyo Yuden Co Ltd | 霧化薄膜形成方法 |
| JPH0390579A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-16 | Taiyo Yuden Co Ltd | 薄膜形成装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54116017A (en) * | 1978-03-01 | 1979-09-10 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Method and apparatus for making belt type glass deposited with metal oxide layer |
| JPS5637251A (en) * | 1979-08-31 | 1981-04-10 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Manufacture of covered glass |
-
1982
- 1982-01-18 JP JP558282A patent/JPS58125613A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54116017A (en) * | 1978-03-01 | 1979-09-10 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Method and apparatus for making belt type glass deposited with metal oxide layer |
| JPS5637251A (en) * | 1979-08-31 | 1981-04-10 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Manufacture of covered glass |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0390580A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-16 | Taiyo Yuden Co Ltd | 霧化薄膜形成方法 |
| JPH0390579A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-16 | Taiyo Yuden Co Ltd | 薄膜形成装置 |
| JPH0520506B2 (ja) * | 1989-08-31 | 1993-03-19 | Taiyo Yuden Kk | |
| JPH0545674B2 (ja) * | 1989-08-31 | 1993-07-09 | Taiyo Yuden Kk |
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