JPH09250971A

JPH09250971A - 異常検査方法及びその装置

Info

Publication number: JPH09250971A
Application number: JP376797A
Authority: JP
Inventors: Eiji Sawa; 英二澤
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1996-01-11
Filing date: 1997-01-13
Publication date: 1997-09-22
Anticipated expiration: 2017-01-13
Also published as: JP3764233B2

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、予期できない衝撃性或いは突発性の
暗騒音や暗振動による誤判定を防止して確実に被検査体
の異常判定を行う。【解決手段】被検査体１に対して外部の音を第２の音検
出器２０１により検出し、この検出された音の振幅が予
め設定されたしきい値を越えると、少なくともサンプリ
ング中の被検査体１の音の振幅のデータを削除する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、音又は機械的振動
に基づいて各種装置の異常を検出する異常検査方法及び
その装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば回転機器の製造工程において、そ
の機械的総合評価を振動解析により自動的に行う方式が
開発されている。その代表的なものを次に説明する。第
１の方法は、回転機器等の被検査体において発生した機
械的振動又は音を検出し、それらの検出信号をパワース
ペクトラム又は１／３オクダーブ周波数分析して、正常
品と異常品とのパターンを比較判定する。

【０００３】第２の方法は、被検査体において発生した
機械的振動又は音の検出信号からハイパスフィルタによ
り約１ｋＨｚ以上の高周波成分を取出し、その実効値や
ピーク値又は両者の比率から正常品と異常品とを比較判
定する。

【０００４】第３の方法は、第２の方法と同様にして得
られた高周波領域の信号を包絡線検波回路により包絡線
信号を抽出して、その正常品と異常品とを比較判定する
方法である。

【０００５】しかしながら、第１の方法では、測定中の
平均パワーを求めるものであるため、被測定物の軸受部
のボール疵、ゴミの介在による回転異常、各構成部品の
共振異常等に起因する衝撃的でたまにしか発生しないパ
ルス状の信号の検出は困難である。

【０００６】これに対して第２及び第３の方法では、第
１の方法で検出できない異常信号の検出は可能である
が、その反面、実際の検査時において被検査体以外の振
動源において発生する各種の音や機械的振動などの外乱
の影響により正常品を異常品と誤判定してしまう欠点を
もっている。その他、微妙なベアリング不良の検出は困
難である。

【０００７】すなわち、製造ラインで発生する騒音や振
動が、被検査体を検出して得た音又は振動検出信号に混
入してしまい、微妙な異常音等の検出ができない。そこ
で、このような暗騒音や暗振動を除去して異常音の検出
能力を高めた技術が特公平４−４５３４号公報に開示さ
れている。

【０００８】この技術は、被検査体の音又は振動を検出
し、この音又は振動検出信号を例えば各周波数成分ごと
の各バンドパスフィルターを通して各周波数成分を取り
出し、複数のサンプリング期間からなる検査時間内にサ
ンプリング期間内における各周波数成分毎の最大ピーク
値を１個づつ検出し、これをディジタル変換して演算制
御部に記憶する。

【０００９】そして、これら記憶した最大ピーク値を各
周波数成分ごとに大きさの順に並べ換えることにより外
乱データを除去し、これら並べ換えられた最大ピーク値
について外乱内容に対応して予め定められた特定番目の
最大ピーク値を異常検出用の有効最大ピーク値として各
周波数成分ごとに抽出し、これら周波数成分ごとの有効
最大ピーク値と予め設けられている設定値とを比較する
ことにより被検査体の異常を判定するものである。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特公平
４−４５３４号公報に開示されている技術では、外乱デ
ータの除去を検査時間にわたって取得した各周波数成分
ごとの最大ピーク値の配列を大きさの順に並べ換え、大
きい順から予め定められた特定番目のデータを有効最大
ピーク値として異常判定に用いているので、規則的に発
生する衝撃性の暗騒音や暗振動は除去できるが、予期で
きない暗騒音や暗振動、例えば台車が通過するときの
音、振動、物体を落下したときの音、振動に対しては除
去する特定番目のデータ数の設定が困難となる。

【００１１】このため、暗騒音や暗振動を除去するため
の特定番目のデータ数は、余裕を見込んだ数になり、こ
の結果として被検査体に対する異常の判定能力を低下さ
せてしまう。

【００１２】そこで本発明は、予期できない衝撃性或い
は突発性の暗騒音や暗振動による誤判定を防止して確実
に被検査体の異常判定ができる信頼性の高い異常検査方
法を提供することを目的とする。

【００１３】又、本発明は、予期できない衝撃性或いは
突発性の暗騒音や暗振動による誤判定を防止して確実に
被検査体の異常判定ができる信頼性の高い異常検査装置
を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】請求項１によれば、被検
査体の音又は機械的振動を検出し、この音又は機械的振
動を各周波数成分に分けてこれら成分における最大ピー
ク値を抽出し、これら最大ピーク値を大きさの順に並び
換え、予め定められた特定番目の最大ピーク値に基づい
て被検査体の異常判定を行う異常検査方法において、被
検査体に対して外部の音又は機械的振動を検出し、この
検出された外部の音又は機械的振動が予め設定されたし
きい値を越えた場合、少なくともサンプリング中の被検
査体の音又は機械的振動を削除する異常検査方法であ
る。

【００１５】請求項２によれば、第１の音又は振動検出
器により被検査体の音又は機械的振動を検出し、この音
又は機械的振動を各周波数成分に分けてこれら成分にお
ける最大ピーク値を抽出し、これら最大ピーク値を大き
さの順に並び換え、予め定められた特定番目の最大ピー
ク値に基づいて被検査体の異常判定を行う異常検査装置
において、被検査体に対して外部の音又は機械的振動を
検出する第２の音又は振動検出器と、この第２の音又は
振動検出器により検出された音又は機械的振動が予め設
定されたしきい値を越えた場合、少なくともサンプリン
グ中の被検査体の音又は機械的振動を削除するデータ削
除手段と、を備えた異常検査装置である。

【００１６】このような異常検査装置であれば、被検査
体に対して外部の音又は機械的振動を第２の音又は振動
検出器により検出し、この検出された音又は機械的振動
が予め設定されたしきい値を越えると、少なくともサン
プリング中の被検査体の音又は機械的振動を削除するの
で、被検査体の音又は機械的振動の影響を受けることな
く、予期せぬ衝撃性の暗騒音や暗振動を確実に検出し
て、確実に被検査体の異常判定ができる。

【００１７】請求項３によれば、請求項２記載の異常検
査装置において、第２の音又は振動検出器は、被検査体
を収納する防音室の外側、又は被検査体に振動絶縁を介
して配置される。

【００１８】このような異常検査装置であれば、防音室
の外側、又は被検査体に振動絶縁を介して配置された第
２の音又は振動検出器により被検査体の外部の音又は振
動を検出し、この外部の音又は機械的振動が予め設定さ
れたしきい値を越えると、少なくともサンプリング中の
被検査体の音又は機械的振動を削除する。

【００１９】請求項４によれば、請求項２記載の異常検
査装置において、データ削除手段は、第２の音又は振動
検出器により検出された音又は機械的振動がしきい値よ
り大きくなったときを含むサンプリング期間内の被検査
体の音又は機械的振動を削除するとともに、その前の１
又は２以上のサンプリング期間内の被検査体の音又は機
械的振動を削除する機能を有する。

【００２０】このような異常検査装置であれば、防音室
の外側、又は被検査体に振動絶縁を介して配置された第
２の音又は振動検出器により検出された音又は機械的振
動がしきい値より大きくなったときを含むサンプリング
期間内の被検査体の音又は機械的振動を削除するととも
に、その前の１又は２以上のサンプリング期間内の被検
査体の音又は機械的振動を削除する。

【００２１】請求項５によれば、請求項２記載の異常検
査装置において、データ削除手段は、第２の音又は振動
検出器により検出された音又は機械的振動がしきい値よ
り小さくなったときを含むサンプリング期間内の被検査
体の音又は機械的振動を削除するとともに、その後の１
又は２以上のサンプリング期間内の被検査体の音又は機
械的振動を削除する機能を有する。

【００２２】このような異常検査装置であれば、防音室
の外側、又は被検査体に振動絶縁を介して配置された第
２の音又は振動検出器により検出された音又は機械的振
動がしきい値より小さくなったときを含むサンプリング
期間内の被検査体の音又は機械的振動を削除するととも
に、その後の１又は２以上のサンプリング期間内の被検
査体の音又は機械的振動を削除する。

【００２３】請求項６によれば、被検査体の音又は機械
的振動を検出し、この音又は機械的振動を各周波数成分
に分けてこれら成分における最大ピーク値を抽出し、こ
れら最大ピーク値を大きさの順に並び換え、その中の特
定番目の最大ピーク値に基づいて被検査体の異常判定を
行う異常検査方法において、特定番目の最大ピーク値と
して、各周波数成分における全サンプル数に対し所定の
割合で選択されたサンプルの中の最大ピーク値を用い
る。

【００２４】請求項７によれば、請求項６記載の異常検
査方法において、所定の割合は、各周波数成分毎に設定
される。請求項８によれば、被検査体の音又は機械的振
動を検出し、この音又は機械的振動を各周波数成分に分
けてこれら成分における最大ピーク値を抽出して被検査
体の異常判定を行う異常検査方法において、被検査体に
対して外部の音又は機械的振動を検出し、この検出され
た外部の音又は機械的振動が予め設定されたしきい値を
越えた場合、少なくともサンプリング中の被検査体の音
又は機械的振動を削除する異常検査方法である。

【００２５】請求項９によれば、請求項８記載の異常検
査方法において、外部の音又は機械的振動がしきい値よ
り大きくなったときを含むサンプリング期間内の被検査
体の音又は機械的振動を削除するとともに、その前の１
又は２以上のサンプリング期間内の被検査体の音又は機
械的振動を削除する。

【００２６】請求項１０によれば、請求項８記載の異常
検査方法において、外部の音又は機械的振動がしきい値
より小さくなったときを含むサンプリング期間内の被検
査体の音又は機械的振動を削除するとともに、その後の
１又は２以上のサンプリング期間内の被検査体の音又は
機械的振動を削除する。

【００２７】

【発明の実施の形態】

(1) 以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参
照して説明する。本発明の異常検査方法は、回転機器等
の被検査体の音又は機械的振動を検出し、この音又は機
械的振動を各周波数成分に分けてこれら成分における最
大ピーク値を抽出して被検査体の異常判定を行う、より
詳しくはこれら最大ピーク値を大きさの順に並び換えて
得られる特定番目の最大ピーク値に基づいて被検査体の
異常判定を行う異常検査方法において、被検査体に対し
て外部の音又は機械的振動を検出し、この検出された外
部の音又は機械的振動が予め設定されたしきい値を越え
た場合、少なくともサンプリング中の被検査体の音又は
機械的振動を削除するものである。

【００２８】図１はかかる異常検査方法を適用した異常
検査装置の構成図である。第１の音又は振動検出器１
は、図２に示すように回転機器等の被検査体ＳＴ１の音
又は振動を検出し、その音又は振動波形に対応した波形
を有する第１の電気信号ＳＡ１に変換出力する機能を有
している。

【００２９】なお、この第１の音又は振動検出器１は、
以下、第１の音検出器１として説明する。被検査体ＳＴ
１は、防音室ＳＴ２内に各防振ゴムＳＴ３を介して収納
されている。

【００３０】第１の音検出器１は、防音室ＳＴ２内に配
置され、この防音室ＳＴ２内において被検査体ＳＴ１の
音の振幅を検出するものとなる。この第１の音検出器１
の出力側は、増幅器２を介して、異なる周波数帯域の周
波数成分に分析する各周波数分析部３０１〜３０ｎに接
続されている。但し、この実施の形態においてはｎ＝２
８である（以下同じ）。

【００３１】これら周波数分析部３０１〜３０ｎは、そ
れぞれ増幅器２に直接に電気的接続された例えば中心周
波数が２０Ｈｚから１００００Ｈｚまでの１／３オクタ
ーブごとの２８チャンネルの周波数帯域の周波数成分を
得るための各バンドパスフィルタ４０１〜４０ｎと、こ
れらバンドパスフィルタ４０１〜４０ｎの出力側に各別
に接続された各ピーク値検出回路５０１〜５０ｎとから
構成されている。

【００３２】このうち各ピーク値検出回路５０１〜５０
ｎは、それぞれ各サンプルアンドホールド回路６０１〜
６０ｎ、各比較器７０１〜７０ｎ及び各アンド回路８０
１〜８０ｎから構成されている。

【００３３】これらサンプルアンドホールド回路６０１
〜６０ｎは、それぞれ正半波ピーク値をホールドする機
能を有するもので、各バンドパスフィルタ４０１〜４０
ｎの出力側に各別に接続されている。

【００３４】各比較器７０１〜７０ｎは、その各入力側
にそれぞれ各バンドパスフィルタ４０１〜４０ｎの出力
側が各別に接続されるとともに各サンプルアンドホール
ド回路６０１〜６０ｎの出力側が各別に接続されてい
る。

【００３５】各アンド回路８０１〜８０ｎは、その出力
側が各サンプルアンドホールド回路６０１〜６０ｎのコ
ントロール入力側に接続されるとともに、入力側が各比
較器７０１〜７０ｎの出力側に各別に接続されている。

【００３６】これらアンド回路８０１〜８０ｎの他方の
入力側は、後述するデコーダ９の出力側に接続されてい
る。このような構成の各周波数分析部３０１〜３０ｎ
は、マルチプレクサ１０の入力側に接続されている。

【００３７】一方、第２の音又は振動検出部２０１は、
図２に示すように防音室ＳＴ２の外部に配置され、予期
できない暗騒音や暗振動、例えば台車が通過するときの
音や振動、物体を落下したときの音や振動を検出し、そ
の音又は振動波形に対応した波形を有する第２の電気信
号ＳＡ２に変換出力する機能を有している。

【００３８】なお、この第２の音又は振動検出部２０１
は、以下、第２の音検出部２０１として説明する。この
第２の音検出器２０１の出力側は、増幅器２０２を介し
て、周波数分析部３０n+1 に接続されている。

【００３９】この周波数分析部３０n+1 は、増幅器２０
２に直接に電気的接続されたバンドパスフィルタ４０n+
1 と、このバンドパスフィルタ４０n+1 の出力側に各別
に接続されたピーク値検出回路５０n+1 とから構成され
ている。

【００４０】このうちバンドパスフィルタ４０n+1 は、
その周波数帯域が異常判定に用いられる各バンドパスフ
ィルタ４０１〜４０ｎの全周波数帯域をカバーするよう
に設定されている。

【００４１】又、ピーク値検出回路５０n+1 は、サンプ
ルアンドホールド回路６０n+1 、比較器７０n+1 及びア
ンド回路８０n+1 から構成されている。サンプルアンド
ホールド回路６０n+1 は、それぞれ正半波ピーク値をホ
ールドする機能を有するもので、バンドパスフィルタ４
０n+1 の出力側に各別に接続されている。

【００４２】比較器７０n+1 は、その各入力側にバンド
パスフィルタ４０n+1 の出力側が各別に接続されるとと
もにサンプルアンドホールド回路６０n+1 の出力側が各
別に接続されている。

【００４３】アンド回路８０n+1 は、その出力側がサン
プルアンドホールド回路６０n+1 のコントロール入力側
に接続されるとともに、入力側が比較器７０n+1 の出力
側に各別に接続されている。

【００４４】このアンド回路８０n+1 の他方の入力側
は、後述するデコーダ９の出力側に接続されている。こ
のような構成の周波数分析部３０n+1 は、マルチプレク
サ１０の入力側に接続されている。

【００４５】このマルチプレクサ１０の出力側は、アナ
ログ−ディジタル変換器１１からシステムバス１２を介
してマイクロコンピュータ１３に接続されている。この
マイクロコンピュータ１３は、ＣＰＵ（中央処理装置）
１４と、このＣＰＵ１４にシステムバス１５を介して接
続された入出力インタフェース１６と、データの書き込
み・読み出し可能なＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモ
リ）１７と、制御プログラムが格納されたＲＯＭ（リー
ド・オンリー・メモリ）１８と、ＣＲＴ（陰極線管）イ
ンタフェース１９とから構成されている。

【００４６】このうちＣＰＵ１４は、被検査体の異常判
定を行う機能を有するもので、第１の演算手段１４ａ、
第２の演算手段１４ｂ及び第３の演算手段１４ｃの各機
能を有している。

【００４７】第１の演算手段１４ａは、第１の音検出器
１及び第２の音検出器２０１により検出される音の振幅
のデータを各ピーク値検出回路３０１〜３０n+1 、マル
チプレクサ１０及びアナログ−ディジタル変換器１１を
通して取り込み、１回の検査時間内の各サンプリング期
間ごとに各１個ずつ得られた最大ピーク値を大きさの順
に並べ換える機能を有している。

【００４８】第２の演算手段１４ｂは、第１の演算手段
１４ａにより大きさの順に並び換えられた各最大ピーク
値について外乱内容に対応して予め定められ特定番目の
最大ピーク値を有効最大ピーク値として各周波数成分ご
とに抽出する機能を有している。

【００４９】又、この第２の演算手段１４ｂは、１回の
検査時間内に各サンプリング期間ごとに各１個ずつ得ら
れた最大ピーク値のうち、第２の音検出器２０１により
検出された防音室ＳＴ２の外部の音の振幅の最大ピーク
値を検索し、この最大ピーク値が予め設定されたしきい
値を越えた場合、この最大ピーク値を検出したサンプリ
ング期間内にサンプリングされた被検査体ＳＴ１の音の
振幅のデータを削除するデータ削除手段としての機能を
有している。

【００５０】この場合、第２の演算手段１４ｂは、第２
の音検出器２０１により検出された音がしきい値より大
きくなったときを含むサンプリング期間内の被検査体Ｓ
Ｔ１の音を削除するとともに、その前の１又は２以上の
サンプリング期間内の被検査体ＳＴ１の音を削除するデ
ータ削除手段としての機能を有する。

【００５１】又、第２の演算手段１４ｂは、第２の音検
出器２０１により検出された音がしきい値より小さくな
ったときを含むサンプリング期間内の被検査体ＳＴ１の
音を削除するとともに、その後の１又は２以上のサンプ
リング期間内の被検査体ＳＴ１の音を削除する機能を有
している。

【００５２】第３の演算手段１４ｃは、第２の演算手段
１４ｂにより得られた有効最大ピーク値と予め設けられ
ている設定値との比較により異常判定を行う機能を有し
ている。

【００５３】上記ＲＡＭ１７の一部は、設定値及び正常
パターンを記憶させるための不揮発性ＲＡＭからなって
いる。なお、図示しないがマイクロコンピュータ１３に
は、ＲＡＭ１７及びＲＯＭ１８に上記制御プログラムや
設定値等を外部から格納させるための入力部が設けられ
ている。

【００５４】上記入出力インタフェース１６は、システ
ムバス１２を介してアナログ−ディジタル変換器１１に
接続されている。さらに、この入出力インタフェース１
６は、システムバス２０を介してデコーダ９及びマルチ
プレクサ１０に接続されている。

【００５５】又、この入出力インタフェース１６は、回
線２１を介して微分回路２２の入力側に接続されてい
る。この微分回路２２の出力側は、ストローブ線２３を
介してアナログ−ディジタル変換器１１及び単安定マル
チバイブレータ２４の入力側に接続されている。

【００５６】この単安定マルチバイブレータ２４の出力
側は、ストローブ線２５を介してデコーダ９に接続され
ている。これらデコーダ９、微分回路２２及び単安定マ
ルチバイブレータ２４は、タイミング回路２６を構成し
ている。

【００５７】さらに、このタイミング回路２６及びマイ
クロコンピュータ１３は、演算制御部２７を構成してい
る。又、ＣＲＴインタフェース１９には、検査結果を表
示するためのＣＲＴディスプレイ２８が接続されてい
る。

【００５８】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて図３に示す異常検査フローチャートに従って説明す
る。先ず、ステップ＃１において、ＲＯＭ１８に後述す
る計算プログラムが格納されるとともに、ＲＡＭ１７に
検査時間（例えば３秒）、サンプリング期間Δｔ（例え
ば０．１秒）、ピーク値を除外するための無効ピーク値
数Ｎ_IP（例えば２個）異常が検出されたサンプリング期
間の前後の削除すべきサンプリング期間数が格納され
る。

【００５９】なお、サンプリング期間Δｔの長さは、外
乱、例えばコンベア停止時の衝撃振動による影響時間よ
り短くなるように設定するのが好ましい。検査時間の長
さは、検出すべき被検査体の異常内容、例えば回転機器
の回転異常によって決定する。

【００６０】又、無効ピーク値数Ｎ_IPの数は、上記検査
時間内において発生する外乱の回数を経験的に求めて、
この経験的に求められた外乱の回数に基づいて決定す
る。しかして、被検査体１である回転機器に第１の音検
出器１を接触させ、この回転機器を起動する。

【００６１】第１の音検出器１は、回転機器の音を検出
し、この音の振幅波形に対応した波形を有する第１の電
気信号ＳＡ１を出力する。この第１の電気信号ＳＡ１
は、増幅器２により増幅されたのち、各バンドパスフィ
ルタ４０１〜４０ｎに入力し、これらバンドパスフィル
タ４０１〜４０ｎにより所定の異なる周波数帯域の周波
数成分の信号ＳＣ１〜ＳＣｎに変換される。

【００６２】以下、主としてｎ＝２８すなわち２８チャ
ンネルの場合（中心周波数が１００００Ｈｚ）の信号Ｓ
Ｃｎの信号処理方式について、図１及び図４に基づいて
例示的に詳述する。

【００６３】信号ＳＣｎは、図４に示すように正弦波状
波形となっている。他の信号ＳＣ１〜ＳＣ（ｎ−１）に
ついても波形はほぼ正弦波状をなしている。これら信号
ＳＣ１〜ＳＣｎは、それぞれサンプルアンドホールド回
路６０１〜６０ｎ及び各比較器７０１〜７０ｎに入力さ
れる。

【００６４】このうちサンプルアンドホールド回路６０
ｎは、図４に示すようにピーク値を示す信号ＳＤｎを比
較器７０ｎに出力する。この比較器７０ｎは、サンプル
アンドホールド回路６０ｎからの信号ＳＤｎを設定値と
して入力するとともにバンドパスフィルタ４０ｎからの
信号ＳＣｎを入力し、信号ＳＣｎより信号ＳＤｎが小さ
い場合には「０」を示す信号ＳＥｎをアンド回路８０ｎ
に出力し、かつ信号ＳＣｎより信号ＳＤｎが大きい場合
には「１」を示す信号ＳＥｎをアンド回路８０ｎに出力
する。

【００６５】図４に示す信号ＳＣｎは、例えば区間３０
においては単調増加しているので「０」を示す信号ＳＥ
ｎがアンド回路８０ｎに出力される。一方、アンド回路
８０ｎの他方の入力端には、後述するリセット時を除い
て常に「１」を示すデコーダ９からの信号ＳＦｎが出力
されているので、アンド回路８０ｎからは「０」を示す
信号ＳＧｎがサンプルアンドホールド回路６０ｎに出力
される。

【００６６】このサンプルアンドホールド回路６０ｎ
は、アンド回路８０ｎからの信号ＳＦｎが「０」のとき
ピーク値をサンプリングし、信号ＳＦｎ「１」のときピ
ーク値をホールドする。

【００６７】従って、例えば区間３０においては、サン
プルアンドホールド回路６０ｎはピーク値のサンプリン
グ状態にあるので信号ＳＤｎも図４に示すように増加す
る。ところが、信号ＳＣｎの変曲点３１を境界にして信
号ＳＥｎは「１」となるので、アンド回路８０ｎは
「１」を示す信号ＳＧｎをサンプルアンドホールド回路
６０ｎに出力し、これによって変曲点３１におけるピー
ク値Ｐｎ₁ がホールドされ、このピーク値Ｐｎ₁ を示す
信号ＳＤｎがマルチプレクサ１０に出力される。

【００６８】なお、図３には示さないが、他の周波数分
析部３０１〜３０（ｎ−１）からも同様にしてピーク値
Ｐ₁₁…Ｐ_(n-1)1を示す各信号ＳＤ１〜ＳＤ（ｎ−１）が
同時にマルチプレクサ１０に出力される。

【００６９】一方、第２の音検出器２０１は、防音室Ｓ
Ｔ２の外部の音を検出し、その音の振幅波形に対応した
波形を有する第２の電気信号ＳＡ２を出力する。この第
２の電気信号ＳＡ２は、増幅器２０２により増幅された
のち、バンドパスフィルタ４０n+1 に入力し、信号ＳＣ
n+1 に変換される。

【００７０】この信号ＳＣn+1 は、サンプルアンドホー
ルド回路６０n+1 及び比較器７０n+1 に入力される。こ
のうちサンプルアンドホールド回路６０n+1 は、ピーク
値を示す信号ＳＤn+1 を比較器７０n+1 に出力する。

【００７１】この比較器７０n+1 は、サンプルアンドホ
ールド回路６０n+1 からの信号ＳＤn+1 を設定値として
入力するとともにバンドパスフィルタ４０n+1 からの信
号ＳＣn+1 を入力し、信号ＳＣn+1 より信号ＳＤn+1 が
小さい場合には「０」を示す信号ＳＥn+1 をアンド回路
８０n+1 に出力し、かつ信号ＳＣn+1 より信号ＳＤn+1
が大きい場合には「１」を示す信号ＳＥn+1 をアンド回
路８０n+1 に出力する。

【００７２】アンド回路８０n+1 の他方の入力端には、
上記同様に、リセット時を除いて常に「１」を示すデコ
ーダ９からの信号ＳＦn+1 が出力されているので、アン
ド回路８０n+1 からは「０」を示す信号ＳＧn+1 がサン
プルアンドホールド回路６０n+1 に出力される。

【００７３】このサンプルアンドホールド回路６０n+1
は、アンド回路８０n+1 からの信号ＳＦn+1 が「０」の
ときピーク値をサンプリングし、信号ＳＦn+1 「１」の
ときピーク値をホールドする。

【００７４】従って、サンプルアンドホールド回路６０
n+1 は、防音室ＳＴ２の外部の音の振幅の波形に対応し
た信号ＳＣn+1 の変曲点におけるピーク値をホールド
し、このピーク値を示す信号ＳＤn+1 をマルチプレクサ
１０に出力する。

【００７５】一方、ＣＰＵ１４は、入出力インタフェー
ス１６を介して所要の周波数分析部３０１〜３０ｎ、３
０n+1 を指定する信号を、システムバス２０を経由して
デコーダ９及びマルチプレクサ１０に出力する。

【００７６】この信号ＳＨがマルチプレクサ１０に送ら
れることにより、このマルチプレクサ１０からは、図４
に示すように各バンドパスフィルタ４０１〜４０ｎ、４
０n+1 を通過した周波数成分の各ピーク値（例えば上記
Ｐｎ₁ ）、及び外部の音の振幅の波形に対応した信号Ｓ
Ｃn+1 のピーク値を示す各信号ＳＤ１〜ＳＤｎ、ＳＤn+
1 のみが、各信号ＳＩ１〜ＳＩｎ、ＳＩn+1 としてアナ
ログ−ディジタル変換器１１に順次出力される。

【００７７】これら信号ＳＩ１〜ＳＩｎ、ＳＩn+1 のア
ナログ−ディジタル変換器１１への入力時点より時間Δ
ｔ₁ （数１０μｓ）経過後に、ＣＰＵ１４は、図４に示
すように入出力インタフェース１６を介してパルス状の
信号ＳＪを時間Δｔ₂ （約３０ｍｓ以下）ごとに微分回
路２２に出力する。

【００７８】この微分回路２２は、信号ＳＪを微分した
信号ＳＫを単安定マルチバイブレータ２４及びアナログ
−ディジタル変換器１１に出力する。この信号ＳＫを入
力した時点での各信号ＳＩ１〜ＳＩｎ、ＳＩn+1 は、ア
ナログ−ディジタル変換器１１によりディジタル値の各
データ信号ＳＬ１〜ＳＬｎ、ＳＬn+1 に変換され、これ
らデータ信号ＳＬ１〜ＳＬｎ、ＳＬn+1 は入出力インタ
フェース１６、ＣＰＵ１４を経てＲＡＭ１７に伝送さ
れ、ステップ＃２において、このＲＡＭ１７の所定の番
地にピーク値Ｐｎ₁ として格納される。

【００７９】なお、図４において、信号ＳＫの「１」を
示す部分の前縁と信号ＳＦ１の「０」を示す部分の後縁
との時間Δｔ₃ において異常検査は一時中断されるが、
リアルタイムで正確にデータを収集するために、Ｓhann
onのサンプリング定理によりΔｔ₃ ＜１／２Ｆ_max （た
だしＦ_max は最高周波数）を満足するように設定されて
いる。

【００８０】一方、信号ＳＫを入力した単安定マルチバ
イブレータ２４は、この信号ＳＫの後縁をトリガとして
信号ＳＭをストローブ信号としてデコーダ９に出力す
る。この信号ＳＭを入力したデコーダ９は、信号ＳＨが
指定する各アンド回路８０１〜８０ｎ、８０n+1 に対し
てリセットのための「０」を示す信号ＳＦ１〜ＳＦｎ、
ＳＦn+1 を出力する。

【００８１】図４に示すように、この「０」を示す信号
ＳＦ１〜ＳＦｎ、ＳＦn+1 を入力した各アンド回路８０
１〜８０ｎ、８０n+1 は「０」を示す各信号をそれぞれ
サンプルアンドホールド回路６０１〜６０ｎ、６０n+1
に出力し、そのピーク値は例えば図４に示す信号ＳＣの
点３３まで急減し、再び前述したようにして、図４に示
す次のサンプリング期間Δｔ内における最大のピーク値
Ｐｎ₂ をホールドしてマルチプレクサ１０に出力する。

【００８２】但し、Δｔ＞Δｔ₂ ×（ｎ＋１）となるよ
うに設定されており、かつ（ｎ＋１）は周波数分析部の
数である。一方、例えば、ＲＡＭ１７にピーク値Ｐｎ₁
が格納されると、［Δｔ−｛Δｔ₂ ×(n+1) ｝］時間後
に、周波数分析部３０１を指定する信号ＳＨがデコーダ
９及びマルチプレクサ１０に出力され、又、信号ＳＪが
微分回路２２に出力され、周波数分析部３０ｎと同様に
して、ピーク値Ｐ₁₁を示す信号ＳＩ１がアナログ−ディ
ジタル変換器１１によりディジタル値のデータ信号ＳＬ
１に変換され、このデータ信号ＳＬ１がＲＡＭ１７に伝
送され、このＲＡＭ１７の所定の番地にピーク値Ｐ₁₁と
して格納される。

【００８３】この後、リセットのための「０」を示す信
号ＳＦ１がアンド回路８０１に出力されサンプルアンド
ホールド回路６０１は再びサンプリング状態に復帰す
る。このようにして、サンプリング期間Δｔ内に他の各
周波数分析部３０２〜３０n+1 においてホールドされた
最大のピーク値Ｐ₂₁…Ｐ_(n+1)1が順次ＲＡＭ１７の所定
の番地に格納される。

【００８４】なお、マイクロコンピュータ１３から出力
される信号ＳＪのパルス間隔は、図５に示す信号ＳＬ１
〜ＳＬｎ、ＳＬn+1 に対応してＳＬ１〜ＳＬｎ、ＳＬn+
1 をサンプリングする期間中はΔｔ₂ であり、例えば信
号ＳＬｎから次のサンプリング期間Δｔにおける信号Ｓ
Ｌn+1 をサンプリングするまでのパルス間隔は、前記し
たように［Δｔ−｛Δｔ₂ ×(n+1) ｝］である。

【００８５】このような信号ＳＪのパルス間隔を得るた
めのプログラムは予めＲＯＭ１８中に格納されている。
さらに、Δｔ₂ ×(n+1) がサンプリング期間Δｔに等し
くなるように時間Δｔ₂ を設定してもよい。

【００８６】上記各サンプリング期間Δｔ内において、
各周波数分析部３０１〜３０ｎ、３０n+1 ごとに順次行
われるＲＡＭ１７へのピーク値の格納は図５に示すよう
にｍ回繰り返して行われる。ＲＡＭ１７においてはピー
ク値は各周波数分析部３０１〜３０ｎ、３０n+1 ごとに
格納する。

【００８７】従って、各周波数分析部３０１〜３０ｎ、
３０n+1 ごとにｍ個のデータが格納される。しかして、
ステップ＃３において、ＲＡＭ１７に格納されたデータ
数がｍ×(n+1) （ただし、ｍはサンプリング回数、(n+
1) は周波数分析部の数である）に達すると、ＣＰＵ１
４の第１の演算手段１４ａは、ステップ＃４において、
各周波数分析部３０１〜３０ｎ、３０n+1 ごとにピーク
値を大きい順に並び換える演算を行い、この演算結果を
図６に示すようにＲＡＭ１７に格納する。

【００８８】次にＣＰＵ１４の第２の演算手段１４ｂ
は、ステップ＃５において、例えばコンベア停止時の衝
撃振動、エアシリンダ動作時の衝撃振動などの被検査体
以外の振動源からの外乱の影響を除外するために、各周
波数成分ごとにＲＡＭ１７に格納されている上記大きい
順に並べられたピーク値の大きい側からＮ_IP個、例えば
２個のデータを除外し、Ｎ_IP＋１番目のデータを有効最
大ピーク値Ｐ_EM1 …Ｐ_EMn として抽出しＲＡＭ１７に格
納する。

【００８９】又、この第２の演算手段１４ｂは、ステッ
プ＃６に移り、１回の検査時間内に各サンプリング期間
ごとに各１個ずつ得られた最大ピーク値のうち、第２の
音検出器２０１により検出された防音室ＳＴ２の外部の
音の振幅の最大ピーク値を検索する。

【００９０】そして、第２の演算手段１４ｂは、この最
大ピーク値が予め設定されたしきい値を越えたか否かを
判断し、最大ピーク値がしきい値を越えた場合、この最
大ピーク値を検出したサンプリング期間内にサンプリン
グされた被検査体ＳＴ１の音の振幅のデータを削除す
る。

【００９１】この場合、第２の演算手段１４ｂは、第２
の音検出器２０１により検出された音がしきい値より大
きくなったときを含むサンプリング期間内の被検査体Ｓ
Ｔ１の音を削除するとともに、その前の１又は２以上の
サンプリング期間内の被検査体ＳＴ１の音を削除する。

【００９２】なお、第２の演算手段１４ｂは、第２の音
検出器２０１により検出された音がしきい値より小さく
なったときを含むサンプリング期間内の被検査体ＳＴ１
の音を削除するとともに、その後の１又は２以上のサン
プリング期間内の被検査体ＳＴ１の音を削除する。

【００９３】例えば、被検査体ＳＴ１を収納する防音室
ＳＴ２の近傍に、例えば台車が通過したり、又は防音室
ＳＴ２の近傍で物体が落下すると、第２の音検出器２０
１は、台車の通過するときの音又は物体の落下したとき
の音を検出し、これら音の波形に対応した電気信号ＳＡ
２を出力する。

【００９４】図７はかかる第２の音検出器２０１により
台車の通過、又は物体の落下を検出したときの電気信号
ＳＡ２の波形図である。この電気信号ＳＡn+1 には、サ
ンプリング期間Ｔａ内において台車の通過するときの音
又は物体の落下したときの音を検出したときの波形Ｇａ
が現れている。

【００９５】一方、第１の音検出器１から出力される電
気信号ＳＡ１においても台車の通過の音、又は物体の落
下の音による波形Ｇｂが現れている。従って、第２の演
算手段１４ｂは、サンプリング期間Ｔａ内において第２
の音検出器２０１により検出された防音室ＳＴ２の外部
の音の振幅の最大ピーク値すなわち波形Ｇａによるピー
ク値を検索し、この最大ピーク値が予め設定されたしき
い値を越えた場合、この最大ピーク値を検出したサンプ
リング期間Ｔａ内にサンプリングされた被検査体ＳＴ１
の音の振幅のデータを削除する。すなわち、サンプリン
グ期間Ｔａ内における電気信号ＳＡ１が削除される。

【００９６】次にＣＰＵ１４の第３の演算手段１４ｃ
は、ステップ＃７において、各周波数成分ごとに、予め
ＲＡＭ１７に設定されている各設定値Ｐ_T1…Ｐ_Tnと、こ
れら各設定値Ｐ_T1…Ｐ_Tnに対応する各有効最大ピーク値
Ｐ_EM1 …Ｐ_EMn とを比較し、有効最大ピーク値Ｐ_EM1 …
Ｐ_EMn のうち一つでも設定値を越えていれば「被検査体
１に異常あり」と判定する。

【００９７】なお、上記設定値は、実際の検査前に例え
ばＮ＝１００（個）程度の正常な被検査体に対して、前
述したと同様にしてピーク値をＲＡＭ１７に格納し、全
部の被検査体について各周波数成分ごとに、ＲＯＭ１８
に格納されている下式(1)(2)により有効最大ピーク値Ｐ
_EMkiの平均値Ｘｉ´及び標準偏差σ_i をＣＰＵ１４にて
演算しＲＡＭ１７に格納する。

【００９８】

【数１】

【００９９】ここで、ｉは周波数成分を示すもので、ｉ
＝１…ｎである。また、ｋは被検差物の数でｋ＝…１Ｎ
であり、Ｐ_EMkiはｋ番目の被検査体の周波数成分ｉにつ
いてのピーク値である。上記式(1)(2)によって求められ
た平均値Ｘｉ´及び標準偏差σ_i に基づいて各周波数成
分ごとにＲＯＭ１８に格納されている次式(3) により設
定値Ｐ_T1…Ｐ_Tnを求める。

【０１００】

【数２】

【０１０１】（ただしｉ＝１…ｎ）ここで、Ｚは検査環境、検査基準に応じて任意に設定で
きる変数である。上記設定値Ｐ_T1…Ｐ_Tn、有効最大ピー
ク値Ｐ_EM1 …Ｐ_EMn 及び異常の有無についての判定結果
は、ステップ＃７において、図８及び図９に示すように
各周波数成分ごとにＣＲＴ２８により表示される。

【０１０２】これらの図において周波数成分の数ｎは２
８となっている。なお、ＣＲＴ２８における表示のため
のプログラムはＲＯＭ１８に予め格納されている。図８
は、波形が図７に示すような被検査体１の回転部分が固
定部分に接触したときのいわゆる「当り異常」に起因す
るときの検査結果のＣＲＴ表示を示している。

【０１０３】この図中において、棒グラフの影線部分は
異常部分を示していて、有効最大ピーク値が設定値より
大きいときに「異常」と判定している。異常を表わして
いる帯域は異常を示す棒グラフの直上部に矩形３９…に
より表示されている。

【０１０４】このように上記第１の実施の形態において
は、被検査体１に対して外部の音を第２の音検出器２０
１により検出し、この検出された音の振幅が予め設定さ
れたしきい値を越えると、少なくともサンプリング中の
被検査体１の音の振幅のデータを削除するので、被検査
体１の音の影響を受けることなく、予期せぬ衝撃性の暗
騒音や暗振動を確実に検出して、確実に被検査体１の異
常判定ができる。 (2) 次に本発明の第２の実施の形態について説明する。
なお、図１と同一部分には同一符号を付してその詳しい
説明は省略する。

【０１０５】この第２の実施の形態は、図１に示す異常
検査装置を図９に示す被検査体ＳＴ0 に適用したもので
ある。以下、図１に示す異常検査装置に従い説明する。
回転機器等の被検査体ＳＴ10は、ベースＳＴ11上に各防
振ゴムＳＴ12を介して載置されている。ベースＳＴ11上
には、支柱ＳＴ13が立設され、この支柱ＳＴ13の先端部
に防振ゴムＳＴ14を介してシリンダＳＴ15が設けられて
いる。

【０１０６】そして、このシリンダＳＴ15の駆動先端に
防振ゴムＳＴ16を介して第１の音又は振動検出器１が設
けられている。この第１の音又は振動検出器１は、被検
査体ＳＴ10の音又は振動を検出し、その音又は振動波形
に対応した波形を有する第１の電気信号ＳＡ１に変換出
力する機能を有している。

【０１０７】なお、この第１の音又は振動検出器１は、
以下、第１の振動検出器１として説明する。この第１の
音検出器１の出力側は、増幅器２を介して、異なる周波
数帯域の周波数成分に分析する各周波数分析部３０１〜
３０ｎに接続されている。

【０１０８】第２の音又は振動検出部２０１は、図９に
示すようにベースＳＴ11上に設けられ、予期できない暗
騒音や暗振動、例えば台車が通過するときの音や振動、
物体を落下したときの音や振動を検出し、その音又は振
動波形に対応した波形を有する第２の電気信号ＳＡ２に
変換出力する機能を有している。

【０１０９】なお、この第２の音又は振動検出部２０１
は、以下、第２の振動検出部２０１として説明する。こ
の第２の振動検出器２０１の出力側は、増幅器２０２を
介して、周波数分析部３０n+1 に接続されている。

【０１１０】一方、ＣＰＵ１４は、被検査体ＳＴ10の異
常判定を行う機能を有するもので、第１の演算手段１４
ａ、第２の演算手段１４ｂ及び第３の演算手段１４ｃの
各機能を有している。

【０１１１】第１の演算手段１４ａは、第１の振動検出
器１及び第２の振動検出器２０１により検出される各振
動のデータを各ピーク値検出回路３０１〜３０n+1 、マ
ルチプレクサ１０及びアナログ−ディジタル変換器１１
を通して取り込み、１回の検査時間内の各サンプリング
期間ごとに各１個ずつ得られた最大ピーク値を大きさの
順に並べ換える機能を有している。

【０１１２】第２の演算手段１４ｂは、第１の演算手段
１４ａにより大きさの順に並び換えられた各最大ピーク
値について外乱内容に対応して予め定められ特定番目の
最大ピーク値を有効最大ピーク値として各周波数成分ご
とに抽出する機能を有している。

【０１１３】又、この第２の演算手段１４ｂは、１回の
検査時間内に各サンプリング期間ごとに各１個ずつ得ら
れた最大ピーク値のうち、第２の振動検出器２０１によ
り検出されたベース２０１上の外部の振動の最大ピーク
値を検索し、この最大ピーク値が予め設定されたしきい
値を越えた場合、この最大ピーク値を検出したサンプリ
ング期間内にサンプリングされた被検査体ＳＴ10の振動
のデータを削除するデータ削除手段としての機能を有し
ている。

【０１１４】この場合、第２の演算手段１４ｂは、第２
の振動検出器２０１により検出された振動がしきい値よ
り大きくなったときを含むサンプリング期間内の被検査
体ＳＴ10の音を削除するとともに、その前の１又は２以
上のサンプリング期間内の被検査体ＳＴ10の音を削除す
る。

【０１１５】なお、第２の演算手段１４ｂは、第２の振
動検出器２０１により検出された振動がしきい値より小
さくなったときを含むサンプリング期間内の被検査体Ｓ
Ｔ10の音を削除するとともに、その後の１又は２以上の
サンプリング期間内の被検査体ＳＴ10の音を削除する。

【０１１６】第３の演算手段１４ｃは、第２の演算手段
１４ｂにより得られた有効最大ピーク値と予め設けられ
ている設定値との比較により異常判定を行う機能を有し
ている。

【０１１７】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。先ず、上記実施の形態の同様に、ＲＯＭ
１８に後述する計算プログラムが格納されるとともに、
ＲＡＭ１７に検査時間（例えば３秒）、サンプリング期
間Δｔ（例えば０．１秒）、ピーク値を除外するための
無効ピーク値数Ｎ_IP（例えば２個）、異常が検出された
サンプリング期間の前後の削除すべきサンプリング期間
数が格納される。

【０１１８】なお、サンプリング期間Δｔの長さは、外
乱、例えばコンベア停止時の衝撃振動による影響時間よ
り短くなるように設定するのが好ましい。検査時間の長
さは、検出すべき被検査体ＳＴ10の異常内容、例えば回
転機器の回転異常によって決定する。又、異常が検出さ
れたサンプリング期間の前後の削除すべきそれぞれのサ
ンプリング期間数は、その外部の状態に合わせて適宜決
められる。

【０１１９】又、無効ピーク値数Ｎ_IPの数は、上記検査
時間内において発生する外乱の回数を経験的に求めて、
この経験的に求められた外乱の回数に基づいて決定す
る。しかして、回転機器等の被検査体ＳＴ10が起動する
と、第１の振動検出器１は、回転機器の振動を検出し、
その振動波形に対応した波形を有する第１の電気信号Ｓ
Ａ１を出力する。

【０１２０】この第１の電気信号ＳＡ１は、増幅器２に
より増幅されたのち、各バンドパスフィルタ４０１〜４
０ｎに入力し、これらバンドパスフィルタ４０１〜４０
ｎにより所定の異なる周波数帯域の周波数成分の信号Ｓ
Ｃ１〜ＳＣｎに変換される。

【０１２１】このうち、例えば信号ＳＣｎは、図４に示
すように正弦波状波形となっている。他の信号ＳＣ１〜
ＳＣ（ｎ−１）についても波形はほぼ正弦波状をなして
いる。

【０１２２】これら信号ＳＣ１〜ＳＣｎは、それぞれサ
ンプルアンドホールド回路６０１〜６０ｎ及び各比較器
７０１〜７０ｎに入力される。このうちサンプルアンド
ホールド回路６０ｎは、図４に示すようにピーク値を示
す信号ＳＤｎを比較器７０ｎに出力する。

【０１２３】この比較器７０ｎは、サンプルアンドホー
ルド回路６０ｎからの信号ＳＤｎを設定値として入力す
るとともにバンドパスフィルタ４０ｎからの信号ＳＣｎ
を入力し、信号ＳＣｎより信号ＳＤｎが小さい場合には
「０」を示す信号ＳＥｎをアンド回路８０ｎに出力し、
かつ信号ＳＣｎより信号ＳＤｎが大きい場合には「１」
を示す信号ＳＥｎをアンド回路８０ｎに出力する。

【０１２４】図４に示す信号ＳＣｎは、例えば区間３０
においては単調増加しているので「０」を示す信号ＳＥ
ｎがアンド回路８０ｎに出力される。一方、アンド回路
８０ｎの他方の入力端には、後述するリセット時を除い
て常に「１」を示すデコーダ９からの信号ＳＦｎが出力
されているので、アンド回路８０ｎからは「０」を示す
信号ＳＧｎがサンプルアンドホールド回路６０ｎに出力
される。

【０１２５】このサンプルアンドホールド回路６０ｎ
は、アンド回路８０ｎからの信号ＳＦｎが「０」のとき
ピーク値をサンプリングし、信号ＳＦｎ「１」のときピ
ーク値をホールドする。

【０１２６】従って、例えば区間３０においては、サン
プルアンドホールド回路６０ｎはピーク値のサンプリン
グ状態にあるので信号ＳＤｎも図４に示すように増加す
る。ところが、信号ＳＣｎの変曲点３１を境界にして信
号ＳＥｎは「１」となるので、アンド回路８０ｎは
「１」を示す信号ＳＧｎをサンプルアンドホールド回路
６０ｎに出力し、これによって変曲点３１におけるピー
ク値Ｐｎ₁ がホールドされ、このピーク値Ｐｎ₁ を示す
信号ＳＤｎがマルチプレクサ１０に出力される。

【０１２７】なお、他の周波数分析部３０１〜３０（ｎ
−１）からも同様にしてピーク値Ｐ₁₁…Ｐ_(n-1)1を示す
各信号ＳＤ１〜ＳＤ（ｎ−１）が同時にマルチプレクサ
１０に出力される。

【０１２８】一方、第２の振動検出器２０１は、ベース
ＳＴ11上の外部の振動を検出し、その振動波形に対応し
た波形を有する第２の電気信号ＳＡ２を出力する。この
第２の電気信号ＳＡ２は、増幅器２０２により増幅され
たのち、バンドパスフィルタ４０n+1 に入力し、信号Ｓ
Ｃn+1 に変換される。

【０１２９】この信号ＳＣn+1 は、サンプルアンドホー
ルド回路６０n+1 及び比較器７０n+1 に入力される。こ
のうちサンプルアンドホールド回路６０n+1 は、ピーク
値を示す信号ＳＤn+1 を比較器７０n+1 に出力する。

【０１３０】この比較器７０n+1 は、サンプルアンドホ
ールド回路６０n+1 からの信号ＳＤn+1 を設定値として
入力するとともにバンドパスフィルタ４０n+1 からの信
号ＳＣn+1 を入力し、信号ＳＣn+1 より信号ＳＤn+1 が
小さい場合には「０」を示す信号ＳＥn+1 をアンド回路
８０n+1 に出力し、かつ信号ＳＣn+1 より信号ＳＤn+1
が大きい場合には「１」を示す信号ＳＥn+1 をアンド回
路８０n+1 に出力する。

【０１３１】アンド回路８０n+1 の他方の入力端には、
上記同様に、リセット時を除いて常に「１」を示すデコ
ーダ９からの信号ＳＦn+1 が出力されているので、アン
ド回路８０n+1 からは「０」を示す信号ＳＧn+1 がサン
プルアンドホールド回路６０n+1 に出力される。

【０１３２】このサンプルアンドホールド回路６０n+1
は、アンド回路８０n+1 からの信号ＳＦn+1 が「０」の
ときピーク値をサンプリングし、信号ＳＦn+1 「１」の
ときピーク値をホールドする。

【０１３３】従って、サンプルアンドホールド回路６０
n+1 は、ベースＳＴ11上の外部の振動の波形に対応した
信号ＳＣn+1 の変曲点におけるピーク値をホールドし、
このピーク値を示す信号ＳＤn+1 をマルチプレクサ１０
に出力する。

【０１３４】一方、ＣＰＵ１４は、入出力インタフェー
ス１６を介して所要の周波数分析部３０１〜３０ｎ、３
０n+1 を指定する信号を、システムバス２０を経由して
デコーダ９及びマルチプレクサ１０に出力する。

【０１３５】この信号ＳＨがマルチプレクサ１０に送ら
れることにより、このマルチプレクサ１０からは、図４
に示すように各バンドパスフィルタ４０１〜４０ｎ、４
０n+1 を通過した周波数成分の各ピーク値（例えば上記
Ｐｎ₁ ）、及び外部の振動の波形に対応した信号ＳＣn+
1 のピーク値を示す各信号ＳＤ１〜ＳＤｎ、ＳＤn+1の
みが、各信号ＳＩ１〜ＳＩｎ、ＳＩn+1 としてアナログ
−ディジタル変換器１１に順次出力される。

【０１３６】これら信号ＳＩ１〜ＳＩｎ、ＳＩn+1 のア
ナログ−ディジタル変換器１１への入力時点より時間Δ
ｔ₁ （数１０μｓ）経過後に、ＣＰＵ１４は、図４に示
すように入出力インタフェース１６を介してパルス状の
信号ＳＪを時間Δｔ₂ （約３０ｍｓ以下）ごとに微分回
路２２に出力する。

【０１３７】この微分回路２２は、信号ＳＪを微分した
信号ＳＫを単安定マルチバイブレータ２４及びアナログ
−ディジタル変換器１１に出力する。この信号ＳＫを入
力した時点での各信号ＳＩ１〜ＳＩｎ、ＳＩn+1 は、ア
ナログ−ディジタル変換器１１によりディジタル値の各
データ信号ＳＬ１〜ＳＬｎ、ＳＬn+1 に変換され、これ
らデータ信号ＳＬ１〜ＳＬｎ、ＳＬn+1 は入出力インタ
フェース１６、ＣＰＵ１４を経てＲＡＭ１７に伝送さ
れ、このＲＡＭ１７の所定の番地にピーク値Ｐｎ₁ とし
て格納される。

【０１３８】なお、図４において、信号ＳＫの「１」を
示す部分の前縁と信号ＳＦ１の「０」を示す部分の後縁
との時間Δｔ₃ において異常検査は一時中断されるが、
リアルタイムで正確にデータを収集するために、Ｓhann
onのサンプリング定理によりΔｔ₃ ＜１／２Ｆ_max （た
だしＦ_max は最高周波数）を満足するように設定されて
いる。

【０１３９】一方、信号ＳＫを入力した単安定マルチバ
イブレータ２４は、この信号ＳＫの後縁をトリガとして
信号ＳＭをストローブ信号としてデコーダ９に出力す
る。この信号ＳＭを入力したデコーダ９は、信号ＳＨが
指定する各アンド回路８０１〜８０ｎ、８０n+1 に対し
てリセットのための「０」を示す信号ＳＦ１〜ＳＦｎ、
ＳＦn+1 を出力する。

【０１４０】図４に示すように、この「０」を示す信号
ＳＦ１〜ＳＦｎ、ＳＦn+1 を入力した各アンド回路８０
１〜８０ｎ、８０n+1 は「０」を示す各信号をそれぞれ
サンプルアンドホールド回路６０１〜６０ｎ、６０n+1
に出力し、そのピーク値は例えば図４に示す信号ＳＣの
点３３まで急減し、再び前述したようにして、図４に示
す次のサンプリング期間Δｔ内における最大のピーク値
Ｐｎ₂ をホールドしてマルチプレクサ１０に出力する。

【０１４１】但し、Δｔ＞Δｔ₂ ×（ｎ＋１）となるよ
うに設定されており、かつ（ｎ＋１）は周波数分析部の
数である。一方、例えば、ＲＡＭ１７にピーク値Ｐｎ₁
が格納されると、［Δｔ−｛Δｔ₂ ×(n+1) ｝］時間後
に、周波数分析部３０１を指定する信号ＳＨがデコーダ
９及びマルチプレクサ１０に出力され、又、信号ＳＪが
微分回路２２に出力され、周波数分析部３０ｎと同様に
して、ピーク値Ｐ₁₁を示す信号ＳＩ１がアナログ−ディ
ジタル変換器１１によりディジタル値のデータ信号ＳＬ
１に変換され、このデータ信号ＳＬ１がＲＡＭ１７に伝
送され、このＲＡＭ１７の所定の番地にピーク値Ｐ₁₁と
して格納される。

【０１４２】この後、リセットのための「０」を示す信
号ＳＦ１がアンド回路８０１に出力されサンプルアンド
ホールド回路６０１は再びサンプリング状態に復帰す
る。このようにして、サンプリング期間Δｔ内に他の各
周波数分析部３０２〜３０n+1 においてホールドされた
最大のピーク値Ｐ₂₁…Ｐ_(n+1)1が順次ＲＡＭ１７の所定
の番地に格納される。

【０１４３】なお、マイクロコンピュータ１３から出力
される信号ＳＪのパルス間隔は、図５に示す信号ＳＬ１
〜ＳＬｎ、ＳＬn+1 に対応してＳＬ１〜ＳＬｎ、ＳＬn+
1 をサンプリングする期間中はΔｔ₂ であり、例えば信
号ＳＬｎから次のサンプリング期間Δｔにおける信号Ｓ
Ｌn+1 をサンプリングするまでのパルス間隔は、前記し
たように［Δｔ−｛Δｔ₂ ×(n+1) ｝］である。

【０１４４】このような信号ＳＪのパルス間隔を得るた
めのプログラムは予めＲＯＭ１８中に格納されている。
さらに、Δｔ₂ ×(n+1) がサンプリング期間Δｔに等し
くなるように時間Δｔ₂ を設定してもよい。

【０１４５】上記各サンプリング期間Δｔ内において、
各周波数分析部３０１〜３０ｎ、３０n+1 ごとに順次行
われるＲＡＭ１７へのピーク値の格納は図５に示すよう
にｍ回繰り返して行われる。ＲＡＭ１７においてはピー
ク値は各周波数分析部３０１〜３０ｎ、３０n+1 ごとに
格納する。

【０１４６】従って、各周波数分析部３０１〜３０ｎ、
３０n+1 ごとにｍ個のデータが格納される。しかして、
ＲＡＭ１７に格納されたデータ数がｍ×(n+1) （ただ
し、ｍはサンプリング回数、(n+1) は周波数分析部の数
である）に達すると、ＣＰＵ１４の第１の演算手段１４
ａは、各周波数分析部３０１〜３０ｎ、３０n+1 ごとに
ピーク値を大きい順に並び換える演算を行い、この演算
結果を図６に示すようにＲＡＭ１７に格納する。

【０１４７】次にＣＰＵ１４の第２の演算手段１４ｂ
は、例えばコンベア停止時の衝撃振動、エアシリンダ動
作時の衝撃振動などの被検査体ＳＴ10以外の振動源から
の外乱の影響を除外するために、各周波数成分ごとにＲ
ＡＭ１７に格納されている上記大きい順に並べられたピ
ーク値の大きい側からＮ_IP個、例えば２個のデータを除
外し、Ｎ_IP＋１番目のデータを有効最大ピーク値Ｐ_EM1
…Ｐ_EMn として抽出しＲＡＭ１７に格納する。

【０１４８】又、この第２の演算手段１４ｂは、１回の
検査時間内に各サンプリング期間ごとに各１個ずつ得ら
れた最大ピーク値のうち、第２の音検出器２０１により
検出されたベースＳＴ11上の外部の振動の最大ピーク値
を検索する。

【０１４９】そして、第２の演算手段１４ｂは、この最
大ピーク値が予め設定されたしきい値を越えたか否かを
判断し、最大ピーク値がしきい値を越えた場合、この最
大ピーク値を検出したサンプリング期間内にサンプリン
グされた被検査体ＳＴ10の音の振幅のデータを削除す
る。

【０１５０】この場合、第２の演算手段１４ｂは、第２
の振動検出器２０１により検出された振動がしきい値よ
り大きくなったときを含むサンプリング期間内の被検査
体ＳＴ10の音を削除するとともに、その前の１又は２以
上のサンプリング期間内の被検査体ＳＴ10の音を削除す
る。

【０１５１】例えば、被検査体ＳＴ10を載置するベース
ＳＴ11の近傍に、例えば台車が通過したり、又はベース
ＳＴ11の近傍で物体が落下すると、第２の振動検出器２
０１は、台車の通過するときの振動又は物体の落下した
ときの振動を検出し、これら振動の波形に対応した電気
信号ＳＡ２を出力する。

【０１５２】一方、第１の振動検出器１から出力される
電気信号ＳＡ１においても台車の通過の振動、又は物体
の落下の振動による波形Ｇｂが現れる。従って、第２の
演算手段１４ｂは、サンプリング期間Ｔａ内において第
２の振動検出器２０１により検出されたベースＳＴ11上
の振動の最大ピーク値を検索し、この最大ピーク値が予
め設定されたしきい値を越えた場合、この最大ピーク値
を検出したサンプリング期間内にサンプリングされた被
検査体ＳＴ10の振動のデータを削除する。

【０１５３】次にＣＰＵ１４の第３の演算手段１４ｃ
は、各周波数成分ごとに、予めＲＡＭ１７に設定されて
いる各設定値Ｐ_T1…Ｐ_Tnと、これら各設定値Ｐ_T1…Ｐ_Tn
に対応する各有効最大ピーク値Ｐ_EM1 …Ｐ_EMn とを比較
し、有効最大ピーク値Ｐ_EM1 …Ｐ_EMn のうち一つでも設
定値を越えていれば「被検査体ＳＴ10に異常あり」と判
定する。

【０１５４】このように上記第２の実施の形態において
は、被検査体ＳＴ10に対して外部の音を第２の振動検出
器２０１により検出し、この検出された振動が予め設定
されたしきい値を越えると、少なくともサンプリング中
の被検査体ＳＴ10の振動のデータを削除するので、被検
査体ＳＴ10の振動の影響を受けることなく、予期せぬ衝
撃性の暗騒音や暗振動を確実に検出して、確実に被検査
体ＳＴ10の異常判定ができる。 (3) 次に本発明の第３の実施の形態について説明する。
なお、上記第１の実施の形態と同一部分についてはその
説明を省略する。

【０１５５】この発明の異常検査方法は、被検査体の音
又は機械的振動を検出し、この音又は機械的振動を各周
波数成分に分けてこれら成分における最大ピーク値を抽
出し、これら最大ピーク値を大きさの順に並び換え、そ
の中の特定番目の最大ピーク値に基づいて被検査体の異
常判定を行う異常検査方法において、特定番目の最大ピ
ーク値として、各周波数成分における全サンプル数に対
し所定の割合で選択されたサンプルの中の最大ピーク値
を用いるものである。

【０１５６】ここで、所定の割合は、各周波数成分毎に
設定される。具体的に説明すると、上記第１の実施の形
態では、第１の演算手段１４ａにより各周波数分析部３
０１〜３０ｎ、３０n+1 ごとにピーク値を大きい順に並
び換える演算を行い、この演算結果を図６に示すように
ＲＡＭ１７に格納する。

【０１５７】続いて、第２の演算手段１４ｂは、例えば
コンベア停止時の衝撃振動、エアシリンダ動作時の衝撃
振動などの被検査体以外の振動源からの外乱の影響を除
外するために、各周波数成分ごとにＲＡＭ１７に格納さ
れている上記大きい順に並べられたピーク値の大きい側
からＮ_IP個、例えば２個のデータを除外し、Ｎ_IP＋１番
目のデータを有効最大ピーク値Ｐ_EM1 …Ｐ_EMn として抽
出しＲＡＭ１７に格納する。

【０１５８】この第２の演算手段１４ｂは、１回の検査
時間内に各サンプリング期間ごとに各１個ずつ得られた
最大ピーク値のうち、第２の音検出器２０１により検出
された防音室ＳＴ２の外部の音の振幅の最大ピーク値を
検索する。

【０１５９】そして、この第２の演算手段１４ｂは、こ
の最大ピーク値が予め設定されたしきい値を越えたか否
かを判断し、最大ピーク値がしきい値を越えた場合、こ
の最大ピーク値を検出したサンプリング期間内にサンプ
リングされた被検査体ＳＴ１の音の振幅のデータを削除
する。

【０１６０】この場合、第２の演算手段１４ｂは、第２
の音検出器２０１により検出された音がしきい値より大
きくなったときを含むサンプリング期間内の被検査体Ｓ
Ｔ１の音を削除するとともに、その前の１又は２以上の
サンプリング期間内の被検査体ＳＴ１の音を削除する。

【０１６１】又、第２の演算手段１４ｂは、第２の音検
出器２０１により検出された音がしきい値より小さくな
ったときを含むサンプリング期間内の被検査体ＳＴ１の
音を削除するとともに、その後の１又は２以上のサンプ
リング期間内の被検査体ＳＴ１の音を削除する。

【０１６２】これに対して第３の実施の形態では、回転
機器等の被検査体の音又は機械的振動を検出し、この音
又は機械的振動を各周波数成分に別けてこれら成分にお
ける最大ピーク値を抽出し、これら最大ピーク値を大き
さの順に並び換えて上記図６と同様なデータ列とする。

【０１６３】十分防音対策された防音室内や十分振動絶
縁された被検査体上であれば、希に発生する衝撃波或い
は突発性の暗騒音や暗振動は、被検査体の音又は振動よ
りも大きい。

【０１６４】そこで、データ列の全サンプル数に対し所
定の割合で大きい方からデータを削除し、残ったデータ
の中の最大ピーク値に基づいて被検査体の異常判定を行
う。すなわち、最も大きい方から次式で得られた除外デ
ータ数を削除して、衝撃性或いは突発性の暗騒音や暗振
動の影響を受けない有効最大ピーク値を得る。ここで、
指定値は、除外データ数を全サンプル数の割合（百分
率）とする。

【０１６５】除外データ数＝全サンプル数−（全サンプル数×指定値）／１００ …(4) なお、除外するデータを決めるのに用いる所定の割合
は、例えば書き換え可能な記録媒体に予め記録してお
き、検査の際に、記録媒体からその割合を呼び出して実
際に除外されるデータ数を計算し、この値を用いて測定
データ処理を行い除外した後の残りのデータを用いて異
常判定を行う。

【０１６６】この所定の割合は、各周波数成分毎に設定
することができる。この所定の割合としては、例えば除
外する分を全サンプル数の３０％程度以下にする。そし
て、上記指定値は、書き換え可能な記録媒体に格納して
おき、本プログラムの実行開始直後に前記計算を１回行
い、各周波数毎の除外データ数をＲＡＭ上に記録する。

【０１６７】以降、検査する毎にＲＡＭ上に記録された
除外データ数を使って有効最大ピーク値を得て、これと
予め設定された判定基準とを比較して異常判定を行う。
このように上記第３の実施の形態によれば、回転機器等
の被検査体の音又は機械的振動を検出し、この音又は機
械的振動を各周波数成分に別けてこれら成分における最
大ピーク値を抽出し、これら最大ピーク値を大きさの順
に並び換えてデータ列とし、このデータ列の全サンプル
数に対し所定の割合で大きい方からデータを削除し、残
ったデータの中の最大ピーク値に基づいて被検査体の異
常判定を行うようにしたので、上記第１の実施の形態と
同様の効果を奏することは言うまでもなく、そのうえ異
常音又は異常振動の減衰時間は各周波数成分毎に異なる
ので、これまでのように特定する順位（特定番目）を減
衰時間が長い低周波数域で合わせると減衰時間が短い高
周波数域では必要異常にデータを削減してしまう場合が
あり、一方それを減衰時間が短い高周波数域で合わせる
と暗騒音や暗振動がその低周波数域では十分に減衰しな
いので不要なデータが残る場合がある。これらはともに
誤判定を生じてしまう原因となるが、上記第３の実施の
形態によれば、そうした誤判定を防止できるので、より
信頼性の高い異常検出が可能となる。

【０１６８】なお、本発明は、上記第１乃至第３の実施
の形態に限定されるものでなく次の通り変形してもよ
い。例えば、異常検査装置は被検査体として回転機器に
限ることなく、例えば原子炉、製造設備等の異常検出に
も用いることができる。このとき、外乱の影響時間の長
短に応じて、サンプリング期間Δｔ及び無効ピーク値数
Ｎ_IPを適宜変更する必要がある。

【０１６９】さらに、表示部としてＣＲＴを用いている
が、印字装置のようなものでもよい。又、各ピーク検出
回路５０１〜５０n+1 は、実効値検出回路であってもよ
く、或いは正半波ピーク値をホールドしただけでなく負
半波ピーク値もホールドして絶対値ピーク値とする検出
回路であってもよい。又、第２の音又は振動検出器２０
１の出力信号を利用して、衝撃性又は突発性の暗騒音や
暗振動が入ってきたときはホールド状態になるように各
ピーク検出回路５０１〜５０n+1 の各サンプルアンドホ
ールド制御信号を直接制御してもよい。

【０１７０】図１０はかかる衝撃性又は突発性の暗騒音
や暗振動が入ってきたときにホールド状態とする場合の
構成図である。第２の音又は振動検出器２０１の出力側
は、増幅器２０２、バンドパスフィルタ２０３、ピーク
値又は実効値検出回路２０４、比較回路２０５を介し
て、各周波数分析部５０n+1 に接続されている。

【０１７１】この周波数分析部５０n+1 は、サンプルア
ンドホールド回路６０n+1 と、比較器７０n+1 と、アン
ド回路８０n+1 と、これら比較器７０n+1 とアンド回路
８０n+1 との間に接続されたアンド回路９０n+1 とから
構成されている。

【０１７２】このうちアンド回路９０n+1 の入力部に
は、第２の音又は振動検出器２０１からの電気信号が入
力している。又、上記第１〜第３の実施の形態では、被
検査体の音又は機械的振動を検出し、この音又は機械的
振動を各周波数成分に分けてこれら成分における最大ピ
ーク値を抽出し、これら最大ピーク値を大きさの順に並
び換え、予め定められた特定番目の最大ピーク値に基づ
いて被検査体の異常判定を行う場合について説明した
が、これは被検査体の音又は機械的振動を検出し、この
音又は機械的振動を各周波数成分に分けてこれら成分に
おける最大ピーク値を抽出して被検査体の異常判定を行
う場合でも、被検査体に対して外部の音又は機械的振動
を検出し、この検出された外部の音又は機械的振動が予
め設定されたしきい値を越えた場合、少なくともサンプ
リング中の被検査体の音又は機械的振動を削除すること
により、信頼性の高い異常検出ができる。

【０１７３】

【発明の効果】以上詳記したように本発明の請求項１、
６、７によれば、予期できない衝撃性或いは突発性の暗
騒音や暗振動による誤判定を防止して確実に被検査体の
異常判定ができる信頼性の高い異常検査方法を提供でき
る。

【０１７４】又、本発明の請求項２〜５によれば、予期
できない衝撃性或いは突発性の暗騒音や暗振動による誤
判定を防止して確実に被検査体の異常判定ができる信頼
性の高い異常検査装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる異常検査装置の第１の実施の形
態を示す構成図。

【図２】第１及び第２の音又は振動検出器の配置図。

【図３】異常検出動作のフローチャート。

【図４】異常検出動作のタイミング図。

【図５】本装置の演算制御部に逐次入力する最大ピーク
値を示す図。

【図６】本装置の演算制御部のＲＡＭにて大きい順に並
べ換えられた最大ピーク値の模式図。

【図７】被検査体の音及びその外部音の信号波形を示す
図。

【図８】検査結果の表示例を示す図。

【図９】本発明に係わる異常検査装置の第２の実施の形
態を示す構成図。

【図１０】本発明装置の変形例を示す構成図。

【符号の説明】

１…第１の音又は振動検出器、ＳＴ１…被検査体、３０１〜３０ｎ，３０n+1 …周波数分析部、２０１…第２の音又は振動検出部、５０１〜５０ｎ，５０n+1 …ピーク値検出回路、１０…マルチプレクサ、１３…マイクロコンピュータ、１４ａ…第１の演算手段、１４ｂ…第２の演算手段、１４ｃ…第３の演算手段。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査体の音又は機械的振動を検出し、
この音又は機械的振動を各周波数成分に分けてこれら成
分における最大ピーク値を抽出し、これら最大ピーク値
を大きさの順に並び換え、予め定められた特定番目の最
大ピーク値に基づいて前記被検査体の異常判定を行う異
常検査方法において、前記被検査体に対して外部の音又は機械的振動を検出
し、この検出された外部の音又は機械的振動が予め設定
されたしきい値を越えた場合、少なくともサンプリング
中の前記被検査体の音又は機械的振動を削除することを
特徴とする異常検査方法。
【請求項２】第１の音又は振動検出器により被検査体
の音又は機械的振動を検出し、この音又は機械的振動を
各周波数成分に分けてこれら成分における最大ピーク値
を抽出し、これら最大ピーク値を大きさの順に並び換
え、予め定められた特定番目の最大ピーク値に基づいて
前記被検査体の異常判定を行う異常検査装置において、前記被検査体に対して外部の音又は機械的振動を検出す
る第２の音又は振動検出器と、この第２の音又は振動検出器により検出された音又は機
械的振動が予め設定されたしきい値を越えた場合、少な
くともサンプリング中の前記被検査体の音又は機械的振
動を削除するデータ削除手段と、を具備したことを特徴
とする異常検査装置。
【請求項３】前記第２の音又は振動検出器は、前記被
検査体を収納する防音室の外側、又は前記被検査体に振
動絶縁を介して配置されることを特徴とする請求項２記
載の異常検査装置。
【請求項４】前記データ削除手段は、前記第２の音又
は振動検出器により検出された前記音又は機械的振動が
前記しきい値より大きくなったときを含むサンプリング
期間内の前記被検査体の音又は機械的振動を削除すると
ともに、その前の１又は２以上のサンプリング期間内の
前記被検査体の音又は機械的振動を削除する機能を有す
ることを特徴とする請求項２記載の異常検査装置。
【請求項５】前記データ削除手段は、前記第２の音又
は振動検出器により検出された前記音又は機械的振動が
前記しきい値より小さくなったときを含むサンプリング
期間内の前記被検査体の音又は機械的振動を削除すると
ともに、その後の１又は２以上のサンプリング期間内の
前記被検査体の音又は機械的振動を削除する機能を有す
ることを特徴とする請求項２記載の異常検査装置。
【請求項６】被検査体の音又は機械的振動を検出し、
この音又は機械的振動を各周波数成分に分けてこれら成
分における最大ピーク値を抽出し、これら最大ピーク値
を大きさの順に並び換え、その中の特定番目の最大ピー
ク値に基づいて前記被検査体の異常判定を行う異常検査
方法において、前記特定番目の最大ピーク値として、各周波数成分にお
ける全サンプル数に対し所定の割合で選択されたサンプ
ルの中の最大ピーク値を用いることを特徴とする異常検
査方法。
【請求項７】前記所定の割合は、各周波数成分毎に設
定されることを特徴とする請求項６記載の異常検査方
法。
【請求項８】被検査体の音又は機械的振動を検出し、
この音又は機械的振動を各周波数成分に分けてこれら成
分における最大ピーク値を抽出して前記被検査体の異常
判定を行う異常検査方法において、前記被検査体に対して外部の音又は機械的振動を検出
し、この検出された外部の音又は機械的振動が予め設定
されたしきい値を越えた場合、少なくともサンプリング
中の前記被検査体の音又は機械的振動を削除することを
特徴とする異常検査方法。
【請求項９】前記外部の音又は機械的振動が前記しき
い値より大きくなったときを含むサンプリング期間内の
前記被検査体の音又は機械的振動を削除するとともに、
その前の１又は２以上のサンプリング期間内の前記被検
査体の音又は機械的振動を削除することを特徴とする請
求項８記載の異常検査方法。
【請求項１０】前記外部の音又は機械的振動が前記し
きい値より小さくなったときを含むサンプリング期間内
の前記被検査体の音又は機械的振動を削除するととも
に、その後の１又は２以上のサンプリング期間内の前記
被検査体の音又は機械的振動を削除することを特徴とす
る請求項８記載の異常検査方法。