JPS58102230A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は感光性樹脂組成物、更に詳しくは印刷配線板の
製造、金属の精密加工等に用いられるエツチングレジス
ト又はめつきレジストとして、特に優れた密着性と作業
性又高感度を有する感光性樹脂組成物に関する。

印刷配線板の製造、金属の精密加工等の分野において、
エツチング、めっき等の基材の化学的、電気的手法を用
いる際にレジスト材料として感光性樹脂組成物及びこれ
を用いた感光性エレメントを使用することが知られてい
る。感光性エレメントとしては支持体上に感光性樹脂組
成物を積層し九ものが広く使用されている。

このような感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エ
レメント特性としてエツチングレジスト又はめつきレジ
ストとして使用に耐えうる充分な耐薬品性及び基材との
密着性が要求され。

更にこのような感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光
性エレメントは、実用上充分な感光層　　　　　　　　
。

度を有していなければならない。

特に近年、印刷配線板の製造の分野においては１回路の
高密度化が進み、その用途に用いられる感光性樹脂組成
物及びそれを用いた感光性エレメントとして更に密着性
９作業性の優れたものが要求されている。又王権短縮の
面からより高感度の感光性樹脂組成物及びこれを用いた
エレメントが望まれている。

高感度の感光性樹脂組成物を得る方法として。

特に組成物が遊離ラジカル発生開始剤及び不飽和化合物
からなる重合系においては、それに用いられる不飽和化
合物の感光度を高めることが一般的である。そのような
目的で種々の不飽和化合物が検討されているが多価アル
コールのポリアクリレート類が広く使われている。その
中でも高感度のアクリレートとしてポリエーテル結合、
特にポリエチレングリコール構造を有するアクリレート
が特に有用である。この目的に合致したものとしてテト
ラエチレングリコールジアクリレート、ノナエチレング
リコールジアクリレート等があり、これらは市販品とし
て例えば新中村化学■より、ＮＫエステルＡ−４０゜Ａ
−９Ｇとして提供されている。場合によっては不飽和化
合物以外に本同様の目的でポリエチレングリコール構造
を導入することもある。特公昭５５−３３８０１号公報
にはそのような例が示されている。

しかしながら、このようなポリエチレングリコール構造
を有す７アクリレート等の化合物は。

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントの
感度向上には有用であるが、得られるレジストの耐めっ
き性を低下させるという欠点を有する。このため耐めっ
き性が要求される用途には、このようなポリエチレング
リコール構造を有するアクリレート等の化合物の使用量
は限定され、その外感光度の低下をまねく。

これを回避する手段とじて、密着付与剤の使用が知られ
ている。特公昭５０−９１７７号公１１ｌにハｌ、λ３
−ベンゾトリアゾール、％開昭５５−６５２０３号公報
にはインダゾール又はその誘導体、特開昭５５−６５２
０２号公報にはフタラジン又はその誘導体が示されてい
る。

このような密着付与剤の効果は９組成物中の密着付４剤
が通常塗布ないしは積層の手段により組成物の表面に直
接接している基材９例えば鋼表面に配向して単分子膜を
形成し、それが基材と感光性樹脂組成物又はその硬化物
との接着を強化するためと説明されている。ところがこ
のような密着付与剤は表面に強固な膜をつくり。

後の１糧に悪影響を及ぼす場合がある。例えばベンゾト
リアゾールの場合、感光層が経時的に基材表面を著しく
変色させるため、現儂等の手段によシ未露光部を除去し
た際に基材表面がエツチングされＫくいか、あるいはめ
つき析出がそこなわれたり、析出金属の密着性が劣ると
いう欠点を有する。又インダゾール又はフタラゾンの場
合には、化合物自体非常に高価であり。

製造コストを考慮すると、工業的に有用であるとはいい
難い。

一方、これらの感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光
性エレメントは作業性に優れるものでなければならない
。これは通常塗付または積層等により基材表面、特に鋼
張積層板に適用された該感光性樹脂組成物及びこれを用
いた感光性エレメントには、露光の際にマスクの汚染を
防ぐため及び空気中の酸素による重合阻害を防止するた
めに保護層として通常有機重合体フィルムが上層として
設けられておシ、′現儂に先立ってはこれらの保護フィ
ルムを剥離する必要がある。このとき感光性樹脂層と基
材、特に銅張積層板との密着が不充分であると、保護フ
ィルムを剥離するときに未露光部の感光性樹脂層が保護
フィルムと一緒に基材より剥離することがある。これは
作業性に悪影響を与えるばかシでなく、露光部感光性樹
脂層の欠け、浮き等をもたらし、印刷回路板の信輔性に
重大な影響を及はす場合がある。特に印刷回路板の製造
にあ九っては、硬化レジストの微細な片の付着等による
回路ショート、断線をさけるために露光に際しては基材
の辺縁部を未露光となるようにネガマスクのアートワー
クを設計することが通例であシ、この問題は重要である
。即ち該感光性樹脂組成物およびこれを用いたエレメン
トは先に述べた特性に加え、未露光部の基材との密着も
充分あり、保護フィルムの剥離に際して感光性樹脂層の
剥離、浮き等がないことが要求される。

基材と感光性樹脂組成物層との密着を高める方法として
は感光性樹脂組成物層、特にフィルム性付与ポリマー中
の側鎖に極性基を導入する方法が知られている。この目
的に合致したものとして水酸基、カルボキシル基、アミ
ド基、イミド基、エステル基、エーテル基、アミノ基等
が使用可能である。これらは側鎖の極性基が基材の金属
、通常鋼表面と相互作用１例えばキレート生成等により
感光性樹脂組成物層と基材との接着を促進すると考えら
れる。しかしながら。

このような極性基の導入による密着促進効果は通例露光
後の硬化物に対してはほぼ目的の効果を与えるが、未露
光の感光性樹脂組成物層に対しては必ずしも・効果を示
さない、これは未露光の感光性樹脂組成物層は基材との
接着を維持するため粘着性を有しているのが通例であシ
、このときの基板との密着力として評価される量は引き
はがし強度であり、これは粘着の理論によれば、界面と
の接着仕事量（静的効果）と感光性樹脂組成物層の変形
仕事量（動的効果）の和として与えられ、粘着性を有す
る系においては前者より後者の方が引きはがし強度、に
寄与する効果が高いのが一般的である。極性基の導入に
よる効果は主として前者の接着仕事量に作用すると考え
られるので、極性基を導入することが必ずしも未露光部
の基材との接着力強化に結びつかないことが容易に推定
される。事実、感光性樹脂組成物層中のフィルム性付与
ポリマー中に極性基として先にあげたような基例えば水
酸基、アミン基、カルボキシル基、アミド基等を含有す
る単量体を１〜２チ共重合させたビニル共重合体を用い
た場合、それらの極性基を共重合させていないポリマー
と比較して未露光部の密着力向上効果はごくわずかであ
る。これらの極性基による密着力向上効果を上げる丸め
にはこれらの極性基含有単量体をより多く共重合させる
ことにより初めて達成される。カルボン酸含有単量体は
先にあげた極性基の中では比較的効果の高いほうである
が、これも数−の共重合重量比では大した効果を示さな
い。一方、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化
カリウム、リン酸す）　ＩＪウム等の水溶液又は有機溶
剤を若干含む水性液等を現偉液として用いる感光性樹脂
組成物（通常、これをアルカリ現儂型と称する）におい
ては、アルカリ現儂液に可溶とするため組成物のフィル
ム性付与ポリマーにカルボン酸側鎖を比較的多量（１０
−〜２０慢）に含有させるのが通例である。この場合極
性基効果による接着力は大きくなり、これらアルカリ現
儂型レジストの硬化物は基材との良好な接着を示す。し
かし、この場合その接着力が、基材金属と感光性樹脂組
成物層との界面力に主として基づき、粘弾性効果にもと
づく亀のでないために、これらアルカリ現儂型感光性樹
脂組成物層の未露光部の初期接着力は劣っており、経時
的に接着力が増大する傾向が見られる。

アルカリ現ｇＩ型感光性樹脂組成物層を有する感光性エ
レメントは知られているが、いずれも基材との積層時の
初期粘着力にとぼしく、積層には高温に予熱され九基材
を準備し、高い圧力で圧着することＫより必要とされる
初期接着力を達成している。

一方、このような未露光部の初期接着力を強くする試み
として、感光性樹脂組成物層の粘性を低くすることによ
り粘着性を上げる方法が考えられる。しかし、感光性樹
脂組成物層わ粘性を低くすることは、特にその感光性樹
脂組成物層が支持体層とからなる感光性エレメントの形
をとっているときには、積層前に感光性樹脂組成物層が
流動して支持体層からはみ出すという新たな問題を生じ
るために限界がある。

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされ九ものである。

本発明は （３）式 （但し、ｎは０〜３の整数、　Ｒ，、電、　Ｒ，は水素
又はメチル基、几１．Ｒ１は炭素数１〜４のアルキル基
であるか又は窒素原子を含めて、４員ｍ〜７員環の飽和
指環式環を形成している）で表わされる脂肪族アミノ基
含有単量体およびカルボキシル基含有単量体を共重合成
分として得られるビニル系共重合化合物からなるフィル
ム性付与ポリマー ＣＢ）　　有機ハロゲン化合物 （Ｃ１エチレン性不飽和化合物 ならびに ■）活性線により遊離ラジカルを生成しりる増感剤及び
／又は増感剤系 を含有してなる感光性樹脂組成物に関する。

本発明におけるフィルム性付与ポリマーは。

上記の脂肪族アミノ基含有単量体およびカルボキシル基
含有単量体を共重合成分として通常のビニル重合によっ
て容易に合成できる。

本発明におけるビニル系共重合化合物に用いられる脂肪
族アミノ基含有単量体としては、求核性アミンよりは塩
基性アミン構造を有しているものが好ましい。これは、
フィルム性付与ポリマーの側鎖に導入された脂肪族アミ
ノ基が組成物中、活性線の照射によりプロトンと結合し
すみやかに４級アンモニウム塩となる必要があるからで
ある。従って適度の立体障害を有する脂肪族アルキルア
ミンが好ましい。

上記の式で表わされる脂肪族アミノ基含有単量体として
は１式においてＲ１，几、およびＲ１は水素又はメチル
基であり＋　Ｒ４＋　Ｒ＊は炭素数１〜４のアルキル基
であるか窒素原子を含めて４員環〜７員環の飽和指環式
環を形成しているが、上記の式においてＲ１およびＲ１
としては例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ｉ−
プロピル基。

ｎ−ブチル基、ｉ−ブチル基、窒素原子とともに飽和指
環式環を形成したピペリジン環等があげられ、メチル基
、エチル基が好ましい。又アルキレン鎖が長い場合感光
度向上をもたらす一方。

ポリエチレングリコール構造４長くなるため耐めっき性
の低下をもたらす。従って長鎖のアルキレン鎖は必要で
なく上記の弐においてｎはθ〜３の整数とされる。％に
入手容易で有用なものとしては、ジメチルアミノエチル
メタクリレート、ジメチルアミノエチルアクリレートが
挙げられる。

カルボキシル基含有単量体としてはアクリル酸、メタク
リル酸、α−ブロモアクリル酸、α−クロルアクリル酸
、無水マレイン酸、イタコン酸等があげられる。脂肪族
アミノ基含有単量体との共重合性の点からアクリル酸又
はメタクリル酸が好ましい。これらの官能基含有単量体
はビニル重合の実施時に、他のビニル重合単量体ととも
に混合して重合反応に供するか、場合によっては脂肪族
アミノ基含有単量体とカルボキシル基含有単量体との滴
下時期をずらす等の手段により重合反応に供することな
どＫよって容易に目的やビニル共重合体としてフィルム
性付与ポリ１−とすることができる。

ビニル系共重合化合物に用いられるその他のビニル重合
性単量体としてはメタクリル酸メチル、メタクリル酸ブ
チル、メタクリル酸α−エチルヘキシル、メタクリル酸
ラウリル、アクリル酸エチル、アクリル酸メチルスチレ
ン、ビニルトルエン、Ｎ−ビニルピロリドン、α−メチ
ルスチレン、α−ヒト筒キシエチルメタクリレート、２
−ヒドロキシエチルアクリレート、アクリルアミド、ア
クリロニトリル等が用いられる。

ム性付与ポリマーとして用いる仁とによシ、これらのも
□のを単独に用いたときでは発現しない。

感光性樹脂組成物層と基材との初期接着力及び接着力の
著しい向上が未露光部および露光部に見出される。しか
もこれらの改轡効果は極めて少量の上記単量体を共重合
成分として含むポリマーによりなされる。

脂肪族アミノ基含有単量体の含有量はフィルム性付与ポ
リマーに対し、０．１重量９Ｇ〜１０電量−が好ましい
が、４！に０．２重量９Ｇ〜５重量襲が好ましい。一方
、脂肪族アミノ基含有単量体と共重合されるカルボキシ
ル基含有単量体の含有量はフィルム性付与ポリマーに対
し０．２重量−〜５重量−又は１０重量−〜４０重量−
である。イ恭棲感光性樹脂組成物層を１．１．１−１７
クロルエタン等の有機溶剤に現儂可能とする場合はカル
ボキシル基含有単量体の存在量は０，２〜５重量−で充
分であり、好ましくは０．５〜３重量％工ある。感光性
樹脂組成物層がアルカリ現俸型である場合には従来のア
ルカリ現儂型感光性樹脂組成物にもちいられるカルボキ
シル基含有量がそのまま用いられる。この適正なカルボ
キシル基含有単量体の量はフィルム性付与ポリマーに対
し、１０重量−〜４０重量−であシ。

好ましくは１５重量−〜、３０重量−である。

有機ハロゲン化合物としては、活性光によシ容易にハロ
ゲンラジカルを遊離するもの又は。

連鎖移動により容易にノ・ロゲンラジカルを遊離するも
のが好ましい。

有機ハロゲン化合物の例としては、四塩化炭素、クロロ
ホルム、ブロモホルム、１，１．１−）リクロロエタン
、臭化メチレン、Ｍつ化メチレン、塩化メチレン、四臭
化炭素、Ｈ−ドホルム。

１、１．２．２−テトラブロモエタン、ペンタブロモエ
タン、トリブロモアセトフェノン、ビス−（トリブロモ
メチル）スルホン、トリフロモ）Ｉｆｋフェニルスルホ
ン、塩化ビニル１１ｍ化オレ：ｙイン等が挙げられる。

炭素−ノ・ロゲン結合強度の弱い脂肪族ノ・ロゲン化合
物特に同−炭素上に２個以上のノ・ロゲン原子が結合し
ている化合物とりわけ有機ブロム化合物が好ましい。ト
リブロモメチル基を有する有機ノ・ロゲン化合物が一層
好ましい結果をあええる。

有機ノ・ロゲン化合物の配合量は、特に制限はないが上
記の脂肪族アミノ基含有単量体１モル本発明において、
感光性樹脂組成物の内部で起こる反応は明確ではないが
、活性線照射によって有機ノ・ロゲン化合物から直接的
にあるいは間接的に発生し九ノ・ロゲンラジカルが組成
物中に存在している水素供与体より水素をひき抜いて、
ノ・ロゲン化水素を生成し、これがフィルム性付与ポリ
マーの側鎖に存在するアルキルアミノ基と反応して４級
アンモニウム塩を生成するか又は同時にビニル系共重合
化合物の分子間及び分子内の造塩反応によるアミノ基の
４級化の過穆を含んでいると推定される。

水素供与体 Ｘ−厄 ど］＼−ノ 従って、活性線照射によシ、フィルム価付与ポリマー側
鎖に新たにイオン構造を有し九極性基が導入され、これ
が本発明における感光性樹脂組成物の密着性向上の原因
の１つと考えられる。

しかしながら、一般的にフィルム性付与ポリマーの側鎖
における極性基の存在は、基材と感光性組成物及びその
硬化物との物理密着は与えるものの９通常酸性又はアル
カリ性を示しているエツチング液及びめっき液に対して
は必ずしもその効果を示さない。４９にめっきを行なう
場合は顕著であり９例えばフィルム性付与ポリマーの側
鎖にカルボキシル基を有するものは、酸性のエツチング
液には充分な耐性を示すものの、　　　　　　　。

アルカリ性であるピロリン酸鋼めっき浴に対しては、著
しく耐性を低下させる。しかしながら本発明におけるフ
ィルム性付与ポリマーと有機ハロゲン化合物を用い九感
光性樹脂組成物及びこれを用い丸感光性エレメントは、
硬化物中に極性基が生成すると予見されるＫもかかわら
ず耐めっき性の低下が認められない点は驚くべきことで
ある。

本発ｖ４における感光性樹脂組成物中のエチレン性不飽
和化谷物としては、従来知られているものを用いること
ができるが、感度が高いという点より、アクリレート単
量体又はメタクリレート単量体の使用が好ましい。例え
ば、トリノチロールプロパントリアクリレート、ペンタ
エリスリトールトリアクリレート、１．６−へキサンジ
オールジアクリレート、ス２−ビス（４−メタクリロキ
シエトキシフェニル）プロパン。

λ２−ビス（４−アクリロキシエトキシフェニル）フロ
パン、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ト
リメチロールプａパントリメタクリレート勢の多価アル
コールのポリアクリレート又はポリメタクリレート、ト
リメチルプロパントリグリシジルエーテルのアクリル酸
又はメタクリル酸との付加物、ビスフェノール人工ピク
ｐルヒドリン系のエポキシ樹脂のアクリ４又Ｆ１メタク
リル酸付加物等のエポキシアクリレート、無水フタル酸
−ネオペンチルグリコール−アクリル酸の１：１：２の
縮合物等の低分子不飽和ポリエステルが挙げられる。ジ
エチレングリコールジアクリレート、テトラエチレング
リコールジアクリレート、ノナエチレングリコールジア
クリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレー
ト、ポリエチレングリコール（分子量約４００）ジアク
リレート等のポリエチレングリコール系アクリレート又
はメタクリレート等電用いられるが使用の、際は耐めっ
き性の保持に留意し、配合量を決定すべきである。特に
上記の多価アルコールのポリアクリレートとの併用が望
ましい。

又１本発明における活性１１によシ遊離ラジカルを生成
しうる増感剤及び増感剤系についても何ら制限はなく、
従来知られているものを用いることができる。例えば、
ベンゾフェノン、４４′−ジメチルアミノベンゾフェノ
ン、４４′−ジエチルアミノベンゾフェノン　４４７−
ジクロルベンゾフェノン等ノヘンゾフェノン類、２−エ
チルアント２キノン、ｔ、−ブチルアントラキノン等の
アントラキノン類、２−りＥ！ロチオキサントン、ベン
ゾインエチルエーテル、ペンゾインイソグロビルエーテ
ル、ベンジル、２．４５−）リアリールイミダゾールニ
量体（ロフィン二量体）などの１種又は２種以上が用い
られる。

本発ｖＡＫなる感光性樹脂組成物においてフィルム性付
与ポリマーを３０〜８０重量部、エチレン性不飽和化合
物を７０〜２０重量部の範囲でこれらの総量が１００重
量部になるように用い、この１００重量部に対して、活
性線によシ遊離ラジカルを生じうる増感剤及び／又は増
感剤系をα５〜１０重量部、有機ハロゲン化合物を０．
２〜１０重量部用いることが好ましい。これらの材料の
混合順序、混合法等については４ＩＫ制限はない。

なお９本発明になる感光性樹脂組成物には。

染料、可塑剤、顔料、難燃剤、安定剤等を必要に応じて
添加することもできる。又、密着性付与剤を使用するこ
とも可能である。

本発明の詳細な説明する。

実施例１ １−暑 以下に記した手順によシ脂肪族アミノ基含有単量体およ
びカルボキシル基含有単量体を共重合成分として含有す
るフィルム性付与ポリマー（以下ポリマーと称する）を
合成し良。表１に単量体の配合を示しえ。

表１ 数字は重量−であり総量は４００Ｆである。

表１の配合に従ってモノマ混合溶液４００？を調整し良
０次に冷却器、温度針１滴下装置がつながった１１！４
ツロ反応フラスコにトルエン２５０？、表１で秤量した
モノマ溶液各４００ｔのうち１５（ｌを入れ、窒素気流
を通じ９３℃に昇温した。次いで残りの七）１２５０Ｆ
。

トルエン１５（１，アゾビスイノブチロニトリルα５０
）を混合し、溶解したものを３時間にわたって滴下した
。滴下終了後置に７時間保温を続は友、この関７２スコ
の温度は９３℃に保たれた。次にアゾビスイソブチロニ
トリルα２５ｆをトルエン７５　ＰＫ溶鱗したものを３
０分にわたり滴下した。滴下後４時間保温を続は丸もの
ヲトルエン７５）、メチルエチルケトン７５Ｐで希釈し
たものをそれぞれポ１ｊｆｆ−Ｐ−１％Ｐ−６とじ九。

得られたポリマーの特性を表２に示した。このうちＰ−
６が本発明の実施例であり、他は比較例である。

表２ 繋畳　　キャノンフェンスケ盟毛管粘度針（粘度計番号
２５、粘度計定数Ｃ＝α００３０１）を用い、乾燥重量
α２５ｔのポリマーを１ＯＯ−のメチルエチルケトンに
溶解し喪ものを３０℃で測定した。

−ｂ 表３に示す配合で以下の感光性樹脂組成物を配合し九。

表３ 餐ｌ　新中村化学■製ペンタエリスリトールトリアクリ
レート臀２　　　　　　　　　ノナエチレングリコール
ジアクリレート蒼３　用ロ化学工業■製４２′−メチレ
ンビス（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノール） 表３中Ｖ−６が本発明になる実施例であり。

他は比較例である。

−ｃ Ｖ−１〜Ｖ−６の感光性組成物溶液を第１図に示す装置
を用いて厚み２３μｍを有するポリエチレンテレフタレ
ートフィルム（東し■製ルミラー■フィルム）Ｋ乾燥後
膜厚が５０μｍとた。第１図において１はポリエチレン
テレフタレートフィルム繰つ出しロール２．３．４．９
゜Ｉ＞ １０はロール、５はナイフ、　６Ｊ６ｆｔ感光性樹脂組
成物の溶液、７は乾燥機（８０℃で５分間乾燥）８はポ
リエチレンフィルム繰り出しロール、１１は感光性エレ
メントの巻き取りロールである。

得られた感光性エレメントからポリエチレンフィルムを
剥離しながらその感光層面を、スコッチプライトバフロ
ールによシ研磨・乾燥し清浄にされた鋼張積層板（１０
０■ｘ２００ｍ）の鋼面上に日立高温ラミネーターを用
い、連続的に積層して試料片を得た。積層条件を表４に
示した。

（蒼　エアー圧力） −ｄ １−ｃで得られた試料片につき積層板の端部にそって切
りおとし、未露光のままポリエチレンテレフタレートフ
ィルムを手で剥離した。剥　　　　　　　）離の容易さ
Ｋつき表５Ｋまとめた。また別途ポリエチレンフィルム
を剥離（比較例のものＫついては感光性フィルムの一端
部のへβ露光後に注意深くポリエチレンフィルムを剥離
）し九ものに、ポリエステル粘着テープ（日立化成工業
■製ＡＹＴ−２１０−６）を貼り、第２図に示すようＫ
してオートグラフにより１８０’剥離強度表６よシ本発
明になる感光性樹脂組成物は感度に優れていることが示
される。

実施例２ 表３に示し九配合によシボリマーＰ−７を合成した。

（数字はグラム数を示す） １−ａと同じ反応容器に■を入れ、窒素気流を通じ９０
℃に昇温した。次いで■を３時間にわたシ滴下し９滴下
終了後更に７時間保温した。この間フラスコの温度は９
０℃に保たれた。次に璽を３０分で滴下し、４時間保温
を続けた後ＩＶＫよシ希釈した。得られたポリマーＰ−
７の特性を表８に示した。

表８ （測定方法は表２と同じとし九） ポリマーＰ−７を用い、以下の配合で感光性樹脂組成物
を調整した。

Ｐ−７５０（乾燥重量） ＤＰＨＡ”　　　　　　　　　　　３５Ａ−１４Ｇ”　
　　　　　　　　１０ ２−エチルアントラキノン　　λ５ ＡＮＴＡＧＥ　Ｗ２Ｏ３０，５ ０イコクリスタルバイオレツト　　　　０８５トリフ”
ｏモメチルフェニルスルホン　　１．０スビロンプルー
　２８ＮＨＯ，２ メチルエチルケトン　　　　３０ トルエン　　　　　　　　　　ｌＯ （数字は重量部を示す） 上記の感光性樹脂組成物を実施例１．１−ＣとＭＫポリ
エチレンテレフタレートフィルム上に塗工乾燥し、膜厚
５０μｍの感光性エレメントを得た。このものを実施例
１．１−Ｃと同様にして研磨、清浄にした２５０■Ｘ３
３０■鋼張積層板の全面に積層し０周辺部に露光部分の
ないテンティング法用マスクネガを通し露光した。積層
、露光は実施例１，１−ｅと同じに行な９た。３０分放
置後ポリエチレンテレフタレートフイルムヲ剥離した。

このときポリエステルフィルムの剥離は容ＡＫ行なわれ
た。１．１．１−トリクロルエタンで現儂すると欠陥の
ない回路パターン状のレジストが得られた。これを塩化
銅ダエッチング液でエツチングするとレジストのあった
部分に銅回路が形成された欠陥のないプリント配線板が
得られた。

エツチング条件等は当該業者にとって公知の条件で行な
われた。

比較例として上記感光性組成物のポリマーＰ−７のかわ
！ＤＫＩＩ施例ＩＫ流側たポリマーＰ−１を用い丸もの
（比較例６）は感光層と鋼との密着が悪く、ポリエステ
ルフィルムを剥離するときに感光層の一部が剥離し九。

これを同様に３Ｊｌ俸、エツチングを行なったが回路に
断線が生じ、実用に供せなかつ九。

実施例３ 表９に従って実施例３．比較例７の感光性樹脂組成物を
得た。

（数字は重量部を示す） 葺１　メタクリル酸２５重量−、メチルメタクリレート
４３重量−、エチルアクリレート３０重量−、ジメチル
アミノエチルメタクリレート２重量−の共重合体 餐２　メタクリル酸２５重量−、メチルメタクリレート
４５重量−、エチルアクリレート３０重量−の共重合体 纂３　新中村化学■製２．２′ビス（４−メタクリロキ
シジェトキシフェニル）プロパン これを実施例１で述べ九のと同じ方法で感光層膜厚２５
μｍの感光性エレメントとなし試料片を作成し、未露光
感光層と鋼面との接着強度を実施例ＩＫ示した方法によ
シ１時間をおって測定した。

結果を第３図に示した。Ｃは実施例３．Ｄは比較例７に
ついての曲線を示す。第３図よシ本発明になる感光性樹
脂組成物を用いたものは鋼面との接着強度が積層初期よ
シ強く、良好な密着性を有していることがわかる。

実施例３の感光性エレメントを回路パターンネガマスク
を通して露光（１２０ｍＪ／ｃｍ”　）　Ｌ、　２−炭
酸ナトリウム水溶液で４０秒間スプレー現俸し九−のは
喪好なレジス）ｉ６ｉ＊を形成し、塩化第二鋼を九は塩
化第二鉄に対し、エツチングレジストとして良好な特性
を示した。

本発明になる感光性樹脂組成物は積層面に対する密着性
特に初期密着性にすぐれ、高感度を有するものであり９
例えば印刷配線板の製造に際してのエツチングレジスト
材料、めっきレジスト材料等として好適なものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は感光性エレメントの製造装置の一例を示す略図
、第２図は実施例で行なったはく離強度の測定法を示す
略図および第３図は実施例で行なう九接着強度の測定結
果を示す図である。 符号の説明 １・・・ポリエチレンテレフタレートフィルム繰少出し
ロール ２．３，４，９．１０・・・ロール ５・・・ナイフ ６・・・感光性樹脂組成物の溶液 ７・・・乾燥機 ８・・・ポリエチレンフィルム繰す出しロール１１・・
・感光性エレメント巻き取りロール１２・・・鋼張積層
板 １３・・・感光層 １４・・・粘着剤層 １５・・・ポリエチレンテレフタレートフイルム’Ｙ３
　１　　Ｄ χ　２　閉 第　３　図 １層線カズｉ時Ｍ（分） 手続補正書（自記） 昭和　５７年　３　＋＋　１２　ｎ 特許庁長官殿 １、事件の表示 昭和５６年特許順第２０１．８４１、 発明の名称 ＠光性樹脂組成物 ３補止をする者 特許出願人 名　称　＋４４５１日立化成工業株式会社４、代　理　
人 ５補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 ６、補正の内容 （２）同第２８員下から５行目に「一端部のみから露光
後に」とあるのを１一端部のみを露光後、その露光部分
から」と訂正します。 （３）同第２８ｉｊ下から４行目Ｋ「ポリエチレンフィ
ルム」とあるのｔ［ポリエチレンテレフタレートフィル
ム」と訂正します。 （４）同第３１頁第４行に「表３」とあるのを「表７」
と訂正します。 以上

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、（Ａ）式 （但し、ｎはθ〜３の整数Ｉ　Ｒ１＋　Ｒ１＋几、は水
   素又はメチル基、　Ｒ，、Ｒ，は炭素数１〜４のアルキ
   ル基であるか又は窒素原子を含めて、４員３ｊ〜７員項
   の飽和脂環式環を形成している）で表わされる脂肪族ア
   ミノ基含有単量体およびカルボキシル基含有単量体を共
   重合成分として得られるビニル系共重合化合物からなる
   フィルム性付与ポリマー （Ｂｌ　　有機・・ロゲン化合物 （Ｃ）　　エチレン性不飽和化合物 ならびに （Ｄ）　　活性線により遊離ラジカルを生成しうる増感
   剤及び／又は増感剤系 を含有してなる感光性樹脂組成物。 λ　フィルム性付与ポリマーが、脂肪族アミノ基含有単
   量体を共重合成分としてフィルム性付与ポリマーに対し
   て０．１重量−〜１０重量−およびカルボキシル基含有
   単量体を共重合成分としてフィルム性付与ポリマーに対
   してα２重量−〜５重量−又は１０重量嗟〜４０重量−
   含有するフィルム性付与ポリマーである特許請求の範囲
   第１項記載の感光性樹脂組成物。 １　脂肪族アミノ基含有単量体がジメチルアミンエチル
   アクリレート又はジメチルアミノエチルメタクリレート
   であシ、カルボキシル基含有単量体がアクリル酸又はメ
   タクリル酸である特許請求の範囲第１項又は第２項記載
   の感光性樹脂組成物。 ４、有機ノ・ロゲン化合物がトリブロモメチル基を有す
   る有機Ｉ・ロゲン化合物である特許請求の範囲第１項、
   第２項又は第３項記載の感光性樹脂組成物。 ＆　エチレン性不飽和化合物がアクリレート単量体又は
   メタクリレート単量体である特許請求の範囲第１項、第
   ２鷹、第３項又は第４項記載の感光性樹脂組成物。