JPS58108419A - 異常検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明は機械的振動又は音に基づいて各種装置の異常を
検出する異常検査装置に関する。

発明の技術的背景 従来、回転機器の製造１糧において、その機械的総合評
価を振動解析により自動的に行う方式が開発されている
。その代表的なものとして、第１Ｋ被検査物において発
生した機械的振動又は音を検出し、それらの検出信号を
パワースペクトラム又は１／３オクダ一プ周波数分析し
て、正常晶と異常品とのパターンを比較判定する方法、
第２に上記検出信号からバイパスフィルタにより約ＩＫ
Ｈｚ以上の高周波成分を取出し、その実効値やピーク値
又は両者の比↓から正常晶と異常品とを比較判定する方
法、第３に同様にして得られた高周波領域の信号を包結
線検波回路によシ包絡纏信号を抽出して、その正常晶と
異常品とを比較判定する方法がある。

背景技術の問題点 上記第１の方法では測定中の平均パワーを求めるもので
あるため、被測定物の軸受部のボール疵。

ゴミの介在による回転異常、各構成部品のＡｌｌ異常等
に基因する衝撃的でたまにしか発生しないパルス状の信
号の検出は困−である。これに対して上記第２及び第３
の方法では、上記第１の方法で検出できない異常信号の
検出は可能であるが、その反面実際の検査時において被
検査物以外の振動源において発生する各種の音や機械的
振動などの外乱の影響により正常晶を異常品と誤判定し
てしまう欠へをもっている。その他、微妙なベアリング
不良の検出は困難である。

発明の目的 本発明は被検査物以外の振動源からの振動又は音等の外
乱を除去して、統計的演算処理により正発明の概要 本発明の異常検査装置は、例えば振動ピックアップなど
の振動検出器によって得られた検出信号をそれぞれ異々
る周波数帯域の周波数成分のみを通過させる複数の周波
数分析部に入力させ各周波数成分について複数個のサン
プリング期間からなる検査時間にわたって各サンプリン
グ期間ととに１回づつ最大ピーク値を検出し、得られた
最大ピーク値をアナログ−ディジタル変換したのち演算
制御部にて記憶させ、さらに記憶された最大ピーク値の
中から外乱データを除去した最大ピーク値をあらかじめ
設定された設定値と比較することＫより被検査体の異常
を判定するようにしたものである。

発明の実施例 第１図は本実施例の異常検査装置の・眠気回路系統図を
示してい、る。例えば振動ピックアップなどの振動検出
器（１）の出力側は増幅器（２）を介し、て、異なる周
波数帯域の周波数成分に分析する周波数分析部（３０１
）・・・（３０ｎ）　Ｋ接続されている。ただし１本実
施例においてはｎ＝ｘである（以下同じ）０これら周波
数分析部（３０１）・・・（３０ｎ）は、増幅！ｓ＋２
１に直接に電気的接続された例えば中心周波数が２０Ｈ
！から１００００　Ｈｚまでのいオクターブごとのかチ
ャンネルの周波数帯域の周波数成分を得るためのバンド
パスフィルタ（４０１）・・・（４Ｏｎ）及びこれらバ
ンドパスフィルタ（４０１）・・・（４Ｏｎ）の出力側
に各別に接続されたピーク値検出回路（５０１）・（５
０ｎ）からなっている。上記ピーク値検出回路（５０１
）・・（５０ｎ）は、バンドパスフィルタ（４０１）・
・・（４Ｑｎ）の出力−に各別Ｋｉｌ続されたサンプル
アンドホールド回路（６月）・（６０ｎ　＞同シくバン
ドパスフィルタ（４０１）（４０ｎ）の出力儒及びサン
プルアンドホールドｌ！！ｌｌ１８（６０１）・（６０
ｎ）の出力側に各別に接続された比較器（７０１）・・
・（７０ｎ）　ｆｉびに出力側が正半波ビーク値をホー
ルドするサンプルアンドホールド回路（６０１）・・・
（６０ｎ）のコントロール入力端Ｋ、入力側が比較器（
７０１）・・・（７０ｎ）の出力側に各別に接続された
アンド回路（８０１）・・（８０１）からなっている。

上記アンド回路（８０１）・・・（ｓｏｎ）の他方の入
力側は後述するデコーダ（９）の出力側に接続されてい
る。さらに１周波数分析部（３０１）・・（３０ｒｌ　
）はマルチプレクサ員の入力側に接続されている。

このマルチプレクサ四の出力側線アナログ−ディジタル
変換器ａυの入力側に接続されている。アナログ−ディ
ジタル変換器ａＪ７はシステムバスｔ１秒によりマイク
ロコンビ凰−タ峙に接続されている。このマイクロコン
ビ為−タＩは、中央処塩装置（以Ｆ　ＣＰＵと記す◇）
（１４並びにこのＣＰＵ　１４にシステムバスｃＩりを
介して接続された入出力インターフェイスｔｌｌ及びデ
ータの書き込み・絖＋出し可能なランダム・アクセス・
メモリ（以下軸と記す０）αη及び制御プログラムが格
納されたリード・オンリー・メモリ（以Ｆ　ＲＯＭと記
す。）ｔｌ＆及びＣＲＴインターフェイス１１から構成
されている。上記几ＡＭＱηの一部は、設定値及び正常
゛パターンを記憶させるための不揮発性ＲＡＭからなっ
ている。また、図示＾ １がマイクロコンビエータａ優には勧ＭＱη及びＲＯＰ
ｊ（ＩＩＩＫ上記制御プログラムや設定値等を外部から
格納させるための入力部が設けられている　上記入出力
インター７エイスーはシステムバスａ３を介してアナロ
グ−ディジタル変換器Ｑｌ）Ｋ接続されて・ハる。さら
に、入出力インターフェイスａｅは、システムバス（イ
）を介してデコーダ（９）及びマルチプレクサａ１に接
続されてφる。また、入出力インターフェイスａｆｊは
回線ｃａｎを介して微分回路（２）の入力側に接続され
ている。この微分回路（２）の出力側はストローブ線（
至）を介してアナ−グーディジタル変換！Ｑｌｌｊび単
安定マルチバイブレータ（財）の入力側に接続されてい
る。上記単安定マルチバイブレータ（ハ）の出力側はス
トローブ線（至）を介してデコーダ（９）に接続されて
いる。上記デコーダ（９）、微分回路（至）及び単安定
マルチバイブレータ＠はタイミング回路（至）を構成し
ている。さらに、タイミング回路（至）及びマイクロコ
ンビ瓢−タＱｌａ演算制御部■を構成している。中た、
前記ＣＲＴインターフェイスｔｔＳには検査結果を表示
するためのＣＲＴ　（Ｃａ１％ｄａ　Ｒａｙ　Ｔｕｂｅ
　）ｄｌｌが接続されている。

つぎに１本実施例の異常検査装置の作動について詳述す
る。

まず、ＲＯＭ−に後述する計算プルグラムを格納すると
ともに、ａＡＭ（１Ｍに前記入力部を介して検査時間（
本実施例においては３秒）、サンプリングいては２個）
を格納する（第２図ステップ＠）。

なお・、サンプリング期間へｔの長さは外乱（例えば、
コンベア停止時の衝撃振動）による影響時間とほぼ等し
くなるように設定するのが好ましい。

検査時間の長さは検出すべき被検査物の異常内容（本実
施例において線回転機器の回転異常）によって決定する
。また、無効ピーク値数ＮＩＰの数は上記検査時間内に
おいて発生する外乱の回数を経験的に求めて、この経験
的に求められた外乱の回数に基づいて決定する。しかし
て、被検査物である図示せぬ回転機器に振動検出器（ｆ
）を接触させ。

この回転機器を起動する。上記回転＊ａからの機械的振
動又は音は振動検出器（１）（て振動波形に対応した波
形を有する電気信号８人に変換される。この信号８人は
、増幅器（２）にて増幅されたのち、各バンドパスフィ
ルタ（４０１）・・・（４０ｆｉ）　Ｋ　入力し、各バ
ンドパスフィルタ（４０１）・・・（４０１）にて所定
の異なる周波数帯域の周波数成分の信号Ｓｅｔ・・−８
Ｃｎに変換される。以下、主としてｎ＝ｘすなわち」チ
ャンネルの場合（中心周波数がｌＯρｏｏｕｚ　’）の
浦号８Ｃｒｌの信号処馬方弐について、第１図及び第３
図に基づいて例示的に詳述する。信号８Ｃｎは第３図に
示すようＫｉＥ弦波状波形となっている（他の信号ｓｅ
ｔ・８０　（１’ｍ−１）についても波長は異なるが波
形はほぼ正弦波状をなしている。この信号８Ｃｎはサン
プルアンドホールド回路（６００）及び比較器（７０ｎ
）Ｋ入力する。サンプルアンドホールド回路（６０ｎ）
からはピーク値を示す信号ｓＤｎ　（第３図参照）が比
較器（７０ｎ）に出力される。比較器（７０ｆｌ）　Ｋ
ては、逐次入力する信号８０ｎが設定値となるようにな
っていて、信号８Ｃｎより信号８Ｄｆ’ｌが小さい場合
は「０」を示す信号８Ｂｎが、信号８Ｃｒｌより信号８
Ｄｎが大−い場合はｒｌＪを示す信号ｓｕｎがアンド回
路（８０１ｍ）に出力されるよう罠なっている。第３図
に示す信号８Ｃｎは区間（（資））においては単調増加
しているので「０」を示す信号８１ｎがアンド回路（８
０ｎ）に出力される（第３図参照）〇一方、アンド回路
（８０ｒｉ）の他方の入力端には後述するリセット時を
除いて常に［ｌ］を示す信号８Ｆｎが出力されているの
で、アンド回路（８０ｎ）からはｒＯＪを示す信号８Ｇ
ｎ　（第３図参照）がサングルアンドホールド回Ｍ　（
６０ｍ’ｌ）に出力される。このサンプルアンドホール
ド回路（６Ｏｎ　）においてはアンド回路（８００）か
らの信号８ＦｎがｒＯＪのと自ピーク値をサンプリング
し、信号ＳＦｎが「１」のときピーク値をホールドする
ようになっている。したがって、区間（，１０）におい
てはサンプルアンドホールド回路（６０ｎ）はピーク値
のサンプリング状態にあるので信号８ＤｎもＪＩＩ３図
に示すように増加する。ところが、信号８Ｃｎの変曲点
（３１）をさかいにして信号８１ｎはｒｌＪとなるので
アンド回路（ｓｏ　ｎ　）からはｒｌＪを示す信号８Ｇ
ｎがサンプルアンドホールド回路（６０ｎ）に出力され
、変曲点（３１）におけるピーク［Ｐｎｘがホールドさ
れ、このピーク値Ｐ旧を示す信号８Ｄｎがマルチプレク
サａ呻に出力される。第３図には示さないが、他の周波
数分析部（３０１）・・・（３０（ｎ−１）　）からも
同様にしＢ。

てピーク値孕幹・・・Ｐ（ｎ−１１＋を示す信号８Ｄ１
・・・８０（ｎ−１）　ｆｆｉ同時にマルチプレクサ（
１１）に出力されるっ一方、ｃＰＵ　ａｎからは入、出
力インターフェイスＱｌを介しＣ所要の周波数分析部（
３０ｎ）を指定する信号がシステムパス四を経由してデ
コーダ（９）及びマルチプレクサ（ＩＩＫ出力される。

この信号８Ｈにエリバンドパスフィルタ（４ｏｎ　）を
通過した周波数成分のピーク値Ｐｎ１を示す信号８Ｄｎ
のみが信号８Ｉｒｌとしてアナログ−ディジタル変換器
（ＩＩＩＩｃ出力される（第３図参照）。信号８Ｉｎ′
のアナログ−ディジタル変換器＜１１１への入力１時点
より時間Δ１．（数１０μＳ）経過後にＣＰＵ　Ｑ４）
から入出力インターフェイスａｅを介してパルス状の信
号８Ｊが時間Δ１２（約ａｏｍｓ以下）ごとに微分回路
（至）に出力される（４３図参照）０微分回路（２）か
らは信号８Ｊが微分された信号８Ｋが単安定マルチバイ
ブレータ＠及びアナ四グーディジタル変換器αＪに出力
される０この信号８Ｋを入力した時点での信号８Ｉｎは
アナログ−ディジタル変換器ｔ１υによりディジタル値
のデータ信号８Ｌｎに変換され、このデータ信号８Ｌｎ
は入出力インターフェイス（１・ＣＰＵ　ＬＩ４１を経
テＲＡＭａηに伝送サレＲＡＭＱ′０）所定ノ番地にピ
ーク値Ｐｎｓとして格納される（第２図ステ、ブ（ｔ）
）。なお、ｖＸ３図において、信号８にの［月を示す部
分の曲縁と信号８Ｆ１の「０」を示す部分の後縁との時
間Δｔ３においては、異常検査は一時中断されるが、リ
アルタイムで正確にデータを収集ｒるように設定されて
いる〇一方、信号８Ｋを入力した単安定マルチバイブレ
ータ（至）からは信号８にの後縁をトリガとして信号８
Ｍがストローブ信号としてデコーダ（９）Ｋ出力される
。この信号８Ｍを入力したデコーダ（９）からは信号８
Ｈが指定するアンド回路（８０ｎ）ヘリセットのための
１０」を示す信号ｓＦｎが出力される。第３図に示すよ
うにこの「０」を示す信号８Ｆｎを入力したアンド回路
（８０ｎ）からはｒＯＪヲ示す信号がサンプルアンドホ
ールド回路（６０ｎ）に出力されピーク値は第３図の信
号ＳＣの点（３３）まで急減し、再び前述したようＫし
て、第４図に示すように次のサンプリング期間Δｔ（た
だし、Δ監〉Δｔ、　Ｘ　ｎとなるように設定されてい
る。ここで、ｎは周波数分析部の数であるり）内におけ
る最大のピーク値Ｐｎｚがホールドされマルチプレクサ
顛に出力される。一方、ＲＡＭＱ？）にピーク値Ｐｎｔ
が格納されると、（Δ１−．（Δｔ２Ｘｎ））時間後に
周波数分析部（３０１）を指定する信号８Ｈがデコーダ
（９）及びマルチプレクサ顛に、信号８Ｊが微分回路（
至）に出力瑯←、周波数分析部（３０ｒｌ）と同様にし
て、ピーク値ｐＨを示す信号８１１がアナログ−ディジ
タル変換器ａυにてディジタル値のデータ信号８Ｌ１に
変換され、このデータ信号８ＬｌはＲＡＭ　（１７）に
伝送され、ＲＡＭ　ａｎの所定の番地にピーク値Ｐｏと
して格納される。

十ののち、リセットのための「０」を示す信号８Ｆｌが
アンド回路（８０１）　Ｋ出力されサンプルアンドホー
ルド回路（６０１）は再びサンプリング状態に復帰する
。このようにして、サンプリング期間Δ１内に他の各周
波数分析部（３０２）・・・（３０（ｎ−１）　）にお
いてホールドされた最大のピーク値Ｐｔｌ・・・Ｐ（ｎ
−１）１を順次Ｒ＆Ｍ　Ｑ？）の所定の番地に格納する
。なお、マイクロコンビエータ０３から出力される信号
８Ｊのパルス間隔は、第４図の信号８Ｌ１・・・８Ｌｎ
に対応して信号８Ｌ１・・・８Ｌｎをサンプリングする
期間中はΔｔ２であり、信号８Ｌｉ’ｌから次のサンプ
リング期間Δｔにおける信号８Ｌ１をサンプリングする
までのノ（ル′　ス間隔は、前記したように（Δ【−（
Δｔ２Ｘｎ））である。なお、このような信号８Ｊのパ
ルス間隔を得るためのプログラムはあらかじめＲＯＭ　
（１・中に格納されている。さらＫ、Δｌ　２　Ｘｆｌ
がサンプリング期間Δ【Ｋ等しくなるように時間Δｔ２
を設定してもよい。

Ｌ記各すンプリング期間Δを内・・において、各周波数
分析部（３０１）・・・（３０ｎ）ととに順次行われる
ＲＡＭｔＩ力へのピーク値の格納は第４図に示すように
ｍ回繰り返して行われる。ＲＡＭｄηにおいてはピーク
値は各周波数分析部（３０１）・・・（３０ｎ）ごとに
格納する。

したがって、各周波数分析部（３０１）　　・（３０ｎ
）ごとにｍ個のデータが格納される。しかして、ＲＡｌ
ＩＪＱ７）へ格納されたデータ数がｍＸ：ｎ（ただし、
ｍはサンプリング回数、ｎは周波数分析部の数である、
）Ｋ達すると（第２図ステップ０４））、ＣＰＵＱ４１
ｆＣでは各周波数分析部（３０１）・・（３０ｎ）ごと
にピーク値を大きい順Ｋｍび換える演算を行い（４２図
ステップ価））、演算結果をｓ５図に示すようＫ　ＲＡ
Ｍ　１１７）　Ｋ格納する。しかして、コンベア停止時
の衝撃振動。

エアシリンダ動作時の衝撃振動などの被検査物以外の振
動源からの外乱の影響を除外するために、各周波数成分
ごとにＲＡＭ（ｌηに格納されている上記大きい順に並
べられたピーク値の大きい側からＮＩＰ個（例えば２個
）のデータを除外し、ＮＨｐ　＋１番目のデータを有効
最大ピーク値ＰＩＩＭＩ・・・ＰＩＭｎとして抽出しＲ
ＡＭ　Ｑ７）’に格納する（第２図ステップ（あ））。

しかして、各周波数成分ごとに、あらかじめＲＡＭ　鰭
に設定されている設定値ＰＴＩ　　ＰＴｎと、これら各
設定値ｐｔｔ・・・ＰＴｎに対応する有効最大ピーク値
Ｐ層組・・・ＰＩＭｎを比較し、有効最大ピーク値ＰＩ
Ｍ　ｌ・・・ｐＨＭｆｌのうち一つでも設定値を越えて
いれば「被検査物に異常あシ」と判定する（第２図ステ
ップＣ（７））ｏ上記設定値は、実際の検査前に例え＃
ｉＮ　＝　１００（個廂度の正常な被検査物に対して、
前述したと同様にしてピーク値をＲＡＭ　（ｌｉに格納
し、全部の被検査物忙ついて各周波数成分ごとに、ＲＯ
Ｍ　Ｑｌｌ　Ｋ格納されている下式■、■により有効貞
丙 大ピーク値Ｐｍｍｋｔの平均値Ｘｉ及び標準偏差崎をＣ
ＰＵ　（１４１にて演算しＲＡＭ　＠ｆ）　Ｋ格納する
。

に ここで、ｉは周波数成分を示すもので、ｉ＝１・・・ｎ
である。また、には被検査物の数でに＝ｌ・・・Ｎであ
り、Ｐ騙ｋｉはに番目の被検査物の周波数成分ｉについ
てのピーク値である。上式〇、■によりて求められた平
均値Ｘｉ及び標準偏差りに基づいて各周波数成分ごとＫ
　ＲＯＭ　（１８に格納されている次式■により設定値
ＰＴＩ・・・ＰＴｎを求める。

Ｐｙ４　＝　Ｘｉ　＋　Ｚ町　　・・・・・・■（ただ
しｉ＝１・・・ｎ） ここで、２は検査環境、検査基準に応じて任意罠設定で
きる変数である。上記設定値ＰＴｌ・・・ＰＴｎ　＋有
効最大ビーク値Ｐ１組・・・ＰＩＭｆｉ及び異常の有無
についての判定結果線第６図及び第７図に示すように各
周波数成分ごとにＣＲＴ＠にて表示される（第２図ステ
ップ（あ））。これらの図において周波数成分の数ｎは
器となっているうなお、ＣＲＴ＠にシ・ける表示のため
のプログラムはＲＯＭａｓ　Ｉｃあらかじめ格納されて
いる。

第６図は、波形が＃Ｉ８図に示すような被検査物の回転
部分が固定部分に接触したときのいわゆる「当シ異常」
に基因すると自の検査結果のＣＲＴ表示を示している。

第６図中において、棒グラフの影線部分は異常部分を示
していて、有効最大ピーク値が設定値よシ大きいときに
「異常」と判定している。異常を表わしている帯域性異
常を示す棒グラフの直上部に矩形０９）−・・にょシ表
示されている。同様に、第７図は、波形が第９図に示す
ような例えばボール疵等の軸受部の異常に基因すると角
の検査結果のＣＲＴ表示を示していて、有効最大ピーク
値が設定値より大きいときｋ「異常」と判定している〇 なお、上記実施例において杜、ピーク値検出回路（５０
１）・・・（ｓｏｎ）は正半波ビーク値回路であるが、
第１０図に示すように、各バンドパスフィルタ（４０１
）・・・（４０ｎ）とピーク値検出回路（５０１）・・
・（５０ｎ）との間に絶対値回路（４００１）・・・（
４００１ｍ）を介在させてもよい。こうすることにより
負半波ピーク値も検出できるようになるので検出精度が
向上する。また。

第１１図に示すように各バンドパスフィルタ（４０１）
・・（４０ｎ）　Ｋ対して正半波ビーク値回路であるピ
ーク値検出回路（５０１）・・・（ｓｏｎ）と並列に負
半波ピーク値を検出するためのサンプルアンドホールト
回路（６０１）’−（６０ｎ）’、比較器（７０１・）
’−（７０ｎ）’、アンド回路（８０１）’・・（８０
ｎ）’からなるピーク値検出回路（５０１）’・・・（
５０ｎ）’を接続し両者の出方差を減算回路（４１０１
）・・・（４１０ｎ）Ｋ入力させてピーク・ピーク＠（
圧気ピーク値）を求めるようにしてもよい。こうするこ
とＫより、検出精度が向上する。１＋、上記実施例にお
いてはＲＡＭ（１７）に記憶されたピーク値は、いうた
ん大きい順に並べ換え、しかるのち。

ＮＩＦ　＋　１番目の有効最大ピーク値を抽出するよう
Ｋしているが、ノウトウエアのプログラム変更により並
べ換えを経由せずしてただちに与えられたピーク値の中
から有効最大ピーク値を抽出するようにしてもよい。ま
た１本発明の異常検査装置は被検査物として回転機器に
限ることなく、例えば原子炉、製造設備等の異常検出に
％用いることかで自る０このとき、外乱の影響時間の長
短に志して、サンプリング期間Δを及び無効ピーク値数
Ｎ■ｒを適宜変更する必１がある。會た、検出内容が切
削１臭の工具破損などのような異常発生時点である場合
は、前記検、査時間は例えば１０秒にして、　１０秒ご
とに異常の有無の判定を行うようにすればよい。また、
上記実施例において線設定１１ＰＴＩ　　”ｒｎ（正常
パターン）は検査前にあらかじめ設定しているが、被検
査物の数が一定数累積するたびに前式［有］、■を計算
してＰＴｌ・・・ＰＴｎを更新するようｋしてもよい。

このようＫする仁とにょ夛、製造上の経時変化による補
正も自動的に行うことかで自る。さらＫ、上記実施例に
おいては表示部としてＣＲＴを用いているが、印字装置
のようなものでもよい。

発明の効果 体発明の異常検査装置は、複数のサンプリング期間から
なる検査時間内に各サンプリング期間ととに最大ピーク
値を検出し検出したピーク値を逐次演算制御部にて記憶
するようｋしたので、連続的に発生する異常信号のみな
らず間歇的に発生するパルス状の異常信号も確実に把捉
することができるようＫなり、さらに演算制御部にて外
乱に基因する最大ピーク値を除外するよ′うＫしたので
異常判定の精度が飛躍的に向上する。したがって。

定が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の異常検査装置の電気回路系統図、第２
図及び第３図はそれぞれ本発明の異常検査装置の作動を
説明するためのフロ・−チャート及びタイミングチャー
ト、第４図は本発明の異常検査装置の演算制御部に逐次
入力する最大ピーク値を示す図、＃Ｉ５図は演算制御部
の凡ＡＭＫて大きいＩｊＫ並び換えられた最大ピーク値
を模式的に示す図、第６図及び第７図は検査結果を表示
する本発明の異常検査装置のむ凡Ｔを示す図、第８図及
び第９図はそれぞれ当ｐ異常及び軸受部異常のときの信
号波形を示す図、第１０図及び第１１図は本発明の他の
＊ｍ例における周波数分析部の電気回路図である。 （１）　１１動検出器、（４０１）・（４０ｒｊ）　：
Ａ７　トハスフイルタ、（５０１）・・・（５０ｎ戸ピ
ーク検出回路、００１：マルチプレクサ、αυ：アナロ
グーディジタル変換器、＠：演算制御部、＠　：　ＣＲ
Ｔ　（表示部）。 代理人　弁理士　　則　近　憲　佑 （ほか１名） ′４３図 ｓ１４： ￥Ｊ５図 ′１４６図 刀 ′６８図 Ｊ６ｑ図 第・７図 が １０００図 Ｕｊ 第ｔｒ口

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）下記構成を具備することを特徴とする異常検査装
   置。 げ）被検査物から発生した機械的振、動又は音を検出し
   て電気信号に変換する振動検出器。 （ロ）上記振動検出器から出力された電気信号を入力し
   、この電気信号を複数の周波数帯域の周波数成分に分析
   する複数のフィルタ。 （ハ）上記フィルタの出力側に各別に接続され、上記各
   周波数成分の電気信号を入力し複数のサンプリング期間
   からなる検査時間内に上記各サンプリング期間ごとに１
   回づつ最大ピーク値を検出して検出された最大ピーク値
   を示す電気信号を出力する複数のピーク値検出回路。 に）上記複数のピーク値検出回路の出力側に接続され各
   ピーク値検出回路から出力された最大ピーク値を示す電
   気信号を同時に入力し１回の上記サンプリング期間内に
   上記複数のピーク値検出回路から出力された最大ピーク
   値を示す電気信号を順次出力するマルチプレクサ） （ホ）上記ｆｆルチプレクサの出力側に接続され上記マ
   ルチプレクサから出力された最大ピーク＋ｉ　を示す電
   気信ヘディジタル値に変換するアナログ−ディジタル変
   換器。 （へ）上記アナログ−ディジタル変換器に電気的に接続
   され上記アナログ−ディジタル変換器から出力された上
   記検査時間内の最大ピーク値を示すディジタル化された
   電気信号を入力して上記最大ピーク値を逐次記憶し、上
   記記憶された最大ピーク値について各周波数成分ととＫ
   あらかじめ外乱に基因するデータを除外するために設定
   した特定番目の大きさの最大ピーク値を抽出して有効最
   大ピーク値としこれら各周波数成分ごとの有効最大ピー
   ク値を各周波数成分に対応して設けられた設定値と各別
   に比較しこれら比較結果に基づいて上記被検査物の異常
   判定を行う演算制御部。 （ト）上記演算制御部に電気的に接続され判定結果を表
   示する表示部。 （２）ピーク値検出回路が正半波ピーク値を検出する回
   路であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   異常検査装置。 １３）ピーク値検出回路が正半波ピーク値及び負半波ビ
   ーク値の絶対値を検出する回路であることを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載の異常検査装置。 （４）ピーク値検出回路がピーク・ピーク値回路である
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の異常検査
   装置。