JPS5893046A - 感光性エレメント - Google Patents
感光性エレメントInfo
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- JPS5893046A JPS5893046A JP19126081A JP19126081A JPS5893046A JP S5893046 A JPS5893046 A JP S5893046A JP 19126081 A JP19126081 A JP 19126081A JP 19126081 A JP19126081 A JP 19126081A JP S5893046 A JPS5893046 A JP S5893046A
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- JP
- Japan
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- photosensitive element
- element according
- polymer
- compound
- film
- Prior art date
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- Pending
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
- G03F7/032—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
- G03F7/033—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders the binders being polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds, e.g. vinyl polymers
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- Graft Or Block Polymers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は感光性エレメントに関する。
印刷配線板製造、金属精密加工等の分野において、エツ
チング、めっき等の基材の化学的。
チング、めっき等の基材の化学的。
電気的手法を用すての変性の際にレジスト材料として感
光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントを使
用することが知られており。
光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントを使
用することが知られており。
感光性エレメントとしては支持体上に感光性樹脂組成物
が積層されたものが広く使用されている。
が積層されたものが広く使用されている。
このような感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エ
レメントに要求される特性としてエツチングレジスト又
はめつきレジストとして使用に耐えうる充分な耐薬品性
及び基材との密着性が要求され、更にこのような感光性
樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントは、実用
上充分な゛感光速度を有していなければならない。
レメントに要求される特性としてエツチングレジスト又
はめつきレジストとして使用に耐えうる充分な耐薬品性
及び基材との密着性が要求され、更にこのような感光性
樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントは、実用
上充分な゛感光速度を有していなければならない。
特に近年印刷配線板製造の分野にシいては回路の高密−
化が進み、その用途に用いられる感光性樹脂組成物及び
それを用いた感光性エレメントとして、更に密着性に優
れたものが要求されて込る。又、工程短縮の面から、よ
り高感度の感光性樹脂組成物及びこれを用いたエレメン
トが望まれている。
化が進み、その用途に用いられる感光性樹脂組成物及び
それを用いた感光性エレメントとして、更に密着性に優
れたものが要求されて込る。又、工程短縮の面から、よ
り高感度の感光性樹脂組成物及びこれを用いたエレメン
トが望まれている。
高感度の感光性樹脂組成物を得る方法の一つとして、４
ＩＫ組成物が遊離ラジカル発生開始剤及び不飽和化合物
から成る重合系においては。
ＩＫ組成物が遊離ラジカル発生開始剤及び不飽和化合物
から成る重合系においては。
それに用いられる不飽和化合物の感光度を高めることが
一般的である。そのような目的で種々の不飽和化合物が
検討されているが、多価アルコールのポリアクリレート
類が広く使われている。その中でも高感度のアクリレー
トとしてポリエーテル結合、４１１にポリエチレングリ
コール構造を有するアクリレートが特に有用である。
一般的である。そのような目的で種々の不飽和化合物が
検討されているが、多価アルコールのポリアクリレート
類が広く使われている。その中でも高感度のアクリレー
トとしてポリエーテル結合、４１１にポリエチレングリ
コール構造を有するアクリレートが特に有用である。
この目的に合致したものとしてテトラエチレングリコー
ルジアクリレート、ノナエチレングリコールジアクリレ
ート等があり、これらは市販品としては例えば新中村化
学■より、ＮＫエステルＡ−４０，Ａ−９Ｇとして提供
されている。
ルジアクリレート、ノナエチレングリコールジアクリレ
ート等があり、これらは市販品としては例えば新中村化
学■より、ＮＫエステルＡ−４０，Ａ−９Ｇとして提供
されている。
場合によっては不飽和化合物以外にも同様の目的でポリ
エチレングリコール構造を導入することもある。特公昭
５５−３３８０１号公報にはそのような目的への使用例
が示されている。
エチレングリコール構造を導入することもある。特公昭
５５−３３８０１号公報にはそのような目的への使用例
が示されている。
しかしながら仁のようなポリエチレングリコール構造を
有するアクリレート等の化合物は。
有するアクリレート等の化合物は。
感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントの
感度向上には有用であるが、得られるレジストの耐めっ
き性を低下させるという欠点を有する。このため耐めっ
き性が要求される用途にはこのようなポリエチレングリ
コール構造を有するアクリレート等の化合物の使用量は
限定され、その分感光度の低下をまねく。
感度向上には有用であるが、得られるレジストの耐めっ
き性を低下させるという欠点を有する。このため耐めっ
き性が要求される用途にはこのようなポリエチレングリ
コール構造を有するアクリレート等の化合物の使用量は
限定され、その分感光度の低下をまねく。
これを回避する手段として密着付与剤の使用が知られて
いる。特公昭５０−９１７７号会報にはその例として１
．λ３−ベンゾトリアゾールの使用が示されている。こ
のような密着付与剤の効果は°組成物中の密着付与剤が
通常塗付ないしは積層の手段により遣成物表面に直接液
している基材−えば銅表面に配向して単分子層を形成し
、それが基材と感光性樹脂組成物又はその硬化物との接
着を強化するためと説明されている。このような密着付
与剤の使用は効果的であるが９反面そのものが基板表面
に強固な膜を作シ、後の工程に悪影響を及ぼす場合があ
る。例えばベンゾトリアゾールの場合、感光層が経時的
に基材表面を著しく変色させる九め、現＃＃の手段によ
り未露光部を除去した際に基材表面が耐エツチング性を
有するかあるいはめっき析出がそζなわれるという欠点
を有する。このように；密着付与剤の使用にも問題があ
る。
いる。特公昭５０−９１７７号会報にはその例として１
．λ３−ベンゾトリアゾールの使用が示されている。こ
のような密着付与剤の効果は°組成物中の密着付与剤が
通常塗付ないしは積層の手段により遣成物表面に直接液
している基材−えば銅表面に配向して単分子層を形成し
、それが基材と感光性樹脂組成物又はその硬化物との接
着を強化するためと説明されている。このような密着付
与剤の使用は効果的であるが９反面そのものが基板表面
に強固な膜を作シ、後の工程に悪影響を及ぼす場合があ
る。例えばベンゾトリアゾールの場合、感光層が経時的
に基材表面を著しく変色させる九め、現＃＃の手段によ
り未露光部を除去した際に基材表面が耐エツチング性を
有するかあるいはめっき析出がそζなわれるという欠点
を有する。このように；密着付与剤の使用にも問題があ
る。
本発明者らは上記欠点を回避すべく研究を重ねぇ結果本
発明にいたつえ。
発明にいたつえ。
本発明は高感度であり、密着付与剤を使用しなくても充
分な密着性及び耐めっき性を有する感光性エレメントを
提供するものである。
分な密着性及び耐めっき性を有する感光性エレメントを
提供するものである。
本発明は
（１）フィルム性付与ポリマー
（ｂｌ エチレン性不飽和化合物
（Ｃ） 活性線によシ遊離ラジカルを生成しうる増感
剤及び／又は増感剤系 並びＫ （ｄ） 有機ハロゲン化合物 を含有する感光性樹脂組成物において、（ａ）のフィル
ム性付与ポリマーを式 （但し、ｎはＯ〜３の整数、 Ｒ，、Ｒ，、Ｒ，は水素
又はメチル基、 Ｒ，、Ｒ，は炭素数１〜４のアルキル
基であるか又は窒素原子を含めて４員環〜７員環の飽和
脂環式環を形成している）で表わされる脂肪族アミノ基
含有単量体を共重合成分とした感光性樹脂組成物層及び
支持体を有する感光性エレメントに関する。
剤及び／又は増感剤系 並びＫ （ｄ） 有機ハロゲン化合物 を含有する感光性樹脂組成物において、（ａ）のフィル
ム性付与ポリマーを式 （但し、ｎはＯ〜３の整数、 Ｒ，、Ｒ，、Ｒ，は水素
又はメチル基、 Ｒ，、Ｒ，は炭素数１〜４のアルキル
基であるか又は窒素原子を含めて４員環〜７員環の飽和
脂環式環を形成している）で表わされる脂肪族アミノ基
含有単量体を共重合成分とした感光性樹脂組成物層及び
支持体を有する感光性エレメントに関する。
本発明における感光性樹脂組成物においては。
（１）フィルム性付与ポリマーが式
（但し、ｎは０〜３の整数、 Ｒ，、Ｒ，、Ｒ，は水素
又はメチル基＝ Ｒ４、Ｒｓは旋素数１〜４のアルキル
基であるか又は窒素原子を含めて４員３ｊｌ〜７員環の
飽和脂環式環を形成している）で表わされる脂肪族アミ
ノ基含有単量体を共重合成分とじて含むビニル系共重合
化合物であり、（２）有機ノ１０ゲン化合物を必須成分
として含有するものである。
又はメチル基＝ Ｒ４、Ｒｓは旋素数１〜４のアルキル
基であるか又は窒素原子を含めて４員３ｊｌ〜７員環の
飽和脂環式環を形成している）で表わされる脂肪族アミ
ノ基含有単量体を共重合成分とじて含むビニル系共重合
化合物であり、（２）有機ノ１０ゲン化合物を必須成分
として含有するものである。
このようなフィルム性付与ポリマーは上記の脂肪族アミ
ノ基含有単量体を共重合成分として通常のビニル重合に
よシ容易に合成される。その他のビニル重合性単量体と
しては、メタクリル酸メチル、メタクリル酸ブチル、メ
タクリル酸ラウリル、アクリル酸エチル、アクリル酸メ
チル、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン
、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−とドａｊ
？ジエチルアクリレート、アクリルアミド等が用いられ
る。
ノ基含有単量体を共重合成分として通常のビニル重合に
よシ容易に合成される。その他のビニル重合性単量体と
しては、メタクリル酸メチル、メタクリル酸ブチル、メ
タクリル酸ラウリル、アクリル酸エチル、アクリル酸メ
チル、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン
、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−とドａｊ
？ジエチルアクリレート、アクリルアミド等が用いられ
る。
脂肪族アミノ基含有単量体としては、求核性アミノより
は塩基性アミン構造を有しているものが好ましい、これ
はフィルム性付与ポリマーの側鎖に導入された脂肪族ア
ミノ基は９組成物中活性線の照射によシ生じ九プロトン
と結合し。
は塩基性アミン構造を有しているものが好ましい、これ
はフィルム性付与ポリマーの側鎖に導入された脂肪族ア
ミノ基は９組成物中活性線の照射によシ生じ九プロトン
と結合し。
すみやかに４級アンモニウム塩となる必要があるからで
ある。従って適度の立体障害を有する脂肪族アルキルア
ミンが好ましい。この目的に含まれる上記の式における
基Ｒ４，Ｒ，としてはメチル基、エチル基、プロピル基
、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｉ−ブチル基、窒素
原子とともに飽和脂環式環を形成したピペリジン環等が
挙げられるが、特にエチル基、メチル基が好ましい。
ある。従って適度の立体障害を有する脂肪族アルキルア
ミンが好ましい。この目的に含まれる上記の式における
基Ｒ４，Ｒ，としてはメチル基、エチル基、プロピル基
、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｉ−ブチル基、窒素
原子とともに飽和脂環式環を形成したピペリジン環等が
挙げられるが、特にエチル基、メチル基が好ましい。
又、脂肪族アミ７基含有単量体におけるアルキレン基の
長さは、その目的に応じ選択されるべきであるが、アル
キレン基が長い場合、感度向上をもたらす。一方、この
ようなアルキレンエーテル結合の存在は、先に述べたポ
リエチレングリゴール構造の場合と同様に耐めっき性の
低下をもたらす。
長さは、その目的に応じ選択されるべきであるが、アル
キレン基が長い場合、感度向上をもたらす。一方、この
ようなアルキレンエーテル結合の存在は、先に述べたポ
リエチレングリゴール構造の場合と同様に耐めっき性の
低下をもたらす。
以上の点よシ長鎖のアルキレン基は必要でなく、アルキ
レン基の個数が０！〜３個のものが好ましい。特にジア
ルキルアミノエチルアクリレート又はジアルキルアミノ
エチルメタクリレートが好ましい。特に容易に入手可能
であり。
レン基の個数が０！〜３個のものが好ましい。特にジア
ルキルアミノエチルアクリレート又はジアルキルアミノ
エチルメタクリレートが好ましい。特に容易に入手可能
であり。
有用なものをしてはジメチルアミノエチルメタクリレー
ト（例えば三菱レーヨン■製アクリエステルＤＭ）及び
ジメチルアミノアクリレート。
ト（例えば三菱レーヨン■製アクリエステルＤＭ）及び
ジメチルアミノアクリレート。
ジエチルアミンエチルメタクリレートが挙げられる。
脂肪族アずノ基含有単量体の含有量は、フィルム性付与
ポリマーに対して０．１重量９１〜１０重量−が好まし
いが特に０．２重量−〜５重量−が好ましい。１重量−
以下の存在量でも充分な効果を示すのは驚ろくべきこと
である。
ポリマーに対して０．１重量９１〜１０重量−が好まし
いが特に０．２重量−〜５重量−が好ましい。１重量−
以下の存在量でも充分な効果を示すのは驚ろくべきこと
である。
有機ハロゲン化物としては、活性光により容品にハロゲ
ンラジカルを遊離するもの又は連鎖移動によシ容易にハ
ロゲンラジカルを遊離するものが好ましい。炭素−ハロ
ゲン結合強度の弱い脂肪族ハロゲン化合物、特に同一炭
素上に２個以上のハロゲン原子が結合している化合物と
シわけ、有機ブロム化合物が好ましい。
ンラジカルを遊離するもの又は連鎖移動によシ容易にハ
ロゲンラジカルを遊離するものが好ましい。炭素−ハロ
ゲン結合強度の弱い脂肪族ハロゲン化合物、特に同一炭
素上に２個以上のハロゲン原子が結合している化合物と
シわけ、有機ブロム化合物が好ましい。
有機ハロゲン化合物の例としては四塩化炭素。
クロロホルム、ブロモホルム、ヨードホルム。
塩化メチレン、Ｌｌ、１−トリクロロエタン、臭化メチ
レン、！ｌつ化メチレン、四臭化炭素、１゜１．４２〜
テトラフロモエタン、ペンタブロモエタン、トリフロモ
アモトフェノン。ビス−（トリブロモメチル）・スルホ
ン、トリブロモメチルフェニルスルホン、塩化ビニル、
ｊＪｌ素化オレフィン等が挙げられる。トリブロモメチ
ル基を有する有機ハロゲン化合物が一層好ましい結果を
与える。
レン、！ｌつ化メチレン、四臭化炭素、１゜１．４２〜
テトラフロモエタン、ペンタブロモエタン、トリフロモ
アモトフェノン。ビス−（トリブロモメチル）・スルホ
ン、トリブロモメチルフェニルスルホン、塩化ビニル、
ｊＪｌ素化オレフィン等が挙げられる。トリブロモメチ
ル基を有する有機ハロゲン化合物が一層好ましい結果を
与える。
有機ハロゲン化合物の配合量は特に制限はないが、脂肪
族アミン単量体１モルに対して０．２〜１０モル好まし
くは０．５〜３モルとされる。
族アミン単量体１モルに対して０．２〜１０モル好まし
くは０．５〜３モルとされる。
本発明において感光性樹脂組成物の内部でおこる反応は
すべてにおいて明確ではないが、考えられる・ものとし
て活性線照射によって、有機ハロゲン化合物から直接的
にあるいは間接的に発生した≧・ロゲンラジカルが組成
物中に存在している水素供与体より水素を引きぬいてハ
ロゲン化水素を生成し、どれがフィルム性付与ポリマー
の側鎖に存在するアルキルアミノ基と反応して４級アン
モニウム塩を生成する過程を含んでいると推定される。
すべてにおいて明確ではないが、考えられる・ものとし
て活性線照射によって、有機ハロゲン化合物から直接的
にあるいは間接的に発生した≧・ロゲンラジカルが組成
物中に存在している水素供与体より水素を引きぬいてハ
ロゲン化水素を生成し、どれがフィルム性付与ポリマー
の側鎖に存在するアルキルアミノ基と反応して４級アン
モニウム塩を生成する過程を含んでいると推定される。
水素供与体
Ｘ−ＨＸ
従って活性線照射によシ、フィルム性付与ポリマー側鎖
に新たにイオン構造を有した極性基が導入され、これが
本発明における密着性の向上に結びついていると考えら
れる。
に新たにイオン構造を有した極性基が導入され、これが
本発明における密着性の向上に結びついていると考えら
れる。
しかしながら、一般的にフィルム性付与ポリマーの側鎖
における極性基の存在は基材と硬化物との物理的密着を
与えるものの１通常酸性又はアルカリ性を示しているエ
ツチング液及びめっき液に対しては必ずしもその効果を
示さない。
における極性基の存在は基材と硬化物との物理的密着を
与えるものの１通常酸性又はアルカリ性を示しているエ
ツチング液及びめっき液に対しては必ずしもその効果を
示さない。
＃にめっきを行なう場合は顕著であシ１例えばフィルム
性付与ポリマーの側鎖にカルボン酸基が結合したものは
酸性のエツチング液には充分な耐性を示す屯ののアルカ
リ性であるビロリン酸鋼めっき浴に対しては著しく耐性
を低下させる。−の傾向は前述のポリエチレングリコー
ル系アクリレートを含む系では更に強くなる。事実この
ような系では硬化物の水中での飽和含水率は極性基の含
有量、ポリエチレングリコール系アクリレートの含量に
比例して高くなり、これが耐めっき性を低下させる大き
な原因となっている。それゆえ９本発明におけるフィル
ム性付与ポリマーと有機ハロゲン化物を用いた感光性樹
脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントは硬化物中
に極性基、特にイオン構造を有する基が生成すると予見
されるにもかかわらず。
性付与ポリマーの側鎖にカルボン酸基が結合したものは
酸性のエツチング液には充分な耐性を示す屯ののアルカ
リ性であるビロリン酸鋼めっき浴に対しては著しく耐性
を低下させる。−の傾向は前述のポリエチレングリコー
ル系アクリレートを含む系では更に強くなる。事実この
ような系では硬化物の水中での飽和含水率は極性基の含
有量、ポリエチレングリコール系アクリレートの含量に
比例して高くなり、これが耐めっき性を低下させる大き
な原因となっている。それゆえ９本発明におけるフィル
ム性付与ポリマーと有機ハロゲン化物を用いた感光性樹
脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントは硬化物中
に極性基、特にイオン構造を有する基が生成すると予見
されるにもかかわらず。
耐めっき性の向上が認められる点で驚ろくべきことであ
る。
る。
また本゛発明に開示された感光性樹脂組成物により感光
速度の増大がみられることも予期しえぬ効果で去り９本
発明の有用性を明らかにしているものの一つである。
速度の増大がみられることも予期しえぬ効果で去り９本
発明の有用性を明らかにしているものの一つである。
なお本発明における感光性樹脂組成物中のエチレン性不
飽和化合物については従来知られているものを用いるこ
とができるが、感度が高いという点より、アクリレート
単量体又はメタクリレート単量体の使用が好ましい。特
に好ましいアクリレート単量体又はメタクリレート単量
体の例としては例えば、トリメチロールプロパントリア
クリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、
Ｌ６−ヘキサンジオールジアクリレート、λ２−ビス（
４−メタクリロキシエトキシフェニル）フロパン、λ２
−ビス（４−アクリロキシエトキシフェニル）プロパン
、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、トリメ
チロールプロパントリアクリレート等の多価アルコール
のポリアクリレート又はポリメタクリレート、トリメチ
ロールプロパントリグリシジルエーテルのアクリル酸又
はメタクリル酸トノ付加物、ビスフェノール人、エピク
ロルヒドリン系のエポキシ樹脂のアクリル酸又はメタク
リル酸付加物等のエポキシアクリレート、無水フタル酸
−ネオペンチルグリコール−アクリル酸の１ ：１ ：
２の縮合物等の低分子不飽和ポリエステルが挙げられる
、ジエチレングリコールジアクリレート、テトラ臣チレ
ングリコールジアクリレート、ノナエチレングリコール
ジアクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリ
レート、ポリエチレングリコール（分子量約４００）ジ
アクリレート等のポリエチレングリコール系アクリレー
ト、メタクリレート等も用いられるが使用の際は耐めっ
き性の保持に留意し、配合量を決定すべきである。特に
挙げた多価アルコールのポリアクリレートとの併用が望
ましい。
飽和化合物については従来知られているものを用いるこ
とができるが、感度が高いという点より、アクリレート
単量体又はメタクリレート単量体の使用が好ましい。特
に好ましいアクリレート単量体又はメタクリレート単量
体の例としては例えば、トリメチロールプロパントリア
クリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、
Ｌ６−ヘキサンジオールジアクリレート、λ２−ビス（
４−メタクリロキシエトキシフェニル）フロパン、λ２
−ビス（４−アクリロキシエトキシフェニル）プロパン
、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、トリメ
チロールプロパントリアクリレート等の多価アルコール
のポリアクリレート又はポリメタクリレート、トリメチ
ロールプロパントリグリシジルエーテルのアクリル酸又
はメタクリル酸トノ付加物、ビスフェノール人、エピク
ロルヒドリン系のエポキシ樹脂のアクリル酸又はメタク
リル酸付加物等のエポキシアクリレート、無水フタル酸
−ネオペンチルグリコール−アクリル酸の１ ：１ ：
２の縮合物等の低分子不飽和ポリエステルが挙げられる
、ジエチレングリコールジアクリレート、テトラ臣チレ
ングリコールジアクリレート、ノナエチレングリコール
ジアクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリ
レート、ポリエチレングリコール（分子量約４００）ジ
アクリレート等のポリエチレングリコール系アクリレー
ト、メタクリレート等も用いられるが使用の際は耐めっ
き性の保持に留意し、配合量を決定すべきである。特に
挙げた多価アルコールのポリアクリレートとの併用が望
ましい。
又、活性線によシ遊離ラジカルを生成しうる増感剤及び
増感剤系についても何ら制限はなく。
増感剤系についても何ら制限はなく。
従来知られているものを用いることができる。
側光ばベンゾフェノン、ｐ、ｐ−ジメチルアミノベンゾ
フェノン、ｐ、ｐ−ジメチルアミノベンゾフェノン＋ｐ
＊ｐ−’）クセルペンゾフエノン等のようなベンゾフェ
ノン類、これらの混合物、２−エチルアンナラキノン。
フェノン、ｐ、ｐ−ジメチルアミノベンゾフェノン＋ｐ
＊ｐ−’）クセルペンゾフエノン等のようなベンゾフェ
ノン類、これらの混合物、２−エチルアンナラキノン。
ｔ−ブチルアントラキノン等のアントラキノン類、２−
クロ四チオキサントン、ベンゾインイソプロピルエーテ
ル、ベンツインエチルエーテル、ベンジル、 ２，４．
５−）リアリールイミダゾールニ量体等が用いられる。
クロ四チオキサントン、ベンゾインイソプロピルエーテ
ル、ベンツインエチルエーテル、ベンジル、 ２，４．
５−）リアリールイミダゾールニ量体等が用いられる。
本発明における感光性樹脂組成物において。
（１）フィルム性付与ポリマーを３０〜８０重量部。
（ｂ）エチレン性不飽和化合物を７０〜２０重量部の範
囲で総量が１００重量部になるように用い。
囲で総量が１００重量部になるように用い。
この１００重量部に対して、（Ｃ）活性線によシ遊離ラ
ジカルを生じうる増感剤及び／又は増感剤系を０．５〜
１０重量部、（ｄ）有機′ハロゲン化合物を０．２〜１
０重量部用いることが好ましい。このｆｌ） 、 ［ｂ
） 、 ＴＣ）及び（ｄ）の混合順序、混合法等につい
ては特に制限はなり０ なお１本発明における感光性樹脂組成物には。
ジカルを生じうる増感剤及び／又は増感剤系を０．５〜
１０重量部、（ｄ）有機′ハロゲン化合物を０．２〜１
０重量部用いることが好ましい。このｆｌ） 、 ［ｂ
） 、 ＴＣ）及び（ｄ）の混合順序、混合法等につい
ては特に制限はなり０ なお１本発明における感光性樹脂組成物には。
染料、可璽剤、顔料、離燃剤、安定剤等を必要に応じて
添加することもできる。又、密着付与剤を使用すること
も可能である。
添加することもできる。又、密着付与剤を使用すること
も可能である。
本発明になる感光性エレメントは、感光性樹脂組成物溶
液を支持体上に塗工・乾燥することにより製造される。
液を支持体上に塗工・乾燥することにより製造される。
これは支持体例えば、有機重合体フィルムに対し、ドク
ターナイフコーター、リバースコーター等によって感光
性樹脂組成物溶液を所定の膜厚となるように塗工し。
ターナイフコーター、リバースコーター等によって感光
性樹脂組成物溶液を所定の膜厚となるように塗工し。
熱風乾燥、遠赤外乾燥等の乾燥処理を行なった後、場合
によっては得られた感光性樹脂組成物層上に保膜フィル
ムとして第二の有機重合体フィルムを圧着積層した後９
巻きとることにより得られる。その製造装置の一例を第
１図に示す。
によっては得られた感光性樹脂組成物層上に保膜フィル
ムとして第二の有機重合体フィルムを圧着積層した後９
巻きとることにより得られる。その製造装置の一例を第
１図に示す。
第１図において支持体繰り出しロールｌから支持体を繰
り出して、これに感光性樹脂組成物の溶液６を塗工し乾
燥機７中に導入して乾燥する。必要に応じて保護フィル
ム繰り出しロール８から保護フィルムを繰り出して、得
られた感光性樹脂組成物層上に保護フィルムを積層して
感光性エレメントとされる。２，３，４．９゜１０は口
辷ル、５はナイフ、１１は感光性エレメント巻きとりロ
ールである。
り出して、これに感光性樹脂組成物の溶液６を塗工し乾
燥機７中に導入して乾燥する。必要に応じて保護フィル
ム繰り出しロール８から保護フィルムを繰り出して、得
られた感光性樹脂組成物層上に保護フィルムを積層して
感光性エレメントとされる。２，３，４．９゜１０は口
辷ル、５はナイフ、１１は感光性エレメント巻きとりロ
ールである。
支持体としては、製造及び取扱いが容易という点で、可
とり性を有する支持体、特に有機重合体フィルムが好ま
しい。又、支持体としては特に光透過性である必要はな
いが、もし、支持体が光不透過性であるときには、露光
に先立って支持体を剥離しておくことが必要である。
とり性を有する支持体、特に有機重合体フィルムが好ま
しい。又、支持体としては特に光透過性である必要はな
いが、もし、支持体が光不透過性であるときには、露光
に先立って支持体を剥離しておくことが必要である。
４ＩＫ好ましい支持体の例としてはポリプロピレンフィ
ルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリスチ
レンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリ塩化ビニル
フィルム等が挙げられるが特にポリエチレンフィルムが
望ましい。
ルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリスチ
レンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリ塩化ビニル
フィルム等が挙げられるが特にポリエチレンフィルムが
望ましい。
これらのフィルムは無延伸であってもかまわないが９％
に二軸延伸したものが好ましい。第二の有機重合体フィ
ルムとしても、支持体として用いられるものが用いられ
る。
に二軸延伸したものが好ましい。第二の有機重合体フィ
ルムとしても、支持体として用いられるものが用いられ
る。
感光性樹脂組成物層の膜厚は必要に応じ決定されるべき
であるが通常めっき、エツチング等の単純パターン形成
用には膜厚の薄いものを用い、スルーホール閉塞等の機
械的強度を必要とする場合にはよシ膜厚の厚いものを必
要とし。
であるが通常めっき、エツチング等の単純パターン形成
用には膜厚の薄いものを用い、スルーホール閉塞等の機
械的強度を必要とする場合にはよシ膜厚の厚いものを必
要とし。
その厚さは５μｍ〜１５０μ甲が好ましく、特に８μｍ
〜１２０μｍが好ましい。
〜１２０μｍが好ましい。
以上主としてプリント配線板製造分野について述べてき
たが１本発明の主旨を逸脱しない範囲で１本発明による
感光性エレメントは金属精密彫刻、ディスプレイ等の製
造等の幅広い応用が考えられる。
たが１本発明の主旨を逸脱しない範囲で１本発明による
感光性エレメントは金属精密彫刻、ディスプレイ等の製
造等の幅広い応用が考えられる。
以下本発明を実施例により説明する。
実施例１
■ 以下に記した手順によシ脂肪族アミノ基含有単量体
を含有するフィルム性付与ポリマー（以下ポリマーと称
する。）を合成した。
を含有するフィルム性付与ポリマー（以下ポリマーと称
する。）を合成した。
（数字は重量−を示し、総量は４００Ｆ−である）１ｇ
の反応プラスコニトルエン２ｓＯＰ、表１で秤量した七
ツマーｂ混合物Ｍ−１〜Ｍ−４各４００？のうち１５０
ｆＩ−をいれ、Ｎ、気流を通じ８５℃に昇温した。次い
で残りのモノマー２５０？、トルエン１５０）、アゾビ
スイソブチロニトリル０．５６Ｐを混合し、溶解したも
のを３時間にわたって滴下した。この間フラスコの温度
は８５℃に保たれた。滴下終了後更に４時間保温後アゾ
ビスイソブチロニトリル０．２８９をトルエン７５？に
溶解し九ものを３０分くわたり滴下し九。
の反応プラスコニトルエン２ｓＯＰ、表１で秤量した七
ツマーｂ混合物Ｍ−１〜Ｍ−４各４００？のうち１５０
ｆＩ−をいれ、Ｎ、気流を通じ８５℃に昇温した。次い
で残りのモノマー２５０？、トルエン１５０）、アゾビ
スイソブチロニトリル０．５６Ｐを混合し、溶解したも
のを３時間にわたって滴下した。この間フラスコの温度
は８５℃に保たれた。滴下終了後更に４時間保温後アゾ
ビスイソブチロニトリル０．２８９をトルエン７５？に
溶解し九ものを３０分くわたり滴下し九。
滴下後４時間保温を続けたものをトルエン７５Ｐ。
メチルエチルケトン７５ｆで希釈し、不揮発分３６〜３
８重量−のポリマーＰ−１〜Ｐ−４を得た。
８重量−のポリマーＰ−１〜Ｐ−４を得た。
得られたポリマーの特性を表２に示した。
費 １０８℃３時間乾燥後のデーター
＋１１１ キャノンフェンスケ減毛管粘度針（粘度計
番号２５、Ｃ−００３０１）を用い乾燥重量０．２５ｆ
のポリマーを１００ｍ１のメチルエチルケトンに溶解し
九ものを試料として３０℃で測定したもの次の感光性樹
脂組成物を得た。
番号２５、Ｃ−００３０１）を用い乾燥重量０．２５ｆ
のポリマーを１００ｍ１のメチルエチルケトンに溶解し
九ものを試料として３０℃で測定したもの次の感光性樹
脂組成物を得た。
餐１ 新中村化学■製トリメチロールプロパントリアク
リレート 簀２ 新中村化学■製テトラエチレングリコールジアク
リレート 畳３ 用ロ化学工業■製メチレンビス（１，１−ジ−ｔ
−７’チル４４′−ジメチルフェノール）以上のようＫ
して得られた感光性樹脂組成物Ｖ−１〜ｖ−６を第１図
に示す装置を用いてそれぞれ厚さ２５μｍのポリエチレ
ンテレフタレートフィルム上に乾燥後膜厚が２５μｍと
なるように均一に塗工し、乾燥機７によシ８０℃で５分
間乾燥後この上に厚さ４０μｍのポリエチレンフィルム
を繰プ出しセール８から繰り出して積層して感光性エレ
メントＦ−１〜Ｆ−６を得九（表４）。１２４で？−３
．Ｆ−４が本発明の実施例であシ、他は比較例である。
リレート 簀２ 新中村化学■製テトラエチレングリコールジアク
リレート 畳３ 用ロ化学工業■製メチレンビス（１，１−ジ−ｔ
−７’チル４４′−ジメチルフェノール）以上のようＫ
して得られた感光性樹脂組成物Ｖ−１〜ｖ−６を第１図
に示す装置を用いてそれぞれ厚さ２５μｍのポリエチレ
ンテレフタレートフィルム上に乾燥後膜厚が２５μｍと
なるように均一に塗工し、乾燥機７によシ８０℃で５分
間乾燥後この上に厚さ４０μｍのポリエチレンフィルム
を繰プ出しセール８から繰り出して積層して感光性エレ
メントＦ−１〜Ｆ−６を得九（表４）。１２４で？−３
．Ｆ−４が本発明の実施例であシ、他は比較例である。
ＩＩＩで得られた感光性ニレメン）Ｆ−１〜Ｆ−６につ
いて以下の手順に従って各感光性エレメントの感光度を
評価した。
いて以下の手順に従って各感光性エレメントの感光度を
評価した。
ナイロンブラシを用いて研磨清浄化した鋼張積層板の鋼
面に感光性ニレメン）Ｆ−１〜Ｆ−６を日立高温ラミネ
ーターを用い、ゴムロールの温度を１６５℃として表面
のポリエチレンフィルムをはく離しながら積層した。得
られた感光性エレメントの積層され九鋼張積層板を室温
レットム２（２１ステツプ）階調ネガを通して１５秒間
゛露光し九。露光後３０分以上放置した後にポリエチレ
ンテレフタレートフィルムヲ剥離し、１．’１．１−）
リクロロエタンを用いて現像した。現像により、洗い出
されなかったステップタブレット段数１（以下８Ｔ段数
と称する）を：：：： もって感光度の評価とした。結果を表５に示した。
面に感光性ニレメン）Ｆ−１〜Ｆ−６を日立高温ラミネ
ーターを用い、ゴムロールの温度を１６５℃として表面
のポリエチレンフィルムをはく離しながら積層した。得
られた感光性エレメントの積層され九鋼張積層板を室温
レットム２（２１ステツプ）階調ネガを通して１５秒間
゛露光し九。露光後３０分以上放置した後にポリエチレ
ンテレフタレートフィルムヲ剥離し、１．’１．１−）
リクロロエタンを用いて現像した。現像により、洗い出
されなかったステップタブレット段数１（以下８Ｔ段数
と称する）を：：：： もって感光度の評価とした。結果を表５に示した。
表５
簀 ステップタブレットの小数点以下の数字は最上段の
硬化物の膨潤度合を１０段階に評価した値を示す。
硬化物の膨潤度合を１０段階に評価した値を示す。
この結果より１本発明のフィルム性付与ポリマー及び有
機ノ・ロゲン化合物を組み合わせた系（Ｆ−３、Ｆ −
４）が高いＳＴ段数を示し、高感光度であることが示さ
れる。これは例えばＦ−１と比較してＦ−３，Ｆ−４で
は同じ８Ｔ段数を与えるのに要する露光秒数が３０−〜
６〇−低減できることを意味する。
機ノ・ロゲン化合物を組み合わせた系（Ｆ−３、Ｆ −
４）が高いＳＴ段数を示し、高感光度であることが示さ
れる。これは例えばＦ−１と比較してＦ−３，Ｆ−４で
は同じ８Ｔ段数を与えるのに要する露光秒数が３０−〜
６〇−低減できることを意味する。
ｙ 璽と同じくして、感光性エレメントを積層した鋼張
積層板を所定の回路パターンを有するネガを通してそれ
ぞれ８Ｔ段数が８段となるように露光現像後、ビロリン
酸鋼めっき浴にて鋼めっきし、ひき続いて無光沢半田め
っきを行なった。前処理及びめっき条件を表６に示した
。
積層板を所定の回路パターンを有するネガを通してそれ
ぞれ８Ｔ段数が８段となるように露光現像後、ビロリン
酸鋼めっき浴にて鋼めっきし、ひき続いて無光沢半田め
っきを行なった。前処理及びめっき条件を表６に示した
。
めっき終了後目視によシ、、観察を行なった。
結果を表７に尽し九。
表７
評価基準
Ｏめつきもぐシなし
〇−回回路周辺部レススト変色シ
◎ めつき液しみこみややあシ
Δ めつきもぐりややあり
× めつきもぐりはげしい
比較例１
以下の配合で比較例を作成した。
、１
比感例Ｉ
Ｐ−１１６５，７
ＮＫエステルＡ−ＴＭＰＴ ３！ＳＮＫエス
テルＡ−４０５ ベンゾフエノン ４・５ミヒラー
ケトン α５ＡＮＴＡＧＥ Ｗ−
４００α５ 四臭化炭素 λ５ビクトリアピ
ュアブルー α０８０イコクリスタルバイ
オレツト ０．５メチルエチルケトン
４０比較例は実施例１中のＶ−１のアクリレートモノ
マーＡ−ＡＭＰＴとＡ−４Ｇの配合比を変更し、Ａ−４
Ｇの比率を少なくシ九屯のに相当する。これを用いて実
施例１．Ｉｆのとおりにして感光性エレメントを得、・
ついで実施例１．ＩＩ〜実施例１．Ｆ／と同一条件で比
較評価を行なった結果を表８に示し九。
テルＡ−４０５ ベンゾフエノン ４・５ミヒラー
ケトン α５ＡＮＴＡＧＥ Ｗ−
４００α５ 四臭化炭素 λ５ビクトリアピ
ュアブルー α０８０イコクリスタルバイ
オレツト ０．５メチルエチルケトン
４０比較例は実施例１中のＶ−１のアクリレートモノ
マーＡ−ＡＭＰＴとＡ−４Ｇの配合比を変更し、Ａ−４
Ｇの比率を少なくシ九屯のに相当する。これを用いて実
施例１．Ｉｆのとおりにして感光性エレメントを得、・
ついで実施例１．ＩＩ〜実施例１．Ｆ／と同一条件で比
較評価を行なった結果を表８に示し九。
めっき評価法は実施例１．Ｐ／に準じた。
表８の結果よシ、Ａ−４Ｇの量を低くおさえることによ
シめつき性の向上が図れるが、その分感光度の低下をま
ねくことが認められる。
シめつき性の向上が図れるが、その分感光度の低下をま
ねくことが認められる。
実施例２
以下の脂肪族アミノ基含有単量体を用いて実施例１．１
と同じ方法によりポリマーを合成した。
と同じ方法によりポリマーを合成した。
なシ（１１については市販品をそのｉｔ用い、その他に
ついては相当するアルキルアミノアルコールとメタクリ
ル酸又はアクリル酸よ転公知の方法によって合成した。
ついては相当するアルキルアミノアルコールとメタクリ
ル酸又はアクリル酸よ転公知の方法によって合成した。
配合組成は次の通りである。
（重量部）
メタクリル酸メチル ９６アクリル酸
エチル ２アクリルアミド
１（１）〜（４）Ｋ示された七ツマ
−１ 得られたポリマーの還元粘度η５は０．３０〜０．３３
０範囲にあった。これを用いて以下の感光性樹脂組成物
を配合した。
エチル ２アクリルアミド
１（１）〜（４）Ｋ示された七ツマ
−１ 得られたポリマーの還元粘度η５は０．３０〜０．３３
０範囲にあった。これを用いて以下の感光性樹脂組成物
を配合した。
（重量部）
（１）、 （２）、 ＋３）又は（４）を含有するポリ
マー ６０ペンタエリスリトールトリアクリレート
３０テトラエチレングリコールジアクリレート
１０ベンゾ７≠ノン ４
−５ミにラーケトン α５人
ＮＴＡＧＥ−Ｗ−４００ ０．
６四臭化炭素 １．５ペ
ンタブロモエタン ０．５０イコ
クリスタルバイオレツト ０．３アイゼンスピ
ロングリーン ０．３メチルエチルケトン
４０これらを実施例１．Ｈと同様に
してポリエチレンテレフタレート上に塗工乾燥し膜厚５
０μｍとした感光性エレメントにつ禽、実施例１．腫と
同様にして２０秒露光後、１，１．１−）リクロロエタ
ンで現像したものの８７段数を表９に示した。なお比較
例として、ポリマーＫＰ−１を用い九ものを示す（比較
例２）。
マー ６０ペンタエリスリトールトリアクリレート
３０テトラエチレングリコールジアクリレート
１０ベンゾ７≠ノン ４
−５ミにラーケトン α５人
ＮＴＡＧＥ−Ｗ−４００ ０．
６四臭化炭素 １．５ペ
ンタブロモエタン ０．５０イコ
クリスタルバイオレツト ０．３アイゼンスピ
ロングリーン ０．３メチルエチルケトン
４０これらを実施例１．Ｈと同様に
してポリエチレンテレフタレート上に塗工乾燥し膜厚５
０μｍとした感光性エレメントにつ禽、実施例１．腫と
同様にして２０秒露光後、１，１．１−）リクロロエタ
ンで現像したものの８７段数を表９に示した。なお比較
例として、ポリマーＫＰ−１を用い九ものを示す（比較
例２）。
・：
実施例３
実施例１．ＩのＰ−３の合成にあたり、アゾビスイソブ
チ四ニトリルの量を０．４２Ｆ−とじ、還元粘度η１．
／ｃ＝ ｏ、 ３９を有するポリマーＰ−５を得た。
チ四ニトリルの量を０．４２Ｆ−とじ、還元粘度η１．
／ｃ＝ ｏ、 ３９を有するポリマーＰ−５を得た。
このＰ−５を用いて以下の配合で感光性樹脂組成物ｖ−
１１を得た。比較例として、モノマー組成を実施例１−
Ａ表１中のＭ−１とし、Ｐ−５と同じ合成法により得た
。還元粘ｆ Ｗｓ、／ｃｘ ０．４０を有するポリマー
Ｐ−６を用い九ものを示すく比較例３）。
１１を得た。比較例として、モノマー組成を実施例１−
Ａ表１中のＭ−１とし、Ｐ−５と同じ合成法により得た
。還元粘ｆ Ｗｓ、／ｃｘ ０．４０を有するポリマー
Ｐ−６を用い九ものを示すく比較例３）。
ｐ −ｓ ｓ Ｏ（ＩＩ）ｊｕｌ） −Ｐ
−６５０１１１量） 餐Ｉ Ａ−ＴＭＭ３ ３８ ３８ｋ２ Ａ−１４０１０１０ ｔ−ブチルアントラ λ５３．５ キノン ＡＮＴＡＧＢ Ｗ−４００Ｑ、５ ０．５ビ
クトリアピユアブルー ：：□０．０５ ０．
０７０イコクリスタルパ ０，３ α３イオ
レツト メチルエチルケトン ４０ ４０畳１ 新中村化
学４１１１１１ ペンタエリスリトールトリアクリレ
ート ＋２ 新中村化学−製 ポリエチレングリコール（分
子量約４００）ジア クリレート Ｖ−１１，比較例３の組成物を実施例１．１と同じくし
て膜厚５０μｍの感光性エレメントとなし、研磨によシ
清浄化した鋼張積層板上に積層した。積層条件は実施例
１．璽と同じにして行なつ露光した。露光後３０分放置
し、１．１．１−）９り１１Ｗエタンによ）現像した。
−６５０１１１量） 餐Ｉ Ａ−ＴＭＭ３ ３８ ３８ｋ２ Ａ−１４０１０１０ ｔ−ブチルアントラ λ５３．５ キノン ＡＮＴＡＧＢ Ｗ−４００Ｑ、５ ０．５ビ
クトリアピユアブルー ：：□０．０５ ０．
０７０イコクリスタルパ ０，３ α３イオ
レツト メチルエチルケトン ４０ ４０畳１ 新中村化
学４１１１１１ ペンタエリスリトールトリアクリレ
ート ＋２ 新中村化学−製 ポリエチレングリコール（分
子量約４００）ジア クリレート Ｖ−１１，比較例３の組成物を実施例１．１と同じくし
て膜厚５０μｍの感光性エレメントとなし、研磨によシ
清浄化した鋼張積層板上に積層した。積層条件は実施例
１．璽と同じにして行なつ露光した。露光後３０分放置
し、１．１．１−）９り１１Ｗエタンによ）現像した。
現像後のＳＴ段数をｌＩＩ！１０に示しえ。
表１０から明らかなようにフィルム性付与ポリマー中の
脂肪族アミノ基の含有は感度向上に大きな効果を示して
いる。
脂肪族アミノ基の含有は感度向上に大きな効果を示して
いる。
本発明になる感光性エレメントは、高感光度を有し、耐
めっき性に優れ、めっきレジスト或はエツチングレジス
トとして好適の特性を有する４Ｃ）である。
めっき性に優れ、めっきレジスト或はエツチングレジス
トとして好適の特性を有する４Ｃ）である。
第１図は感光性エレメントの製造装置の一例を示す略図
である。 符号の説明 １・・・支持体縁シ出しロール ２．３，４，９．１０・・・ロール ５・・・ナイフ ６・・・感光性樹脂組成物の溶液 ７・・・乾燥機 ８・・・保護レイルム繰り出しロール １１・・・感光性エレメント巻き取シロール！！ｉ １
図 手続補正書（自発） 昭和５７年１ 月ｅ 日 特許庁長官殿 １事件の表示 昭和５６年特許願第１りｔｚ（ｏ 号２発明の名称 感光性エレメント ３補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 ＋４４５１日立化成工業株式会社４ 代
理 人 （２）本願明細書第１９頁第７行に「ポリエチレンフィ
ルム」とあるのを「ポリエチレンテレフタレートフィル
ム」と訂正します。 （３） 同第２１頁下から５行目Ｋ［Ｃ＝００３０１
Ｊとあるのをｒｃ＝ｏ、０３０１Ｊと訂正します。 （４）同第２３頁第５行にｒ （１，１−ジー」とある
のを「（１，１’−ジー」と訂正します。 （５）同第２４頁第１３行に「１５秒間露光した。」と
あるのを「５０ｃＩｎの距離から１５秒間露光した。」
と訂正します。 （６）同第２６頁表６（第２行）Ｋｒ（シグレー■製）
５０」とあるのを「（シプレー■製）ＳＯＳ水溶液」と
訂正します。 （７）同第２７真下から３行目に「比感例１」とあるの
を「比較例１」と訂正します。 別紙 特許請求の範囲 Ｌ （ＩＩ） フィルム性付与ポリマー（ｂ）
エチレン性不飽和化合物 （Ｃ） 活性線によ〉遊離ラジカルを生成しうる増感
剤及び／又は増感剤系 並びに （ｄ） 有機ハロゲン化合物 を含有する感光性樹脂組成物において＋りのフィルム性
付与ポリマーを式 （但し、ｎは０〜３の整数、Ｒｓ、Ｒｖ、Ｒｍは水素又
はメチル基、Ｒ４，Ｒ１は炭素数１〜４のアルキル基で
あるか又は窒素原子を含めて４員環〜７員環の飽和脂環
式環を形成している）で表わされる脂肪族７２ノ基含有
単量体を共重合成分として含むビニル系共重合化合物と
じ九感光性樹脂組成物層及び支持体を有する感光性エレ
メント。 ２ フィルム性付与ポリマーが脂肪族アミノ基含有単量
体を共重合体成分としてα１重量−〜１０重量％含有し
ているフィルム性付与ホ１Ｊｆｆ−である特許請求の範
囲第１項記載の感光性エレメント。 ＆ 脂肪族アミノ基含有単量体がジアルキルアミノエチ
ルアクリレート又はジアルキルアミノエチルメタクリレ
ートである特許請求の範囲第１項又は第２項記載の感光
性エレメント。 表 有機ハロゲン化合物が脂肪族ハロゲン化合物で６る
特許請求の範囲第１項、第２項又は第３項記載の感光性
エレメント。 ＆ 有機ハロゲン化合物が同−炭素上に２個以上のハロ
ゲレ原子が結合している化合物である特許請求の範囲第
１項、第２項又は第３項記載の感光性エレメント。 ＆ 有機ハロゲン化合物が有機ブロム化合物で６る特許
請求の範囲第１項、第２項又は第３項記載の感光性エレ
メント。 ７、有機ハロゲン化合物がトリブロモメチル基を有する
有機・・ロゲン化合物である特許請求の範１１１１１項
、第２項又は第３項記載の感光性エレメント。 ＆ エチレン性不飽和化合物がアクリレート単量体又は
メタクリレート単量体でおる特許請求の範囲第１項記載
の感光性エレメント。 ９、支持体が有機重合体フィルムである特許−求−■■
―−陽−−■−■ の範囲第１項記載の感光性エレメント。 １α感光性樹脂組成物層が８μｍ−１２０μｍの膜厚を
有する感光性樹脂組成物層である特許請求の範囲第１項
又は第９項記載の感光性エレメント。 下。 手続補正書（自発） 昭和６７年４ 月１９８ ２、発明の名称 感光性エレメント ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 ＋４４５１ 日立化成工業株式会社４、代 理
人 ト（例えば三菱レーヨン■製アクリエステルＤＭ）及び
ジメチルアミノアクリレート、ジエチルアミノエチルメ
タクリレートが挙げられる。」とあるのをｒＮ、 Ｎ−
ジメチルアミノエチルメタクリレート（例えば三菱レー
ヨン■製アクリエステルＤＭ）、Ｎ、Ｎ−ジメチルアミ
ノエチルアクリレート及びＮ、Ｎ−ジエチルアミノエチ
ルメタクリレートが挙げられる。」と訂正します。 ２ 同第１４頁第２行から３行にかけて「飽和含水率」
とあるのを「飽和吸水率」と訂正します。 λ 同第１５頁下から７行から６行ｋかけて「ビスフェ
ノール人、エピクロルヒドリン系」トするのヲ「ビスフ
ェノールＡ−エピクロルヒドリン系」と訂正します。 ４、同第１５頁下から５行目に「エポキシアクリレート
」とあるのを「エポキシアクリレート又はエポキシメタ
クリレート」と訂正します。 ＆ 同第１５真下から３行目にｒｌ：１：２Ｊとあるの
をＩｌ：２：２（−％ル比）」と訂正します。 以上
である。 符号の説明 １・・・支持体縁シ出しロール ２．３，４，９．１０・・・ロール ５・・・ナイフ ６・・・感光性樹脂組成物の溶液 ７・・・乾燥機 ８・・・保護レイルム繰り出しロール １１・・・感光性エレメント巻き取シロール！！ｉ １
図 手続補正書（自発） 昭和５７年１ 月ｅ 日 特許庁長官殿 １事件の表示 昭和５６年特許願第１りｔｚ（ｏ 号２発明の名称 感光性エレメント ３補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 ＋４４５１日立化成工業株式会社４ 代
理 人 （２）本願明細書第１９頁第７行に「ポリエチレンフィ
ルム」とあるのを「ポリエチレンテレフタレートフィル
ム」と訂正します。 （３） 同第２１頁下から５行目Ｋ［Ｃ＝００３０１
Ｊとあるのをｒｃ＝ｏ、０３０１Ｊと訂正します。 （４）同第２３頁第５行にｒ （１，１−ジー」とある
のを「（１，１’−ジー」と訂正します。 （５）同第２４頁第１３行に「１５秒間露光した。」と
あるのを「５０ｃＩｎの距離から１５秒間露光した。」
と訂正します。 （６）同第２６頁表６（第２行）Ｋｒ（シグレー■製）
５０」とあるのを「（シプレー■製）ＳＯＳ水溶液」と
訂正します。 （７）同第２７真下から３行目に「比感例１」とあるの
を「比較例１」と訂正します。 別紙 特許請求の範囲 Ｌ （ＩＩ） フィルム性付与ポリマー（ｂ）
エチレン性不飽和化合物 （Ｃ） 活性線によ〉遊離ラジカルを生成しうる増感
剤及び／又は増感剤系 並びに （ｄ） 有機ハロゲン化合物 を含有する感光性樹脂組成物において＋りのフィルム性
付与ポリマーを式 （但し、ｎは０〜３の整数、Ｒｓ、Ｒｖ、Ｒｍは水素又
はメチル基、Ｒ４，Ｒ１は炭素数１〜４のアルキル基で
あるか又は窒素原子を含めて４員環〜７員環の飽和脂環
式環を形成している）で表わされる脂肪族７２ノ基含有
単量体を共重合成分として含むビニル系共重合化合物と
じ九感光性樹脂組成物層及び支持体を有する感光性エレ
メント。 ２ フィルム性付与ポリマーが脂肪族アミノ基含有単量
体を共重合体成分としてα１重量−〜１０重量％含有し
ているフィルム性付与ホ１Ｊｆｆ−である特許請求の範
囲第１項記載の感光性エレメント。 ＆ 脂肪族アミノ基含有単量体がジアルキルアミノエチ
ルアクリレート又はジアルキルアミノエチルメタクリレ
ートである特許請求の範囲第１項又は第２項記載の感光
性エレメント。 表 有機ハロゲン化合物が脂肪族ハロゲン化合物で６る
特許請求の範囲第１項、第２項又は第３項記載の感光性
エレメント。 ＆ 有機ハロゲン化合物が同−炭素上に２個以上のハロ
ゲレ原子が結合している化合物である特許請求の範囲第
１項、第２項又は第３項記載の感光性エレメント。 ＆ 有機ハロゲン化合物が有機ブロム化合物で６る特許
請求の範囲第１項、第２項又は第３項記載の感光性エレ
メント。 ７、有機ハロゲン化合物がトリブロモメチル基を有する
有機・・ロゲン化合物である特許請求の範１１１１１項
、第２項又は第３項記載の感光性エレメント。 ＆ エチレン性不飽和化合物がアクリレート単量体又は
メタクリレート単量体でおる特許請求の範囲第１項記載
の感光性エレメント。 ９、支持体が有機重合体フィルムである特許−求−■■
―−陽−−■−■ の範囲第１項記載の感光性エレメント。 １α感光性樹脂組成物層が８μｍ−１２０μｍの膜厚を
有する感光性樹脂組成物層である特許請求の範囲第１項
又は第９項記載の感光性エレメント。 下。 手続補正書（自発） 昭和６７年４ 月１９８ ２、発明の名称 感光性エレメント ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 ＋４４５１ 日立化成工業株式会社４、代 理
人 ト（例えば三菱レーヨン■製アクリエステルＤＭ）及び
ジメチルアミノアクリレート、ジエチルアミノエチルメ
タクリレートが挙げられる。」とあるのをｒＮ、 Ｎ−
ジメチルアミノエチルメタクリレート（例えば三菱レー
ヨン■製アクリエステルＤＭ）、Ｎ、Ｎ−ジメチルアミ
ノエチルアクリレート及びＮ、Ｎ−ジエチルアミノエチ
ルメタクリレートが挙げられる。」と訂正します。 ２ 同第１４頁第２行から３行にかけて「飽和含水率」
とあるのを「飽和吸水率」と訂正します。 λ 同第１５頁下から７行から６行ｋかけて「ビスフェ
ノール人、エピクロルヒドリン系」トするのヲ「ビスフ
ェノールＡ−エピクロルヒドリン系」と訂正します。 ４、同第１５頁下から５行目に「エポキシアクリレート
」とあるのを「エポキシアクリレート又はエポキシメタ
クリレート」と訂正します。 ＆ 同第１５真下から３行目にｒｌ：１：２Ｊとあるの
をＩｌ：２：２（−％ル比）」と訂正します。 以上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 （１） フィルム性付与ポリマー（ｂ）
エチレン性不飽和化合物 （Ｃ１活性線によシ遊離ラジカルを生成しうる増感剤及
び／又は増感剤系 並びＫ （ｄｌ 有機ハロゲン化合物 を含有する感光性樹脂組成物においてＤＩ）のフィルム
性付与ポリマーを式 （但し、ｎは０〜３の整数、 Ｒ，、Ｒ，、Ｒ３は水素
又はメチル基、Ｒ４，Ｒｓは炭素数１〜４のアルキル基
であるか又は窒素原子を含めて４員環〜７員碩の飽和ｍ
ｓ弐壌を形成している）で表わされる脂肪族アミノ基含
有単量体を共重合成分として含むビニル系共重合化合物
とした感光性樹脂組成物層及び支持体を有する感光性エ
レメント。 ２ フィルム性付与ポリマーが脂肪族アミン基含有単量
体全共重合体成分としてα１重量−〜１０重量−含有し
ているフィルム性付与ポリマーである特許請求の範囲第
１項記載ｅ感光性エレメント。 λ 脂肪族アミノ基含有単量体がジアルキルアミノエチ
ルアクリレート又はジアルキルアミノエチルメタクリレ
ートである特許請求の範囲第１項又は第２項記載の感光
性エレメント。 ４、有機・ハロゲン化合物が脂肪族ハロゲン化合物であ
る特許請求の範囲第１項、第２項又は第３項記載の感光
性エレメント。 ５、有機ハロゲン化合物が同一炭素上に２個以上のハロ
ゲン原子が結合している化合物である特許請求の範囲第
１項、第２項又は第３項記載の感光性エレメント。 包 有機ハロゲン化合物が有機ブロム化合物である特許
請求の範囲第１項、第２項又は第３項記載の感光性エレ
メント。 ７、有機ハロゲン化合物がトリブロモメチル基を有する
有機ハロゲン化合物である特許請求の範囲第１項、第２
項又は第３項記載の感光性エレメント。 ＆ エチレン性不飽和化合物がアクリレート単量体又は
メタクリレート単量体である特許請求の範囲第１項記載
の感光性エレメント。 ９、支持体が光透過性有機重合体フィルムである特許請
求の範８１１１１項記載の感光性エレメント。 １０、感光性樹脂組成物層が８μｍ〜１２０μｍの膜厚
を有する感光性樹脂組成物層である特許請求の範囲第１
項又は第９項記載の感光性エレメント。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19126081A JPS5893046A (ja) | 1981-11-28 | 1981-11-28 | 感光性エレメント |
| US06/370,295 US4454219A (en) | 1981-04-27 | 1982-04-20 | Photosensitive resin composition comprised of a polymer obtained from an aliphatic amino group-containing monomer as a comonomer |
| DE3249708A DE3249708C3 (de) | 1981-04-27 | 1982-04-26 | Lichtempfindliches Element aus einem Träger und einer lichtempfindlichen Schicht |
| DE19823215513 DE3215513C3 (de) | 1981-04-27 | 1982-04-26 | Photoempfindliche Harzmasse |
| GB8211964A GB2100278B (en) | 1981-04-27 | 1982-04-26 | Photosensitive resin composition |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19126081A JPS5893046A (ja) | 1981-11-28 | 1981-11-28 | 感光性エレメント |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5893046A true JPS5893046A (ja) | 1983-06-02 |
Family
ID=16271570
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19126081A Pending JPS5893046A (ja) | 1981-04-27 | 1981-11-28 | 感光性エレメント |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5893046A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58102230A (ja) * | 1981-12-15 | 1983-06-17 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物 |
| JPS62295046A (ja) * | 1986-06-16 | 1987-12-22 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4829501A (ja) * | 1971-08-14 | 1973-04-19 | ||
| JPS4984228A (ja) * | 1972-11-20 | 1974-08-13 | ||
| JPS555913A (en) * | 1978-06-28 | 1980-01-17 | Toray Ind Inc | Photochemically reactive formed material |
| JPS57192420A (en) * | 1981-04-27 | 1982-11-26 | Hitachi Chem Co Ltd | Photopolymer composition |
-
1981
- 1981-11-28 JP JP19126081A patent/JPS5893046A/ja active Pending
Patent Citations (4)
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| JPH0334056B2 (ja) * | 1981-12-15 | 1991-05-21 | Hitachi Chemical Co Ltd | |
| JPS62295046A (ja) * | 1986-06-16 | 1987-12-22 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物 |
| JPH0469935B2 (ja) * | 1986-06-16 | 1992-11-09 | Hitachi Chemical Co Ltd |
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