JPS5811772A - 無電界メツキ体 - Google Patents

無電界メツキ体

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JPS5811772A
JPS5811772A JP9191081A JP9191081A JPS5811772A JP S5811772 A JPS5811772 A JP S5811772A JP 9191081 A JP9191081 A JP 9191081A JP 9191081 A JP9191081 A JP 9191081A JP S5811772 A JPS5811772 A JP S5811772A
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JP
Japan
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film
plating
substrate
metallic
thin film
Prior art date
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Pending
Application number
JP9191081A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshihiro Ono
大野 好弘
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp, Suwa Seikosha KK filed Critical Seiko Epson Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はガラス、プラスチック、セラミック。
結晶体等の絶縁体上にSb、0. 、Ta、O,。
M b、o、 、 810. 、 G e O,、、Z
 r O,、Or、O。
から選ばれた一種以上の金属酸化物被膜を形成しその上
に目的とする金属をメッキした無電解メッキ体に関する
従来、絶縁体上に無電解メッキを行う場合、目的とする
金属メッキの密着性の向上、及び均一なメッキ膜を得る
ために、絶縁体基板面を機械的研摩、化学的研摩、及び
その両方を用いて表面を粗らしていた。しかし、それに
もかかわらず均一で密着性の良いメッキ膜を得ることが
困難であった。
本発明は従来の前工程を省き、絶縁体基板上にS b、
011 、 T a、OII、 N b、O@ 、 S
 102 、 G @O!、Zr01 、Or、O,か
ら選ばれた1種以上の金属酸化物薄膜を形成することに
よって密着性の良い、均一なメッキ膜を得る方法を示す
ものである。
本発明の無電解メッキの概要は以下の通りである。ガラ
ス、プラスチック、セラミック、結晶体等の絶縁体基板
上にowD(化学気相蒸着)、スパッタ、蒸着、加水分
解法等によりsb;o、 。
T a、O,、N b、O,、S i O,、G e 
O,、Z r O。
、Or、01が選ばれた1種以上の金属酸化物薄膜を形
成する。
この金属酸化物薄膜は20X〜5000Aが適当であり
、望ましくは100X〜2000Xの範囲にある。薄膜
厚が20ス以下であると均一な密着性の良いメッキ被膜
を得ることができない。また5oooX以上であると、
酸化物薄膜の形成に時間がかかり実際的ではない。また
、加水分解による被膜形成の場合、5oooX以上の被
膜にはワラツクが入りやすく、密着性が問題となる。
ここで、これらの被膜形成技術のうち量産性を考えると
、金属アルコキサイドの加水分解により金属酸化物薄膜
を得る方法が優れている。これらの金属アルコキサイド
は、一般式M(OR)nで表わされ、輩はこれらの金属
、Rはアルキル基、nは輩の原子価を衰わしている。前
記混合酸化被膜はこれらのアルコキサイドを適当に混合
することにより得られる。これらのアルコキサイドをα
01%〜10%に適当な有機溶媒(アルコール類、ハロ
ゲン化炭素類、エステル類、ケトン類、芳香族等に溶解
し、絶縁体基板にコーティングするのだが、それにはス
プレー法、ロールコータ−法、エアロゾル法、浸漬等速
引き上げ法がある。
コーテイング後、常温〜500℃の温廖範囲で加水分解
を行う。基板がプラスチックの場合は、その耐熱限界内
で加熱するのはいうまでもない。
M(OR)n+H,0−MOry2−1−ROH↑の反
応で酸化物被膜が形成される。こうして得られた基板に
無電解メッキの通常の前処理工程を行う。即ち、脱脂と
してアルカリ性液中での超音波洗浄、酸中和、水洗を行
う。次に塩化第一スズ(Sn04)溶液に基板を浸漬す
る。これは、メッキすべき金属の析出核となる触媒性金
属の微粒子を表面各部に一様に還元分布させるために使
用される還元溶液であり、この溶液に浸漬処理を行うこ
とをセンシタイジングという。次に、表面の活性化を行
う、これはメッキ金属の生長核となりメッキ反応の触媒
として働く微粒子を被メツキ体表面に付着させることに
よって自動的に反応を始動させ、メッキ膜の密着性を向
上させるために行う操作でアクティベーティングという
、前述のセンシタイジングによって基板表面上に付着し
ているS n OtHの8nと活性触媒である金属とガ
イオン化傾向の相違により置換されるといわれている。
活性化液としては、塩化パラジウム溶液(paoz )
、Ws酸銀溶液(AgNO,)+全溶液(a*uot、
)郷が使用されている。
本発明による基板上に形成された半導体層により、触媒
金属の密着性の向上及びメッキ被膜の密着性の向上がな
されている。(但し、メッキ厚が20声領以上になると
密着性が極めて悪くなる。)ここで、塩化第一スズと塩
化パラジウムの両塩を含んだ溶液によって、センシタイ
ジングとアクティペイティングを同時に行ってもよい。
以上のようにして得られた活性化された基板を、公知の
無電解二り+ル浴、無電解鋼浴、無電解コバルト浴、無
電解金浴(置換型メッキ浴でなく、自己触媒型メッキ浴
)等に、それぞれに適当な濃度、I1度条件により浸漬
する。このようにして得られたメッキ被膜は、酸化物層
の付いていない部分へのメッキ被膜に比較して、均一で
あり密着性も向上した。
以下実施例を用いて詳細に説明する。
実施例t ダイア0ン95 vo1%、エタノール7v01%の割
合から成る100部の溶媒に、ペンタエトキシタンタル
+ Ta(00,H6)gを0.5 wt%溶解した溶
液に浸漬し、20011/iの等速力き上げ法によって
ソーダガラスにコーティングを行い、500℃で1時間
恒温槽中で加水分解させ、Ta、OB被被膜形成した。
これを3%KOH溶液で脱脂、水洗後、塩化第一スズ溶
液(El n OAt  1 g / ’、HO11a
a/l)に5分間浸漬する。後、充分水洗し、塩化パラ
ジウム溶液(P60L、  2g/l、HOt 20o
o/l)に5分間浸漬する。後、充分水洗し、日本カニ
ゼン(株)製のシー−マー5680を純水にて8倍希釈
した無電解ニッケル浴(50℃)にガラス基板を5分間
浸漬し、水洗、湯洗後乾燥した。密着性試験のため得ら
れたメッキ面(メッキ厚5sooX)で20〜の正方を
かけて6回こすったところ、T a、O,層についたニ
ッケル面には何の変化も見られなかったが、ガラス面に
直接ついたニッケル面にはニッケルが剥離した跡が見ら
れた。メッキ被膜は均一で光沢があった。
実施例2 実施例1でペンタエトキシタンタルの代わりに、テトラ
エトキシジルコンを用いた。メッキ被膜の密着性試験の
結果は実施例1と同様であり、メッキ被膜は均一で光沢
があった。
実施何重 グイフロン93マ01%、エタノール7マ01弧の割合
から成る100部の溶媒にペンタエトキシアンチモンを
α5 wt−溶解した溶液にPIT (ポリエチレンテ
レフタレート)フィルムラ浸漬シ、30 cm /簡の
等速力き上げ法によってコーティングを行い、80℃で
4時間恒温槽中で加水分解させ、s b、o、被膜を形
成した。これを日立化成製増感剤H8−101Bを所定
の手段にて希釈した溶液に3分間浸漬し、水洗後、日立
化成製密着促進剤ムDB−201を所定の手段にて希釈
した溶液に5分間浸漬し、水洗後日本カニゼン(株)製
のシューマー8680を8倍希釈した無電解ニッケル浴
(45℃)に30分間(メッキ厚1μ)浸漬した。両面
にニッケルが析出したが、 sb、o、の酸化物被膜の
付いていない面は不均一なメッキ面となった。メッキの
密着性を調べる目的で、粘着テープを貼りはがしたとこ
ろ、s b、o、の付いている面はニッケルが剥離しな
かったが、付いていない面はニッケル被膜の剥離がみら
れた。
実施例4 実施例3のペンタエトキシアンチモンの代わりにペンタ
エトキシニオブを用いた。ニッケルメッキ被膜の均一性
、密着性は実施例3と同様であつ  ゛た。
実施例5 実施例3のペンタエトキシアンチモンの代わりにトリエ
トキシクロムを用いた。ニッケルメッキ被膜の均一性、
密着性は実施例3と同様であった。
実施例& 実施例1のペンタエトキシタンタルQ、 5 wt%に
テトラメトキシシラン0.1 wt%を加えて酸化物被
膜の形成後、同様のメッキ工程でニッケルメッキを行っ
た。メッキ被膜の均一性、密着性は実施例1と同様の結
果であった。
以上のように、絶縁体の基板上にsb、o、 。
T &、O,、N b、O,、810,、G e O,
、Z r O!、Orb@から選ばれた一種以上の金属
酸化物被膜を媒介として、その上に無電解メッキを行う
と、均一かつ密着性のよいメッキ面が得られた。
応用例を図な用いて説明する。
第1図はカメラの日付は写し込み用の液晶パネルである
。1.2はパネルの前面及び背面基板でありα4mの厚
さのガラスからなる。3,4はOVDによって形成され
たSnO2の透明電極である。5は本発明の手段によっ
て付けられた1200芙厚のニッケルメッキである。6
は10μのギャップ剤を含んだエポキシ樹脂のシール剤
である。
このようにして成るパネルに所定の成分を持つ正の液晶
組成物を7を注入する。8は偏光板である。
第2図はカメラの日付は写し込み機構の模式図である。
9は光源、10は第1図に示したパネル及びその支持体
、11はフィルムである。パネルが日付けを表示し、1
1のフィルムに写し込むのであるが、第1図の5のニッ
ケルメッキがなされていないと、光がいく分か偏光板か
らもれ、写真にパネルの全体の輪郭が写ることになり都
合が悪い。ニッケルメッキを行ったことによりその光の
もれを防ぐことが出来、写真には日付けの数字だけが鮮
明に写るようになった。第1図の5の部分は、蒸着、ス
パッタ等の手段でも他の金属を付けることはできるが、
コストの面から考えると本発明による無電解メッキが最
も良いことは明らかである。
またこの無電解メッキ体の応用として、プラスチックフ
ィルムを硝醗インジウム液に浸漬し、200℃にて焼成
する。これを実施例2.と同様の方法によりニッケルメ
ッキを行い、所定のパターンにエツチングすれば回路基
板が出来る。
このように本発明は様々な応用範囲が考えられる。
【図面の簡単な説明】
第1図は液晶パネルの主要断面図である。 1.2・・・前面及び背面基板 3.4・・・透明電極 5・・・ニッケルメッキ層 6・・・シール剤   7・・・液晶 8・・・偏光板 第2図はカメラの日付は写し込み機構の模式図である。 9・・・光源としてのランプ 10・・・液晶パネル及びその支持体 11・・・フィルム 以  上 出願人  株式会社諏訪精工舎 代理人  弁理士 最上  務 第1図 手続補正書(1尭) l、事件の表示 昭和54年  特許願第 91910号2、発明の名称 無電解メツ中休 3 補正をする者 事件トノ関係累京都中央区銀座4丁目δ番4号IJ4m
”(2!り体弐会社 諏訪精工食代J!lll1#it
役中村恒也 4代理人 手続補正沓 1、 特許願書中の発明の名称 「無電界メッキ体」とめるを 「無電解メッキ俸」に補正する。 2.3頁7行から8行 「ワラツク」とめるを 「クラック」に補正する。 五 5頁6行 「全域イオン」とあるを 「全綱とが、イオン」に補正する。 4.5頁6行 「半導体層に」とろろを 「酸化物被膜に」に補正する。 以上 代理人 最 上    務

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 t 絶縁体基板上にS boo、 、Ta、O,、N 
    b、Oll。 S i O@  、 G e 01  、 Z r 0
    1  、 Or、O,から選ばれた一種以上の金属酸化
    物被膜層を有し、更にその落涙上に無電解メッキによっ
    て金属薄膜を形成したことを特徴とする無電解メッキ体
    。 2、特許請求の範囲第一項に記載の酸化物被膜が金属ア
    ルコキサイドの加水分解被膜であることを特徴とする無
    電解メッキ体。
JP9191081A 1981-06-15 1981-06-15 無電界メツキ体 Pending JPS5811772A (ja)

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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61179873A (ja) * 1984-11-21 1986-08-12 リ−ジエンツ オブ ザ ユニバ−シテイ オブ ミネソタ 五酸化タンタルによる耐食被覆方法
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KR100533623B1 (ko) * 1998-07-31 2006-01-27 삼성전기주식회사 세라믹 후막의 제조방법
JP2010168612A (ja) * 2009-01-21 2010-08-05 Fujitsu Ltd 無電解めっき物の製造方法
JP2014501338A (ja) * 2010-12-28 2014-01-20 ポスコ 表面組織が緻密なマグネシウム合金およびその表面処理方法

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